特許6707875重合体及びポジ型レジスト組成物

発明の名称　重合体及びポジ型レジスト組成物

出願人　日本ゼオン株式会社　（識別番号 229117）

　　　　特許公開件数ランキング 332 位（93件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 183 位（156件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6707875

公報発行日　2020年6月10

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6707875

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