特許 6703463 調整方法及び装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6703463

(24)【登録日】2020年5月12日

(45)【発行日】2020年6月3日

(54)【発明の名称】調整方法及び装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/301 20060101AFI20200525BHJP

   B24B 49/12 20060101ALI20200525BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/78 C

   B24B49/12

【請求項の数】2

【全頁数】11

(21)【出願番号】特願2016-178859(P2016-178859)

(22)【出願日】2016年9月13日

(65)【公開番号】特開2018-46110(P2018-46110A)

(43)【公開日】2018年3月22日

【審査請求日】2019年7月25日

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】100075384

【弁理士】

【氏名又は名称】松本 昂

(74)【代理人】

【識別番号】100172281

【弁理士】

【氏名又は名称】岡本 知広

(74)【代理人】

【識別番号】100206553

【弁理士】

【氏名又は名称】笠原 崇廣

(72)【発明者】

【氏名】宮田 諭

【審査官】 宮久保 博幸

(56)【参考文献】

【文献】 実開平０６−０８４４１２（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特開平１１−１６７０６８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−０８８８８１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２００９／０８１７４６（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 米国特許出願公開第２０１０／０２６９６５０（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／３０１

Ｂ２４Ｂ ４９／１２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ワークピースを保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持されたワークピースを撮像して撮像画像を形成する撮像手段と、該撮像手段により形成された撮像画像を表示する表示手段と、を備える装置において、該撮像手段の向きを調整する調整方法であって、
ワークピースを該保持テーブルで保持するとともに、ワークピースに設定され所定の方向に伸長するマークの伸長方向と該装置が有する座標系の第１方向とを一致させる保持ステップと、
該保持ステップを実施した後、該保持テーブルに保持されたワークピースの該マークを撮像して撮像画像を形成する撮像画像形成ステップと、
該撮像画像形成ステップで形成した該撮像画像を、該第１方向を示すための目印が表示される該表示手段で表示する表示ステップと、
該撮像手段の向きを変更して、該表示手段に表示された該撮像画像内の該マークの伸長方向を該目印の示す方向に一致させる向き調整ステップと、を備え、
該向き調整ステップでは、該目印の示す方向と該撮像画像内の該マークの伸長方向とのなす角度が減少すると、該装置が所定の通知を行うことを特徴とする調整方法。

【請求項2】

ワークピースを保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持されたワークピースを撮像して撮像画像を形成する撮像手段と、該撮像手段により形成された撮像画像を表示する表示手段と、制御手段と、を備え、
該表示手段には、装置が有する座標系の第１方向を示すための目印が表示され、
該制御手段は、
該撮像手段によって形成された撮像画像を画像処理して、ワークピースに設定され所定の方向に伸長するマークを該撮像画像内で検出する検出部と、
該検出部で検出した該マークの伸長方向と該目印の示す方向とのなす角度を算出する角度算出部と、
該角度算出部により算出される角度が減少すると所定の通知を行う通知部と、を有することを特徴とする装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、撮像ユニットの向きを調整する際に用いられる調整方法、及びこの調整方法に適した装置に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体ウェーハやパッケージ基板に代表される板状のワークピースを加工する際には、例えば、環状の切削ブレードを備える切削装置等の加工装置が使用される。高速に回転させた切削ブレードをワークピースに対して切り込ませながら、切削ブレードとワークピースとを相対的に移動させることで、この移動の経路に沿ってワークピースを加工できる。

【0003】

上述の加工装置や、ワークピースの検査に使用される検査装置には、ワークピースを撮像して画像（撮像画像）を形成するための撮像ユニット（撮像手段）が設けられている。この撮像ユニットの下方には、顕微鏡（対物レンズ）が連結されている。加工装置や検査装置等は、撮像ユニットでワークピースを撮像して得られる画像に基づいて、例えば、加工予定ライン（ストリート）の位置を認識する。

【0004】

加工や検査の対象となるワークピースの種類等を変更する場合等には、併せて、撮像ユニットに連結されている顕微鏡を交換することがある。一方で、顕微鏡を交換する際に撮像ユニットの向きがずれると、モニター（表示手段）に映し出される画像も傾いてしまう。その場合には、例えば、モニターに映る画像を確認しながら撮像ユニットを回転させて、撮像ユニットの向きを調整していた（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】実開平６−８４４１２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかしながら、装置が備える構成要素の配置次第では、モニターに映る画像を確認しながら撮像ユニットを回転させることができない場合もある。その場合には、撮像ユニットの回転とモニターの確認とを交互に繰り返さなくてはならないので、調整作業の効率が悪かった。

【0007】

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、撮像ユニット（撮像手段）の向きを効率良く調整できる調整方法、及びこの調整方法に適した装置を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明の一態様によれば、ワークピースを保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持されたワークピースを撮像して撮像画像を形成する撮像手段と、該撮像手段により形成された撮像画像を表示する表示手段と、を備える装置において、該撮像手段の向きを調整する調整方法であって、ワークピースを該保持テーブルで保持するとともに、ワークピースに設定され所定の方向に伸長するマークの伸長方向と該装置が有する座標系の第１方向とを一致させる保持ステップと、該保持ステップを実施した後、該保持テーブルに保持されたワークピースの該マークを撮像して撮像画像を形成する撮像画像形成ステップと、該撮像画像形成ステップで形成した該撮像画像を、該第１方向を示すための目印が表示される該表示手段で表示する表示ステップと、該撮像手段の向きを変更して、該表示手段に表示された該撮像画像内の該マークの伸長方向を該目印の示す方向に一致させる向き調整ステップと、を備え、該向き調整ステップでは、該目印の示す方向と該撮像画像内の該マークの伸長方向とのなす角度が減少すると、該装置が所定の通知を行う調整方法が提供される。

【0009】

また、本発明の一態様によれば、ワークピースを保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持されたワークピースを撮像して撮像画像を形成する撮像手段と、該撮像手段により形成された撮像画像を表示する表示手段と、制御手段と、を備え、該表示手段には、装置が有する座標系の第１方向を示すための目印が表示され、該制御手段は、該撮像手段によって形成された撮像画像を画像処理して、ワークピースに設定され所定の方向に伸長するマークを該撮像画像内で検出する検出部と、該検出部で検出した該マークの伸長方向と該目印の示す方向とのなす角度を算出する角度算出部と、該角度算出部により算出される角度が減少すると所定の通知を行う通知部と、を有する装置が提供される。

【発明の効果】

【0010】

本発明の一態様に係る調整方法では、表示手段に表示された目印の示す方向と撮像画像内のワークピースが有するマークの伸長方向とのなす角度が減少すると、装置が所定の通知を行うので、この通知に合わせて撮像手段の向きを変更することで、必ずしも表示手段を確認することなく撮像手段の向きを調整できる。つまり、撮像手段の向きを変更する際に表示手段を確認しなくて良いので、撮像手段の向きを効率良く調整できる。

【0011】

また、本発明の一態様に係る装置は、ワークピースに設定されるマークを撮像画像内で検出する検出部と、検出部で検出したマークの伸長方向と表示手段に表示された目印の示す方向とのなす角度を算出する角度算出部と、角度算出部で算出される角度が減少すると所定の通知を行う通知部と、を有するので、本発明の一態様に係る調整方法を適切に遂行できる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】加工装置の構成例を模式的に示す斜視図である。

【図2】カメラの構成例を模式的に示す分解斜視図である。

【図3】カメラの構成例を模式的に示す側面図である。

【図4】撮像画像形成ステップ、表示ステップ、及び向き調整ステップを説明するための図である。

【図5】図５（Ａ）は、向き調整ステップが開始される第１タイミングでのモニターを模式的に示す正面図であり、図５（Ｂ）は、第１タイミングの後の第２タイミングでのモニターを模式的に示す正面図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。図１は、本実施形態に係る加工装置の構成例を模式的に示す斜視図である。なお、本実施形態では、ワークピース（被加工物）を切削する加工装置（切削装置）を例示するが、本発明に係る装置は、例えば、ワークピースをレーザービームで加工するレーザー加工装置や、ワークピースを検査する検査装置等でも良い。

【0014】

図１に示すように、加工装置（装置、切削装置）２は、各構造を支持する基台４を備えている。基台４の上方には、カバー６が取り付けられている。カバー６の内側には、空間が形成されており、ワークピース（被加工物）１１を加工するための加工ユニット（切削ユニット）８等が収容される。

【0015】

ワークピース１１は、例えば、シリコン等の半導体材料でなる円形のウェーハであり、その表面側は、中央のデバイス領域と、デバイス領域を囲む外周余剰領域とに分けられている。デバイス領域は、格子状に配列された分割予定ライン（ストリート）でさらに複数の領域に区画されており、各領域には、ＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスが形成されている。

【0016】

ワークピース１１の裏面側には、ワークピース１１よりも径の大きい円形のダイシングテープ１３が貼付されている。ダイシングテープ１３の外周部分は、環状のフレーム１５に固定されている。すなわち、ワークピース１１は、ダイシングテープ１３を介してフレーム１５に支持されている。

【0017】

なお、本実施形態では、シリコン等の半導体材料でなる円形のウェーハをワークピース１１としているが、ワークピース１１の材質、形状、構造等に制限はない。例えば、セラミックス、樹脂、金属等の材料でなる基板をワークピース１１として用いることもできる。デバイスの種類、数量、配置等にも制限はない。

【0018】

加工ユニット８は、回転軸となるスピンドル（不図示）を備えている。スピンドルの一端側には、環状の切削ブレード１０が装着されている。スピンドルの他端側には、モータ等の回転駆動源（不図示）が連結されており、切削ブレード１０は、この回転駆動源から伝達される力によって回転する。

【0019】

加工ユニット８の横には、ワークピース１１を撮像するためのカメラ１２が設けられている。加工ユニット８及びカメラ１２は、ともに移動機構（不図示）に支持されており、前後方向（Ｙ軸方向、割り出し送り方向）及び鉛直方向（Ｚ軸方向）に移動する。

【0020】

加工ユニット８及びカメラ１２の下方には、ワークピース１１を保持するためのチャックテーブル（保持テーブル）１４が設けられている。チャックテーブル１４の周囲には、ワークピース１１を支持する環状のフレーム１５を四方から固定するための４個のクランプ１６が配置されている。

【0021】

チャックテーブル１４及びクランプ１６は、チャックテーブル移動機構（不図示）に支持されており、左右方向（Ｘ軸方向、加工送り方向）に移動する。また、チャックテーブル１４の下方には、モータ等の回転駆動源（不図示）が連結されており、チャックテーブル１４及びクランプ１６は、この回転駆動源によって鉛直方向に概ね平行な回転軸の周りに回転する。

【0022】

チャックテーブル１４の上面は、ワークピース１１等を吸引、保持する保持面になっている。この保持面は、チャックテーブル１４に形成された吸引路（不図示）等を通じて吸引源（不図示）に接続されている。

【0023】

基台４の前方の角部には、鉛直方向に移動するカセットエレベーター１８が設けられている。カセットエレベーター１８の上面には、複数のワークピース１１を収容できるカセット（不図示）が載せられる。カセットエレベーター１８は、ワークピース１１を適切に搬出、搬入できるように、カセットの高さ（鉛直方向の位置）を調整する。

【0024】

カバー６の前面６ａには、ユーザーインターフェースとなるタッチパネル式のモニター（表示手段）２０が設けられている。このモニター２０の横には、スピーカー２２が配置されている。また、カバー６の上面６ｂには、表示灯２４が設けられている。加工ユニット８、カメラ１２、チャックテーブル１４、カセットエレベーター１８、モニター２０、スピーカー２２、表示灯２４等の構成要素は、制御ユニット（制御手段）２６（図４参照）に接続される。なお、制御ユニット２６の具体的な機能等については後述する。

【0025】

次に、カメラ１２の詳細について説明する。図２は、カメラ１２の構成例を模式的に示す分解斜視図であり、図３は、カメラ１２の構成例を模式的に示す側面図である。図２及び図３に示すように、カメラ１２は、チャックテーブル１４に保持されるワークピース１１を拡大した像を形成するための顕微鏡３２を備えている。

【0026】

顕微鏡３２は、例えば、四角柱状の筐体３４を含む。筐体３４の下面には、下向きに突出する円筒状の鏡筒３６が設けられている。この鏡筒３６には、例えば、対物レンズが収容される。一方で、筐体３４の上面側には、円形の開口３２ａが設けられている。また、開口３２ａの周囲には、複数のねじ穴３２ｂが配置されている。

【0027】

顕微鏡３２の開口３２ａには、連結部材３８が取り付けられる。連結部材３８は、円盤状のフランジ部４０と、フランジ部４０から下向きに突出する円筒状のボス部４２とで構成されている。ボス部４２を開口３２ａに挿入することで、連結部材３８を顕微鏡３２に取り付けることができる。

【0028】

連結部材３８には、フランジ部４０及びボス部４２を鉛直方向に貫通する円形の貫通穴３８ａが設けられている。また、貫通穴３８ａの周囲には、フランジ部４０を鉛直方向に貫通する複数の貫通穴３８ｂが設けられている。この貫通穴３８ｂは、顕微鏡３２のねじ穴３２ｂに対応する位置に配置される。

【0029】

開口３２ａにボス部４２を挿入した上で、貫通穴３８ｂを通じてねじ穴３２ｂにねじ４４を締め込めば、連結部材３８を顕微鏡３２に固定できる。なお、フランジ部４０の外周面には、内側の貫通穴３８ａに達する複数のねじ穴（不図示）が設けられている。このねじ穴には、ねじ４６が締め込まれる。

【0030】

連結部材３８には、ワークピース１１を撮像するための撮像ユニット（撮像手段）４８が接続される。撮像ユニット４８は、例えば、四角柱状の筐体５０を含む。筐体５０の下面には、下向きに突出する円筒状の連結部５２が設けられている。連結部５２を連結部材３８の貫通穴３８ａに挿入した上で、ねじ４６を締め込めば、撮像ユニット４８を連結部材３８に固定できる。

【0031】

筐体５０には、顕微鏡３２によって結像される像を撮像して画像（撮像画像）を形成するための撮像素子が収容されている。撮像素子は、例えば、ＣＣＤイメージセンサやＣＭＯＳイメージセンサ等であり、撮像によって形成した画像を外部に出力する。モニター２０は、配線５４等を介して撮像素子に接続されており、撮像素子から出力される画像を表示する。なお、このモニター２０には、例えば、Ｘ軸方向を示すための目印Ｌ１（図４等参照）が表示される。

【0032】

次に、本実施形態に係る調整方法について説明する。本実施形態に係る調整方法では、まず、ワークピース１１をチャックテーブル１４で保持する保持ステップを行う。この保持ステップでは、例えば、ワークピース１１の裏面に貼付されたダイシングテープ１３をチャックテーブル１４の保持面に接触させて、吸引源の負圧を作用させる。併せて、環状のフレーム１５をクランプ１６で固定する。これにより、ワークピース１１は、表面側が上方に露出した状態でチャックテーブル１４に保持される。

【0033】

ワークピース１１をチャックテーブル１４で保持した後には、例えば、チャックテーブル１４を回転させて、ワークピース１１に設定された所定の分割予定ラインの伸長方向と、加工装置２が有する座標系のＸ軸方向とを一致させる。チャックテーブル１４の回転は、例えば、θ合わせ等と呼ばれる方法で行われる。

【0034】

θ合わせでは、まず、ワークピース１１の複数の領域をカメラ１２で撮像し、形成される画像を用いて、例えば、所定の分割予定ラインの両端の２点を指定する。加工装置２の制御ユニット２６は、指定された２点のＸ座標が同じになるようにチャックテーブルの回転量を計算した上で、この回転量に基づきチャックテーブル１４を回転させる。なお、所定の分割予定ラインの伸長方向がＸ軸方向に一致するように、作業者がモニター２０を見ながらチャックテーブル１４を手動で回転させても良い。

【0035】

なお、本実施形態では、所定の分割予定ラインの伸長方向をＸ軸方向に一致させているが、任意のマーク（分割予定ライン以外のマークも含む）の伸長方向を加工装置２の任意の方向（第１方向）に一致させても良い。例えば、所定の分割予定ラインの伸長方向をＹ軸方向に一致させることもできる。この場合には、Ｙ軸方向を示すための目印をモニター２０に表示すると良い。

【0036】

また、例えば、ワークピース１１に切削ブレード１０を切り込ませて形成した溝をマークとして利用することもできる。なお、チャックテーブル１４に保持された状態でワークピース１１に形成される溝の伸長方向は、通常、加工送り方向であるＸ軸方向に一致する。よって、溝の伸長方向をＸ軸方向に一致させたい場合には、改めてチャックテーブル１４を回転させる必要はない。

【0037】

保持ステップの後には、チャックテーブル１４に保持されたワークピース１１の所定の分割予定ラインをカメラ１２で撮像して画像を形成する撮像画像形成ステップを行う。図４は、撮像画像形成ステップ等を説明するための図である。撮像画像形成ステップでは、例えば、カメラ１２の位置を所定の分割予定ライン上に合わせて、この分割予定ラインをカメラ１２で撮像する。これにより、所定の分割予定ラインが映った画像を形成できる。

【0038】

撮像画像形成ステップの後には、形成された画像をモニター２０で表示する表示ステップを行う。上述のように、モニター２０には、配線５４等を介して撮像ユニット４８の撮像素子が接続されている。よって、撮像ユニット４８で形成された画像は、モニター２０に表示される。本実施形態では、所定の分割予定ラインをカメラ１２で撮像して画像を形成するので、図４に示すように、モニター２０には、対象の分割予定ラインＬ２を含む画像が表示される。

【0039】

なお、このモニター２０には、Ｘ軸方向（加工装置２の任意の方向（第１方向））を示すための目印Ｌ１が併せて表示される。この目印Ｌ１は、例えば、制御ユニット２６により、画像の横方向と平行に設定される。ただし、目印Ｌ１の態様に制限はない。

【0040】

上述した保持ステップでは、ワークピース１１に設定された所定の分割予定ラインの伸長方向と、加工装置２が有する座標系のＸ軸方向とを一致させている。よって、分割予定ラインＬ２の伸長方向は、Ｘ軸方向に一致する。図４に示すように、画像の横方向に相当する目印Ｌ１と、Ｘ軸方向に相当する分割予定ラインＬ２の伸長方向とが一致しないのは、撮像ユニット４８の向きにずれがあるためである。

【0041】

目印Ｌ１と分割予定ラインＬ２の伸長方向とが一致しない場合には、撮像ユニット４８の向きを変更して、目印Ｌ１と分割予定ラインＬ２の伸長方向とを一致させる向き調整ステップを行う。具体的には、例えば、ねじ４６を緩めた状態で、撮像ユニット４８を連結具３８（顕微鏡３２）に対して回転させる。なお、この向き調整ステップの間には、上述した撮像画像形成ステップ及び表示ステップを、例えば、１秒当たり数回〜３０回程の頻度で繰り返し行い、モニター２０に表示される画像を更新し続けることが望ましい。

【0042】

図５（Ａ）は、向き調整ステップが開始される第１タイミングでのモニター２０を模式的に示す正面図である。例えば、第１タイミングで図５（Ａ）に示すような画像Ａが得られた後には、画像Ａ中の分割予定ラインＬ２を、制御ユニット２６内の画像処理部（検出部）２６ａで検出する。具体的には、画像Ａに対してエッジ検出処理等の画像処理を施し、画像Ａ中で分割予定ラインＬ２の位置を特定する。

【0043】

画像Ａ中の分割予定ラインＬ２を検出した後には、目印Ｌ１と分割予定ラインＬ２の伸長方向とのなす角度θ１を、制御ユニット２６内の演算部（角度算出部）２６ｂで算出する。本実施形態では、画像Ａの横方向に合わせて目印Ｌ１が設定されているので、演算部２６ｂは、画像Ａの横方向に対して分割予定ラインＬ２のなす角度θ１を算出する。算出された角度θ１は、制御ユニット２６内の記憶部２６ｃに記憶される。

【0044】

図５（Ｂ）は、第１タイミングの後の第２タイミングでのモニター２０を模式的に示す正面図である。第１タイミングの後の第２タイミングで図５（Ｂ）に示すような画像Ｂが得られた後には、同様の手順で画像Ｂ中の分割予定ラインＬ２を検出し、目印Ｌ１と分割予定ラインＬ２の伸長方向とのなす角度θ２を算出する。

【0045】

すなわち、画像処理部２６ａによって、画像Ｂ中の分割予定ラインＬ２の位置を特定する。分割予定ラインＬ２を検出した後には、演算部２６ｂによって、目印Ｌ１と分割予定ラインＬ２の伸長方向とのなす角度θ２を算出する。算出された角度θ２は、制御ユニット２６内の記憶部２６ｃに記憶される。

【0046】

その後、演算部２６ｂは、角度θ１と角度θ２との大小を比較する。そして、制御ユニット２６内の通知部２６ｄは、演算部２６ｂでの比較の結果に応じた通知を行う。例えば、通知部２６ｄは、角度θ１よりも角度θ２が小さい場合、つまり、目印Ｌ１と分割予定ラインＬ２の伸長方向とのなす角度が減少した場合に、スピーカー２２から音を発生させる。

【0047】

これにより、撮像ユニット４８の向きを調整する作業者は、モニター２０を見なくても撮像ユニット４８の向きが適切な方向に近づいているか否かを確認できる。よって、撮像ユニット４８の向きを効率良く調整できる。なお、このような音による聴覚的な通知を行う場合には、例えば、角度θ２がゼロに近づくにつれて（つまり、撮像ユニット４８の向きが適切な方向に近づくにつれて）大きな音を発生させると良い。

【0048】

一方で、角度θ２がゼロから離れる場合には（つまり、撮像ユニット４８の向きが適切な方向から離れる場合には）、音を小さくしても良い。このように、角度θ２に合わせて音の大きさを変更することで、作業者は、撮像ユニット４８の向きと適切な方向との関係を容易に把握できるようになる。

【0049】

また、音による通知を行う場合には、角度θ２がゼロに近づくにつれて高い音（又は低い音）を発生させても良い。一方で、角度θ２がゼロから離れる場合には（つまり、撮像ユニット４８の向きが適切な方向から離れる場合には）、角度θ２がゼロに近づく場合とは反対の方向に音の周波数を変化させても良い。角度θ２に合わせて音の高さ（周波数）を変更することで、作業者は、撮像ユニット４８の向きと適切な方向との関係を容易に把握できるようになる。

【0050】

なお、通知部２６ｄによる通知は、必ずしも音によらなくて良い。例えば、作業者がモニター２０や表示灯２４を確認できる状況では、これらを利用する視覚的な通知を行っても良い。具体的には、例えば、モニター２０に角度θ２の値を表示する、モニター２０に角度θ２の大きさを示すグラフを表示する、モニター２０の画面の色の濃淡や明暗等を変更する、モニター２０の画面の透過処理の透明度を変更する、表示灯２４を発光させる（光量を変更する）、表示灯２４を点滅させる（点滅の周期を変更する）、等の方法が選択される。

【0051】

この場合には、撮像ユニット４８の向きと適切な方向との関係をより明確な方法で確認できるので、目印Ｌ１と分割予定ラインＬ２の伸長方向との一致を目で見て確認する場合に比べて、作業者の負荷が減り、また、撮像ユニット４８の向きを高い精度で調整し易くなる。

【0052】

なお、作業者がモニター２０や表示灯２４を確認できない状況では、携帯電話やスマートフォンのモニター等を利用して視覚的な通知を行っても良い。この場合、通知部２６ｄは、作業者の持つ携帯電話やスマートフォンに対して、モニターの表示を変更するように指示を出す。これにより、加工装置２のモニター２０や表示灯２４を確認できない状況でも、作業者は、撮像ユニット４８の向きが適切な方向に近づいているか否かを視覚的に確認できる。

【0053】

更に、携帯電話やスマートフォンの振動機能等を利用して触覚的な通知を行うこともできる。この場合、通知部２６ｄは、作業者の携帯電話やスマートフォンに対して、振動の状態を変更するように指示を出す。具体的には、例えば、振動を発生させる、振動の強度を変更する、振動の周期を変更する、等の方法を選択できる。

【0054】

また、上述した複数の方法を組み合わせた通知を行っても良い。この場合には、１つの方法を用いて通知を行う場合等に比べて、撮像ユニット４８の向きを高い精度で調整し易くなる。

【0055】

以上のように、本実施形態に係る調整方法では、モニター（表示手段）２０に表示された目印Ｌ１の示す方向と画像（撮像画像）内のワークピース１１が有する分割予定ラインＬ２（マーク）の伸長方向とのなす角度が減少すると、加工装置２が所定の通知を行うので、この通知に合わせて撮像ユニット（撮像手段）４８の向きを変更することで、必ずしもモニター２０を確認することなく撮像ユニット４８の向きを調整できる。つまり、撮像ユニット４８の向きを変更する際にモニター２０を確認しなくて良いので、撮像ユニットの向きを効率良く調整できる。

【0056】

また、本実施形態に係る加工装置（装置、切削装置）２は、ワークピース１１に設定される分割予定ラインＬ２を画像内で検出する画像処理部（検出部）２６ａと、画像処理部２６ａで検出した分割予定ラインＬ２の伸長方向とモニター２０に表示された目印Ｌ１の示す方向とのなす角度を算出する演算部（角度算出部）２６ｂと、演算部２６ｂで算出される角度が減少すると所定の通知を行う通知部２６ｄと、を有するので、本実施形態に係る調整方法を適切に遂行できる。

【0057】

上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

【符号の説明】

【0058】

２ 加工装置（装置、切削装置）
４ 基台
６ カバー
６ａ 前面
６ｂ 上面
８ 加工ユニット（切削ユニット）
１０ 切削ブレード
１２ カメラ
１４ チャックテーブル（保持テーブル）
１６ クランプ
１８ カセットエレベーター
２０ モニター（表示手段）
２２ スピーカー
２４ 表示灯
２６ 制御ユニット（制御手段）
２６ａ 画像処理部（検出部）
２６ｂ 演算部（角度算出部）
２６ｃ 記憶部
２６ｄ 通知部
１１ ワークピース（被加工物）
１３ ダイシングテープ
１５ フレーム
Ａ，Ｂ 画像
Ｌ１ 目印
Ｌ２ 分割予定ライン

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】