特許6759020シリコン単結晶の製造方法及び改質処理後のシリコン単結晶製造用石英ルツボ

発明の名称　シリコン単結晶の製造方法及び改質処理後のシリコン単結晶製造用石英ルツボ

出願人　グローバルウェーハズ・ジャパン株式会社　（識別番号 312007423）

　　　　特許公開件数ランキング 1022 位（7件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1152 位（5件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6759020

公報発行日　2020年9月23

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6759020

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