特許6763347窒化物半導体基板の製造方法および窒化物半導体基板

発明の名称　窒化物半導体基板の製造方法および窒化物半導体基板

出願人　株式会社ＳＵＭＣＯ　（識別番号 302006854）

　　　　特許公開件数ランキング 660 位（37件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 365 位（72件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6763347

公報発行日　2020年9月30

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6763347

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