特許 6704781 シリコンウェーハ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6704781

(24)【登録日】2020年5月15日

(45)【発行日】2020年6月3日

(54)【発明の名称】シリコンウェーハ

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/322 20060101AFI20200525BHJP

   C30B 29/06 20060101ALI20200525BHJP

   C30B 33/02 20060101ALI20200525BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/322 Y

   C30B29/06 A

   C30B33/02

【請求項の数】5

【全頁数】13

(21)【出願番号】特願2016-89272(P2016-89272)

(22)【出願日】2016年4月27日

(65)【公開番号】特開2017-199788(P2017-199788A)

(43)【公開日】2017年11月2日

【審査請求日】2018年11月8日

(73)【特許権者】

【識別番号】312007423

【氏名又は名称】グローバルウェーハズ・ジャパン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100130513

【弁理士】

【氏名又は名称】鎌田 直也

(74)【代理人】

【識別番号】100074206

【弁理士】

【氏名又は名称】鎌田 文二

(74)【代理人】

【識別番号】100130177

【弁理士】

【氏名又は名称】中谷 弥一郎

(74)【代理人】

【識別番号】100187827

【弁理士】

【氏名又は名称】赤塚 雅則

(72)【発明者】

【氏名】前田 進

(72)【発明者】

【氏名】番場 博則

(72)【発明者】

【氏名】須藤 治生

(72)【発明者】

【氏名】岡村 秀幸

(72)【発明者】

【氏名】荒木 浩司

(72)【発明者】

【氏名】末岡 浩治

(72)【発明者】

【氏名】中村 浩三

【審査官】 柴山 将隆

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００５−３１１２００（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特表２００９−５２４２２７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特表２００７−５３４５７９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 Tomas Hallberg，Enhanced oxygen precipitation in electron irradiated silicon，Journal of Applied Physics，１９９２年，Vol.72 No.11，Page.5130-5138

【文献】 FALSTER R，On the Properties of the Intrinsic Point Defects in Silicon: A Perspective from Crystal Growth and W，Phys Status Solidi B，２０００年，Vol.222，Page.219-244

【文献】 AKATSUKA M，Effect of Rapid Thermal Annealing on Oxygen Precipitation Behavior in Silicon Wafers，Jpn. J. Appl. Phys.，２００１年，Vol.40，Page.3055-3062

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／３２２

Ｃ３０Ｂ ２９／０６

Ｃ３０Ｂ ３３／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

空孔と酸素の複合体である空孔酸素複合体の濃度が、１．０×１０^１２／ｃｍ^３未満の最表層のデヌーデッドゾーン（１０）と、
前記デヌーデッドゾーン（１０）のウェーハ深さ方向内側に隣り合って形成され、前記デヌーデッドゾーン（１０）側から厚さ方向内側に向かって、前記空孔酸素複合体の濃度が１．０×１０^１２／ｃｍ^３以上、５．０×１０^１２／ｃｍ^３未満の範囲で次第に増加する、前記デヌーデッドゾーン（１０）の幅ｔ_ＤＺに対応して幅ｔ_Ｉが決められる中間層（１１）と、
前記中間層（１１）のウェーハ深さ方向内側に隣り合って形成され、前記空孔酸素複合体の濃度が、５．０×１０^１２／ｃｍ^３以上のバルク層（１２）と、
を備え、
前記デヌーデッドゾーン（１０）の幅ｔ_ＤＺと前記中間層（１１）の幅ｔ_Ｉとの間に、前記デヌーデッドゾーン（１０）の幅ｔ_ＤＺが３μｍ以上１０μｍ未満の範囲で、ｔ_Ｉ≦（２．６ｔ_ＤＺ＋６４）μｍの関係が成立するシリコンウェーハ。

【請求項2】

前記デヌーデッドゾーン（１０）の幅ｔ_ＤＺと前記中間層（１１）の幅ｔ_Ｉとの間に、前記デヌーデッドゾーン（１０）の幅ｔ_ＤＺが１０μｍ以上１００μｍ未満の範囲で、ｔ_Ｉ≦（０．３ｔ_ＤＺ＋８７）μｍの関係が成立する請求項１に記載のシリコンウェーハ。

【請求項3】

前記デヌーデッドゾーン（１０）の幅ｔ_ＤＺが１０μｍ以上１００μｍ以下の範囲で、４３μｍ≦ｔ_Ｉの関係が成立する請求項２に記載のシリコンウェーハ。

【請求項4】

前記中間層（１１）における前記空孔酸素複合体の濃度のウェーハ深さ方向変化量の最大値が、５．０×１０^１１／ｃｍ^３・μｍ以上である請求項１から３のいずれか１項に記載のシリコンウェーハ。

【請求項5】

空孔と酸素の複合体である空孔酸素複合体の濃度が、１．０×１０^１２／ｃｍ^３未満の最表層のデヌーデッドゾーン（１０）と、
前記デヌーデッドゾーン（１０）のウェーハ深さ方向内側に隣り合って形成され、前記デヌーデッドゾーン（１０）側から厚さ方向内側に向かって、前記空孔酸素複合体の濃度が１．０×１０^１２／ｃｍ^３以上、５．０×１０^１２／ｃｍ^３未満の範囲で次第に増加する、前記デヌーデッドゾーン（１０）の幅ｔ_ＤＺに対応して幅ｔ_Ｉが決められる中間層（１１）と、
前記中間層（１１）のウェーハ深さ方向内側に隣り合って形成され、前記空孔酸素複合体の濃度が、５．０×１０^１２／ｃｍ^３以上のバルク層（１２）と、
を備え、
前記中間層（１１）における前記空孔酸素複合体の濃度のウェーハ深さ方向変化量の最大値が、５．０×１０^１１／ｃｍ^３・μｍ以上であるシリコンウェーハ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

この発明は、表層に半導体デバイスが形成されるシリコンウェーハに関する。

【背景技術】

【0002】

近年の半導体デバイスの高集積化及び高性能化に伴って、その基板として使用されるシリコンウェーハ（以下において、ウェーハと略称する。）の高品質化が要求されている。

【0003】

具体的には、半導体デバイスが形成されるウェーハ表層のデヌーデッドゾーン（Ｄｅｎｕｄｅｄ Ｚｏｎｅ：以下において、ＤＺ層と略称する。）においては、シリコン結晶育成中にシリコン融液を入れる坩堝から溶け込んだ酸素とシリコンの化合物である酸素析出物や、結晶育成中にこの結晶中に導入された空孔の凝集体である空洞欠陥が全くないことが求められる。酸素析出物等はリーク電流源として作用し、半導体デバイスの電気特性を低下させる虞があり、空洞欠陥はウェーハの表面に凹状の窪みを形成し、この表面に形成した配線の断線の原因となる虞があるためである。

【0004】

その一方で、ＤＺ層よりも深いバルク層においては、所定密度以上の酸素析出物が析出していることが求められる。ＤＺ層の酸素析出物は、上記のように半導体デバイスの電気特性を低下させる一方で、バルク層の酸素析出物は、プロセス中にウェーハ表面に付着した重金属を捕獲するゲッタリング源として作用してデバイスの電気特性を向上するとともに、ウェーハの熱処理中の塑性変形を引き起こす転位の動きを固着する固着源として作用してウェーハの機械強度を向上するためである。

【0005】

酸素析出物の密度のウェーハ深さ方向分布は、ウェーハに施される高温での急速昇降温熱処理（Ｒａｐｉｄ Ｔｈｅｒｍａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓ：以下において、ＲＴＰと略称する。）によって形成された、点欠陥（特に空孔）のウェーハ深さ方向分布に大きく依存する。例えば、特許文献１においては、チョクラルスキー法で育成された結晶から切り出されたウェーハをアルゴン又は水素雰囲気中でＲＴＰを行っている（本文献の段落００３７参照）。このＲＴＰを行うことにより、ウェーハの表層に酸素析出物のないＤＺ層を形成することができるとともに、バルク領域に十分な密度の酸素析出物を析出させることができる（本文献の図７、図８参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２００９−１６８６４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

特許文献１においては、本文献の図１２〜図２１の写真から明らかなように、酸素析出物の析出評価を赤外散乱トモグラフ装置を用いて行っており、この評価結果に基づいて、酸素析出物が存在しないＤＺ幅を規定している。ところが、この赤外散乱トモグラフ装置によって検出できるのはサイズが約２５ｎｍ以上の酸素析出物であり、これよりも小さいサイズの酸素析出物は検出することが困難である。例えば、イメージセンサ用のデバイスにおいては、赤外散乱トモグラフ装置の検出下限以下のサイズの酸素析出物が、白キズと呼ばれるイメージセンサの画素不良の原因になる可能性があることが分かっており、赤外散乱トモグラフ装置では検出できない微小な酸素析出物の抑制が一層重要になっている。

【0008】

そこで、この発明は、ＤＺ層における酸素析出物の析出を抑制するとともに、バルク層における高いゲッタリング能を確保することを課題とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

上記の課題を解決するために、この発明においては、空孔と酸素の複合体である空孔酸素複合体の濃度が、１．０×１０^１２／ｃｍ^３未満の最表層のデヌーデッドゾーンと、前記デヌーデッドゾーンのウェーハ深さ方向内側に隣り合って形成され、前記デヌーデッドゾーン側から厚さ方向内側に向かって、前記空孔酸素複合体の濃度が１．０×１０^１２／ｃｍ^３以上、５．０×１０^１２／ｃｍ^３未満の範囲で次第に増加する、前記デヌーデッドゾーンの幅ｔ_ＤＺに対応して幅ｔ_Ｉが決められる中間層と、前記中間層のウェーハ深さ方向内側に隣り合って形成され、前記空孔酸素複合体の濃度が、５．０×１０^１２／ｃｍ^３以上のバルク層と、を備えたシリコンウェーハを構成した。

【0010】

空孔酸素複合体（以下において、ＶＯｘと略称する。）は、酸素析出物の析出挙動と密接に関連しており、ＶＯｘ濃度を１．０×１０^１２／ｃｍ^３未満とすることにより、デバイス特性に悪影響を及ぼし得る酸素析出物の析出を確実に抑制することができる。さらに、中間層のＶＯｘ濃度をＤＺ層側から厚さ方向内側に向かって、１．０×１０^１２／ｃｍ^３から５．０×１０^１２／ｃｍ^３まで次第に変化させて、ＶＯｘ濃度が５．０×１０^１２／ｃｍ^３以上のバルク層まで連続的かつ速やかに変化する層を構成することにより、ＤＺ層の表面に付着した重金属をバルク層まで速やかに導き、このバルク層で確実にゲッタリングすることができる。ＶＯｘ濃度のウェーハ深さ方向分布は、計算機シミュレーションや白金拡散処理後のＤＬＴＳ測定等の種々の手法により推定又は測定することができるが、実験的に測定するのは非常に手間を要する。

【0011】

前記構成においては、前記デヌーデッドゾーンの幅ｔ_ＤＺと前記中間層の幅ｔ_Ｉとの間に、前記デヌーデッドゾーンの幅ｔ_ＤＺが３μｍ以上１０μｍ未満の範囲で、ｔ_Ｉ≦（２．６ｔ_ＤＺ＋６４）μｍの関係が成立する構成とするのが好ましい。

【0012】

さらに、前記構成においては、前記デヌーデッドゾーンの幅ｔ_ＤＺと前記中間層の幅ｔ_Ｉとの間に、前記デヌーデッドゾーンの幅ｔ_ＤＺが１０μｍ以上１００μｍ未満の範囲で、ｔ_Ｉ≦（０．３ｔ_ＤＺ＋８７）μｍの関係が成立する構成とするのが好ましい。

【0013】

このように、中間層の幅ｔ_Ｉの上限を決めて、デヌーデッドゾーン（ＤＺ層）とバルク層を近接させる（つまり、中間層におけるＶＯｘ濃度の立ち上がりを急峻にする）ことによって、バルク層に析出した酸素析出物による重金属のゲッタリングを効率的に行うことができる。これにより、ＤＺ層に形成した半導体デバイスの電気特性の向上を図ることができる。

【0014】

前記構成においては、前記デヌーデッドゾーンの幅ｔ_ＤＺが１０μｍ以上１００μｍ以下の範囲で、４３μｍ≦ｔ_Ｉの関係が成立する構成とするのが好ましい。

【0015】

このように、中間層の幅の下限を決めることにより、ゲッタリング能を確保しつつ、ＤＺ層からバルク層にかけて酸素析出物の密度が急増して歪み応力が生じ、デバイス特性に不具合が生じるのを防止することができる。

【0016】

前記各構成においては、前記中間層における前記空孔酸素複合体の濃度のウェーハ深さ方向変化量の最大値が、５．０×１０^１１／ｃｍ^３・μｍ以上である構成とするのが好ましい。

【0017】

このように、空孔酸素複合体の濃度の深さ方向変化量の最大値を上記の値以上とすることにより、中間層における空孔酸素複合体の濃度の立ち上がりを急峻にして、ＤＺ層の直下におけるゲッタリングを有効に機能させることができる。

【発明の効果】

【0018】

この発明では、空孔と酸素の複合体である空孔酸素複合体（ＶＯｘ）の濃度が、１．０×１０^１２／ｃｍ^３未満の表層のデヌーデッドゾーン（ＤＺ層）と、前記デヌーデッドゾーンのウェーハ深さ方向内側に隣り合って形成され、前記デヌーデッドゾーン側から厚さ方向内側に向かって、前記空孔酸素複合体の濃度が１．０×１０^１２／ｃｍ^３以上、５．０×１０^１２／ｃｍ^３未満の範囲で次第に増加する、前記デヌーデッドゾーンの幅ｔ_ＤＺに対応して幅ｔ_Ｉが決められる中間層と、前記中間層のウェーハ深さ方向内側に隣り合って形成され、前記空孔酸素複合体の濃度が、５．０×１０^１２／ｃｍ^３以上のバルク層と、を備えたシリコンウェーハを構成した。

【0019】

このように、ＤＺ層のＶＯｘ濃度を所定範囲内に限定して、ＤＺ層における酸素析出物の析出を抑制するとともに、バルク層のＶＯｘ濃度を所定値以上とし、高い密度の酸素析出物を析出させて高いゲッタリング能を確保することにより、ＤＺ層に形成した半導体デバイスのデバイス特性の向上を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【0020】

【図1】この発明に係るシリコンウェーハの層構造を示す縦断面図

【図2】ＤＺ層の幅と中間層の幅の関係を示す図

【図3】ウェーハ深さ方向のＶＯｘの分布を示すイメージ図であって、（ａ）はこの発明に係るウェーハ、（ｂ）は従来技術に係るウェーハ

【図4】熱処理シーケンスの一例を示す図

【図5】酸素析出物のウェーハ深さ方向分布を示す図であって、処理温度がいずれも１３５０℃、降温速度が（ａ）は１２０℃／秒、（ｂ）は５０℃／秒、（ｃ）は２５℃／秒、酸素分圧がいずれも１００％のとき

【図6】酸素析出物のウェーハ深さ方向分布を示す図であって、処理温度が（ａ）は１３００℃、（ｂ）は１２７５℃、（ｃ）は１２５０℃で、降温速度がいずれも２５℃／秒、酸素分圧がいずれも０％のとき

【図7】酸素析出物のウェーハ深さ方向分布を示す図であって、処理温度が（ａ）は１３００℃、（ｂ）は１２７５℃、（ｃ）は１２５０℃で、降温速度がいずれも１２０℃／秒、酸素分圧がいずれも０％のとき

【図8】図５〜図７に対応する熱処理条件におけるＶＯｘ濃度のシミュレーション結果を示す図

【図9】処理温度を１３５０〜１１５０℃（５０℃ピッチ）の５条件、昇温速度を７５℃／秒、降温速度を１２０、５０、２５、５℃／秒の４条件、酸素分圧を１００、５０、３０、１０、８、６、４、２、１、０％の１０条件で変化させたときのＶＯｘ濃度のウェーハ深さ方向分布のシミュレーション結果を示す図

【図10】図９に示したシミュレーションにおいて、ＶＯｘ濃度のウェーハ深さ方向変化量（ＶＯｘ濃度の深さ微分）のウェーハ深さ方向分布のシミュレーション結果を示す図

【発明を実施するための形態】

【0021】

この発明に係るシリコンウェーハ（ウェーハ）の縦断面図を図１に示す。このウェーハは、チョクラルスキー法で育成されたインゴットから切り出され、両面が鏡面研磨された上で、後述する熱処理シーケンス（図４参照）からなる急速昇降温熱処理（ＲＴＰ）が施されたものである。このウェーハの最表層には、空孔と酸素の複合体である空孔酸素複合体（ＶＯｘ）濃度が、１．０×１０^１２／ｃｍ^３未満のデヌーデッドゾーン１０（ＤＺ層）が形成されている。このＤＺ層１０の幅は、ウェーハに形成する半導体デバイスの種類に対応して決められ、３〜１００μｍの範囲内とされることが多い。

【0022】

ＤＺ層のＶＯｘ濃度は、上記のように１．０×１０^１２／ｃｍ^３未満に限定されている。このように、ＶＯｘ濃度を限定することにより、デバイス特性を低下させる虞のある酸素析出物がデバイス製造プロセス中にＤＺ層１０内に析出せず、半導体デバイスの高い特性を確保することができる。

【0023】

ＤＺ層１０のウェーハ深さ方向（図１中に示す矢印の方向。以下においても同じ。）内側には、このＤＺ層１０と隣り合うように、ＤＺ層１０側から厚さ方向内側に向かって、ＶＯｘ濃度が１．０×１０^１２／ｃｍ^３以上、５．０×１０^１２／ｃｍ^３未満の範囲で次第に増加する中間層１１が形成されている。後述するように、この中間層１１の幅ｔ_Ｉは、ＤＺ層１０の幅ｔ_ＤＺに対応して決められる。

【0024】

この中間層１１は、ＤＺ層１０から後述するバルク層１２にかけて、ＶＯｘ濃度が次第に変化する遷移領域である。デバイス製造プロセス中においてウェーハの表面に付着した重金属（汚染元素）は、この中間層１１を通ってＤＺ層１０からバルク層１２まで拡散し、バルク層１２内の酸素析出物によって捕獲（ゲッタリング）されて、ＤＺ層１０（デバイス活性領域）から除去される。重金属が速やかにバルク層１２まで拡散してゲッタリングが効率的に行われるために、中間層１１内のＶＯｘ濃度をＤＺ層１０側からバルク層１２側にかけて急峻に立ち上げて、この中間層１１の幅をできるだけ小さくするのが基本的に好ましい。特にこの効果は、シリコン結晶中での拡散係数が小さいため、デバイス製造プロセス中にＤＺ層１０からバルク層１２まで拡散で移動することが困難な重金属（例えば、モリブデン、タングステン、コバルト等）に対して有効になる。

【0025】

中間層１１のウェーハ深さ方向内側には、この中間層１１と隣り合うように、ＶＯｘ濃度が５．０×１０^１２／ｃｍ^３以上のバルク層１２が形成されている。ウェーハにデバイス製造プロセスが行なわれると、バルク層１２内には、重金属のゲッタリングを行うのに十分な密度の酸素析出物が析出する。このバルク層のＶＯｘ濃度は、ゲッタリングの観点からは高いほど好ましいが、ＶＯｘ濃度が高すぎて酸素析出物が析出過多となると、この酸素析出物がスリップ源となってウェーハの強度の点で問題が生じる虞があるため、その濃度を１．０×１０^１４／ｃｍ^３以下とするのが好ましい。

【0026】

ＤＺ層１０の幅ｔ_ＤＺと中間層１１の幅ｔ_Ｉの関係を図２に示す。中間層１１の幅ｔ_Ｉは、ＤＺ層１０の幅ｔ_ＤＺに対応して決められ、後述するように、ＤＺ層１０の幅ｔ_ＤＺの増加に伴って増加させるのが好ましい。

【0027】

図２に示す関係においては、ＤＺ層１０の幅ｔ_ＤＺと中間層１１の幅ｔ_Ｉとの間に、ＤＺ層１０の幅ｔ_ＤＺが３μｍ以上１０μｍ未満の範囲で、４３μｍ≦ｔ_Ｉ≦（２．６ｔ_ＤＺ＋６４）の関係（本図中の丸数字１及び３参照）が成立するとともに、ＤＺ層１０の幅ｔ_ＤＺが１０μｍ以上の範囲で、４３μｍ≦ｔ_Ｉ≦（０．３ｔ_ＤＺ＋８７）μｍ（本図中の丸数字１及び２参照）の関係が成立している。

【0028】

このように、ＤＺ層１０の幅ｔ_ＤＺに対応して中間層１１の幅ｔ_Ｉの上限を限定することにより、ＤＺ層１０とバルク層１２を近接させる（すなわち、中間層１１におけるＶＯｘ濃度の立ち上がりを急峻にする）ことができ、酸素析出物による重金属のゲッタリングを効率的に行うことができる。さらに、中間層１１の幅ｔ_Ｉの下限を限定することにより、ＤＺ層１０からバルク層１２にかけて酸素析出物の密度が急増して歪み応力が生じ、デバイス特性に不具合が生じるのを防止することができる。

【0029】

図２中のデータ点は、ウェーハに半導体デバイスを作成したときに、良好な電気特性が得られたものについて、そのウェーハに対して行われたＲＴＰのシーケンス（ＲＴＰの処理温度が１２５０〜１３５０℃、昇温速度が７５℃／秒、降温速度が２０〜１５０℃／秒、酸素分圧が４〜５０％の範囲内）と同じ条件で後述するシミュレーションを行い、そのシミュレーションによって得られたＤＺ層１０の幅ｔ_ＤＺと中間層１１の幅ｔ_Ｉとの関係をプロットしたものであり、各データ点は、ＤＺ層１０の幅ｔ_ＤＺによって決まる中間層１１の幅ｔ_Ｉの範囲内に含まれている。

【0030】

なお、図２において示した、ＤＺ層１０の幅ｔ_ＤＺが１０μｍ以上の範囲における中間層１１の幅ｔ_Ｉの上限（本図中の丸数字２参照）、及び、ＤＺ層１０の幅ｔ_ＤＺが３μｍ以上の範囲における中間層１１の幅ｔ_Ｉの下限（本図中の丸数字３参照）は必須ではなく、ＤＺ層１０の幅ｔ_ＤＺが３μｍ以上１０μｍ未満の範囲においてのみ上限、又は、上限及び下限の両方を決めてもよい。

【0031】

図３にＶＯｘ濃度のウェーハ深さ方向分布のイメージ図を示す。本図（ａ）はこの発明に係るウェーハ、（ｂ）は従来発明に係るウェーハにおける分布である。従来発明に係るウェーハにおいては、半導体デバイスを形成するＤＺ層内にＶＯｘ濃度が１．０×１０^１２／ｃｍ^３よりも高い領域（図３（ｂ）中に「ＮＧ」と示した領域）が存在していた。この領域では、デバイス製造プロセス中に微小な酸素析出物が析出し、この酸素析出物によって、高性能デバイスのライフタイム等の電気特性が低下する虞があった。

【0032】

これに対し、この発明に係るウェーハにおいては、ＤＺ層１０の深さ方向の全範囲に亘って、ＶＯｘ濃度を１．０×１０^１２／ｃｍ^３未満としたので、ＤＺ層１０での酸素析出物の析出が抑制される。しかも、ＶＯｘ濃度が中間層１１で急峻に立ち上がっており、この中間層１１よりもウェーハ深さ方向の内側に位置するバルク層１２で、効率的にゲッタリングを行うことができる。このため、半導体デバイスの高い特性を確保することができる。

【0033】

この発明に係るウェーハの熱処理シーケンス（ＲＴＰ）の一例を図４に示す。このＲＴＰは、急速昇降温が可能なランプアニール炉を用いて行われる。まず、所定温度Ｔ_１（例えば７００℃）から処理温度Ｔ_２まで、所定の昇温速度Ｒ_１で昇温し、この処理温度Ｔ_２で所定時間保持（例えば１５秒間）した。さらに、保持後に所定の降温速度Ｒ_２で所定温度Ｔ_３（例えば７００℃）まで降温した。この一連のＲＴＰは、酸素含有雰囲気中（酸素分圧が１％以上１００％以下の範囲）で行われた。このように、酸素含有雰囲気中でＲＴＰを行うことにより、このＲＴＰ中にウェーハの表面に酸化膜が形成され、この酸化膜とウェーハの界面からウェーハの内部に格子間シリコン原子が注入される。この格子間シリコン原子は、ＲＴＰによってウェーハに導入された空孔と対消滅し、ウェーハ表層のＶＯｘ濃度を低下させる作用を有している。

【0034】

さらに、このシーケンスでウェーハ内に形成されたＶＯｘ濃度分布と、実際の酸素析出物の析出状態との関係を評価するために、上記のシーケンス後に、ＲＴＰ後のウェーハに酸素析出物の顕在化熱処理（７８０℃３時間＋１０００℃１６時間の２段階熱処理）を行った。この顕在化熱処理後に、酸素析出物のウェーハ深さ方向分布を赤外散乱トモグラフ装置（ＭＯ４４１（株式会社レイテックス製））を用いて評価した。

【0035】

ウェーハを図４に示すシーケンス（処理温度Ｔ_２＝１３５０℃、昇温速度Ｒ_１＝７５℃／秒、降温速度Ｒ_２＝１２０、５０、２５℃／秒、酸素分圧１００％）で処理した後に、上記の顕在化熱処理を行ったときの酸素析出物のウェーハ深さ方向評価結果を図５に示す。本図（ａ）は降温速度Ｒ_２が１２０℃／秒のとき、（ｂ）は降温速度Ｒ_２が５０℃／秒のとき、（ｃ）は降温速度Ｒ_２が２５℃／秒のときの結果である。上記のシーケンスでウェーハを熱処理すると、ウェーハの表層に、酸素析出物が観察されないＤＺ層１０が形成された。このＤＺ層１０の幅は、降温速度Ｒ_２を大きくするほど狭くなった。このＤＺ層１０に半導体デバイスを形成してライフタイム等の電気特性を評価したところ、本図（ａ）から（ｃ）に示すいずれのウェーハも、良品基準以上の良好な特性を有していることが確認できたが、（ａ）、（ｂ）、（ｃ）の順で（すなわち、降温速度Ｒ_２が小さくなるほど）その特性は若干低下する傾向があった。これは、降温速度Ｒ_２が小さくなるほどＤＺ層１０の幅ｔ_ＤＺが広くなり、ゲッタリング能が低下するためと考えられる。

【0036】

昇温速度Ｒ_１は、５０℃／秒以上とするのが好ましく、７５℃／秒以上とするのがさらに好ましい。このようにすれば、ＲＴＰの昇温中に、ＲＴＰ前からウェーハ中に存在している酸素析出物の核（結晶製造時に発生）が成長して、ＲＴＰの処理温度での保持中に成長した酸素析出物が完全に溶け切らずにＤＺ層１０に残留するのを防止することができる。

【0037】

次に、図４に示すシーケンス（処理温度Ｔ_２＝１３００、１２７５、１２５０℃、昇温速度Ｒ_１＝７５℃／秒、降温速度Ｒ_２＝１２０、２５℃／秒、酸素分圧０％）で処理した後に上記の顕在化熱処理を行ったときの酸素析出物のウェーハ深さ方向評価結果を図６、図７に示す。図６は降温速度Ｒ_２がいずれも２５℃／秒で、（ａ）は処理温度Ｔ_２が１３００℃のとき、（ｂ）は処理温度Ｔ_２が１２７５℃のとき、（ｃ）は処理温度Ｔ_２が１２５０℃のときの結果であり、図７は降温速度Ｒ_２がいずれも１２０℃／秒で、（ａ）は処理温度Ｔ_２が１３００℃のとき、（ｂ）は処理温度Ｔ_２が１２７５℃のとき、（ｃ）は処理温度Ｔ_２が１２５０℃のときの結果である。図６、図７においても、ウェーハの表層に、酸素析出物が観察されないＤＺ層１０が形成された。

【0038】

このＤＺ層１０に半導体デバイスを形成してライフタイム等の電気特性を評価したところ、ライフタイムの低下等の不具合が判明した。これは、一見良好に見えるＤＺ層１０内に、赤外散乱トモグラフ装置等の一般的な検知手段では測定困難な微小酸素析出物（サイズが２５ｎｍ程度以下）が存在しており、この微小酸素析出物が半導体デバイスの不具合を引き起こしたためと考えられる。

【0039】

図４に示すシーケンスでＲＴＰを行った後のＶＯｘ濃度のウェーハ深さ方向分布と、酸素析出物の析出状態及びデバイス特性との関係を評価するために、ＲＴＰ後のＶＯｘ濃度のウェーハ深さ方向分布のシミュレーションを行った。このシミュレーションは、高温における空孔と格子間シリコン原子の生成、拡散、対消滅、窒素と空孔の複合体の形成等を考慮に入れた物理モデルに基づくものであって、シリコン結晶育成中の空孔及び格子間シリコン原子の挙動を精度よく説明できる空孔及び格子間シリコン原子の熱平衡濃度及び拡散定数を採用している。

【0040】

図５から図７に対応する熱処理条件で熱処理を行ったときのＶＯｘ濃度のウェーハ深さ方向分布のシミュレーション結果を図８に示す。本図中のＶを付したシミュレーション結果は図５に、ＶＩを付したシミュレーション結果は図６に、ＶＩＩを付したシミュレーション結果は図７にそれぞれ対応する。

【0041】

図８中においてＶＩ及びＶＩＩを付したシミュレーション結果から、処理温度Ｔ_２が高いほどＶＯｘ濃度が高くなることが分かった。これは、高温ほど空孔の熱平衡濃度が高くなり、ＲＴＰによって多くのＶＯｘがウェーハ内に凍結されることに起因する。

【0042】

また、図８中においてＶを付したシミュレーション結果から、降温速度Ｒ_２が大きくなるほどＤＺ層１０の幅が狭くなるとともに、ＶＯｘ濃度が急峻に立ち上がることが分かる。これは、降温速度Ｒ_２が大きくなるほど、空孔がＲＴＰ中にウェーハの表面側に外方拡散するための十分な時間が与えられず、ウェーハの表面近傍まで空孔（つまりＶＯｘ）の濃度が高い領域が残存することに起因する。

【0043】

さらに、図８中のＶとＶＩ及びＶＩＩのシミュレーション結果の対比から、酸素を含有する雰囲気（酸素分圧１００％）とすると、酸素を含有しない雰囲気（酸素分圧が０％）のときと比較して、ＤＺ層１０の幅が広くなることが分かった。これは、酸素含有雰囲気においては、ウェーハの表面に酸化膜が形成されて、この酸化膜とウェーハの界面から格子間シリコン原子がウェーハ表層に注入され、空孔とこの格子間シリコン原子が対消滅してＶＯｘ濃度が下がることに起因する。

【0044】

図５に示した降温速度Ｒ_２が１２０℃／秒（本図（ａ）参照）、５０℃／秒（本図（ｂ）参照）、２５℃／秒（本図（ｃ）参照）の各条件でＲＴＰを行ったウェーハに半導体デバイスを形成してその電気特性を評価したところ、いずれのウェーハにおいてもその表面に近い領域（約６０μｍよりも浅い領域）に形成した半導体デバイスの電気特性は非常に良好であった。これに対し、降温速度Ｒ_２が１２０℃／秒でＲＴＰを行ったウェーハは約６０μｍよりも深い領域、降温速度Ｒ_２が５０℃／秒でＲＴＰを行ったウェーハは約９０μｍよりも深い領域、降温速度Ｒ_２が２５℃／秒でＲＴＰを行ったウェーハは約１３０μｍよりも深い領域（図８中に「ＮＧ」と示した領域）に半導体デバイスを形成した場合、電気特性の低下傾向が確認できた。これは、その領域に、赤外散乱トモグラフ装置では検知できない微小酸素析出物が存在し、この微小酸素析出物に起因して電気特性が低下しているためと考えられる。この電気特性の結果から、ＶＯｘ濃度が１．０×１０^１２／ｃｍ^３未満の領域を電気特性の低下の虞がないＤＺ層１０と定めることができる。

【0045】

また、図５から図７に示す酸素析出物のウェーハ深さ方向評価結果と、図８に示すシミュレーション結果を対比すると、ＶＯｘ濃度が５．０×１０^１２／ｃｍ^３以上の領域で、酸素析出物が高密度に析出しており、酸素析出物の析出状態とＶＯｘ濃度の深さ方向分布が対応していることが確認できた。この酸素析出物の析出状態の結果から、ＶＯｘ濃度が５．０×１０^１２／ｃｍ^３以上の領域を酸素析出物が高密度に析出したバルク層１２と定めることができる。そして、ＤＺ層１０とバルク層１２との間のＶＯｘ濃度が１．０×１０^１２／ｃｍ^３以上、５．０×１０^１２／ｃｍ^３未満の領域を、ＶＯｘ濃度がバルク層１２側に向けて立ち上がる中間層１１と定めることができる。

【0046】

さらに、処理温度Ｔ_２を１３５０〜１１５０℃（５０℃ピッチ）の５条件、昇温速度Ｒ_１を７５℃／秒、降温速度Ｒ_２を１２０、５０、２５、５℃／秒の４条件、酸素分圧を１００、５０、３０、１０、８、６、４、２、１、０％の１０条件で変化させたときの（全ての条件を組み合わせると計２００条件）ＶＯｘ濃度のウェーハ深さ方向分布のシミュレーション結果を図９に、このシミュレーションにおけるＶＯｘ濃度のウェーハ深さ方向変化量（ＶＯｘの深さ微分）のウェーハ深さ方向分布のシミュレーション結果を図１０にそれぞれ示す。

【0047】

図９のシミュレーション結果によると、図８にて説明したのと同様に、降温速度Ｒ_２及び酸素分圧が一定の条件の下では、一部に例外はあるが、処理温度Ｔ_２が高くなるほどＶＯｘ濃度は高くなった。また、処理温度Ｔ_２及び酸素分圧が一定の条件の下では、降温速度Ｒ_２が大きくなるほどＶＯｘ濃度は高くなった。さらに、処理温度Ｔ_２及び降温速度Ｒ_２が一定の条件の下では、酸素分圧が高くなるほどＶＯｘ濃度は低くなった。

【0048】

上記のように、ＶＯｘ濃度が１．０×１０^１２／ｃｍ^３未満の領域をＤＺ層１０、１．０×１０^１２／ｃｍ^３以上５．０×１０^１２／ｃｍ^３未満の領域を中間層１１、５．０×１０^１２／ｃｍ^３以上の領域をバルク層１２と定めた場合、ＲＴＰによってこれらの各層１０、１１、１２が形成されるかどうか、及び、形成された場合の各層１０、１１、１２の厚さは、ＲＴＰの処理条件によって大きく変わる。

【0049】

図９に示すように、例えば、処理温度Ｔ_２＝１３５０℃、昇温速度Ｒ_１＝７５℃／秒、降温速度Ｒ_２＝１２０℃／秒、酸素分圧３０％の条件でＲＴＰを行うと、ウェーハには約１５μｍの厚さのＤＺ層１０が形成されるとともに、約５０μｍの厚さの中間層１１が形成される。また、処理温度１３５０℃、昇温速度７５℃／秒、降温速度５０℃／秒、酸素分圧１０％の条件でＲＴＰを行うと、ウェーハには約４μｍのＤＺ層１０が形成されるとともに、約５９μｍの厚さの中間層１１が形成される。

【0050】

これに対し、例えば、処理温度Ｔ_２＝１３５０℃、昇温速度Ｒ_１＝７５℃／秒、降温速度Ｒ_２＝１２０℃／秒、酸素分圧１０％の条件でＲＴＰを行うとＤＺ層１０が形成されず、処理温度Ｔ_２＝１３５０℃、昇温速度Ｒ_１＝７５℃／秒、降温速度Ｒ_２＝５℃／秒、酸素分圧３０％の条件でＲＴＰを行うと中間層１１及びバルク層１２が形成されず、いずれの場合も半導体デバイスの基板としては使用することができない。

【0051】

このように、ＲＴＰの処理条件（処理温度Ｔ_２、昇温速度Ｒ_１、降温速度Ｒ_２、酸素分圧）をパラメータとしてシミュレーションを行うことにより、直接評価することが非常に困難なＶＯｘ濃度のウェーハ深さ方向分布を簡便に導出することができ、所望の厚さのＤＺ層１０及び中間層１１を備えたウェーハの処理条件を簡便に見極めることができる。

【0052】

また、図１０のシミュレーション結果によると、降温速度Ｒ_２及び酸素分圧が一定の条件の下では、一部に例外はあるが、処理温度Ｔ_２が高くなるほど、ＶＯｘ濃度のウェーハ深さ方向変化量（微分値）の最大値は高くなり、かつ、その最大値の位置はウェーハの表面近傍側に移動した。また、処理温度Ｔ_２及び酸素分圧が一定の条件の下では、降温速度Ｒ_２が大きくなるほど微分値の最大値は大きくなり、かつ、その最大値はウェーハの表面近傍側に移動した。さらに、処理温度Ｔ_２及び降温速度Ｒ_２が一定の条件の下では、酸素分圧が１０％前後のときに微分値の最大値は最も大きくなり、約１０％よりも低分圧側及び高分圧側のいずれに向かっても、その最大値は小さくなった。また、酸素分圧が高くなるほどその最大値はウェーハの厚さ中心側に移動した。

【0053】

中間層１１におけるＶＯｘ濃度の立ち上がりは、微分値の最大値の大きさが大きいほど急峻となり、中間層１１を介してＤＺ層１０とバルク層１２を近接させることができる。このように、両層１０、１２を近接させることにより重金属の拡散距離を短縮することができ、ゲッタリングを効率的に行うことが可能となる。また、最大値の位置をウェーハの表面近傍とすることにより、前述のように拡散係数が小さくゲッタリングが困難な重金属に対しても、上記と同様にゲッタリングを効率的に行うことが可能となる。この最大値の大きさは、５．０×１０^１１／ｃｍ^３・μｍ以上の範囲とするのが好ましい。上述したように、微分値の最大値の大きさを５．０×１０^１１／ｃｍ^３・μｍ以上とすることにより、近接ゲッタリングを有効に機能させることができるためである。

【0054】

なお、図９、図１０に示したシミュレーション結果は、乾燥酸素含有雰囲気（ドライ酸素雰囲気）でウェーハにＲＴＰを行った場合のものであるが、湿潤酸素含有雰囲気（ウェット酸素雰囲気）の場合でも、シミュレーションにおける酸化膜形成速度を適切に調節することにより、自在にシミュレーションを行うことができる。

【0055】

上記においては、図４に示したシーケンスの昇温工程から降温工程まで、同一の雰囲気（上記においては、所定分圧の酸素を含む酸素含有雰囲気）で行ったものについて説明したが、このシーケンスは一例に過ぎず、例えば、昇温まで不活性ガス雰囲気とし、処理温度での保持工程以降を酸素含有雰囲気としたり、処理中に酸素分圧を変化させたりする等、シーケンスの途中で熱処理雰囲気を適宜変更することもできる。また、処理温度での保持中に、その処理温度を変化させ、この変化のタイミングで熱処理の雰囲気を変化させることもできる。

【0056】

上記において説明した実施形態はあくまでも例示であって、シリコンウェーハのＤＺ層１０における酸素析出物の析出を抑制するとともに、バルク層１２における高いゲッタリング能を確保する、というこの発明の課題を解決し得る限りにおいて、例えば、ＲＴＰに先立ってウェーハの表面に酸化膜等の膜形成を行う等、ウェーハの層構成に変更を加えることも許容される。

【符号の説明】

【0057】

１０ デヌーデッドゾーン（ＤＺ層）
１１ 中間層
１２ バルク層

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】