特許6727068プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法

発明の名称　プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法

出願人　株式会社日立ハイテクノロジーズ　（識別番号 501387839）

　　　　特許公開件数ランキング 191 位（55件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 61 位（123件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6727068

公報発行日　2020年7月22

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6727068

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