特許 6700003 真空ポンプ装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6700003

(24)【登録日】2020年5月7日

(45)【発行日】2020年5月27日

(54)【発明の名称】真空ポンプ装置

(51)【国際特許分類】

   F04C 29/00 20060101AFI20200518BHJP

   F04B 39/00 20060101ALI20200518BHJP

   F04C 25/02 20060101ALI20200518BHJP

   F04C 18/18 20060101ALI20200518BHJP

   H02K 1/02 20060101ALI20200518BHJP

   H02K 1/16 20060101ALI20200518BHJP

   H02K 7/14 20060101ALI20200518BHJP

   H02K 16/02 20060101ALI20200518BHJP

【ＦＩ】

   F04C29/00 T

   F04B39/00 106E

   F04C25/02 K

   F04C29/00 U

   F04C29/00 B

   F04C18/18 C

   H02K1/02 B

   H02K1/16

   H02K7/14 B

   H02K16/02

【請求項の数】4

【全頁数】11

(21)【出願番号】特願2015-147865(P2015-147865)

(22)【出願日】2015年7月27日

(65)【公開番号】特開2017-25867(P2017-25867A)

(43)【公開日】2017年2月2日

【審査請求日】2018年4月25日

(73)【特許権者】

【識別番号】000000239

【氏名又は名称】株式会社荏原製作所

(74)【代理人】

【識別番号】100140109

【弁理士】

【氏名又は名称】小野 新次郎

(74)【代理人】

【識別番号】100106208

【弁理士】

【氏名又は名称】宮前 徹

(74)【代理人】

【識別番号】100146710

【弁理士】

【氏名又は名称】鐘ヶ江 幸男

(74)【代理人】

【識別番号】100186613

【弁理士】

【氏名又は名称】渡邊 誠

(74)【代理人】

【識別番号】100172041

【弁理士】

【氏名又は名称】小畑 統照

(72)【発明者】

【氏名】小島 善徳

(72)【発明者】

【氏名】吉田 真也

(72)【発明者】

【氏名】茨田 敏光

(72)【発明者】

【氏名】曽布川 拓司

【審査官】 大瀬 円

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１０−２７０６５６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−１５５６４９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１５−５０７９８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許第４５７８６１０（ＵＳ，Ａ）

【文献】 特開２００６−１８７０９１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１４−１１７０３０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１４−４２３６８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−２０８０１３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−５０３１２（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｆ０４Ｃ ２９／００

Ｆ０４Ｂ ３９／００

Ｆ０４Ｃ １８／１８

Ｆ０４Ｃ ２５／０２

Ｈ０２Ｋ １／０２

Ｈ０２Ｋ １／１６

Ｈ０２Ｋ ７／１４

Ｈ０２Ｋ １６／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ポンプロータを回転させて気体を真空引きする真空ポンプ装置であって、
前記ポンプロータに回転動力を出力するための主軸と、
前記主軸に取り付けられたモータロータと、
前記主軸の軸方向に前記モータロータと対向して配置されるモータステータと、
を備え、
前記モータステータは、アモルファス金属が前記主軸の軸方向に対して垂直な方向に積層されることにより形成されて前記モータロータと同心に配置されるステータコアと、前記ステータコアに巻回されるステータコイルと、を有し、
前記ステータコアの前記モータロータと対向する面には、軸心に垂直な直線を中心とする平行な幅の溝部が周方向に等間隔に形成されており、当該溝部に前記ステータコイルが配置され、
前記ステータコイルは、前記溝部の深さ以下の幅を有する帯状のコイル部材が巻回されて形成されており、
前記モータステータを支持するステータ支持部であって、前記モータロータが配置されるロータ室と前記モータステータが配置されるステータ室とを離隔する、ステータ支持部を更に備える、
真空ポンプ装置。

【請求項2】

請求項１に記載の真空ポンプ装置であって、
前記モータロータは、第１モータロータと第２モータロータとを有し、
前記モータステータは、前記主軸の軸方向に前記第１モータロータと前記第２モータロータとに挟まれて配置され、
前記ステータコアには、前記第１モータロータと対向する面、及び、前記第２モータロータと対向する面に、前記溝部が形成されている、
真空ポンプ装置。

【請求項3】

請求項１または２に記載の真空ポンプ装置であって、
前記ポンプロータとして、平行に配置されて同期回転する一対のポンプロータを有する、
真空ポンプ装置。

【請求項4】

請求項３に記載の真空ポンプ装置であって、
前記一対のポンプロータが多段のロータを有する多段容積式である、
真空ポンプ装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、真空ポンプ装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、真空ポンプ装置は、例えば半導体製造装置が配置される真空チャンバ内のプロセスガスを排気するために使用されている。一般に、半導体製造工程では、真空チャンバ内が清浄雰囲気であることが要求される。このため、真空ポンプ装置として、ポンプ内部のガス流路に油を使用しないドライ真空ポンプが用いられている。このようなドライ真空ポンプとして、例えば２軸ルーツ型の多段容積式ドライ真空ポンプなどが知られている。

【0003】

２軸ルーツ型の多段容積式ドライ真空ポンプは、対向する一対のルーツ型の多段のロータをケーシング内に備え、これらのロータ間およびロータとケーシングとの隙間が微少になるようにクリアランスが設けられる。そして、この一対のロータが同期反転することにより、ロータとケーシングとの間に形成された空間にプロセスガスが閉じ込められて後段に移送される。多段容積式ドライ真空ポンプでは、この移送が連続して行われることによりプロセスガスの排気が行われる。

【0004】

真空ポンプには、真空ポンプのロータを回転駆動するモータが備えられる。一般に、真空ポンプでは、消費電力の削減が課題とされ、従来、例えばモータロータの発熱の低下を図ることにより、真空ポンプのエネルギ効率が低下するのを抑制している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２００５−６１４２１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

真空ポンプ装置では、所望のポンプ性能が達成できるように、例えば真空チャンバ内で多量のプロセスガスが発生するような高負荷時を基準としてモータの出力が決められる。しかし、真空ポンプ装置は低負荷で駆動される場合も多く、こうした場合にはモータの効率が悪くなる場合があった。

【0007】

モータの効率を低下させる損失としては、機械的な損失を除くと、モータロータの回転に伴って生じる渦電流損失などの鉄損と、コイルに流れる電流からジュール熱として生じる銅損と、が挙げられる。低負荷時には、コイルに流れる電流は小さいので銅損は小さくなる。しかし、負荷の大きさにかかわらず、モータロータの回転数に依存して鉄損は大きくなる。モータロータ及びモータステータの構成は、モータの出力に関わり、大負荷時を基準として決められているので、特に低負荷高回転数でモータが駆動されるときには、鉄損の影響が大きくなってモータのエネルギ効率が悪くなる。

【0008】

また、従来、真空ポンプ装置のモータとして、キャンド構造等のモータが用いられている。しかし、キャンド構造等のモータを用いると、真空ポンプがオーバーハング（片持ち）構造になるため、高回転数化および小型化に不向きであった。さらに、一般に、真空ポンプ装置では、装置を容易に製造できることが望まれる。

【0009】

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、エネルギ効率が高く容易に製造可能な真空ポンプ装置を提供することを目的の一つとする。また
、高回転数化および小型化が可能な真空ポンプ装置を提供することを目的の一つとする。

【課題を解決するための手段】

【0010】

本発明の真空ポンプ装置は、ポンプロータを回転させて気体を真空引きする真空ポンプである。真空ポンプ装置は、ポンプロータに回転動力を出力するための主軸と、主軸に取り付けられたモータロータと、主軸の軸方向にモータロータと対向して配置されるモータステータと、を備える。そして、モータステータは、アモルファス金属が主軸の軸方向に対して垂直な方向に積層されることにより形成されてモータロータと同心に配置されるステータコアと、ステータコアに巻回されるステータコイルと、を有する。さらに、ステータコアのモータロータと対向する面には、軸心に垂直な直線を中心とする平行な幅の溝部が周方向に等間隔に形成されており、この溝部にステータコイルが配置される。

【0011】

かかる構成により、一般的な珪素鋼板よりも電気抵抗の小さいアモルファス金属が径方向に積層されてステータコアが形成されるので、鉄損を小さくすることができる。また、ステータコアには、ステータコアが配置される溝部が、軸心に垂直な直線を中心とする平行な幅で形成されている。このため、ワイヤカット放電加工等を用いて、ステータコアに溝部を容易に形成することができる。さらに、ステータコイルを配置したときの隙間を小さくすることができ、真空ポンプ装置のエネルギ効率を向上させることができる。したがって、かかる構成により、エネルギ効率が高く容易に製造可能な真空ポンプ装置を提供することができる。また、モータロータとモータステータとが回転軸方向に対向して設けられているので、真空ポンプ装置の高回転数化および小型化を図ることができる。

【0012】

また、モータロータは、第１モータロータと第２モータロータとを有し、モータステータは、主軸の軸方向に第１モータロータと第２モータロータとに挟まれて配置されてもよい。そして、ステータコアには、第１モータロータと対向する面、及び、第２モータロータと対向する面に、溝部が形成されていてもよい。
こうすれば、さらに真空ポンプ装置の高効率化と小型化とを図ることができる。

【0013】

また、ステータコイルは、帯状のコイル部材が巻回されて形成されていてもよい。
こうすれば、ステータコイルを溝部に配置したときの隙間を小さくして、真空ポンプ装置のエネルギ効率の向上を図ることができる。

【0014】

また、真空ポンプは、ポンプロータとして、平行に配置されて同期回転する一対のポンプロータを有してもよい。
さらに、真空ポンプは、一対のポンプロータが多段のロータを有する多段容積式であってもよい。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】本実施形態の真空ポンプ装置の概略構成を示す断面図である。

【図2】本実施形態の真空ポンプ装置の概略構成を示す他の断面図である。

【図3】本実施形態のモータの概略構成を示す断面図である。

【図4】本実施形態のモータに用いられるステータコアの概略構成を示す図である。

【図5】本実施形態のステータコアを製造する過程の一例を示す図である。

【図6】本実施形態のステータコアを製造する過程の一例を示す図である。

【図7】本実施形態のステータコイルの一例を示す図である。

【図8】一般的な真空ポンプ装置における吸気側圧力（Ｐａ）に対する排気速度（Ｌ／Ｍ）及び消費電力（Ｗ）を示す図である。

【図9】消費電力（Ｗ）に対する真空ポンプ装置の効率（排気速度性能）を示す図である。

【図10】変形例のモータの概略構成を示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0016】

以下、本発明の一実施形態に係る真空ポンプ装置を図面に基づいて説明する。なお、図面では、同一または相当する構成要素には、同一の符号を付して重複した説明を省略する。本実施形態の真空ポンプ装置は、多段容積式ポンプとして構成され、例えば半導体、液晶、太陽光パネル、又は、ＬＥＤ等の製造設備の一つとして利用することができる。

【0017】

図１は、本実施形態の真空ポンプ装置の概略構成を示す断面図である。図１は、真空ポンプ装置１００が有する一対のポンプロータ３１０，４１０のうちの一方のポンプロータ３１０の回転中心軸線ＡＲ１を含む断面を示している。また、図２は、本実施形態の真空ポンプ装置の概略構成を示す他の断面図である。図２は、真空ポンプ装置１００が有する一対のポンプロータ３１０，４１０の双方の回転中心軸線ＡＲ１，ＡＲ２を含む断面を示している。

【0018】

図１，２に示すように、真空ポンプ装置１００は、モータ２００と、モータ２００によって回転駆動される一対のポンプ主軸３００，４００と、ポンプ主軸３００，４００と一体に回転する一対のポンプロータ３１０，４１０とを備えている（図１では、一方のポンプ主軸３００及びポンプロータ３１０のみが図示されている）。

【0019】

一対のポンプロータ３１０，４１０は、多段の圧縮段を構成する。一例として、ポンプロータ３１０は、ポンプ主軸３００にそれぞれ間隔を空けて取り付けられた第１段〜第５段ポンプロータ３１１〜３１５を備えている。また、ポンプロータ４１０は、ポンプ主軸４００にそれぞれ間隔を空けて取り付けられた第１段〜第５段ポンプロータ４１１〜４１５を備えている。

【0020】

第１段〜第５段ポンプロータ３１１〜３１５，４１１〜４１５は、上ケーシング３２０と下ケーシング３３０とによって形成される空間内に収容されている。上ケーシング３２０の上部には上閉止板３２２が取り付けられ、下ケーシング３３０の下部には下閉止板３３２が取り付けられる。

【0021】

上閉止板３２２には、ポンプロータ３１０，４１０へ処理ガスを吸気するための吸気口３２４が形成される。下閉止板３３２には、ポンプロータ３１０，４１０から処理ガスを排気するための排気口３３４が形成される。

【0022】

上ケーシング３２０及び下ケーシング３３０の反モータ２００側（モータ２００から遠い側、図１及び図２中、右側）には、反モータ２００側へ突き出したポンプ主軸３００，４００を収容する排気側中間部材３６０が設けられている。また、排気側中間部材３６０の反モータ２００側には、排気側カバー３７０が設けられている。排気側中間部材３６０及び排気側カバー３７０は、上ケーシング３２０及び下ケーシング３３０から反モータ２００側へ突き出したポンプ主軸３００，４００を収容する。ポンプ主軸３００，４００は、上ケーシング３２０と下ケーシング３３０とによって形成される空間から反モータ２００側へ突き出した部分において、軸受３４２，４４２によって軸支されている。軸受３４２，４４２は、排気側中間部材３６０及び排気側カバー３７０内に収容されている。また、排気側カバー３７０の内部には、一対のタイミングギア３８０，４８０が収容されている。タイミングギア３８０，４８０は、ポンプ主軸３００，４００と連結され、相互に噛み合うようになっている。

【0023】

排気側中間部材３６０は、ポンプ主軸３００，４００と対向する面に周方向に沿って溝が形成されており、排気側中間部材３６０とポンプ主軸３００，４００との間には、この溝を含む中間室３６２，４６２が設けられている。中間室３６２，４６２と排気口３３４
は、連通路３６４によって連通されている。

【0024】

上ケーシング３２０及び下ケーシング３３０のモータ２００側（図１及び図２中、左側）には、モータ２００側へ突き出したポンプ主軸３００，４００を収容する吸気側中間部材３４５が設けられている。吸気側中間部材３４５は、上ケーシング３２０及び下ケーシング３３０からモータ２００側へ突き出したポンプ主軸３００，４００を収容する。ポンプ主軸３００は、吸気側中間部材３４５に収容される軸受３４０によって軸支され、ポンプ主軸３００の端部がモータ２００に接続されている。また、ポンプ主軸４００は、吸気側中間部材３４５に収容される軸受４４０によって軸支され、ポンプ主軸４００の端部はサイドキャップ４５０内に収容されている。

【0025】

モータ２００を駆動すると、ポンプ主軸３００、ポンプロータ３１０、及び、タイミングギア３８０が回転駆動される。タイミングギア３８０，４８０が相互に噛み合うことによって、ポンプ主軸４００及びポンプロータ４１０も回転駆動される。一対のポンプロータ３１０，４１０は、上ケーシング３２０及び下ケーシング３３０の内面との間、第１段〜第５段ポンプロータ３１１〜３１５，４１１〜４１５同士の間にわずかな隙間を保持して、非接触で逆方向に同期回転する。一対のポンプロータ３１０，４１０の回転につれて、吸気口３２４から導入された処理ガスは、第１段〜第５段ポンプロータ３１１〜３１５，４１１〜４１５により圧縮移送されて、排気口３３４から排出される。

【0026】

次に、モータ２００の構成について説明する。図３は、本実施形態のモータの概略構成を示す断面図である。モータ２００は、真空ポンプ装置１００（ポンプロータ３１０）の回転駆動源として使用される。モータ２００は、モータフレーム２５０と、ポンプ主軸３００に設けられたモータロータ２２０と、モータフレーム２５０に固定されたモータステータ２３０と、を備える。図示するように、モータ２００は、モータロータ２２０とモータステータ２３０とがポンプ主軸３００の回転中心軸線ＡＲ１方向に対向する、いわゆるアキシャルギャップ型のモータとして構成されている。

【0027】

モータロータ２２０は、ポンプ主軸３００に直結され、永久磁石２２２を備えている。モータフレーム２５０は、フレーム本体２５２とステータ支持部２５４とを備える。フレーム本体２５２は、回転中心軸線ＡＲ１に沿って内部空間が形成された、有底円筒形状に形成されている。ステータ支持部２５４は、円盤形状に形成されており、フレーム本体２５２の内部に配置される。ステータ支持部２５４は、フレーム本体２５２の内部空間を、モータロータ２２０が配置されるロータ室と、モータステータ２３０が配置されるステータ室とに離隔する。

【0028】

モータステータ２３０は、ステータコア２３２にステータコイル２３６が装着された構成を有する。モータステータ２３０は、ステータコア２３２がステータ支持部２５４に取り付けられることによって、ステータ支持部２５４を介して、回転中心軸線ＡＲ１と同心にフレーム本体２５２に固定される。

【0029】

図４は、本実施形態のモータに用いられるステータコアの概略構成を示す図である。図示するように、ステータコア２３２は、全体として空芯の円柱状に形成されており、モータロータ２２０と対向する面２３２ａには、回転中心軸線ＡＲ１方向に凹となる複数（例えば６個、１２個など）の溝部２３４が形成されている。複数の溝部２３４に挟まれた凸部（コア部）２３３は回転中心軸線ＡＲ１方向に突出し、このコア部２３３にステータコイル２３６が巻回される。コア部２３３に巻回されたステータコイル２３６は、溝部２３４に配置されることになる。

【0030】

図５及び図６は、本実施形態のステータコアを製造する過程の一例を示す図である。本
実施形態のステータコア２３２は、アモルファス（非晶質）金属によって形成される。アモルファス金属としては、一例として、鉄、ニッケル、コバルトなどの強磁性金属を主成分としたものを用いることができる。一般に、アモルファス金属は、急冷によって非晶質体を形成させて薄い箔状に成形される。この箔状のアモルファス金属を利用して、帯状のアモルファス金属５００を用意する。帯状のアモルファス金属５００は、その断面が幅Ｗｓと厚みＴｓとを有し、幅Ｗｓの方が厚みＴｓよりも大きい。ここで、帯状のアモルファス金属５００は、ステータコア２３２の厚さＨｓと等しい幅Ｗｓであることが好ましい（図４及び図５参照）。なお、ステータコア２３２の厚さＨｓは、ステータコア２３２の剛性、及び、モータ２００の定格出力に基づくコア部２３３（溝部２３４）の大きさ等に基づいて決められればよい。

【0031】

そして、図５に示すように、帯状のアモルファス金属５００を円柱体などの巻枠５１０に渦巻き状に巻回し、空芯円柱状のアモルファス金属体５２０を製造する。そして、帯状のアモルファス金属５００を巻回することによってアモルファス金属体５２０の外径が所望の大きさ（ステータコア２３３の外径）に至ったら、アモルファス金属体５２０を巻枠５１０から外す。ここで、アモルファス金属体５２０は、帯状のアモルファス金属５００を巻枠５１０に巻回しながら、加熱及び冷却、もしくは、接着等を用いることによって、形状が固定されてもよい。また、所望の外径に至った後に、アモルファス金属体５２０の外縁に被膜を施すこと等によって形状が固定されてもよい。こうして形成されたアモルファス金属体５２０では、アモルファス金属が径方向（回転中心軸線ＡＲ１に垂直な直線ＡＣ方向、図４、図６参照）に積層される。

【0032】

そして、アモルファス金属体５２０の端面の一部を切除することによって溝部２３４を形成し、ステータコア２３２を製造する。ここで、アモルファス金属体５２０の切断は、図６に示すように、回転中心軸線ＡＲ１に垂直な直線ＡＣを中心とする平行な幅の溝部２３４が形成されるように行われる。つまり、ステータコア２３２の溝部２３４は、外周側の幅Ｗ１と内周側の幅Ｗ２とが等しくなるように形成される（Ｗ１＝Ｗ２）。

【0033】

このように溝部２３４を形成することによって、例えば円弧状に切除して溝部を形成する場合に比して、ステータコア２３２を容易に製造することができる。例えば、溝部２３４の形成は、ワイヤカット放電加工などを用いることができる。また、ステータコア２３２の１８０度離れた位置に溝部２３４が形成される場合には、互いの溝部２３４の壁面が同一平面状に形成されるので、１８０度離れた位置の溝部２３４を同時加工、又は、連続加工によって、形成することもできる。また、溝部２３４の外周側の幅Ｗ１と内周側の幅Ｗ２とが等しいので、コア部２３３にステータコイル２３６を巻回したときにステータコイル２３６を隙間なく配置することができ、モータ２００の高性能化および小型化を図ることができる。

【0034】

図７は、本実施形態のステータコイルの一例を示す図である。図示するように、本実施形態のステータコイル２３６は、コア部２３３の高さ（溝部２３４の深さ）Ｈｃと等しい幅Ｗｃの帯状のコイル部材がステータコア２３２のコア部２３３に渦巻き状に巻回されることによって形成されている。帯状のコイル部材は、その断面が幅Ｗｃと厚みＴｃとを有し、幅Ｗｃの方が厚みＴｃよりも大きい。ただし、ステータコイル２３６を形成するコイル部材の幅Ｗｃは、コア部２３３の高さＨｃよりも小さくてもよい。この帯状のコイル部材は、その幅方向が回転中心軸線ＡＲ１に沿うように、コア部２３３に巻回される。なお、ステータコイル２３６の内周側の端部は、引出し用のコイル部材３２７がはんだ付け等で接続されてもよい。このようにコア部２３３に帯状のコイル部材が巻回されてステータコイル２３６が形成されることにより、線状のコイル部材を巻回する場合に比べて、ステータコア２３２の溝部２３４にステータコイル２３６を隙間なく配置することができる。これにより、モータ２００の高性能化および小型化を図ることができる。

【0035】

図８は、一般的な真空ポンプ装置における吸気側圧力（Ｐａ）に対する排気速度（Ｌ／Ｍ）及び消費電力（Ｗ）を示す図である。一般的に、真空ポンプ装置では、吸気側圧力が大きいときには気体を圧縮するポンプロータの負荷が大きくなり、消費電力が大きくなると共に排気速度が低下する。そして、真空ポンプ装置では、高負荷時にも所望の排気性能を実現できるように、高負荷時を基準として装置の構成が決定される。しかし、真空ポンプ装置は、半導体の製造工程に設けられる場合等には、常に高負荷の環境で駆動されるのではなく、低負荷の環境で駆動される場合も多い。つまり、真空ポンプ装置は、消費電力の小さい環境で運転される場合も多い。

【0036】

図９は、消費電力（Ｗ）に対する真空ポンプ装置の効率（排気速度性能）を示す図である。図９中実線は本実施形態の真空ポンプ装置を示し、破線はステータコアが一般的な珪素鋼板で形成された比較例の真空ポンプ装置を示している。本実施形態の真空ポンプ装置１００では、一般的な珪素鋼板よりも電気抵抗の小さいアモルファス金属でステータコア２３２を形成しているので、モータ２００の鉄損を小さくすることができる。このため、図９に示すように、本実施形態の真空ポンプ装置１００では、比較例と比べて、特に消費電力が小さいときの効率を高くすることができる。このため、真空ポンプ装置が低負荷で運転されるときのエネルギ効率を向上することができ、効率の高い真空ポンプ装置を実現することができる。

【0037】

以上説明した本実施形態の真空ポンプ装置１００では、アモルファス金属が径方向に積層されてアモルファス金属体５２０が形成される。そして、アモルファス金属体５２２に溝部２３４が形成されることによってステータコア２３２が形成される。これにより、ステータコア２３２のコア部２３３は、アモルファス金属が径方向に積層されて形成されるので、モータ２００の鉄損をより小さくすることができる。また、ステータコア２３２の溝部２３４を、回転中心軸線ＡＲ１に垂直な直線ＡＣを中心とする平行な幅に形成することにより、溝部２３４を容易に形成することができると共にステータコイル２３６を溝部２３４に隙間なく配置することができる。さらに、本実施形態の真空ポンプ装置１００では、モータロータ２２０とモータステータ２３０とが回転中心軸線ＡＲ１に対向して設けられているので、真空ポンプ装置１００の高回転数化および小型化を図ることができる。

【0038】

（変形例）
上記した実施形態では、モータ２００は、一組のモータロータ２２０，モータステータ２３０を有するものとした。しかし、モータ２００は、モータロータ２２０及びモータステータ２３０の少なくとも一方を２つ以上有してもよい。図１０は、変形例のモータの概略構成を示す断面図である。変形例のモータ２００Ａでは、ポンプ主軸３００がステータ支持部２５３及びモータステータ２３０Ａを貫通して設けられ、ポンプ主軸３００に対して、２つのモータロータ２２０Ａ，２２０Ｂがモータステータ２３０Ａを挟むように取り付けられている。そして、モータステータ２３０Ａのステータコア２３２Ａには、回転中心軸線ＡＲ１方向の両方の端面に溝部が形成されてステータコイル２３６が設けられている。こうした構成により、モータ２００の高性能化を図ったり、モータ２００の径方向の小型化を図ったりすることができる。また、２つのモータロータ２２０Ａ，２２０Ｂによってモータステータ２３０を挟むことにより、モータ２００の駆動時にポンプ主軸３００が回転中心軸線ＡＲ１の一方向に付勢されるのを抑制することができ、モータロータ２２０及びポンプ主軸３００を安定して回転させることができる。なお、モータ２００は、モータステータ２３０がモータロータ２２０に挟まれるものに代えて、又は加えて、モータロータ２２０がモータステータ２３０に挟まれるように構成されてもよい。

【0039】

以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、上記した発明の実施の形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定するものではない。本発明は、
その趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得るとともに、本発明にはその均等物が含まれることはもちろんである。また、上述した課題の少なくとも一部を解決できる範囲、または、効果の少なくとも一部を奏する範囲において、実施形態および変形例の任意の組み合わせが可能であり、特許請求の範囲および明細書に記載された各構成要素の任意の組み合わせ、または、省略が可能である。

【符号の説明】

【0040】

１００ 真空ポンプ装置
２００ モータ
２２０ モータロータ
２３０ モータステータ
２３２ ステータコア
２３３ コア部
２３４ 溝部
２３６ ステータコイル
３００，４００ ポンプ主軸
３１０，４１０ ポンプロータ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】