特許 6716418 搬送機構

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6716418

(24)【登録日】2020年6月12日

(45)【発行日】2020年7月1日

(54)【発明の名称】搬送機構

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20200622BHJP

   B65G 49/07 20060101ALI20200622BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 B

   B65G49/07 E

【請求項の数】2

【全頁数】12

(21)【出願番号】特願2016-196697(P2016-196697)

(22)【出願日】2016年10月4日

(65)【公開番号】特開2018-60898(P2018-60898A)

(43)【公開日】2018年4月12日

【審査請求日】2019年8月14日

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】100121083

【弁理士】

【氏名又は名称】青木 宏義

(74)【代理人】

【識別番号】100138391

【弁理士】

【氏名又は名称】天田 昌行

(72)【発明者】

【氏名】中西 優爾

【審査官】 山口 大志

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１３−１９１６３１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０５−２８３５０２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１５−０１２２６３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−２３７５３２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１６−１５４１９８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

Ｂ６５Ｇ ４９／０７

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

環状フレームの内側開口に粘着テープが貼着され該粘着テープ上に板状物が貼着されて構成される板状物ユニットを搬送する搬送機構であって、
鉛直方向及び水平方向に往復動される搬送プレートと、
該搬送プレートの下面に配設され該環状フレームの上面に当接して該環状フレームを吸引保持する吸引パッドと、
該環状フレームを磁力で吸着保持して該吸引パッドで吸引保持された該環状フレームの落下を防止する磁力保持部と、を備え、
該磁力保持部は、該環状フレームの上面を保持する磁石と、該搬送プレートに配設され該磁石を上下方向に移動可能にガイドするガイド部と、該ガイド部にガイドされた該磁石を該環状フレームを吸着保持する下方の作用位置と該環状フレームに対して磁力が作用しない上方の非作用位置とに上下移動させる移動手段と、を備え、
該吸引パッドが環状フレーム上面に当接して吸引保持した際に、該磁力保持部は、該移動手段により該磁石を該作用位置に移動させ磁力で該環状フレームを吸着保持し、
該環状フレームを吸引保持している該吸引パッドが吸引力を解除した際には、該磁力保持部は該磁石を該非作用位置に移動させ該環状フレーム上面への吸着保持を解除すること、を特徴とする搬送機構。

【請求項2】

該ガイド部は、内部に空間を有する筐体であり、該空間内で該磁石が上下に移動し、
該作用位置に位置付けられた際には、該筐体外壁に磁力がおよび該環状フレームを該筐体外壁に吸着保持すること、を特徴とする請求項１記載の搬送機構。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ウェーハの裏面側に粘着テープを貼着して一体となった環状フレームを吸引保持して搬送する搬送機構に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体デバイスや電子部品の製造に用いられる切削装置等の加工装置においては、ウェーハ等の板状体は裏面側が粘着テープに貼着され、粘着テープの粘着力によって板状体と環状フレームが一体となった状態で、カセットから搬出される。そして、吸引パッドを有する搬送機構が環状フレームの上面を吸着して、切削等の加工を行う加工位置に搬送する。このような搬送機構において環状フレームを真空吸着して搬送している途中で、真空ラインが何らかの理由により失われると、吸引パッドが環状フレームを吸引する力が減少し、結果として環状フレームを保持できなくなる可能性がある。そのため、真空ラインの切断又は移送動作中の振動等により吸引パッドの吸引力が減少し、環状フレームが吸引パッドから外れても、環状フレームを落下防止用の爪部によって受け止めることが可能な落下防止送機構が採用されている（例えば、特許文献１）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００７−１５７９９６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１のように爪部を動作させて環状フレームの落下を防止する機構は、機械的な動作部分を多く有するので構造が複雑になり、省スペース化等が難しいという問題があった。

【0005】

本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、シンプルな構造で、吸引パッドの吸引力が失われた場合であっても環状フレームの落下を防止できる搬送機構を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、環状フレームの内側開口に粘着テープが貼着され粘着テープ上に板状物が貼着されて構成される板状物ユニットを搬送する搬送機構であって、鉛直方向及び水平方向に往復動される搬送プレートと、搬送プレートの下面に配設され環状フレームの上面に当接して環状フレームを吸引保持する吸引パッドと、環状フレームを磁力で吸着保持して吸引パッドで吸引保持された環状フレームの落下を防止する磁力保持部と、を備え、磁力保持部は、環状フレームの上面を保持する磁石と、搬送プレートに配設され磁石を上下方向に移動可能にガイドするガイド部と、ガイド部にガイドされた磁石を環状フレームを吸着保持する下方の作用位置と環状フレームに対して磁力が作用しない上方の非作用位置とに上下移動させる移動手段と、を備え、吸引パッドが環状フレーム上面に当接して吸引保持した際に、磁力保持部は、移動手段により磁石を作用位置に移動させ磁力で環状フレームを吸着保持し、環状フレームを吸引保持している吸引パッドが吸引力を解除した際には、磁力保持部は磁石を非作用位置に移動させ環状フレーム上面への吸着保持を解除すること、を特徴とする。

【0007】

この構成によれば、吸引パッドが環状フレーム上面に当接して吸引保持した際に、磁力保持部は磁石を作用位置に移動させて環状フレームを磁力で吸着保持するので、意図せずに吸引パッドによる吸引力が失われた場合でも、磁力保持部の磁力による保持によって環状フレームの落下を防ぐことができる。磁力保持部は、移動手段によって磁石を非作用位置と作用位置に上下移動させるシンプルな構造であり、省スペースに設置可能である。

【0008】

ガイド部は、内部に空間を有する筐体であり、ガイド部の空間内で磁石が上下に移動し、磁石が作用位置に位置付けられた際には、筐体外壁に磁力がおよんで環状フレームを筐体外壁に吸着保持するように構成するとよい。

【発明の効果】

【0009】

本発明によれば、シンプルな構造で、吸引パッドの吸引力が失われた場合に環状フレームの落下を防止できる搬送機構を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】本実施の形態に係る搬送機構を備えた加工装置の斜視図である。

【図2】搬送機構を示す斜視図である。

【図3】板状物ユニットを保持していない状態の搬送機構を部分的に断面で示した図である。

【図4】吸引パッドと磁力保持部で板状物ユニットを保持した状態の搬送機構を部分的に断面で示した図である。

【図5】吸引パッドの吸引力が失われ、磁力保持部で板状物ユニットを保持した状態の搬送機構を部分的に断面で示した図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下、添付図面を参照して、本実施の形態について説明する。図１は、本実施の形態に係る搬送機構を備えた加工装置の斜視図である。なお、以下の説明においては、加工装置として切削ブレードによって被加工物を切削加工する切削装置を例示して説明するが、この構成に限定されない。加工装置は、被加工物を加工する装置であれば、どのような装置でもよい。以下の説明では、図中の両矢線Ｘ、Ｙ、Ｚに沿う方向をそれぞれＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向と呼ぶ。Ｘ軸方向とＹ軸方向は水平方向であり、Ｚ軸方向は鉛直方向（上下方向）である。また、Ｙ軸方向における加工装置の前後方向を、図１に矢線で示している。

【0012】

図１に示すように、加工装置１は、ハウジング２上の保持手段３に保持された板状物ユニット９を、加工手段４により加工するように構成されている。板状物ユニット９は、環状フレーム９１の内側開口に粘着テープ９２が貼着され、粘着テープ９２上に円形状の板状物９３が貼着されて構成されている。環状フレーム９１は金属で形成されている。板状物９３は、半導体ウェーハや光デバイスウェーハ等である。板状物９３の表面は、格子状に配列された分割予定ラインによって複数の領域に区画され、この区画された領域にＩＣ、ＬＳＩ、ＬＥＤ等の各種デバイスが形成されている。板状物ユニット９はカセット５内に収容された状態で加工装置１に搬入される。

【0013】

ハウジング２の上面には、Ｘ軸方向に延在する矩形状の開口部（不図示）が形成されており、この開口部は、保持手段３と共に移動可能な移動板３１及び蛇腹状の防水カバー３２により被覆されている。防水カバー３２の下方には、保持手段３をＸ軸方向に移動させる移動機構（不図示）が設けられている。保持手段３の表面には、板状物ユニット９を吸引保持する保持面３３が形成されている。保持面３３は、保持手段３内の流路を通じて吸引源に接続されている。

【0014】

保持手段３は、いわゆるチャックテーブルであり、Ｘ軸方向における略中央の受け渡し位置と加工手段４に臨む加工位置との間で往復移動される。図１は、保持手段３が受け渡し位置に待機した状態を示している。ハウジング２において、この受け渡し位置に隣接した角部が一段下がっており、下がった箇所に載置テーブル６が昇降可能に設けられている。載置テーブル６には、板状物ユニット９を収容したカセット５が載置される。カセット５が載置された状態で載置テーブル６が昇降することによって、Ｚ軸方向において板状物ユニット９の引出位置及び押込位置が調整される。

【0015】

ハウジング２の上面には、載置テーブル６の後方に、Ｙ軸方向に延びる平行な一対のガイドレール７と、一対のガイドレール７とカセット５との間で板状物ユニット９を搬送するプッシュプル機構８が設けられている。一対のガイドレール７により、プッシュプル機構８での板状物ユニット９の搬送がガイドされると共に板状物ユニット９のＸ軸方向の位置決めが行われる。プッシュプル機構８は、カセット５から一対のガイドレール７上に加工前の板状物ユニット９を引き出す動作と、一対のガイドレール７上からカセット５に加工済みの板状物ユニット９を押し込む動作を行うことが可能である。プッシュプル機構８により板状物ユニット９のＹ軸方向の位置決めが行われる。

【0016】

一対のガイドレール７の近傍には、ガイドレール７と保持手段３との間で板状物ユニット９を搬送する搬送機構１０が設けられている。搬送機構１０は上面視Ｌ字状のアーム部１１を有し、アーム部１１の下面側に設けた複数の吸引パッドによって板状物ユニット９の環状フレーム９１を吸引保持する。そして、アーム部１１がＺ軸方向の軸を中心として旋回することで板状物ユニット９を搬送する。

【0017】

保持手段３の受け渡し位置の後方には、スピンナ式の洗浄機構１２が設けられている。洗浄機構１２では、回転中のスピンナテーブル１３に向けて洗浄水を噴射して板状物ユニット９を洗浄した後、乾燥エアーを吹き付けて板状物ユニット９を乾燥させる。

【0018】

ハウジング２上には、加工手段４を支持する支持台１４が設けられている。加工手段４は、ボールネジ式の移動機構（不図示）によりＹ軸方向及びＺ軸方向に移動される。加工手段４は、スピンドル（不図示）の先端に設けた切削ブレード４１を有している。切削ブレード４１はブレードカバー４２によって周囲が覆われており、ブレードカバー４２には切削部分に向けて切削水を噴射する噴射ノズル４３が設けられている。切削ブレード４１が高速回転され、噴射ノズル４３から切削水を噴射しつつ板状物ユニット９の板状物９３が切削加工される。

【0019】

支持台１４の側面１５に沿う位置に、保持手段３と洗浄機構１２との間で板状物ユニット９を搬送する搬送機構１６が設けられている。側面１５にはＹ軸方向に延びる長穴１５ａが形成されている。搬送機構１６は、長穴１５ａから突出して斜め前方に延びるアーム部１７を備え、アーム部１７の先端に、板状物ユニット９を吸着保持する吸着保持部が設けられている。この吸着保持部については後述する。吸着保持部で環状フレーム９１を保持しながらアーム部１７がＹ軸方向に移動することで板状物ユニット９が搬送される。

【0020】

支持台１４にはさらに、保持手段３の移動経路の上方を横切るようにして、撮像部１８を支持する片持支持部１９が設けられている。撮像部１８は片持支持部１９の下面から突出し、撮像部１８によって板状物ユニット９が撮像される。撮像部１８による撮像画像は、加工手段４と保持手段３とのアライメントに利用される。

【0021】

ハウジング２の最前部には、装置各部への指示を受け付ける入力手段２０が設けられている。また、ハウジング２内には、加工装置１の各部を統括制御する制御手段２１が設けられている。制御手段２１には入力手段２０から各種指示が入力され、各種指示に基づいて加工装置１の保持手段３や加工手段４等の構成要素の動作が制御される。制御手段２１は、加工装置１の各構成要素を動作させるプロセッサやメモリ等により構成されている。

【0022】

このように構成された加工装置１は、入力手段２０への加工開始の入力指示により、構成要素各部が連動して板状物ユニット９に対する一連の加工動作が自動的に実施される。

【0023】

先に述べたように、加工装置１を構成する搬送機構１６は、アーム部１７の先端に設けた吸着保持部に板状物ユニット９を吸着して搬送する。図２から図５を参照して、搬送機構１６の吸着保持部の詳細を説明する。

【0024】

図２に示すように、搬送機構１６の吸着保持部は一対の搬送プレート５０を備えている。各搬送プレート５０は細長い矩形状であり、一対の搬送プレート５０の長手方向の中央付近を接続プレート５１で接続している。なお、各搬送プレート５０を接続プレート５１上でスライドさせることにより、保持する板状物ユニット９のサイズを交換可能である。接続プレート５１は、支持機構５２を介してアーム部１７の先端部分の下方に支持されている。

【0025】

支持機構５２は、アーム部１７の下面側に設けた上方ブロック５２ａと、接続プレート５１の上面側に設けた下方ブロック５２ｂと、Ｚ軸方向に延びる一対の昇降軸５２ｃを備えている。各昇降軸５２ｃは上方ブロック５２ａに対してＺ軸方向に移動可能に支持されており、各昇降軸５２ｃの下端に下方ブロック５２ｂが支持されている。昇降軸５２ｃと下方ブロック５２ｂは、移動手段（不図示）によってＺ軸方向に往復移動され、この移動によって接続プレート５１と各搬送プレート５０のＺ軸方向の位置が変化する。つまり、搬送プレート５０は、支持台１４に対するアーム部１７のＹ軸方向の移動と、アーム部１７に対して支持機構５２を介して行われる接続プレート５１のＺ軸方向の移動によって、Ｙ軸方向（水平方向）とＺ軸方向（鉛直方向）に往復移動される。

【0026】

各搬送プレート５０には、長手方向の両端に近い位置に一対の吸引パッド５３が設けられ、一対の吸引パッド５３の間の位置に磁力保持部５４が設けられている。つまり、搬送機構１６の吸着保持部には、合計で４つの吸着パッド５３と２つの磁力保持部５４が設けられている。これらの吸着パッド５３と磁力保持部５４は、板状物ユニット９を構成する環状フレーム９１に対向することが可能な位置関係で配置されている。

【0027】

図３に示すように、吸引パッド５３は、搬送プレート５０に形成した貫通穴に対してＺ軸方向に移動可能に挿入された軸部５５と、軸部５５の下端に設けた円錐状の吸着部５６と、軸部５５の上端に設けた移動規制部５７を備えている。吸着部５６は搬送プレート５０の下方に位置し、移動規制部５７は搬送プレート５０の上方に位置する。軸部５５を囲む円筒状のコイルスプリング５８が吸着部５６と搬送プレート５０の間に挿入される。吸引パッド５３は、搬送プレート５０の上面に移動規制部５７が当接することにより下方への移動が規制され（図３参照）、コイルスプリング５８を圧縮させながら搬送プレート５０に対して相対的に上方へ位置を変化させることができる（図４、図５参照）。

【0028】

吸引パッド５３の内部空間は、空気の流通が可能な流路５９を通じて、吸引源となるポンプ６０と接続されている。ポンプ６０を駆動させると、吸引パッド５３内の空気が流路５９を通じてバルブ６１から排出される。環状フレーム９１の上面に吸着部５６を当接させながらポンプ６０による吸引を行うことにより、環状フレーム９１に吸着部５６を真空吸着させることができる。

【0029】

図３に示すように、磁力保持部５４は、搬送プレート５０の上面に固定されたシリンダ６２と、搬送プレート５０の下面に固定された筐体６３を有している。シリンダ６２は、密閉された内部空間を有する箱型の形状をなしている。シリンダ６２内にはピストン６４がＺ軸方向に移動可能に支持されている。ピストン６４から下方に突出するロッド６５は、搬送プレート５０を貫通して、筐体６３内に位置する磁石支持板６６に接続している。磁石支持板６６の下面側には磁石６７が固定されている。磁石６７は、板状の永久磁石からなる。

【0030】

シリンダ６２の内部空間は、空気の流通が可能な流路６８と流路６９を通じてポンプ７０と接続されている。流路６８はシリンダ６２内におけるピストン６４の上方空間に接続しており、流路６９はシリンダ６２内におけるピストン６４の下方空間に接続している。ポンプ７０を駆動させると、流路６８の途中に設けたバルブ７１と流路６９の途中に設けたバルブ７２を通して排気と吸気が行われる。その結果、シリンダ６２内でピストン６４の上方空間と下方空間の内圧が相対的に変化し、ピストン６４が上下移動を行う。シリンダ６２内でピストン６４の上方空間の内圧が相対的に高くなると、ピストン６４は下方に移動し、シリンダ６２内でピストン６４の下方空間の内圧が相対的に高くなるとピストン６４は上方に移動する。ピストン６４の上下移動に伴い、ロッド６５を介して磁石支持板６６が上下移動を行う。

【0031】

なお、ポンプ６０やポンプ７０は、ハウジング２の内部や支持台１４の内部等、任意の位置に配置することができる。流路５９、６８、６９は、吸引パッド５３や磁力保持部５４の移動に追従できるように、柔軟なチューブ等を用いて構成される。

【0032】

筐体６３は上面側が搬送プレート５０で覆われる箱状体であり、搬送プレート５０の下面から下方に突出する４つの側壁６３ａと、４つの側壁６３ａの底部を塞ぐ底壁６３ｂを備えている。４つの側壁６３ａは、Ｘ軸方向及びＺ軸方向に沿う一対の側壁６３ａ（図３から図５には表れていない）と、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に沿う一対の側壁６３ａ（図３から図５に表れている）とで構成されている。これら４つの側壁６３ａと底壁６３ｂに囲まれる筐体６３の内部空間に、磁石支持板６６と磁石６７が配置されている。磁石支持板６６の下面側に支持された磁石６７は、側壁６３ａに沿って上下に移動可能にガイドされており、図３に示す上方の非作用位置では搬送プレート５０の下面に接近し、図４と図５に示す下方の作用位置では底壁６３ｂに接する位置まで下降する。

【0033】

シリンダ６２内でのピストン６４の上下移動に伴って、筐体６３内で磁石６７が非作用位置と作用位置に上下移動される。つまり、磁力保持部５４では、筐体６３が、磁石６７をＺ軸方向に移動可能にガイドするガイド部を構成している。また、ピストン６４が、Ｚ軸方向の作用位置と非作用位置に磁石６７を移動させる移動手段を構成している。ピストン６４の動作に関わるシリンダ６２、流路６８及び６９、ポンプ７０、バルブ７１、７２も移動手段を構成する要素である。

【0034】

以上の構成からなる搬送機構１６は次のように動作する。なお、図３から図５には、搬送機構１６に設けた４つの吸引パッド５３と２つの磁力保持部５４のうちそれぞれ１つのみを図示しているが、図示されていない吸引パッド５３と磁力保持部５４についても、図示されたものと同様に動作するものとする。

【0035】

図３は、搬送機構１６を構成する吸引パッド５３と磁力保持部５４がいずれも、板状物ユニット９の環状フレーム９１を保持していない非保持状態を示している。このときポンプ６０は駆動しておらず、吸引パッド５３は環状フレーム９１を吸引していない。図３の状態で、吸引パッド５３は、搬送プレート５０に対して最も下降した位置にあり、搬送プレート５０の上面に移動規制部５７が当接すると共に、吸着部５６の下端面が磁力保持部５４の筐体６３の底壁６３ｂよりも下方に位置している。磁力保持部５４では、磁石６７が筐体６３内の上方の非作用位置に保持されていて、環状フレーム９１に対する磁力保持を行っていない。

【0036】

搬送機構１６が保持手段３や洗浄機構１２から板状物ユニット９を受け取って搬送するときには、図４に示すように、環状フレーム９１の上面に吸引パッド５３の吸着部５６が接する状態にする。このとき、制御手段２１（図１）は、支持機構５２を動作させて搬送プレート５０をＺ軸方向で下降させ、吸着部５６と搬送プレート５０の間隔を小さくさせる。すると、コイルスプリング５８の圧縮量が大きくなり、吸引パッド５３に対して下方への付勢力が働き、吸着部５６が環状フレーム９１の上面に強く押し付けられる。また、搬送プレート５０の下降によって、磁力保持部５４を構成する筐体６３の底壁６３ｂが、環状フレーム９１の上面に接近する。

【0037】

制御手段２１は、図４のように吸着部５６が環状フレーム９１の上面に押し付けられた状態で、ポンプ６０を駆動して吸引パッド５３内の空気を吸引させる。すると、環状フレーム９１の上面に吸着部５６が真空吸着して、環状フレーム９１が吸引パッド５３によって吸引保持される。

【0038】

また、制御手段２１は、図４に示すように、ポンプ７０を駆動してピストン６４をシリンダ６２内で下方に移動させ、磁石６７を非作用位置から作用位置に移動させる。作用位置にある磁石６７は、筐体６３の外壁である底壁６３ｂを通して金属製の環状フレーム９１に磁力を及ぼし、環状フレーム９１を磁力で引きつけて保持する。つまり、図４に示す板状物ユニット９の保持状態では、環状フレーム９１は、吸引パッド５３による吸引保持に加えて、磁力保持部５４による磁力保持を受けている。

【0039】

筐体６３は、磁性体と非磁性体のいずれで形成してもよい。筐体６３を磁性体で形成した場合は、磁石６７を作用位置に移動させたときに、筐体６３の底壁６３ｂにも環状フレーム９１を引き付ける磁力が働き、環状フレーム９１を効率的に磁力保持することができる。筐体６３を非磁性体で形成した場合は、作用位置にある磁石６７の磁力で環状フレーム９１を確実に引き付けることができるように、底壁６３ｂの厚み等の条件を適宜設定すればよい。

【0040】

なお、図４に示す板状物ユニット９の保持状態において、吸引パッド５３での吸引保持を維持するためには、吸着部５６が環状フレーム９１の上面に対して隙間なく密着する必要がある。例えば、筐体６３の底壁６３ｂの下面が吸着部５６よりも下方に突出していると、吸着部５６よりも先に底壁６３ｂが環状フレーム９１の上面に当接してしまい、環状フレーム９１に対する吸着部５６の密着が妨げられてしまう。そのため、図４の保持状態において、環状フレーム９１の上面と筐体６３の底壁６３ｂの下面との間にクリアランスを設けるように設定してもよい。これにより、部品の精度等に多少のばらつきがあっても、筐体６３に妨げられることなく、環状フレーム９１の上面に対する吸着部５６の真空吸着を確実に行わせることができる。磁力保持部５４は、環状フレーム９１の上面に対して筐体６３の底壁６３ｂが多少離間していても、磁力による吸引力を環状フレーム９１に作用させることができる。

【0041】

搬送機構１６による板状物ユニット９の搬送が完了して、保持手段３や洗浄機構１２に板状物ユニット９を受け渡すときには、制御手段２１は、ポンプ６０による吸引をオフにして吸引パッド５３による吸引保持を解除させる。また、制御手段２１は、ポンプ７０を駆動してシリンダ６２内でピストン６４を上方に移動させ、磁石６７を図３に示す非作用位置に移動させる。これにより、磁力保持部５４での磁力保持も解除される。板状物ユニット９に対する保持を解除する順序として、吸引パッド５３による吸引保持の解除が完了したら、磁力保持部５４による磁力保持の解除を行うことが好ましい。

【0042】

図５は、搬送機構１６による板状物ユニット９の保持を要する状態（板状物ユニット９の搬送途中等）で、ポンプ６０が停止する等の原因で吸引パッド５３の真空ラインが失われて、吸引パッド５３の吸引力が環状フレーム９１に作用しなくなった状態を示している。このとき磁力保持部５４は、作用位置にある磁石６７の磁力によって、環状フレーム９１を筐体６３の底壁６３ｂに引きつけて保持しており、板状物ユニット９の落下を防止している。図５では、底壁６３ｂの下面に環状フレーム９１の上面が当接して、底壁６３ｂと環状フレーム９１の間にクリアランスがない状態になっている。

【0043】

図５に示すように、磁石６７は環状フレーム９１との間に働く磁気吸引力によって作用位置に保持されるので、ポンプ７０が動作不能となった場合でも、磁力保持部５４による環状フレーム９１の磁力保持が解除されることはない。そのため、工場施設等の不具合でポンプ６０、７０を含む全ての吸引源が停止しても、板状物ユニット９の落下を確実に防止できる。

【0044】

以上のように、本実施形態の搬送機構１６は、吸引パッド５３により環状フレーム９１を吸引保持することに加えて、磁力保持部５４により環状フレーム９１を磁力保持するので、搬送中に吸引パッド５３による吸引保持が解除されても、板状物ユニット９の落下を防止できる。磁力保持部５４は、磁石６７を非作用位置と作用位置に上下移動させるだけのシンプルな構造であり、省スペース化を図ることができる。

【0045】

本実施の形態の磁力保持部５４では、磁力を発生させる手段として、電磁石ではなく永久磁石からなる磁石６７を用いている。電磁石は、通電をオフにした後の残留磁気の除去に手間と時間がかかるため、搬送完了後の板状物ユニット９のリリースに遅滞が生じるおそれがある。また、電磁石は、装置全体の電源喪失等のトラブルによって通電が解除されたときに、磁力保持力が失われてしまい、落下防止機構として機能しなくなるおそれがある。これに対して磁石６７は、作用位置から非作用位置に移動させるだけで、環状フレーム９１に対する磁力保持を直ちに解除することができ、搬送完了後に板状物ユニット９を迅速に受け渡すことができる。また、先に述べように、磁石６７は、電磁石のような通電を要さずに自身の磁力によって作用位置を維持できるので、作用位置まで移動させた後は、ポンプ７０の動作不良等の外部的要因で保持力が失われることがなく、落下防止機構としての有効性が高い。

【0046】

なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。上記実施の形態において、添付図面に図示されている大きさや形状などについては、これに限定されず、本発明の効果を発揮する範囲内で適宜変更することが可能である。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。

【0047】

上記した実施の形態の筐体６３は、４つの側壁６３ａと底壁６３ｂと搬送プレート５０の下面とで囲まれる閉鎖された内部空間を形成している。そのため、加工により生じるコンタミネーションが筐体６３内に侵入しにくく、特に磁性体を含む異物が筐体６３内の磁石６７に付着することを防止できるという利点がある。しかし、このような筐体６３に代えて、内部空間が閉鎖されていないガイド部によって磁石６７の上下移動をガイドすることも可能である。

【0048】

例えば、ガイド部の変形例として、筐体６３から底壁６３ｂを省略した角筒状のガイド部を用いてもよい。この場合、図５のように磁力保持部５４によって板状物ユニット９の落下防止を行う際に、環状フレーム９１の上面に対して磁石６７が直接に当接して磁力保持する。

【0049】

また、ガイド部の異なる変形例として、筐体６３の４つの側壁６３ａの少なくとも一つが、Ｚ軸方向に長いスリット状のガイド溝を有しており、このガイド溝に対して、磁石６７や磁石支持板６６に設けた突出部が摺動可能に挿入されるようなガイド構造を採用することもできる。

【0050】

また、上記した実施の形態の筐体６３は、搬送プレート５０の下面に固定的に支持されているが、搬送プレート５０の下面から離れた位置に配したガイド部によって磁石６７の上下移動をガイドしてもよい。

【0051】

上記した実施の形態は、磁石６７を上下移動させる移動手段として、ポンプ７０を駆動して空気圧でシリンダ６２内のピストン６４を上下移動させるタイプを用いているが、これ以外の形態の移動手段を用いることも可能である。例えば、電磁力を利用して電気エネルギーを機械的な直線運動に変換するソレノイド等を移動手段として用いてもよい。

【0052】

上記した実施の形態は、板状物ユニット９の板状物９３に対して切削加工を行う加工手段４を備えた加工装置１を例示して説明したが、この構成に限定されない。加工装置は、板状物ユニット９に対して加工を施す装置であれば、どのような装置でもよく、例えば、研削装置に搭載される搬送機構として本発明を適用することが可能である。

【0053】

また、上記した実施の形態の加工装置１のうち、搬送機構１６とは別に設けられている搬送機構１０に本発明を適用することも可能である。

【産業上の利用可能性】

【0054】

以上説明したように、本発明は、シンプルな構造の磁力保持部によって環状フレームの落下を防止できるという効果を有し、特に、吸引パッドの吸引力で環状フレームを保持しながら板状物ユニットを搬送する搬送機構に有用である。

【符号の説明】

【0055】

１ 加工装置
３ 保持手段
４ 加工手段
５ カセット
６ 載置テーブル
７ ガイドレール
８ プッシュプル機構
９ 板状物ユニット
１０ 搬送機構
１１ アーム部
１２ 洗浄機構
１４ 支持台
１６ 搬送機構
１７ アーム部
１８ 撮像部
２０ 入力手段
２１ 制御手段
５０ 搬送プレート
５１ 接続プレート
５２ 支持機構
５３ 吸引パッド
５４ 磁力保持部
５６ 吸着部
５８ コイルスプリング
５９ ６８ ６９ 流路
６０ ７０ ポンプ
６１ ７１ ７２ バルブ
６２ シリンダ
６３ 筐体
６３ａ 側壁
６３ｂ 底壁
６４ ピストン
６６ 磁石支持板
６７ 磁石
９１ 環状フレーム
９２ 粘着テープ
９３ 板状物

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】