知財求人 - 知財ポータルサイト「IP Force」
▶ カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの特許一覧
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】6738323
(24)【登録日】2020年7月21日
(45)【発行日】2020年8月12日
(54)【発明の名称】投影リソグラフィのための照明光学ユニット
(51)【国際特許分類】
G03F 7/20 20060101AFI20200730BHJP
G02B 17/06 20060101ALI20200730BHJP
【ＦＩ】
G03F7/20 503
G03F7/20 521
G02B17/06
【請求項の数】11
【全頁数】23
(21)【出願番号】特願2017-512830(P2017-512830)
(86)(22)【出願日】2015年8月20日
(65)【公表番号】特表2017-527856(P2017-527856A)
(43)【公表日】2017年9月21日
(86)【国際出願番号】EP2015069134
(87)【国際公開番号】WO2016034424
(87)【国際公開日】20160310
【審査請求日】2018年8月20日
(31)【優先権主張番号】102014217611.5
(32)【優先日】2014年9月3日
(33)【優先権主張国】DE
(73)【特許権者】
【識別番号】503263355
【氏名又は名称】カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
(74)【代理人】
【識別番号】100094569
【弁理士】
【氏名又は名称】田中 伸一郎
(74)【代理人】
【識別番号】100088694
【弁理士】
【氏名又は名称】弟子丸 健
(74)【代理人】
【識別番号】100067013
【弁理士】
【氏名又は名称】大塚 文昭
(74)【代理人】
【識別番号】100086771
【弁理士】
【氏名又は名称】西島 孝喜
(74)【代理人】
【識別番号】100109070
【弁理士】
【氏名又は名称】須田 洋之
(74)【代理人】
【識別番号】100120525
【弁理士】
【氏名又は名称】近藤 直樹
(74)【代理人】
【識別番号】100164530
【弁理士】
【氏名又は名称】岸 慶憲
(72)【発明者】
【氏名】エンドレス マルティン
【審査官】
今井 彰
(56)【参考文献】
【文献】
特表２０１１−５１２６５９（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特表２０１２−５１９９５１（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特表２０１５−５１７７３３（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特表２０１５−５２４９４２（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特表２０１５−５３４１１０（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特表２０１１−５１９１７２（ＪＰ，Ａ）
【文献】
米国特許出願公開第２００９／００９１７３１（ＵＳ，Ａ１）
(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）
Ｈ０１Ｌ ２１／０２７、２１／３０
Ｇ０３Ｆ ７／２０−７／２４、９／００−９／０２
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
下流の結像光学ユニット（１０）の物体視野（８）と照明される物体（１２）とが配置可能である照明視野をＥＵＶ光源（２）の照明光（３）で照明するための投影リソグラフィのための照明光学ユニット（１１）であって、
互いに隣に配置され複数の個々のミラー（２１）を有する第１のファセットミラー（６）であって、該個々のミラーが、前記照明視野の事前定義された照明を事前定義する目的のために、個々に傾斜されてグループ分けされ、一緒に傾斜可能である個々のミラーグループ（２８）を形成する前記第１のファセットミラー（６）を含み、
互いに隣に配置された複数の個々に傾斜可能な更に別のファセット（２５）を有する更に別のファセットミラー（７）を含み、
前記２つのファセットミラー（６，７）は、各場合に前記更に別のファセット（２５i）のうちの正確に１つを通じた前記物体視野（８）への前記ＥＵＶ照明光（３）のビームの部分ビーム（３i）の反射重ね合わせ案内のために具現化され、
前記第１のファセットミラー（６）は、前記物体視野（８）に対して共役である視野平面に又はその近くに配置され、
前記更に別のファセットミラー（７）は、照明光学ユニット（１１）の瞳平面（１２ｂ）から距離を置いて配置され、
前記更に別のファセット（２５i）のうちの正確に１つを通じて前記部分ビーム（３i）のうちの１つを前記物体視野（８）まで案内する前記個々のミラーグループ（２８）のうちの少なくとも１つが、前記第１のファセットミラー（６）上で隣接しない複数の個々のミラーサブグループ（３３，３４；４７から４９；５０から５９）から形成されるような該個々のミラーグループ（２８）のグループ分けを含む、
ことを特徴とする照明光学ユニット（１１）。
互いに隣に配置され複数の個々のミラー（２１）を有する第１のファセットミラー（６）であって、該個々のミラーが、前記照明視野の事前定義された照明を事前定義する目的のために、個々に傾斜されてグループ分けされ、一緒に傾斜可能である個々のミラーグループ（２８）を形成する前記第１のファセットミラー（６）を含み、
互いに隣に配置された複数の個々に傾斜可能な更に別のファセット（２５）を有する更に別のファセットミラー（７）を含み、
前記２つのファセットミラー（６，７）は、各場合に前記更に別のファセット（２５i）のうちの正確に１つを通じた前記物体視野（８）への前記ＥＵＶ照明光（３）のビームの部分ビーム（３i）の反射重ね合わせ案内のために具現化され、
前記第１のファセットミラー（６）は、前記物体視野（８）に対して共役である視野平面に又はその近くに配置され、
前記更に別のファセットミラー（７）は、照明光学ユニット（１１）の瞳平面（１２ｂ）から距離を置いて配置され、
前記更に別のファセット（２５i）のうちの正確に１つを通じて前記部分ビーム（３i）のうちの１つを前記物体視野（８）まで案内する前記個々のミラーグループ（２８）のうちの少なくとも１つが、前記第１のファセットミラー（６）上で隣接しない複数の個々のミラーサブグループ（３３，３４；４７から４９；５０から５９）から形成されるような該個々のミラーグループ（２８）のグループ分けを含む、
ことを特徴とする照明光学ユニット（１１）。
【請求項2】
前記個々のミラーグループ（２８）は、前記ＥＵＶ照明光（３）の前記ビームの遠視野（２７ａ）を８０％よりも大きく覆うことを特徴とする請求項１に記載の照明光学ユニット。
【請求項3】
前記個々のミラーグループ（２８）のうちの少なくとも１つの選択された個々のミラー（２１A）が、
前記選択された個々のミラー（２１A）が、物体視野照明目的のために照明光（３）を前記更に別のファセット（２５i）のうちの第１のものに反射する第１の傾斜位置と、
前記選択された個々のミラー（２１A）が、物体視野照明目的のために照明光（３）を前記更に別のファセット（２５i）のうちの第２のものに反射する第２の傾斜位置と、
の間で変位可能であり、
前記更に別のファセット（２５i）の前記第１のもの及び／又は前記第２のものがまた、照明光（３）を前記選択された個々のミラー（２１A）によって案内される該照明光（３）に加えて少なくとも１つの更に別の個々のミラーグループ（２８）から前記物体視野（８）まで案内する、
ような前記更に別のファセット（２５i）への前記個々のミラーグループ（２８）の割り当て、
を特徴とする請求項１又は請求項２に記載の照明光学ユニット。
前記選択された個々のミラー（２１A）が、物体視野照明目的のために照明光（３）を前記更に別のファセット（２５i）のうちの第１のものに反射する第１の傾斜位置と、
前記選択された個々のミラー（２１A）が、物体視野照明目的のために照明光（３）を前記更に別のファセット（２５i）のうちの第２のものに反射する第２の傾斜位置と、
の間で変位可能であり、
前記更に別のファセット（２５i）の前記第１のもの及び／又は前記第２のものがまた、照明光（３）を前記選択された個々のミラー（２１A）によって案内される該照明光（３）に加えて少なくとも１つの更に別の個々のミラーグループ（２８）から前記物体視野（８）まで案内する、
ような前記更に別のファセット（２５i）への前記個々のミラーグループ（２８）の割り当て、
を特徴とする請求項１又は請求項２に記載の照明光学ユニット。
【請求項4】
前記個々のミラーグループ（２８）又は前記個々のミラーサブグループ（３３，３４；４７から４９；５０から５９）が、該個々のミラーグループ（２８）の又は該個々のミラーサブグループ（３３，３４；４７から４９；５０から５９）の縁部が物体変位方向（ｙ）との２０°よりも大きい角度を含むように境界が定められる該物体変位方向（ｙ）に変位可能である物体（１２）を照明するための照明光学ユニット（１１）の設計を特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の照明光学ユニット。
【請求項5】
前記第１のファセットミラー（６）は、複数の個々のミラーブロック（２７ｂ）を有し、
ブロック間隙（２８ａ）が、各場合に前記個々のミラーブロック（２７ｂ）のうちの２つの間に存在し、該ブロック間隙（２８ａ）は、該個々のミラーブロック（２７ｂ）のうちの１つの内部の２つの隣接する個々のミラー（２１）の間のミラー間隙よりも大きい広がりを有し、
全てのブロック間隙（２８ａ）のうちの８０％未満が、個々のミラーグループ（２８）又は個々のミラーサブグループ（３３，３４；４７から４９；５０から５９）の内部に位置する、
ことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の照明光学ユニット。
ブロック間隙（２８ａ）が、各場合に前記個々のミラーブロック（２７ｂ）のうちの２つの間に存在し、該ブロック間隙（２８ａ）は、該個々のミラーブロック（２７ｂ）のうちの１つの内部の２つの隣接する個々のミラー（２１）の間のミラー間隙よりも大きい広がりを有し、
全てのブロック間隙（２８ａ）のうちの８０％未満が、個々のミラーグループ（２８）又は個々のミラーサブグループ（３３，３４；４７から４９；５０から５９）の内部に位置する、
ことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の照明光学ユニット。
【請求項6】
請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の照明光学ユニット（１１）を使用する時に照明視野（８）を照明するための更に別のファセットミラー（７）のファセット（２５）への第１のファセットミラー（６）の個々のミラーグループ（２８）の割り当てを決定する方法であって、
ａ）照明瞳（１２ａ）内の照明強度分布を事前定義する段階と、
ｂ）前記照明視野又は物体視野の縁部輪郭を含む照明視野広がり又は物体視野広がりを事前定義する段階と、
ｃ）前記更に別のファセットミラー（７）の前記ファセット（２５i）のうちの第１のもの（２５1）を選択する段階と、
ｄ）前記照明視野又は物体視野（８）のうちの少なくとも一部を照明する目的のために前記更に別のファセットミラー（７）のこのファセット（２５1）に前記照明光（３）を印加するのに前記第１のファセットミラー（６）のどの個々のミラー（２１）を使用することができるかを検査する段階と、
ｅ）ｄ）による前記検査中に照明ソリューションをもたらす個々のミラー（２１）を前記更に別のファセットミラー（７）の前記選択されたファセット（２５1）に割り当てられた前記個々のミラーグループ（２８）に割り振る段階と、
ｆ）前記更に別のファセットミラー（７）の全てのファセット（（２５2），（２５3），．．．）に対して段階ｃ）からｅ）の繰り返す段階と、
を含むことを特徴とする方法。
ａ）照明瞳（１２ａ）内の照明強度分布を事前定義する段階と、
ｂ）前記照明視野又は物体視野の縁部輪郭を含む照明視野広がり又は物体視野広がりを事前定義する段階と、
ｃ）前記更に別のファセットミラー（７）の前記ファセット（２５i）のうちの第１のもの（２５1）を選択する段階と、
ｄ）前記照明視野又は物体視野（８）のうちの少なくとも一部を照明する目的のために前記更に別のファセットミラー（７）のこのファセット（２５1）に前記照明光（３）を印加するのに前記第１のファセットミラー（６）のどの個々のミラー（２１）を使用することができるかを検査する段階と、
ｅ）ｄ）による前記検査中に照明ソリューションをもたらす個々のミラー（２１）を前記更に別のファセットミラー（７）の前記選択されたファセット（２５1）に割り当てられた前記個々のミラーグループ（２８）に割り振る段階と、
ｆ）前記更に別のファセットミラー（７）の全てのファセット（（２５2），（２５3），．．．）に対して段階ｃ）からｅ）の繰り返す段階と、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項7】
前記物体視野の照明に対して可能な最大の個々のミラーグループサイズの代わりに、より小さい個々のミラーグループが、少なくとも一部の個々のミラーグループ（２８）に対して形成されることを特徴とする請求項６に記載の方法。
【請求項8】
請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の照明光学ユニットと、
物体視野（８）を像視野（１７）内に結像するための投影光学ユニット（１０）と、
を含むことを特徴とする光学系。
物体視野（８）を像視野（１７）内に結像するための投影光学ユニット（１０）と、
を含むことを特徴とする光学系。
【請求項9】
請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の照明光学ユニットと、
光源（２）と、
を含むことを特徴とする照明系。
光源（２）と、
を含むことを特徴とする照明系。
【請求項10】
請求項８に記載の光学系と、
光源（２）と、
を含むことを特徴とする投影露光装置。
光源（２）と、
を含むことを特徴とする投影露光装置。
【請求項11】
微細構造化構成要素を生成する方法であって、
レチクル（１２）を与える段階と、
照明光（３）に対して感受性であるコーティングを有するウェーハ（１９）を与える段階と、
請求項１０に記載の投影露光装置（１）を用いて前記レチクル（１２）の少なくとも１つのセクションを前記ウェーハ（１９）の上に投影する段階と、
前記ウェーハ（１９）上で前記照明光（３）によって露光された前記感光層を現像する段階と、
を含むことを特徴とする方法。
レチクル（１２）を与える段階と、
照明光（３）に対して感受性であるコーティングを有するウェーハ（１９）を与える段階と、
請求項１０に記載の投影露光装置（１）を用いて前記レチクル（１２）の少なくとも１つのセクションを前記ウェーハ（１９）の上に投影する段階と、
前記ウェーハ（１９）上で前記照明光（３）によって露光された前記感光層を現像する段階と、
を含むことを特徴とする方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本出願は、引用によって本明細書にその内容が組み込まれているドイツ特許出願ＤＥ １０ ２０１４ ２１７ ６１１．５の優先権を主張するものである。
【0002】
本発明は、投影リソグラフィのための照明光学ユニットに関する。本発明は、更に、そのような照明光学ユニットを使用する時に照明視野を照明するために更に別のファセットミラーのファセットへの第１のファセットミラーの個々のミラーグループの割り当てを決定する方法、そのような照明光学ユニットを含む光学系、そのような照明光学ユニットを含む照明系、そのような光学系を含む投影露光装置、微細又はナノ構造化構成要素を生成する方法、及び本方法によって生成される構成要素に関する。
【背景技術】
【0003】
伝達光学ユニットと下流に配置された少なくとも１つの照明事前定義ファセットミラーとを含む照明光学ユニットは、ＷＯ ２０１０／０９９８０７ Ａ１及びＵＳ ２００６／０１３２７４７ Ａ１から公知である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】ＷＯ ２０１０／０９９８０７ Ａ１
【特許文献2】ＵＳ ２００６／０１３２７４７ Ａ１
【特許文献3】ＷＯ ２０１０／０９９ ８０７ Ａ
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
本発明の目的は、照明視野の照明を事前定義する時に高い柔軟性が得られるように冒頭に示したタイプの照明光学ユニットを発展させることである。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明により、上述の目的は、請求項１に記載の特徴を含む照明光学ユニットによって達成される。
【0007】
本発明によって明らかになったことは、それぞれの個々のミラーグループからの照明光が、瞳平面から距離を置いて配置された更に別のファセットミラーの１つかつ同じ更に別のファセットを通して物体視野に事前定義された照明に従って案内されるように、第１のファセットミラーの個々のミラーグループが必ずしも連続したものである必要はないということである。特に異なる照明極から光が物体視野に到達しなければならない事前定義された照明角度分布、いわゆる照明設定の場合に、第１のファセットミラー上で複数の不連続な個々のミラーサブグループから構成される個々のミラーグループ分けを可能にすることが有利であることが見出されている。この場合に、同じ個々のミラーグループに属する個々のミラーサブグループは、１つかつ同じ更に別のファセットを通して異なる常に空間分離された物体視野領域内に転写され、すなわち、特に結像される。視野ファセットミラーの改善された有用性が出現する。更に別のファセットミラーを鏡面反射器とも呼ぶ。更に別のファセットミラーのファセットを更に別のファセット又は鏡面ファセットとも呼ぶ。更に別のファセットミラーのこれらのファセット自体は、各場合に、一緒に機能した時にそれぞれの更に別のファセット又は鏡面ファセットを形成し、第１のファセットミラーの個々のミラーグループを物体視野内に事前定義された方式で転写する、特に結像する複数の個々のミラーから形成することができる。個々のミラーグループのグループ分けは、各場合に複数の不連続な個々のミラーサブグループを有する複数の個々のミラーグループが存在するようなものとすることができる。更に別のファセットミラーが１００個よりも多い更に別のファセットを有する限り、個々のミラーグループのうちの１％よりも多いものを不連続とすることができる。より高い百分率、例えば、１．５％よりも高い、２％よりも高い、１０％まで又は他にそれよりも更に高い百分率も可能である。不連続な個々のミラーグループは、２つ、３つ、又は更に多くの個々のミラーサブグループから形成することができる。照明光学ユニットの瞳平面から距離を置いて配置された第２の更に別のファセットミラーは、照明光学ユニット又は下流の投影光学ユニットの視野平面又はそれに対して共役な平面には配置されない。第１のファセットミラーの個々のミラーを一緒に傾斜可能な個々のミラーグループにグループ分けすることは、それぞれのグループ内にグループ分けされた個々のミラーが、各々、機能グループの帰属関係から得られる固定的に事前定義された傾斜角を有することを意味する。この場合に、この事前定義された傾斜角は同一の傾斜角に関連する必要はないが、通常は高々僅かしか異ならない傾斜角に関連する。個々のミラーグループ内で一緒に傾斜可能な個々のミラーは、これらの個々のミラーが全て１つかつ同じアクチュエータによって傾斜されることを意味せず、又は少なくとも必ずしも意味しない。通例では、個々のミラーグループ内の各個々のミラーは専用傾斜アクチュエータを有する。個々のミラーグループ内の個々のミラーを割り当てる段階は、照明光学ユニットの中央コントローラによって実施され、かつ設定されるそれぞれの照明パラメータに依存する。
【0008】
請求項２に記載の遠視野カバレージは、ＥＵＶ照明光の特に効率的な使用をもたらす。遠視野カバレージは、８５％よりも良好、９０％よりも良好なものとすることができ、又はより一層良好なものとすることができる。
【0009】
割り当てにおいて請求項３に記載の選択された個々のミラーを考慮する段階は、照明設定を最適化するために、個々のミラーグループによる第１のファセットミラーの占有率を最適化するために、及び／又は更に別のファセット上の熱負荷を低減するために使用することができる割り当て柔軟性を高める。第１の傾斜位置と第２の傾斜位置の間で選択された個々のミラーを傾斜させる時には、更に別のファセットの傾斜は必要ではない。選択された個々のミラーは、第１のファセットミラーの全ての個々のミラーのうちの５０％よりも少ないとすることができる。選択された個々のミラーが第１のファセットミラーの個々のミラーの全体のうちの少なめの比率、例えば、最大でも２０％しか構成しないことも可能である。選択された個々のミラーのそのような比率は、第１のファセットミラーを高い遠視野カバレージに使用することができるように第１のファセットミラーを個々のミラーグループで柔軟に占有する選択肢をもたらす。照明光学ユニットの瞳充填度、すなわち、入射瞳の全体面積に対する入射瞳の照明領域の比率は、低く保つことができる。更に、照明光学ユニットの照明特性の微調節が可能である。この微調節は、個々のミラーグループの個々のミラーの比率が２０％又は５０％よりも高い場合であっても、選択された個々のミラーに関連付けることができる。原理的には、全ての個々のミラーがそのような選択された個々のミラーの機能を有することも可能である。
【0010】
請求項４に記載の境界が定められた個々のミラーグループを事前定義する段階は、特に更に別のファセットの法線ベクトルのドリフトに関して走査積分照明の感受性を下げる。
【0011】
請求項５に記載の個々のミラーグループで第１のファセットミラーを占有する段階は、物体視野に結像されるブロック間隙の影響を低減する。照明の安定性及びスループットが改善される。
【0012】
請求項６に記載の方法は、個々のミラーグループを更に別のファセットに割り当てる時に特に好適であることが見出されている。この決定方法の結果として、更に別のファセットミラーのファセットのうちの各々は、それに割り当てられた第１のファセットミラーの正確に１つの個々のミラーグループを有することができる。これに代えて、更に別のファセットミラーのファセットから選択を行うことができ、すなわち、個々のミラーグループは、これらの更に別のファセットの全てに割り当てなくてもよい。一例として、割り当てるべき更に別のファセットの選択は、初期段階で事前定義される照明強度分布を事前定義する。
【0013】
請求項７に記載の方法では、最大サイズを有する個々のミラーグループを形成するという前提を逸脱する。それによって第１のファセットミラーを個々のミラーグループで占有する柔軟性が高まり、この高い柔軟性は、例えば更に別のファセット上の熱負荷を低減するために、個々のミラーグループによるジグソーパズル占有の場合に第１のファセットミラー上の遠視野カバレージを改善するために、又は他にブロック間隙の望ましくない結像を低減するために使用することができる。
【0014】
請求項８に記載の光学系、請求項９に記載の照明系、請求項１０に記載の投影露光装置、請求項１１に記載の生成方法、及び請求項１２に記載の微細又はナノ構造化構成要素の利点は、照明光学ユニットに関して上述したものに対応する。生成される構成要素は、半導体要素、特にマイクロチップ、特にメモリチップとすることができる。
【0015】
図面を参照して本発明の例示的実施形態を下記でより詳細に説明する。
【図面の簡単な説明】
【0016】
【図1】光源と、照明光学ユニットと、投影光学ユニットとを含むＥＵＶマイクロリソグラフィのための投影露光装置を非常に概略的に示す子午断面図である。
【図2】中間フォーカスから進んで投影光学アセンブリの物体平面内の照明視野又は物体視野の領域に配置されたレチクルに至る図１に記載の照明光学ユニットの瞳照明ユニット内の代表的な個々の光線のビーム経路を略例示する類似の子午断面図である。
【図3】視野平面に配置された結像光学ユニットの伝達ファセットミラーの平面図である。
【図4】２つのファセットミラーを通してｘ二重極照明設定が設定される場合の個々のミラーブロックへの伝達ファセットミラーの再分割を示し、照明光学ユニット内で下流に配置された照明事前定義ファセットミラーの照明事前定義ファセットが割り当てられる仮想ファセットグループ又は個々のミラーグループを構成する照明ゾーンの伝達ファセットミラー上での割り当てを強調した図である。
【図5】照明光学ユニットの瞳平面から距離を置いて配置された照明光学ユニットの照明事前定義ファセットミラーの平面図である。
【図6】瞳座標σx及びσyの上にプロットしたｘ二重極照明設定のための瞳強度分布を示す図である。
【図7】伝達ファセットミラーのそれぞれ割り当てられた個々のミラーグループによる照明によって入射を受ける照明事前定義ファセットを各場合に個々のミラーグループに属するサブグループの個数に依存して強調した照明事前定義ファセットミラーの実施形態を示す図５と類似の図である。
【図8】個々の照明事前定義ファセットとビーム経路内で物体平面の下流に配置された投影光学ユニットの入射瞳平面との間のＥＵＶ照明光の展開ビーム経路を示す図である。
【図9】図８に記載の中心照明事前定義ファセットから進行するビーム経路が物体平面内を通る、すなわち、この照明事前定義ファセットによって照明され、この照明事前定義ファセットに割り当てられた伝達ファセットミラーの２つの個々のミラーサブグループを有する個々のミラーグループが内部に結像される部分視野内を通る拡大断面図である。
【図10】照明事前定義ファセットを通してそれぞれ照明される部分視野サイズに依存するこれらの照明事前定義ファセットの度数分布を示す全物体視野面積に対してプロットしたヒストグラムである。
【図11】各場合に照明事前定義ファセットのうちの１つによって照明される部分視野のレチクルの物体変位方向ｙに対して垂直（ｘ）に測定した最大広がりＸTFに依存するこれらの照明事前定義ファセットの度数分布を示す物体変位方向に対して垂直な全物体視野広がりＸOFに対してプロットした類似のヒストグラムである。
【発明を実施するための形態】
【0017】
非常に概略的に図１の子午断面図に示すマイクロリソグラフィのための投影露光装置１は、照明光３のための光源２を有する。光源は、５ｎｍと３０ｎｍの間の波長領域の光を生成するＥＵＶ光源である。この場合ＥＵＶ光源は、ＬＰＰ（レーザ生成プラズマ）光源、ＤＰＰ（放電生成プラズマ）光源、又はシンクロトロン放射線を利用する光源、例えば、自由電子レーザ（ＦＥＬ）とすることができる。
【0018】
光源２から発する照明光３を案内するために、伝達光学ユニット４が使用される。伝達光学ユニット４は、図１には反射効果に関してしか例示していないコレクター５と、下記で更に詳細に記載し、第１のファセットミラー又は視野ファセットミラーとも表示する伝達ファセットミラー６とを有する。コレクター５と伝達ファセットミラー６の間には照明光３の中間フォーカス５ａが配置される。中間フォーカス５ａの領域内の照明光３の開口数は、例えば、ＮＡ＝０．１８２である。伝達ファセットミラー６の下流、従って、伝達光学ユニット４の下流には、第２のファセットミラー、又は更に別のファセットミラーとも表示し、同じく下記で更に詳細に説明する照明事前定義ファセットミラー７が配置される。光学構成要素５から７は、投影露光装置１の照明光学ユニット１１の一部である。
【0019】
伝達ファセットミラー６は、照明光学ユニット１１の視野平面に配置される。
【0020】
照明光学ユニット１１の照明事前定義ファセットミラー７は、照明光学ユニット１１の瞳平面から距離を置いて配置される。そのような配置を鏡面反射器とも表示する。
【0021】
照明事前定義ファセットミラー７の下流の照明光３のビーム経路にはレチクル１２が配置され、このレチクルは、下流にある投影露光装置１の投影光学ユニット１０の物体平面９に配置される。投影光学ユニット１０は投影レンズである。照明光学ユニット１１は、物体平面９内のレチクル１２上の物体視野８を定められた方式で照明するために使用される。物体視野８は、照明光学ユニット１１の照明視野を同時に構成する。一般的には、物体視野８を照明視野に配置することができるように照明視野が形成されるということができる。
【0022】
伝達ファセットミラー６と同様に、照明事前定義ファセットミラー７は、照明光学ユニットの瞳照明ユニットの一部であり、投影光学ユニット１０の瞳平面１２ｂ内の入射瞳１２ａを事前定義された瞳強度分布を有する照明光３で照明するように機能する。投影光学ユニット１０の入射瞳１２ａは、物体視野８の上流、又は他に物体視野８の下流の照明ビーム経路に配置することができる。図１は、入射瞳１２ａが物体視野８の下流の照明ビーム経路に配置される場合を示している。
【0023】
位置関係の提示を容易にするために、以下では直交ｘｙｚ座標系を使用する。図１では、ｘ方向は作図面と垂直にその中に延びる。図１では、ｙ方向は、右に延びる。ｚ方向は、図１内で下向きに延びる。図面に使用する座標系は、各場合に互いに平行に延びるｘ軸を有する。この座標系のｚ軸の進路は、それぞれ着目する図内で照明光３のそれぞれの主方向を辿る。
【0024】
物体視野８は、円弧形又は部分的に円形の形状を有し、互いに平行な２つの円弧と、ｙ方向に長さｙ0を有するように延び、ｘ方向に互いから距離ｘoの場所にある２つの真っ直ぐな側縁部とによって境界が定められる。アスペクト比ｘ0／ｙ0は、１３対１である。図１内の挿入図は、正確な縮尺のものではない物体視野８の平面図を示している。境界形状８ａは円弧形である。別の同じく可能な物体視野８では、その境界形状は、同じくアスペクト比ｘ0／ｙ0を有する矩形である。
【0025】
図１には、投影光学ユニット１０を部分的かつ非常に概略的にしか示していない。投影光学ユニット１０の物体視野側開口数１３及び像視野側開口数１４を示している。例えば、照明光３に対して反射性を有するミラーとして具現化することができる構成要素である、投影光学ユニット１０の図示の光学構成要素１５、１６の間には、これらの光学構成要素１５、１６の間で照明光３を案内するために、投影光学ユニット１０の図１には示していない更に別の光学構成要素が置かれる。
【0026】
投影光学ユニット１０は、レチクル１２と同じくホルダ（具体的な詳細を示していない）によって担持されるウェーハ１９上の像平面１８の像視野１７の上に物体視野８を結像する。レチクルホルダとウェーハホルダの両方は、対応する変位デバイスを用いてｘ方向とｙ方向の両方に変位可能である。図１には、ウェーハホルダの構造的空間要件を２０の矩形のボックスとして例示している。構造的空間要件２０は、そこに含まれる構成要素に依存するｘ方向、ｙ方向、及びｙ方向の広がりを有する矩形である。構造的空間要件２０は、例えば、像視野１７の中心から進んでｘ方向及びｙ方向に１ｍの広がりを有する。ｚ方向にも、構造的空間要件２０は、像平面１８から進んで例えば１ｍの広がりを有する。照明光３は、照明光学ユニット１１及び投影光学ユニット１０内で各場合に構造的空間要件２０のそばを通過するように案内されなければならない。
【0027】
伝達ファセットミラー６は、複数の伝達ファセット２１を有する。伝達ファセットミラー６は、ＭＥＭＳミラーとして具現化することができる。伝達ファセット２１は、少なくとも２つの傾斜位置の間で切換可能であるマイクロミラーとして具現化された個々のミラーである。伝達ファセット２１は、互いに垂直な２つの回転軸の周りに従動方式で傾斜可能なマイクロミラーとして具現化することができる。
【0028】
これらの個々のミラー又は伝達ファセット２１から、合計で９つの伝達ファセット２１を有する行を図２に記載のｙｚ断面図に略示しており、図２ではこれらの伝達ファセットを左から右に２１1から２１9で添字表示している。実際には、伝達ファセットミラー６は有意に多数の伝達ファセット２１を有する。伝達ファセット２１は、図２にはそれ程具体的な詳細を示していない複数の伝達ファセットグループにグループ分けされる（この点に関しては特に図４及び図５を参照されたい）。これらの伝達ファセットグループを仮想視野ファセット又は仮想ファセットグループとも表示する。
【0029】
伝達ファセットグループの各々は、物体視野８の部分照明又は完全照明に向けて照明光３の一部分を照明チャネルを通して案内する。この照明チャネル及びそれを通して案内される照明光部分ビーム３i（例えば、図８を参照されたい）を通じて、照明事前定義ファセットミラー７の正確に１つの照明事前定義ファセット２５が、各場合に個々のミラーグループ又は伝達ファセットグループのうちの１つに割り当てられる。原理的には、照明事前定義ファセット２５の各々自体も、複数の個々のミラーから構成することができる。
【0030】
伝達ファセットミラー６及び投影光学ユニット１０の可能な実施形態の更なる詳細に関しては、ＷＯ ２０１０／０９９ ８０７ Ａを参照されたい。
【0031】
照明事前定義ファセット２５の少なくとも一部は、物体視野８の部分ゾーン又は部分視野のみを照明することができる。これらの部分視野は非常に個別的に成形されたものであり、更に、物体視野８内の望ましい照明方向分布（瞳形状）、すなわち、照明設定に依存する。従って、照明事前定義ファセット２５は、照明されるそれぞれの部分視野の形状に厳密に対応する形状を有する非常に異なって成形された仮想視野ファセットによって照明される。更に、各照明事前定義ファセット２５は、物体視野８内の場所に依存して異なる瞳領域に寄与する。
【0032】
照明事前定義ファセットミラー７は、特に照明事前定義ファセット２５の各々が複数の個々のミラーから構成される場合にＭＥＭＳミラーとして具現化することができる。照明事前定義ファセット２５は、少なくとも２つの傾斜位置の間で切換可能なマイクロミラーである。照明事前定義ファセット２５は、２つの互いに垂直な傾斜軸の周りに連続的に独立して従動方式で傾斜可能である、すなわち、複数の異なる傾斜位置に配置することができるマイクロミラーとして具現化することができる。
【0033】
図２には、照明事前定義ファセット２５への個々の伝達ファセット２１の事前定義された割り当ての一例を示している。伝達ファセット２１1から２１9にそれぞれ割り当てられた照明事前定義ファセット２５をこの割り当てに従って添字表示している。照明事前定義ファセット２５は、この割り当てに基づいて左から右に２５6、２５8、２５3、２５4、２５1、２５7、２５5、２５2、及び２５9の順序で照明される。
【0034】
ファセット２１、２５の添字６、８、及び３は、図２で左から右に番号を振った３つの物体視野点ＯＦ１、ＯＦ２、ＯＦ３を第１の照明方向から照明する３つの照明チャネルＶＩ、ＶＩＩＩ、及びＩＩＩを含む。ファセット２１、２５の添字４、１、及び７は、３つの物体視野点ＯＦ１からＯＦ３を第２の照明方向から照明する３つの更に別の照明チャネルＩＶ、Ｉ、ＶＩＩに属する。ファセット２１、２５の添字５、２、及び９は、３つの物体視野点ＯＦ１からＯＦ３を第３の照明方向から照明する３つの更に別の照明チャネルＶ、ＩＩ、及びＩＸに属する。
【0035】
以下の照明チャネルに割り当てられた照明方向は、各場合に同一である。−照明チャネルＶＩ、ＶＩＩＩ、ＩＩＩ、
−照明チャネルＩＶ、Ｉ、ＶＩＩ、及び
−照明チャネルＶ、ＩＩ、ＩＸ。
従って、照明事前定義ファセット２５への伝達ファセット２１の割り当ては、絵画的に示す照明例の場合に物体視野８のテレセントリック照明がもたらされるようなものである。
【0036】
伝達ファセットミラー６及び照明事前定義ファセットミラー７を通じた物体視野８の照明は、鏡面反射器方式に実施することができる。鏡面反射器の原理は、ＵＳ ２００６／０１３２７４７ Ａ１から公知である。
【0037】
投影光学ユニット１０は、９３０ｍｍの物体−像オフセットｄOISを有する。このオフセットは、物体視野８の中点と、像視野１７の中点に対する法線が物体平面９を通る際の交点との間の距離として定められる。投影光学ユニット１０を含む投影露光装置１は、１２８０ｍｍ中間フォーカス−像オフセットＤを有する。中間フォーカス−像オフセットＤは、像視野１７の中点と、中間フォーカス５ａから像平面１８に至る法線の交点との間の距離として定められる。投影光学ユニット１０を含む投影露光装置１は、１２５０ｍｍの照明光ビーム−像オフセットＥを有する。照明光ビーム−像オフセットＥは、像視野１７の中点と、照明光ビーム３が像平面１８を通る際の交差領域との間の距離として定められる。
【0038】
図３は、伝達ファセットミラー６の平面図を示している。伝達ファセットミラー６上の伝達ファセット２１の個数は非常に多く、従って、図３では個々の伝達ファセット２１を識別することができない。伝達ファセット２１は、照明光３の遠視野２７ａ（図１を参照されたい）で照明される２つのほぼ半円形のファセット領域２６、２７内でブロックで配置される。
【0039】
図４は、各々が平行四辺形の形態にある縁部輪郭を有する複数の個々のミラーブロック２７ｂへの伝達ファセットミラー６の再分割を図３からの抜粋図に示している。個々のミラーブロック２７ｂの各々は、約４０×４０個の個々のミラー２１を有する。更に、図４は、伝達ファセットグループ２８への伝達ファセット２１の割り当てを強調表示している。伝達ファセットグループ又は個々のミラーグループ２８への伝達ファセットミラー６の伝達ファセット又は個々のミラー２１のグループ分けは、事前定義された傾斜位置へのこれらの個々のミラー２１の共通の傾斜によって実施される。正確に１つの個々のミラーグループ２８の個々のミラーの傾斜位置は、一般的に互いに非常に似通っており、他の個々のミラーグループ２８に属する隣接個々のミラー２１の傾斜位置とは一般的にかなり異なる。伝達ファセットグループ２８は、各場合に照明事前定義ファセットミラー７を通して物体視野８に結像される。伝達ファセットグループ２８のそれぞれのものの全ての伝達ファセット２１が、１つかつ同じ照明事前定義ファセット２５を照明する。
【0040】
図４に記載の伝達ファセットグループ２８による伝達ファセットミラー６の占有は、ｘ二重極照明設定による照明光学ユニット１１の照明瞳に向けて設計されたものである。そのような照明設定の場合に、ｘ方向に対応する瞳座標σx内で互いから分離された２つの照明瞳領域が照明光学ユニット１１の瞳平面に存在し、これに対しては、下記で更に詳細に説明する。
【0041】
図４に記載の占有の場合に、伝達ファセットグループ２８は、その大部分が矩形である。
【0042】
個々のミラーグループ２８は、伝達ファセットミラー６の場所でＥＵＶ照明光３の遠視野２７ａを８０％よりも大きく覆う。８５％よりも高い、９０％よりも高い、又はそれよりも更に高いカバレージが依然として可能である。
【0043】
図４では、伝達ファセット２１は、個々のミラーブロック２７ｂと同じく走査方向と垂直に剪断された平行四辺形の形状を有する。伝達ファセット２１は、個々のミラーブロック２７ｂを形成するファセット担体構成要素上に着座される。図４の水平及び斜方の向きには、これらの個々のミラーブロック２７ｂのブロック間隙２８ａを伝達ファセット２１のない幅広白色棒線として識別することができる。これらのブロック間隙２８ａは、個々のミラーブロック２７ｂのうちの１つの内部で互いに横並びに隣接して置かれた２つの個々のミラー２１の間のミラー間隙よりも大きい広がりを有する。伝達ファセットグループ２８は、多角形チェーンの進路を有する境界線によって識別される。通常、これらの伝達ファセットグループ２８は、複数の個々のミラーブロック２７ｂにわたって延びる。このｘ二重極照明設定に関しては、伝達ファセットグループ２８は、その大部分がほぼ矩形又は不等辺四辺形のものであり、隣接伝達ファセットグループ２８の間に不使用の個々のミラー２１の非常に小さいブロック間隙のみを有する。図４では、個々の伝達ファセットグループ２８の間のブロック間隙を比例サイズよりも大きく例示している。ファセット担体構成要素全体の面積に対するこれらのブロック間隙の面積比率は、１０％未満である。
【0044】
伝達ファセットグループ２８は、矩形の物体視野８を照明するように機能する。照明事前定義ファセット２５は、物体視野８に向けた照明光３の部分ビームの反射重ね合わせ案内に寄与する。照明事前定義ファセットミラー７上でのそれぞれの照明事前定義ファセット２５の位置は、物体視野８の視野点に対する照明方向を事前定義する。伝達ファセットグループ２８のｘ広がりは、それぞれの伝達ファセットグループ２８の像が、ｘ方向に物体視野全体８を最大に覆うようなものである。伝達ファセットグループ２８のｙ広がりに関して相応に同じことが成り立つ。図４に記載の拡大抜粋図から推察することができるように、最大限可能なｘ広がりよりも小さいｘ広がりを有する多くの伝達ファセットグループ２８が存在し、従って、物体視野８内のこれらの伝達ファセットグループ２８の像は、ｘ座標軸に物体視野８の一部しか照明しない。
【0045】
照明光学ユニット１１を用いて事前定義される照明設定に基づいて、各照明事前定義ファセット２５に対して、すなわち、各照明チャネルに対して、事前定義される照明設定内に含まれる方向から与えられた照明チャネルによって照明することができる物体視野８の最大の部分ゾーン又は部分視野が存在する。この最大部分視野サイズは、物体視野全体８のサイズに達することができるが、特にｘ方向に物体視野８のｘ広がりよりも小さいとすることができる。
【0046】
図５は、照明事前定義ファセットミラー７の平面図を示している。照明事前定義ファセット２５は丸形であり、照明事前定義ファセットミラー７の担体（具体的な詳細を示していない）上に六方最密充填方式で配置される。照明事前定義ファセットミラー７の担体上の照明事前定義ファセット２５のこの配置の縁部輪郭は円形形状から外れ、例えば、スタジアム形である。
【0047】
図６は、投影光学ユニット１０の入射瞳と一致し、物体視野８の下流の照明光３のビーム経路にある瞳平面１２ｂ内に相応に配置された照明光学ユニット１１の照明瞳１２ａ（図１を参照されたい）の典型的な照明を示している。瞳１２ａは、物体視野座標軸ｘ，ｙに割り当てられた瞳座標軸σx，σyによって張られる。
【0048】
図６は、照明極２９、３０を有するｘ二重極照明設定を示している。照明極２９、３０の各々は、瞳１２ａの中心σ座標の領域内に最大σx広がりを有する両凸レンズ形断面を有する。
【0049】
照明事前定義ファセット２５に関する配置の詳細の他に、図７は、図５に対応する照明事前定義ファセットミラー７の実施形態を示している。中抜き円は、図６に記載のｘ二重極照明設定による照明中に使用されない照明事前定義ファセット２５を表している。照明チャネルを通して正確に１つの連続する個々のミラーグループ２８による照明にそれぞれ露出される照明事前定義ファセットを菱形２５２、２５３としてプロットしている。図７に記載の使用される照明事前定義ファセットの領域のｙ広がりは、図６に記載のｘ二重極瞳の照明極２９、３０のσx広がりと相関する。
【0050】
図７に記載の照明事前定義ファセットミラー７のｘ二重極入射手法の中心に位置して照明事前定義ファセット２５の両凸レンズ形領域が存在し、照明事前定義ファセットミラー７の照明事前定義ファセット２５の各々は、一緒に個々のミラーグループを形成する正確に２つの不連続な個々のミラーサブグループによる照明に露出される。図７では、２つの個々のミラーサブグループによる照明に露出される照明事前定義ファセットを各場合に正方形２５1で図解している。
【0051】
図８は、図７に記載の入射手法の代表的な照明事前定義ファセット２５と瞳平面１２ｂの間の代表的なビーム経路を略展開図に示しており、この図では、物体平面９内のレチクル１２での反射を無視している。
【0052】
図７にも同じく表す中心照明事前定義ファセット２５1から進行するビーム経路を実線で示し、正のｘ値の領域に配置され、図７にも同じく表す照明事前定義ファセット２５2から進行するビーム経路は、破線を用いて示し、負のｘ値の領域に配置され、図７にも同じく表す照明事前定義ファセット２５3から進行するビーム経路は、一点鎖線を用いて示している。
【0053】
物体平面９内で物体視野全体８の２つの部分視野セクション３１及び３２が照明事前定義ファセット２５1によって照明される。図８の上側の部分視野セクション３１の領域内では、照明事前定義ファセット２５1のビーム経路は、大きいｘ値から物体視野８自体によって境界が定められ、小さいｘ値から照明極３０によって境界が定められる。部分視野セクション３２に割り当てられたビーム経路は、大きいｘ値から照明極２９によって境界が定められ、小さいｘ値から物体視野８によって境界が定められる。
【0054】
照明事前定義ファセット２５1に属する個々のミラーグループ２８の割り当ては、照明事前定義ファセット２５1を通して部分視野セクション３１及び３２に結像される個々のミラー２１を伝達ファセットミラー６上で決定することによって実施される。実際面では、この割り当ては、物体平面９内に絞りを瞳平面１２ｂ内に更に別の絞りを有し、一方で望ましい物体視野形態を他方で望ましい瞳形態を再現する適切な絞り構成を配置することによって達成することができる。
【0055】
照明光３の部分ビーム３1、３2、及び３3が、それぞれファセット２５1、２５2、及び２５3に割り当てられ、上述の照明事前定義ファセット２５1から２５3を通して案内される。これらの部分ビーム３1から３3の全て及び他の照明事前定義ファセット２５iの全ての他の部分ビーム３iの重ね合わせが、事前定義された照明設定を用いて、すなわち、この場合ｘ二重極設定を用いて物体視野８の望ましい照明をもたらす。
【0056】
図９は、照明事前定義ファセット２５1によって照明される不連続部分視野セクション３１、３２を有するこの実施形態では円弧形実施形態を有する物体視野全体８を示している。照明事前定義ファセット２５1の結像効果によって伝達ファセットミラー６上の対応する個々のミラーサブグループ３３、３４が部分視野セクション３１及び３２に割り当てられ、図９ではこれらの像を部分視野セクション３１及び３２の範囲に示している。図９は個々のミラー２１の像を再現しているので、図９ではこれらの像を２１’で表している。図９では、４５°だけ傾斜され、図４に記載の平行四辺形占有の代わりに使用することができる個々のミラー２１の正方形面充填を見ることができる。
【0057】
図８に記載の２つの更に別の照明事前定義ファセット２５2、２５3を通して延びるビーム経路が、対応する構成指定から出現する。
【0058】
照明事前定義ファセット２５2のビーム経路は、物体視野８内で大きいｘ値と小さいｘ値とで照明極２９の広がりによって境界が定められた連続部分視野３５を照明する。この場合に、伝達ファセットミラー６上の個々のミラーグループ２８は、照明事前定義ファセット２５2によってこの部分視野３５に割り当てられる。
【0059】
図８に示す第３の照明事前定義ファセット２５3を通して、部分視野セクション３２と事実上一致する連続部分視野が照明される。照明事前定義ファセット２５3のビーム経路に関して、この部分視野３２は、大きいｘ値から照明極３０の広がりにより、小さいｘ値から再度物体視野８によって境界が定める。ここでもまた、部分視野３２に割り当てられる伝達ファセットミラー６上の個々のミラーグループ２８は、照明事前定義ファセット２５3の結像効果によって割り当てることができる。
【0060】
このようにして、最初に正確に１つの連続部分視野又は厳密に２つの部分視野セクションを照明事前定義ファセットミラー７上の照明事前定義ファセット２５の位置に依存して各照明事前定義ファセット２５に割り当てることができ、次いで、連続する個々のミラーグループとして形成されるか又は個々のミラーサブグループ３３、３４の方式で２つの不連続な個々のミラーサブグループを有するかのいずれかである伝達ファセットミラー６上の個々のミラーグループ２８をこれらの部分視野又は部分視野セクションに割り当てることができる。伝達ファセットミラー６上での個々のミラーグループ２８の位置は、照明事前定義ファセット２５の傾斜角によって依然として変更することができる。このようにして、個々のミラーグループ２８を全ての照明事前定義ファセット２５に割り当てる時に、伝達ファセットミラー６の個々のミラー２１を可能な限り完全に使用することを意図して、可能な限り完全な個々のミラーグループ２８のジグソーパズルが伝達ファセットミラー６上に生成される。
【0061】
図１０は、物体視野８の区域全体のそれぞれの部分視野、例えば、部分視野３１、３２の面積比率に関する度数分布を示している。ヒストグラムは、何個の照明事前定義ファセット（個数ＮF）が、全物体視野面ＡOFの特定の面積比率ＡTFをそれぞれ照明するのかを示している。この度数分布は、図６に記載のｘ二重極照明に適用される。有意に多くの照明事前定義ファセットが、全物体視野面ＡOFの２０％を僅かに超える部分視野面ＡTFを照明する。比較的少数の照明事前定義ファセットしかより大きい面積比率を照明しない。
【0062】
図１１は、物体視野８上で最大に異なる照明ｘ座標に関する照明事前定義ファセットの度数分布を示している。この図は、単純に連続する個々のミラーグループ２８によって照明される照明事前定義ファセット２５と、２つの個々のミラーサブグループからなる個々のミラーグループ２８によって照明される照明事前定義ファセット２５との間の明確な区別を付けるのを容易にし、これは、２つの個々のミラーサブグループからなる個々のミラーグループ２８が、物体視野８のｘ広がり全体ＸOFに事実上対応する物体視野８上の最小ｘ座標と最大ｘ座標の間の領域ＸTF（ＸＴＦ／ＸＯＦ≒１）を照明するからである。
【0064】
図１２は、σx，σy座標内の六重極照明設定の照明強度分布を示している。瞳１２ａ内には、図１２の最上部の照明極３５で始めてこの図の時計方向に数えて合計で６つの照明極３５から４０が存在する。照明極３５から４０は、周方向に均一な分布を有し、すなわち、各場合に瞳１２ａの中心Ｚの周りの周方向に６０°だけオフセット配置される。
【0065】
図１３は、図７と類似の図に六重極照明設定のための照明事前定義ファセットミラー７の照明手法を示している。照明事前定義ファセットミラー７の中心ｙ座標の領域に位置する不使用照明事前定義ファセット２５の中心帯域の外側の照明事前定義ファセット２５が照明される。
【0066】
使用される照明事前定義ファセットの大多数は、各場合に伝達ファセットミラー６の連続する個々のミラーグループ２８による照明に露出され、図１３にはこれらの使用される照明事前定義ファセットを菱形形状２５5、２５6の照明事前定義ファセットに示している。各場合の中心使用ｙ座標の領域内には、３つの個々のミラーサブグループからの個々のミラーグループ２８によって照明される照明事前定義ファセット２５から構成される比較的狭い帯域が存在し、図１３にはこれらの照明事前定義ファセット２５を正方形２５4で図解している。中心ｘ座標の領域内の照明事前定義ファセットミラーＭ７の中心不使用領域の近くには、各々が２つの個々のミラーサブグループからなる伝達ファセットミラー６の個々のミラーグループ２１を用いた照明に露出される照明事前定義ファセット２５を有する２つの領域が存在する。これらの領域をハッチングした丸形の照明事前定義ファセット２５5で表しており、これらの領域は、ほぼ六重極照明極の三角形形態を有する。
【0067】
図１４は、３つの個々のミラーサブグループによる照明に露出される照明事前定義ファセット２５4のビーム経路（実線）、２つの個々のミラーサブグループによる照明に露出される照明事前定義ファセット２５5のビーム経路（破線）、及び単純に連続する個々のミラーグループ２８による照明に露出される照明事前定義ファセット２５6のビーム経路（一点鎖線）を図８と類似の図に例証形式で示している。照明事前定義ファセット２５4、２５5、及び２５6を図１３にも同じく表している。図１４の図は、そこに例示する全ての照明極３５、３６、４０に対する全ての照明事前定義ファセット２５4から２５6のビーム経路に対して同じｘ（σx）広がりを仮定するという点で理想化したものである。実際には、これは、それぞれの照明事前定義ファセット２５4から２５6が同じレベルのσy座標において事前定義された照明瞳１２ａを多少ランダムに照明し、それによってそれぞれの照明極３５、３６、４０の同じｘ（σx）広がりがもたらされる場合にのみ適用される。実際には、図１２の概略図で確認することができるように、それぞれの照明極３５から４０のσx広がりはσy広がりに依存する。
【0068】
部分視野セクション４１、４２、及び４３は、照明事前定義ファセット２５4による照明に露出される。
【0069】
部分視野セクション４１は、物体視野又は照明極３６によって境界が定められることになる最大サイズの部分視野セクションよりも小さい。これは、照明事前定義ファセット２５4上の熱負荷を低減するために、改善されたジグソーパズルの可能性によって伝達ファセットミラー６上の遠視野カバレージを改善するために、又は他に物体視野８上のブロック間隙２８ａの像を低減するために使用することができる。これに代えて、図１３は、照明事前定義ファセット２５4に関して、この照明事前定義ファセット２５4に対する照明極３６が他の照明事前定義ファセット２５5、２５6に対する照明極よりも小さいｘ（σx）広がりを有するビーム経路状況を示すとすることができる。
【0070】
部分視野セクション４２は、両側から、すなわち、小さいｘ値と大きいｘ値とで照明極３５によって境界が定められる。
【0071】
部分視野セクション４３は、小さいｘ値から物体視野８によって境界が定められ、大きいｘ値に関しては、照明事前定義ファセット２５4による最大照明に露出される可能性がある最大部分視野セクション４５よりも小さい。そのような小さい部分視野セクションの使用に対する理由は、部分視野セクション４１に関して上記で既に解説している。
【0072】
伝達ファセットミラー６上のこの照明事前定義ファセット２５4に割り当てられた個々のミラーグループ２８の個々のミラーサブグループは、ここでもまた部分視野セクション４１から４３に割り振ることができる。
【0073】
部分視野セクション４１から４３への再分割及び割り当てられた個々のミラーサブグループ４７から４９を図１５によって図解している。部分視野セクション４１から４３は、六重極照明設定の照明極と同様である。図１２に記載の六重極照明設定の照明極の縁部は、この場合に、部分視野セクション４１から４３の縁部又は割り当てられた個々のミラーサブグループ４７から４９の縁部を定める。
【0074】
上述したように、例えば、部分視野部分４１は、物体視野８又は照明極３６によって境界が定められない。従って、割り当てられた個々のミラーサブグループ４７は、最大広がりを有するより大きい部分視野又は最大広がりを有する部分視野セクションを照明事前定義ファセット２５4を通じて照明することができる最大サイズを有する個々のミラーサブグループよりも小さい。図１５では、相応に拡大された部分視野セクション４１のこの照明に同じく寄与することができるそのような更に別の個々のミラー２１Aの像２１A'を２つの個々のミラーに関して示している。
【0075】
これらの割り当てられた個々のミラー２１Aは、選択された個々のミラーとして使用することができ、更に複数の傾斜位置の間で調節可能とすることができ、この場合に、これらの選択された個々のミラー２１Aは、第１の傾斜位置で物体視照明目的で第１の照明事前定義ファセット、例えば、照明事前定義ファセット２５4から空間的に離れた照明事前定義ファセット上への照明光３の入射をもたらし、第２の傾斜位置で、物体視野照明目的でこれらの選択された個々のミラー２１Aは、照明事前定義ファセットのうちの第２のもの、例えば、照明事前定義ファセット２５4に照明光３によって入射する。従って、第２の傾斜位置では、選択された個々のミラー２１Aは、個々のミラーサブグループ４７に属することになる。第１の傾斜位置では、選択された個々のミラー２１Aは、照明事前定義ファセット２５4とは異なる照明事前定義ファセットに割り当てられた別の個々のミラーグループに属することになる。対応する他の照明事前定義ファセットは、対応する更に別の個々のミラーグループによって固定的に割り当てられた傾斜角を有し、それに対して選択された個々のミラー２１Aは、第１の傾斜位置に属する。従って、選択された個々のミラー２１Aの様々な傾斜位置の間で変更を行う時に、照明事前定義ファセット２５iのいかなる傾斜も必要がない。
【0076】
伝達ファセットミラー６の個々のミラー２１のうちの２０％までは、そのような選択された個々のミラー２１Aとすることができる。照明設定を事前定義する時に相応に高い柔軟性が出現し、この柔軟性を特に物体視野８にわたる強度分布を均一化するために使用することができる。重度に負荷された照明事前定義ファセット２５i上の熱負荷の低減も可能である。更に、選択された個々のミラー２１Aによって個々のミラーサブグループの縁部輪郭に影響を及ぼすことができる。これは、伝達ファセットミラー６を占有するときに互いに十分に適合する個々のミラーサブグループを生成することができ、これは、伝達ファセットミラー６の遠視野カバレージに対して正の影響を有する。更に、照明の安定性に関して個々のミラーサブグループが縁部輪郭の不都合な形態を有することを防止することができる。個々のミラーグループ又は個々のミラーサブグループの縁部が物体変位方向ｙと２０°よりも大きい角度αを含む場合が好ましい。一例として、個々のミラーサブグループ４７から４９の場合がこれに適用される。この角度に関する例を図１５にαで表している。
【0077】
選択された個々のミラー２１Aの使用は、更に、可能な場合にブロック間隙２８ａが個々のミラーグループ２８又は個々のミラーサブグループを通過しないように個々のミラーグループ２８又は個々のミラーサブグループを設計する選択肢を与える。全てのブロック間隙２８ａのうちの８０％未満が個々のミラーグループ２８に又は個々のミラーサブグループに位置する状況を達成することができる。
【0078】
物体視野８の２つの部分視野セクション４４、４５は、照明事前定義ファセット２５5によって照明される。部分視野セクション４１を完全に含む部分視野セクション４４は、小さいｘ値と大きいｘ値とで照明極３６によって境界が定められる。部分視野セクション４５は、小さいｘ値から物体視野８により、大きいｘ値から照明極４０によって境界が定められる。ここでもまた、伝達ファセットミラー６上の割り当てられた個々のミラーグループ２８の個々のミラーサブグループは、部分視野セクション４４、４５上に割り振ることができる。
【0079】
図１６は、物体視野８内の部分視野セクション４４、４５及び割り当てられた個々のミラーサブグループ５０、５１の位置を図解している。
【0080】
物体視野８内の部分視野４６は、照明事前定義ファセット２５6による照明に露出される。部分視野４６は、小さいｘ値から照明極４０により、大きいｘ値から物体視野８によって境界が定められる。伝達ファセットミラー６上の個々のミラーグループ２８は、ここでもまた、部分視野４６に割り当てることができる。
【0082】
図１８に記載の図は、伝達ファセットミラー６の単純に連続する個々のミラーグループによる照明、２つの個々のミラーサブグループを有する個々のミラーグループによる照明、及び３つの個々のミラーサブグループを有する個々のミラーグループによる照明に露出される照明事前定義ファセットの度数の割り当てを可能にする。
【0083】
図１９は、この図の最上部の照明極５２から始めて時計方向に数えて合計で４つの照明極５２から５５を有する四重極照明設定を更に別の照明設定例として示している。瞳中心Ｚの周りの周方向に、隣接する照明極が９０°の回転によって互いの中に融合する。
【0084】
図１０及び図１１又は図１７及び図１８に則して、図２０及び図２１は、四重極照明設定のための比ＡTF／ＡOF及びＸTF／ＸOFに関する照明事前定義ファセット２５の個数ＮFの度数分布をここでもまた示している。図２１から推察することができるように、この場合に、照明事前定義ファセット２５のうちで、２つの個々のミラーサブグループを有する個々のミラーグループ２８を通して照明される部分が更に存在する。
【0085】
図２２は、瞳１２ａの中心の周りに９０°だけ回転された図６に記載のｘ二重極設定に対応し、すなわち、ｙ方向に互いから分離された照明極を有するｙ二重極照明設定のための個々のミラーグループ又は伝達ファセットグループ２８への伝達ファセットミラー６の再分割のセクションを示している。図４に記載の伝達ファセットグループ２８の再分割と比較して図２２に記載の再分割の場合に、物体視野８のｘ広がり全体を満たす像を物体視野８内に有する有意に多くの伝達ファセットグループ２８が存在する。
【0086】
図２２は、走査方向に対して４５°だけ回転された縁部を有する正方形形状の伝達ファセット２１を示している。ここでもまた、太い白色ブロック間隙２８ａによって見ることができ、この場合に、斜方に延びる縁部を有する同じく正方形の個々のミラーブロック２７ｂに対しても同じことが適用される。
【0087】
図４に記載の伝達ファセットグループ２８を有する伝達ファセットミラー６の占有の場合に、伝達ファセットミラー６の全ての伝達ファセット２１のうちの７％未満が使用されず、すなわち、下流の照明事前定義ファセットミラー７の照明に寄与しない。これは、図２２に記載の占有に対しても相応に適用される。
【0089】
図２２に記載の占有の場合に、伝達ファセットグループ２８は、より頻繁に矩形形状から外れる。
【0090】
物体視野８を照明するために、照明事前定義ファセットミラー７の照明事前定義ファセット２５への伝達ファセットミラー６の個々のミラーグループ２８の割り当てを決定するのに最初に照明瞳１２ａ内の照明強度分布、すなわち、照明設定が事前定義される。更に、縁部輪郭を含む照明視野の広がりが事前定義され、この広がりは、通常は物体視野８の広がりに対応する。次いで、物体視野８の少なくとも１つの領域又は部分を照明光３で照明するために照明事前定義ファセットミラー７の第１の照明事前定義ファセット２５を照明に露出するのに伝達ファセットミラー６のどの個々のミラー２１を使用することができるかに関して、特に対応する絞り構造又は例えば図８に基づいて上記で記述した幾何学形状要件を用いて第１の照明事前定義ファセット２５を選択する段階が開始され、検査が実施される。次いで、この検査が対応する照明ソリューションをもたらした個々のミラー２１が、選択照明事前定義ファセット２５に割り当てられる個々のミラーグループ２８に割り振られる。その後に、全ての照明事前定義ファセット２５に対して、少なくとも事前定義された照明設定に使用可能な全ての照明事前定義ファセット２５に対して、この選択、検査、及び割り当てが繰り返される。
【0091】
この割り当て中に可能な最大の個々のミラーグループサイズの代わりにより小さい個々のミラーグループを形成することができ、少なくとも一部の個々のミラーグループにおいて、熱負荷を低減するために、伝達ファセットミラー内の遠視野カバレージが改善され、又は他に結像されるブロック間隙の同伴が低減される。仮想視野ファセット、すなわち、個々のミラーグループ２８の有意に変更可能な形態（例えば、図４を参照されたい）に起因して、個々の第１の個々のミラー２１をいかなる個々のミラーグループにも割り当てることができず、従って、８０％よりも大きい高い充填密度にも関わらず照明事前定義ファセット２５を通して物体視野上に結像することができない状況を回避することができない。図４で個々のミラーグループ２８の境界線によって囲まれない割り当てられていない個々のミラー２１D（例えば、図４の個々のミラー２１Dを参照されたい）は、伝達ファセットミラー６にわたって非常に均一な分布を有して存在する。従って、これらは、ウェーハ１９の露光中に、時間的に一定ではない光源２によって供給される光パワーを測定するのに使用することができる。従って、光源電力を制御ループによって調整することができ、ウェーハ１９上のフォトレジスト内で時間的に一定な照射量を確実にすることができる。この目的に対して、これらの照射の個々のミラー２１Dの光は、１又は２以上の検出器に直接的に又は他に例えば照明事前定義ファセット２５のような更に別のミラーを用いてのいずれかで案内される。投影露光とは時間的に別個の照射の個々のミラー２１Dの光３の空間分解能又は結合を有する複数の検出器が使用される場合に、光源２の全体電力に加えて、その空間放出分布を測定することができる。この空間放出分布は、照明事前定義ファセット２５への個々のミラーグループ２８の定性的により良好な割り当てに向けて使用することができる。照射の個々のミラー２１Dの選択は変更可能であり、各新しいミラー割り当ての場合に調整される。
【0092】
投影露光装置１を用いて微細構造化構成要素、特に高集積半導体構成要素、例えば、メモリチップを生成するために、最初にレチクル１２及びウェーハ１９が与えられる。その後に、投影露光装置１の投影光学ユニットを用いてレチクル１２上の構造がウェーハ１９上の感光層の上に投影される。次いで、感光層の現像により、ウェーハ１９上に微細構造が生成され、そこから微細又はナノ構造化構成要素が生成される。
【符号の説明】
【0093】
３1 照明光３の部分ビーム８ 物体視野全体
２１’ 個々のミラー２１の像
３１、３２ 部分視野セクション
３３、３４ 個々のミラーサブグループ