特許6706575ペリクルフレーム及びこれを用いたペリクル

発明の名称　ペリクルフレーム及びこれを用いたペリクル

出願人　信越化学工業株式会社　（識別番号 2060）

　　　　特許公開件数ランキング 65 位（373件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 64 位（361件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6706575

公報発行日　2020年6月10

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6706575

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