特許6730385金属化学機械平坦化（ＣＭＰ）組成物およびその方法

発明の名称　金属化学機械平坦化（ＣＭＰ）組成物およびその方法

出願人　バーサム　マテリアルズ　ユーエス，リミティド　ライアビリティ　カンパニー　（識別番号 517114182）

　　　　特許公開件数ランキング 779 位（10件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 819 位（8件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6730385

公報発行日　2020年7月29

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6730385

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-6730385「金属化学機械平坦化（ＣＭＰ）組成物およびその方法」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録