特許 6705002 ドロップレット回収装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6705002

(24)【登録日】2020年5月15日

(45)【発行日】2020年6月3日

(54)【発明の名称】ドロップレット回収装置

(51)【国際特許分類】

   G03F 7/20 20060101AFI20200525BHJP

   H05G 2/00 20060101ALI20200525BHJP

【ＦＩ】

   G03F7/20 521

   H05G2/00 K

   G03F7/20 503

【請求項の数】7

【全頁数】17

(21)【出願番号】特願2018-536592(P2018-536592)

(86)(22)【出願日】2016年8月31日

(86)【国際出願番号】JP2016075529

(87)【国際公開番号】WO2018042563

(87)【国際公開日】20180308

【審査請求日】2019年7月10日

(73)【特許権者】

【識別番号】300073919

【氏名又は名称】ギガフォトン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100143764

【弁理士】

【氏名又は名称】森村 靖男

(72)【発明者】

【氏名】上鉄穴 一磨

(72)【発明者】

【氏名】岩本 文男

【審査官】 右▲高▼ 孝幸

(56)【参考文献】

【文献】 国際公開第２０１５／０９７８８８（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 国際公開第２０１５／０６３８２５（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特表２０１２−５２３６６６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−０８４８９２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２０１６／０９６３７７（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 米国特許出願公開第２０１０／０２５８７４８（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０３Ｆ ７／２０−７／２４

Ｇ０３Ｆ ９／００−９／０２

Ｈ０１Ｌ ２１／０２７

Ｈ０１Ｌ ２１／３０

Ｈ０１Ｌ ２１／４６

Ｈ０５Ｇ １／００−２／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

チャンバの壁の外壁面側に配置され、前記チャンバの壁に設けられる開口を介して前記チャンバ内部に連通するよう構成される回収用容器と、
前記回収用容器の内部に配置され、前記開口から前記回収用容器に供給されるドロップレットを衝突させる衝突板と、
前記衝突板よりも前記開口側に配置され、前記衝突板に衝突するドロップレットの衝撃を緩和する緩衝部材と
を備え、
前記緩衝部材は、複数の線材を束ねて板部材に固定した線材束を有し、
前記複数の線材はそれぞれカーボンにより構成され、前記板部材はグラファイトにより構成され、
前記複数の線材は、一方向に並べられた状態で、グラファイト化された接着剤により前記板部材に固定される
ドロップレット回収装置。

【請求項2】

前記板部材は、第１板部材と第２板部材とにより構成され、
前記複数の線材は、前記第１板部材と前記第２板部材との間に配置され、前記グラファイト化された接着剤により前記第１板部材および前記第２板部材に固定される
請求項１に記載のドロップレット回収装置。

【請求項3】

前記複数の線材の一端側の端部は前記第１板部材および前記第２板部材に固定され、前記複数の線材の他端側の端部は他の前記第１板部材および前記第２板部材に固定される
請求項２に記載のドロップレット回収装置。

【請求項4】

前記複数の線材が並べられる方向の両端に位置する線材間には、最も近接する線材間の幅よりも大きい幅の空間が設けられる
請求項１に記載のドロップレット回収装置。

【請求項5】

前記複数の線材は、第１線材と、前記第１線材よりも短い第２線材とにより構成され、
前記第２線材は、前記第１線材の間に配置され、
前記空間は、互いに隣り合う第１線材間である
請求項４に記載のドロップレット回収装置。

【請求項6】

前記複数の線材は、複数の組に分けられ、
互いに隣り合う組間の幅は、前記組を構成する線材のうち互いに隣り合う線材間の幅よりも大きくされ、
前記空間は、互いに隣り合う組間である
請求項４に記載のドロップレット回収装置。

【請求項7】

前記複数の線材の一端側の端部が前記板部材に固定され、
前記複数の線材は、当該線材の他端側に向かうほど線材間が大きくなるよう配置される
請求項１に記載のドロップレット回収装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、ドロップレット回収装置に関する。

【背景技術】

【0002】

近年、半導体プロセスの微細化に伴って、半導体プロセスの光リソグラフィにおける転写パターンの微細化が急速に進展している。次世代においては、２０ｎｍ以下の微細加工が要求されるようになる。このため、波長１３ｎｍ程度の極端紫外（ＥＵＶ：ｅｘｔｒｅｍｅ ｕｌｔｒａｖｉｏｌｅｔ）光を生成するための装置と縮小投影反射光学系（ｒｅｄｕｃｅｄ ｐｒｏｊｅｃｔｉｏｎ ｒｅｆｌｅｃｔｉｖｅ ｏｐｔｉｃｓ）とを組み合わせた露光装置の開発が期待されている。

【0003】

極端紫外光生成システムとしては、ターゲット物質にレーザ光を照射することによって生成されるプラズマが用いられるＬＰＰ（Ｌａｓｅｒ Ｐｒｏｄｕｃｅｄ Ｐｌａｓｍａ）式の装置と、放電によって生成されるプラズマが用いられるＤＰＰ（Ｄｉｓｃｈａｒｇｅ Ｐｒｏｄｕｃｅｄ Ｐｌａｓｍａ）式の装置と、軌道放射光が用いられるＳＲ（Ｓｙｎｃｈｒｏｔｒｏｎ Ｒａｄｉａｔｉｏｎ）式の装置との３種類の装置が提案されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特許昭５６−１７９１４号公報

【特許文献2】特開昭５９−２１７９９４号公報

【特許文献3】特開２０１５−５０４３６号公報

【特許文献4】国際公開第２０１５／０９７８８８号

【概要】

【0005】

本開示の一態様によるドロップレット回収装置は、チャンバの壁の外壁面側に配置され、前記チャンバの壁に設けられる開口を介して前記チャンバ内部に連通するよう構成される回収用容器と、回収用容器の内部に配置され、開口から回収用容器に供給されるドロップレットを衝突させる衝突板と、衝突板よりも開口側に配置され、衝突板に衝突するドロップレットの衝撃を緩和する緩衝部材とを備え、緩衝部材は、複数の線材を束ねて板部材に固定した線材束を有し、複数の線材はそれぞれカーボンにより構成され、板部材はグラファイトにより構成され、複数の線材は、一方向に並べられた状態で、グラファイト化された接着剤により板部材に固定されるようにしてもよい。

【図面の簡単な説明】

【0006】

本開示のいくつかの実施形態を、単なる例として、添付の図面を参照して以下に説明する。

【図1】図１は、極端紫外光生成システムの全体の概略構成例を示す模式図である。

【図2】図２は、ドロップレット回収装置の概略構成例を示す模式図である。

【図3】図３は、比較例における線材束の概略構成例を示す斜視図である。

【図4】図４は、図３の線材束を線材の並び方向側から見た様子を示す側面図である。

【図5】図５は、ドロップレット回収装置でドロップレットが回収される様子を示す図である。

【図6】図６は、図３の線材束を線材の一端側から見た様子を示す側面図である。

【図7】図７は、実施形態１における線材束の概略構成例を示す斜視図である。

【図8】図８は、図７の線材束を線材の並び方向側から見た様子を示す側面図である。

【図9】図９は、図７の線材束を線材の一端側から見た様子を示す側面図である。

【図10】図１０は、実施形態２における線材束の概略構成例を示す斜視図である。

【図11】図１１は、図１０の線材束を線材の並び方向側から見た様子を示す側面図である。

【図12】図１２は、図１１の線材束を線材の一端側から見た様子を示す側面図である。

【図13】図１３は、実施形態３における線材束の概略構成例を示す斜視図である。

【図14】図１４は、実施形態４における線材束の概略構成例を示す斜視図である。

【図15】図１５は、実施形態５における線材束の概略構成例を示す斜視図である。

【図16】図１６は、実施形態６における線材束の概略構成例を示す斜視図である。

【図17】図１７は、実施形態７における線材束の概略構成例を示す斜視図である。

【実施形態】

【0007】

１．概要
２．極端紫外光生成システムの説明
２．１ 全体構成
２．２ 動作
３．比較例
３．１ ドロップレット回収装置の構成
３．２ 動作
３．３ 課題
４．実施形態１
４．１ ドロップレット回収装置における一部の構成
４．２ 作用・効果
５．実施形態２
５．１ ドロップレット回収装置における一部の構成
５．２ 作用・効果
６．実施形態３
６．１ ドロップレット回収装置における一部の構成
６．２ 作用・効果
７．実施形態４
７．１ ドロップレット回収装置における一部の構成
７．２ 作用・効果
８．実施形態５
８．１ ドロップレット回収装置における一部の構成
８．２ 作用・効果
９．実施形態６
９．１ ドロップレット回収装置における一部の構成
９．２ 作用・効果
１０．実施形態１０
１０．１ ドロップレット回収装置における一部の構成
１０．２ 作用・効果

【0008】

以下、本開示の実施形態について、図面を参照しながら詳しく説明する。
以下に説明される実施形態は、本開示のいくつかの例を示すものであって、本開示の内容を限定するものではない。また、各実施形態で説明される構成および動作の全てが本開示の構成および動作として必須であるとは限らない。
なお、同一の構成要素には同一の参照符号を付して、重複する説明を省略する。

【0009】

１．概要
本開示の実施形態は、極端紫外線（ＥＵＶ：Extreme UltraViolet）と呼ばれる波長の光を生成する極端紫外光生成システムに関する。なお、以下本明細書では、極端紫外光は、ＥＵＶ光と称される場合がある。

【0010】

２．極端紫外光生成システムの説明
２．１ 全体構成
図１に示すように、本実施形態の極端紫外光生成システム１は、チャンバ２、ドロップレット供給装置３、ドロップレット回収装置４、エッチングガス供給装置５、排気装置６を含んでいる。

【0011】

チャンバ２は、密閉可能かつ減圧可能な容器であり、チャンバホルダ２１により保持される。このチャンバ２の壁には、少なくとも１つの貫通孔が設けられ、その貫通孔は、ウインドウ２２によって塞がれている。ウインドウ２２は、チャンバ２の外部に配置されるレーザ装置（図示せず）から出射されるパルスレーザ光ＰＬを透過するものとされる。

【0012】

チャンバ２の内部では、チャンバ２の内部に供給されるドロップレットＤＬの軌道ＯＴの一部を含む所定の領域が、そのドロップレットＤＬをプラズマ化するプラズマ生成領域ＡＲとされる。

【0013】

またチャンバ２の内部では、回転楕円面形状の反射面２３Ａを有する集光ミラー２３が、例えばチャンバ２の壁に固定されるミラーホルダ２３Ｂにより保持されている。この集光ミラー２３は、プラズマ生成領域ＡＲでのドロップレットＤＬのプラズマ化により生じる光に含まれるＥＵＶ光ＥＬを反射面２３Ａで反射させて焦点に集光し、チャンバ２の出射口２４から露光装置（図示せず）に出力する。集光ミラー２３の焦点は、第１焦点と第２焦点とを有していてもよい。例えば、第１焦点はプラズマ生成領域ＡＲに位置され、第２焦点は露光装置（図示せず）の仕様等に応じて規定される集光位置である中間焦点ＩＦに位置される。なお、集光ミラー２３には、ウインドウ２２からチャンバ２内に伝搬したパルスレーザ光ＰＬが通る貫通孔２３Ｃが設けられていてもよい。

【0014】

またチャンバ２の内部には、ウインドウ２２からチャンバ２内に伝搬したパルスレーザ光ＰＬをプラズマ生成領域ＡＲに集光するレーザ集光光学系２５が設けられる。例えば、レーザ集光光学系２５は、集光ミラー２３の反射面２３Ａ側とは逆側に配置されるプレート２６に固定され、ウインドウ２２からチャンバ２内に伝搬したパルスレーザ光ＰＬを集光ミラー２３の貫通孔２３Ｃを介してプラズマ生成領域ＡＲに集光する。なお、プレート２６が３軸方向に移動し得るよう構成され、そのプレート２６が移動されることでレーザ集光光学系２５によってプラズマ生成領域ＡＲに集光される集光位置が変更されてもよい。

【0015】

ドロップレット供給装置３は、プラズマ生成領域ＡＲでプラズマ化するターゲットとされる物質であるターゲット物質をドロップレットＤＬとしてチャンバ２の内部に供給するものであり、例えば、チャンバ２の壁を貫通するように取り付けられる。ドロップレット供給装置３から供給されるターゲット物質の材料は、スズ、テルビウム、ガドリニウム、リチウム、キセノンのいずれか、または、それらの内のいずれか２つ以上の組合せを含んでもよいが、これらに限定されない。

【0016】

ドロップレット回収装置４は、チャンバ２の内部に供給されたドロップレットＤＬのうちプラズマ生成領域ＡＲでプラズマ化されなかったドロップレットＤＬを回収するものである。例えば、ドロップレット回収装置４は、チャンバ２のうちドロップレット供給装置３が取り付けられる壁とは反対側のチャンバ２の外側に設けられる。

【0017】

エッチングガス供給装置５は、ドロップレットＤＬのプラズマ化などにより生じたデブリおよびイオンに反応するガスをチャンバ２の内部に供給するものである。例えば、エッチングガス供給装置５は、ガス発生部５Ｂと、そのガス発生部５Ｂで発生されるガスをチャンバ２内に導入するガス導入部５Ａとにより構成し得る。ターゲット物質であるドロップレットＤＬの材料がスズである場合、エッチングガス供給装置５から供給されるガスは水素ガスや水素を含有するガス等とされる。この場合、ドロップレットＤＬのプラズマ化により生じるスズ微粒子およびスズイオンは水素と反応し、常温で気体のスタンナンとなる。

【0018】

排気装置６は、チャンバ２内の残留ガスを排気するものである。この排気装置６によって排気される残留ガスには、デブリおよびイオンと、それらがエッチングガスと反応することで生成される生成物と、未反応のエッチングガスとが含まれる。なお、排気装置６は、エッチングガス供給装置５からチャンバ２の内部に供給されるエッチングガスのガス量と同量の残留ガス量を排気するようにしてもよく、チャンバ２の内圧を略一定に保つようにしてもよい。

【0019】

２．２ 動作
レーザ装置（図示せず）から出射されるパルスレーザ光ＰＬは、ウインドウ２２を透過してチャンバ２内のレーザ集光光学系２５に伝搬し、そのレーザ集光光学系２５によってプラズマ生成領域ＡＲに集光される。また、ドロップレット供給装置３からチャンバ２内に供給されるドロップレットＤＬは、そのドロップレットＤＬの軌道ＯＴの一部を含むプラズマ生成領域ＡＲを通る。

【0020】

プラズマ生成領域ＡＲを通るドロップレットＤＬの一部はレーザ集光光学系２５によって集光されるパルスレーザ光ＰＬが照射され、他の一部はパルスレーザ光ＰＬが照射されることなくドロップレット回収装置４により回収される。

【0021】

パルスレーザ光ＰＬが照射されたドロップレットＤＬはプラズマ化し、そのプラズマからＥＵＶ光ＥＬを含む光が放射する。ＥＵＶ光ＥＬは集光ミラー２３の反射面２３Ａで選択的に反射し、チャンバ２の外部の露光装置（図示せず）に出射される。

【0022】

また、ドロップレットＤＬがプラズマ化した場合、ＥＵＶ光ＥＬを含む光が放射するとともにデブリおよびイオンが拡散する。デブリおよびイオンの一部は、エッチングガス供給装置５からチャンバ２の内部に供給されるエッチングガスと反応することで気体に変化する。このため、ウインドウ２２や集光ミラー２３の反射面２３Ａへのデブリ堆積およびイオン衝突によるスパッタリングが抑制される。

【0023】

エッチングガスと、そのエッチングガス反応することで変化した気体と、エッチングガスと未反応であったデブリおよびイオンとは排気装置６により排気され、これらがチャンバ２内に残留することが抑制される。

【0024】

なお、プラズマ生成領域ＡＲに達するドロップレットＤＬに対してプリパルスレーザ光を照射してターゲット物質を拡散させた後、その拡散ターゲット物質に対してメインパルスレーザ光を照射して拡散ターゲット物質をプラズマ化する場合がある。この場合、レーザ光のエネルギーからＥＵＶ光ＥＬのエネルギーへの変換効率（ＣＥ）が向上し得る。

【0025】

３．比較例
３．１ ドロップレット回収装置の構成
次に、下記の実施形態の比較例としてドロップレット回収装置の構成を説明する。なお、上記において説明した構成と同様の構成については同一の符号を付し、特に説明する場合を除き、重複する説明は省略される。

【0026】

図２に示すように、比較例のドロップレット回収装置は、回収用容器１０、ホルダフレーム２０、衝突板３０、緩衝部材４０、ヒータ５０および被覆ケース６０を備えている。

【0027】

回収用容器１０は、プラズマ生成領域ＡＲでプラズマ化されなかったドロップレットＤＬを回収するための容器であり、チャンバ２の壁の外壁面側に配置される。また、回収用容器１０は、密閉可能かつ減圧可能な容器であり、その内部はチャンバ２の壁に設けられる開口２７を介してチャンバ２内部と連通される。この回収用容器１０は、チャンバ２と一体に成形されていてもよく、チャンバ２とは別体にされ、所定の固定具でチャンバ２に固定されていてもよい。

【0028】

例えば、回収用容器１０は、アブソーバ部１１とタンク部１２とにより構成し得る。アブソーバ部１１は、チャンバ２の開口２７から供給されるドロップレットＤＬの衝突に起因する衝撃を緩和するための容器部分である。タンク部１２は、ドロップレットＤＬの衝突により破砕するドロップレットＤＬの小滴を貯留するための容器部分である。

【0029】

アブソーバ部１１は、入口側の開口部１１Ａおよび出口側の開口部１１Ｂを有する。入口側の開口部１１Ａは、ドロップレットＤＬの軌道ＯＴ上に設けられ、チャンバ２の開口２７に対向される。出口側の開口部１１Ｂは、チャンバ２の開口２７とは逆側であって最も下側に位置しており、例えば管状に形成されている。タンク部１２は、そのタンク部１２を設置した場合に上側となる位置に開口部１２Ａを有しており、例えば管状に形成されている。

【0030】

アブソーバ部１１における出口側の開口部１１Ｂは、タンク部１２の開口部１２Ａに挿通して嵌合し得るように形成されている。アブソーバ部１１における出口側の開口部１１Ｂがタンク部１２の開口部１２Ａに嵌合された場合、アブソーバ部１１の内部空間とタンク部１２の内部空間とが連通される。なお、開口部１１Ｂと開口部１２Ａとの嵌合部分は密閉されてもよい。また、アブソーバ部１１とタンク部１２とが一体に形成されることでアブソーバ部１１の内部空間とタンク部１２の内部空間とが連通されていてもよい。また、アブソーバ部１１およびタンク部１２の内壁面と外壁面との双方または一方がＳｉＣ（炭化ケイ素）等の被膜で覆われていてもよい。

【0031】

ホルダフレーム２０は、衝突板３０および緩衝部材４０を保持するためのフレーム部材である。例えば、ホルダフレーム２０は、矩形状の板状部材として構成され、ドロップレットＤＬの軌道ＯＴから所定距離を隔ててその軌道ＯＴに沿って配置される。このホルダフレーム２０は、アブソーバ部１１の壁などに固定される。

【0032】

衝突板３０は、回収用容器１０におけるアブソーバ部１１の内部に設けられ、チャンバ２の開口２７から回収用容器１０に供給されるドロップレットＤＬを衝突させるものである。この衝突板３０は、チャンバ２の開口２７から遠ざかる方向に向かってドロップレットＤＬの軌道ＯＴに対して斜めに配置され、ホルダフレーム２０に固定される。衝突板３０のうちドロップレットＤＬが衝突する面である衝突面３０Ａは、アブソーバ部１１における出口側の開口部１１Ｂ側に向けられる。衝突板３０の材料としては、ＳＵＳなどの合金が挙げられる。

【0033】

緩衝部材４０は、衝突板３０に衝突するドロップレットＤＬの衝撃を緩和するものである。例えば、緩衝部材４０は、複数の線材４１を固定具４２に固定して束ねられる線材束４３を１又は複数有する。

【0034】

線材４１および固定具４２は、熱伝導度が高くドロップレットＤＬと化学反応し難い材質とされる。具体的には例えば、固定具４２がＳＵＳなどの合金により構成され、線材４１が固定具４２よりも熱伝導度が高いカーボンにより構成される。

【0035】

図３および図４に示すように、複数の線材４１は、線材４１の長手方向とは直交する方向に沿って並べられて配置される。固定具４２は、一対の板部材４２Ａおよび４２Ｂと、ボルトおよびナット（図示せず）とにより構成される。各板部材４２Ａ，４２Ｂにおける長手方向の端部にはボルトを挿通可能な一対の貫通孔４２Ｈが設けられる。これら一対の貫通孔４２Ｈの間に各線材４１が並べられ、当該線材４１の端部が板部材４２Ａおよび４２Ｂで挟み込まれた状態で、当該線材４１と一対の板部材４２Ａ，４２Ｂとがボルトおよびナットにより締め付けられることで線材束４３が得られる。

【0036】

線材束４３の一端側はホルダフレーム２０に配置され、その線材束４３における固定具４２を通じてホルダフレーム２０に固定される。線材束４３の他端側はホルダフレーム２０に固定されず自由端にされ、ドロップレットＤＬの軌道ＯＴ上に位置する部分を有している。線材束４３は、ドロップレットＤＬの軌道ＯＴに対して斜めであって、その線材束４３における各線材４１の自由端側がチャンバ２の開口２７から遠ざかるようそれぞれ配置される。

【0037】

緩衝部材４０が複数の線材束４３を有する場合、当該線材束４３はホルダフレーム２０のそれぞれ異なる位置に固定され、それら線材束４３における線材４１が延びる方向が異なっている。例えば、図２に示すように、ドロップレットＤＬの軌道ＯＴを含む面を境界として一方側と他方側に交互に線材束４３が配置される。また、複数の線材束４３のうち衝突板３０に最も近い線材束４３は、衝突板３０と同様に、アブソーバ部１１における出口側の開口部１１Ｂ側に向けられる。なお、軌道ＯＴを含む面は、図２に示す例では紙面に対して直交する面であるが、境界を示す基準であれば紙面に対して直交していなくてもよい。

【0038】

ヒータ５０は、回収用容器１０内の温度がドロップレットＤＬの融点以上になるよう回収用容器１０を加熱するものである。例えば、ヒータ５０は、回収用容器１０のアブソーバ部１１の外壁に設けられるアブソーバ用ヒータ５１と、回収用容器１０のタンク部１２の外壁に設けられるタンク用ヒータ５２により構成し得る。

【0039】

被覆ケース６０は、空間を隔てて回収用容器１０を被覆するケースである。例えば、被覆ケース６０は、回収用容器１０のアブソーバ部１１を被覆するアブソーバケース６１と、回収用容器１０のタンク部１２を被覆するタンクケース６２とにより構成し得る。アブソーバケース６１とタンクケース６２とは、互いに分離可能に構成されていてもよく、一体に構成されていてもよい。この被覆ケース６０は、回収用容器１０に取り付けられるヒータ５０が発生する熱が大気に逃げるのを抑制する。従って、ヒータ５０による加熱効率が向上する。なお、タンクケース６２にはタンクホルダ６２Ａが設けられていてもよい。

【0040】

３．２ 動作
ヒータ５０が駆動されると、そのヒータ５０によって回収用容器１０壁面がドロップレットＤＬの融点以上に保持される。例えば、ドロップレットＤＬの材料がスズである場合、ヒータ５０における設定温度が２４０℃から４００℃の範囲で設定される。この設定温度が３７０℃で設定され、線材束４３の複数の線材４１がカーボンファイバーにより構成された場合、回収用容器１０壁面の温度はおおむね３７０℃で保持され、その回収用容器１０内に配置される線材４１は２９０℃程度となる。この時回収用容器１０内に配置される線材４１は、ホルダフレーム２０を介した固定具４２からの伝熱およびアブソーバ部１１からの輻射によって加熱される。

【0041】

ドロップレットＤＬの融点以上の温度に保持された回収用容器１０には、例えば３０〜１２０ｍ／ｓ程度の速度のドロップレットＤＬが供給される。図５に示すように、アブソーバ部１１の入口側の開口部１１Ａからアブソーバ部１１内に入ったドロップレットＤＬは線材束４３の線材４１に衝突する。ドロップレットＤＬは、線材４１に衝突することで運動エネルギーが小さくなる。従って、衝突板３０にドロップレットＤＬが衝突する衝撃が緩和される。線材束４３が２以上である場合には、ドロップレットＤＬがドロップレットＤＬの軌道ＯＴの末端側に進行するほど、線材束４３を経由する回数が多くなる。この場合、ドロップレットＤＬは、軌道ＯＴの末端側に進行するほどその運動エネルギーが小さくなる。

【0042】

また、線材束４３の線材４１に衝突したドロップレットＤＬは破砕して小滴となり、ドロップレットＤＬの軌道ＯＴの周囲に分散しながら進行する。線材束４３が２以上である場合には、ドロップレットＤＬがドロップレットＤＬの軌道ＯＴの末端側に進行するほど、線材束４３を経由する回数が多くなる。この場合、ドロップレットＤＬは、軌道ＯＴの末端側に進行するほど細かく破砕される。

【0043】

運動エネルギーが小さくなった小滴は衝突板３０に衝突することでより細かくなり、それらの一部はアブソーバ部１１の出口側の開口部１１Ｂからタンク部１２内に落下する。このタンク部１２に至るまでのドロップレットＤＬの進行経路上にアブソーバ部１１の線材束４３および衝突板３０が配置されることで、タンク部１２に直接的にドロップレットＤＬが進行する場合に比べると、タンク部１２から小滴が飛散することが抑制される。

【0044】

３．３ 課題
ところで、線材束４３では、上述したように、一対の板部材４２Ａ，４２Ｂにおける長手方向の両端部が締め付けられることで、当該板部材４２Ａおよび４２Ｂの間に配置される複数の線材４１が固定されている。

【0045】

このため、図６に示すように、一対の板部材４２Ａ，４２Ｂの両端部の締め付けによって、当該板部材４２Ａ，４２Ｂの中央部分が互いに離れるように撓んでその撓んだ部分の線材４１を固定する力が弱くなる。したがって、回収用容器１０に供給されたドロップレットＤＬの衝突等に起因して線材４１が分散する、あるいは、板部材４２Ａ，４２Ｂから線材４１が脱落するといった不都合が生じ易い傾向になる。

【0046】

このような不都合が生じると、回収用容器１０に供給されたドロップレットＤＬが線材４１に接触することなく衝突板３０に衝突することで、アブソーバ部１１の内部で跳ね回る小滴の運動エネルギーが増大し、その一部がアブソーバ部１１からチャンバ２に拡散する可能性が大きくなる。

【0047】

チャンバ２に小滴が拡散した場合、その小滴はエッチングガスと反応するか、もしくは、未反応のまま排気装置６によって排気される。しかしながら、アブソーバ部１１からチャンバ２に拡散した小滴が排気装置６によって排気されることなく集光ミラー２３などに付着し、ＥＵＶ光ＥＬの出力が低下する、あるいは、ＥＵＶ光ＥＬが生成されないといったことが懸念される。

【0048】

そこで、以下の実施形態では、ドロップレットＤＬの小滴がチャンバ２に拡散することを低減させ得るドロップレット回収装置が例示される。

【0049】

４．実施形態１
４．１ ドロップレット回収装置における一部の構成
次に、実施形態１としてドロップレット回収装置における一部の構成を説明する。なお、上記において説明した構成と同様の構成については同一の符号を付し、特に説明する場合を除き、重複する説明は省略する。

【0050】

図７および図８に示すように、本実施形態のドロップレット回収装置では、比較例の線材束４３に代えて、その線材束４３とは異なる構成の線材束６３が採用される。この線材束６３は、カーボンにより構成される複数の線材４１をグラファイト板６４に接着剤６５により固定して束ねられる。

【0051】

グラファイト板６４は、グラファイトにより構成される板部材であり、例えば直方体形状とされる。このグラファイト板６４の長手方向に沿って複数の線材４１が並べられる。例えば、複数の線材４１が並べられる方向の両端に位置する線材間の距離である線材幅Ｗ１を２５ｍｍとした場合、その線材幅の範囲内に１２０００本の線材４１が並べられる。また、互いに隣り合う線材間の幅Ｗ２はおおむね同程度とされる。このように並べられる線材４１の一方側の端部がグラファイト板６４の一面側に配置される。なお、グラファイト板６４の表面のうち、少なくとも接着剤６５が配置される部分以外の表面が、ＳｉＣ（炭化ケイ素）等の被膜で覆われていてもよい。

【0052】

接着剤６５は、線材４１とグラファイト板６４とをフェノール系樹脂によって結合した後に焼成することで、フェノール系樹脂をグラファイト化したものとして得られる。この接着剤６５は、カーボン・コンポジットの状態で複数の線材４１とグラファイト板６４とを結合している。

【0053】

４．２ 作用・効果
以上のとおり、本実施形態の線材束６３では、複数の線材４１が、一方向に並べられた状態で、グラファイト化された接着剤６５によりグラファイト板６４に固定される。このため、図９に示すように、カーボンにより構成される複数の線材４１と、グラファイトにより構成される板部材であるグラファイト板６４とが接着剤６５により一体的に結合されるので、当該線材４１を固定する力が部分的に弱くなることが解消される。

【0054】

したがって、回収用容器１０に供給されたドロップレットＤＬの衝突等に起因して線材４１が分散する、あるいは、グラファイト板６４から線材４１が脱落するといった不都合が抑制される。このため、回収用容器１０に供給されたドロップレットＤＬが線材４１に接触することなく衝突板３０に衝突することで、アブソーバ部１１の内部で跳ね回る小滴の運動エネルギーが増大することがなくなる。この結果、本実施形態のドロップレット回収装置では、ドロップレットＤＬの小滴がアブソーバ部１１からチャンバ２に拡散することが低減される。

【0055】

５．実施形態２
５．１ ドロップレット回収装置における一部の構成
次に、実施形態２としてドロップレット回収装置における一部の構成を説明する。なお、上記において説明した構成と同様の構成については同一の符号を付し、特に説明する場合を除き、重複する説明は省略する。

【0056】

図１０および図１１に示すように、本実施形態のドロップレット回収装置では、実施形態１の線材束６３におけるグラファイト板６４が、第１板部材６４Ａと第２板部材６４Ｂとにより構成される。

【0057】

第１板部材６４Ａと第２板部材６４Ｂとはともにグラファイトにより構成されており、例えば互いに同形同大とされてもよい。なお、第１板部材６４Ａおよび第２板部材６４Ｂの表面のうち、少なくとも接着剤６５が配置される部分以外の表面が、ＳｉＣ（炭化ケイ素）等の被膜で覆われていてもよい。

【0058】

これら第１板部材６４Ａと第２板部材６４Ｂとの間に複数の線材４１の一方側の端部が配置され、当該線材４１は接着剤６５により第１板部材６４Ａおよび第２板部材６４Ｂに固定される。

【0059】

５．２ 作用・効果
以上のとおり、本実施形態の線材束６３では、図１２に示すように、複数の線材４１がグラファイト化された接着剤６５により第１板部材６４Ａおよび第２板部材６４Ｂに挟まれた状態で固定される。このため、本実施形態の線材束６３は、第１板部材６４Ａおよび第２板部材６４Ｂに挟んだ状態で双方に複数の線材４１を固定している分だけ上記実施形態１の場合に比べてより線材４１を安定的に保持し得る。また、本実施形態の線材束６３は、第１板部材６４Ａおよび第２板部材６４Ｂの厚み方向に重ねて線材４１を配置しても、当該線材４１を安定的に保持し得るため、高密度化し易くなる。

【0060】

６．実施形態３
６．１ ドロップレット回収装置における一部の構成
次に、実施形態３としてドロップレット回収装置における一部の構成を説明する。なお、上記において説明した構成と同様の構成については同一の符号を付し、特に説明する場合を除き、重複する説明は省略する。

【0061】

図１３に示すように、本実施形態のドロップレット回収装置では、複数の線材４１が並べられる方向の両端に位置する線材間に、最も近接する線材間の幅Ｗ３よりも大きい幅の空間ＡＲ１が設けられる。

【0062】

本実施形態の場合、複数の線材４１が第１線材４１Ａとその第１線材４１Ａよりも短い第２線材４１Ｂとにより構成され、当該第２線材４１Ｂが第１線材４１Ａの間に配置されるように並べられる。なお本実施形態の場合、互いに隣り合う第１線材４１Ａの線材間と、第２線材４１Ｂの線材間と、第１線材４１Ａおよび第２線材４１Ｂの線材間とはそれぞれ同程度とされる。

【0063】

第２線材４１Ｂは、例えば第１線材４１Ａを切断することで得られる。なお、予め得た第２線材４１Ｂが接着剤６５によりグラファイト板６４に固定されていてもよく、グラファイト板６４に接着剤６５により固定された第１線材４１Ａの一部を切断することで第２線材４１Ｂが得られてもよい。

【0064】

本実施形態では、第１線材４１Ａと第２線材４１Ｂとで囲まれる空間ＡＲ１は、当該第１線材４１Ａおよび第２線材４１Ｂの固定端側とは逆の自由端側に設けられる。また、線材幅の中心に位置する第１線材４１Ａを境界として２つの空間ＡＲ１が線対称となる位置関係となるよう第１線材４１Ａと第２線材４１Ｂとが配列されてもよい。

【0065】

なお、第１線材４１Ａの間に配置される第２線材４１Ｂの数は１本であっても２本以上であってもよい。また、第１線材４１Ａの間に配置される第２線材４１Ｂの数が２本以上である場合、当該第２線材４１Ｂの長さは同じであっても異なっていてもよい。さらに、本実施形態の線材束６３におけるグラファイト板６４は、実施形態２と同様に、第１板部材６４Ａおよび第２板部材６４Ｂにより構成され、当該第１板部材６４Ａおよび第２板部材６４Ｂの間に第１線材４１Ａと第２線材４１Ｂが挟まれた状態で接着剤６５により固定されていてもよい。

【0066】

６．２ 作用・効果
以上のとおり、本実施形態の線材束６３では、複数の線材４１が並べられる方向の両端に位置する線材間に、第１線材４１Ａとその第１線材４１Ａよりも短い第２線材４１Ｂとに囲まれる空間ＡＲ１が設けられる。この第２線材４１Ｂの長さや、第２線材４１Ｂを並べる本数等に応じて、例えば、線材４１に衝突するときにドロップレットＤＬの運動エネルギーが小さくなる程度を微調整し得る。また、線材４１の密度が高すぎる場合、ドロップレットＤＬまたはその小滴が線材４１に付着して堆積することある。本実施形態の線材束６３であれば、ドロップレットＤＬまたはその小滴の堆積が抑制できるような線材４１の密度を調整によって実現可能である。

【0067】

なお、線材４１は接着剤６５によりグラファイト板６４に強固に固定し得るため、上述したように、グラファイト板６４に接着剤６５により固定された第１線材４１Ａの一部を切断等の加工が可能である。したがって、空間ＡＲ１の形状や大きさが簡単に変更し得るので、複数の線材４１が並べられる方向の両端に位置する線材間における線材４１の密度が調整し易い。

【0068】

７．実施形態４
７．１ ドロップレット回収装置における一部の構成
次に、実施形態４としてドロップレット回収装置における一部の構成を説明する。なお、上記において説明した構成と同様の構成については同一の符号を付し、特に説明する場合を除き、重複する説明は省略する。

【0069】

図１４に示すように、本実施形態のドロップレット回収装置では、複数の線材４１が並べられる方向の両端に位置する線材間に、最も近接する線材間の幅Ｗ４よりも大きい幅の空間ＡＲ２が設けられる。

【0070】

本実施形態の場合、複数の線材４１が複数の組Ｓ１〜Ｓ６に分けられる。互いに隣り合う組間の幅Ｗ５は、当該組を構成する線材４１のうち互いに隣り合う線材間の幅Ｗ４よりも大きくされる。例えば、互いに隣り合う組で囲まれる空間ＡＲ２が同程度の大きさとなるよう各組Ｓ１〜Ｓ６が等間隔で配列されてもよい。

【0071】

なお、組Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４、Ｓ５又はＳ６を構成する線材同士の隙間は同じであっても異なっていてもよい。また組Ｓ１〜Ｓ６ごとに、当該組を構成する線材数は同じであっても異なっていてもよい。さらに、本実施形態の線材束６３におけるグラファイト板６４は、実施形態２と同様に、第１板部材６４Ａおよび第２板部材６４Ｂにより構成され、当該第１板部材６４Ａおよび第２板部材６４Ｂの間に各線材４１が挟まれた状態で接着剤６５により固定されていてもよい。

【0072】

７．２ 作用・効果
以上のとおり、本実施形態の線材束６３では、複数の線材４１が複数の組に分けられる。このとき、互いに隣り合う組間の幅Ｗ５が、互いに隣り合う線材間の幅Ｗ４よりも大きくされる。そして、複数の線材４１が並べられる方向の両端に位置する線材間であって、互いに隣り合う組間に空間ＡＲ２が設けられる。この組間の幅Ｗ５に応じて、例えば、線材４１に衝突するときにドロップレットＤＬの運動エネルギーが小さくなる程度を微調整し得る。

【0073】

なお、本実施形態４が上記実施形態３と組み合わされていてもよい。例えば、各組Ｓ１〜Ｓ６を、第１線材４１Ａからなる組と、第１線材４１Ａよりも短い第２線材４１Ｂからなる組とで構成し、これらを交互に配置することで本実施形態４と上記実施形態３との組み合わせが可能である。また、例えば、ドロップレットＤＬの軌道ＯＴ上の互いに異なる位置に配置される複数の線材束４３（図２）それぞれが本実施形態の線材束６３に変更される場合、各線材束６３における組間の幅Ｗ５が、当該軌道ＯＴの末端側に近づくほど狭く又は広くされてもよい。

【0074】

８．実施形態５
８．１ ドロップレット回収装置における一部の構成
次に、実施形態５としてドロップレット回収装置における一部の構成を説明する。なお、上記において説明した構成と同様の構成については同一の符号を付し、特に説明する場合を除き、重複する説明は省略する。

【0075】

図１５に示すように、本実施形態のドロップレット回収装置では、実施形態２と同様に、線材束６３におけるグラファイト板６４が、第１板部材６４Ａと第２板部材６４Ｂとにより構成される。

【0076】

また、複数の線材４１の一端側の端部は第１板部材６４Ａおよび第２板部材６４Ｂに固定され、当該線材４１の他端側の端部は他の第１板部材６４Ａおよび第２板部材６４Ｂに固定される。

【0077】

このような線材束６３の一端側はホルダフレーム２０（図２）に配置され、その線材束６３における第１板部材６４Ａおよび第２板部材６４Ｂを通じてホルダフレーム２０に固定される。また、線材束６３の他端側は、線材束６３の一端側が固定されるホルダフレーム２０とは反対側のホルダフレーム２０（図２）に配置され、その線材束６３における他の第１板部材６４Ａおよび第２板部材６４Ｂを通じてホルダフレーム２０に固定される。

【0078】

なお、複数の線材４１の両端部における第１板部材６４Ａおよび第２板部材６４Ｂのうちの一方が省略されていてもよい。

【0079】

８．２ 作用・効果
以上のとおり、本実施形態の線材束６３では、複数の線材４１の両端部が第１板部材６４Ａおよび第２板部材６４Ｂに挟まれた状態で接着剤６５により固定される。このため、実施形態２のように複数の線材４１の一方側の端部だけが固定される場合に比べると、ドロップレットＤＬの衝突により線材４１の端部がばらけることが回避される。

【0080】

また本実施形態の場合、線材束６３の両端部がホルダフレーム２０に固定される。このため、線材束６３の一方側の端部だけがホルダフレーム２０に固定される場合に比べてより強固に線材束６３が固定され、ドロップレットＤＬの衝突に対する耐久性が向上し得る。なお、線材束６３の一方側の端部だけがホルダフレーム２０に固定される場合に比べて、ドロップレットＤＬの軌道ＯＴに対する角度等といった線材束６３のレイアウトの自由度を向上させ易い。

【0081】

９．実施形態６
９．１ ドロップレット回収装置における一部の構成
次に、実施形態６としてドロップレット回収装置における一部の構成を説明する。なお、上記において説明した構成と同様の構成については同一の符号を付し、特に説明する場合を除き、重複する説明は省略する。

【0082】

図１６に示すように、本実施形態のドロップレット回収装置では、線材束６３における線材幅Ｗ１が実施形態２に比べて大きくされる。なお、本実施形態における第１板部材６４Ａおよび第２板部材６４Ｂのうちの一方が省略されていてもよい。

【0083】

９．２ 作用・効果
線材４１は接着剤６５によりグラファイト板６４に強固に固定し得るため、本実施形態の線材束６３のように線材幅Ｗ１を広げても、当該線材４１が不安定になることが解消される。

【0084】

なお、ドロップレットＤＬの軌道ＯＴ上の互いに異なる位置に配置される複数の線材束４３（図２）それぞれが本実施形態の線材束６３に変更される場合、各線材束６３における線材幅Ｗ１が、当該軌道ＯＴの末端側に近づくほど大きされてもよい。

【0085】

１０．実施形態７
１０．１ ドロップレット回収装置における一部の構成
次に、実施形態７としてドロップレット回収装置における一部の構成を説明する。なお、上記において説明した構成と同様の構成については同一の符号を付し、特に説明する場合を除き、重複する説明は省略する。

【0086】

図１７に示すように、本実施形態のドロップレット回収装置では、実施形態１の線材束６３における複数の線材４１が、当該線材４１の固定端である一方側の端部とは逆側の端部に向かうほど線材間が大きくなるよう扇状に配置される。なお、本実施形態の線材束６３におけるグラファイト板６４は、実施形態２と同様に、第１板部材６４Ａおよび第２板部材６４Ｂにより構成され、当該第１板部材６４Ａおよび第２板部材６４Ｂの間に複数の線材４１が挟まれた状態で接着剤６５により固定されていてもよい。

【0087】

１０．２ 作用・効果
線材４１は接着剤６５によりグラファイト板６４に強固に固定し得るため、本実施形態の線材束６３のように線材４１の配置自由度が向上される。

【0088】

上記の説明は、制限ではなく単なる例示を意図したものである。従って、添付の特許請求の範囲を逸脱することなく本開示の実施形態や変形例に変更を加えることができることは、当業者には明らかであろう。

【0089】

本明細書および添付の特許請求の範囲全体で使用される用語は、「限定的でない」用語と解釈されるべきである。例えば、「含む」または「含まれる」という用語は、「含まれるものとして記載されたものに限定されない」と解釈されるべきである。「有する」という用語は、「有するものとして記載されたものに限定されない」と解釈されるべきである。また、本明細書、および添付の特許請求の範囲に記載される不定冠詞「１つの」は、「少なくとも１つ」または「１またはそれ以上」を意味すると解釈されるべきである。

【符号の説明】

【0090】

１・・・極端紫外光生成システム、２・・・チャンバ、３・・・ドロップレット供給装置、４・・・ドロップレット回収装置、５・・・エッチングガス供給装置、６・・・排気装置、１０・・・回収用容器、２０・・・ホルダフレーム、３０・・・衝突板、４０・・・緩衝部材、４１・・・線材、５０・・・ヒータ、６０・・・被覆ケース、６３・・・線材束、６４・・・グラファイト板、６５・・・接着剤。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】