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特許 6770168出願番号 特願 2019-502752
光学面の形状を干渉法により求める測定装置
出願人 カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー（識別番号 503263355）
2026年 特許公開件数ランキング 401位 61件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 568位 31件（※）
公報発行日 2020年10月14
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6770168 ログイン済みの方はこのURLへ
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※ 共同出願を含む
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技術分野
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明の目的は、問題を解決し、且つ特にマルチフリンジ干渉法による表面形態の判定を容易にする装置及び方法であって、高いインターフェログラムコントラストと同時に、干渉計の光学面の欠陥に関する誤差が生じにくいことを特徴とする装置及び方法を提供することである。課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】干渉法により試験対象物の光学面の形状を求める本発明による測定装置の例示的な実施形態を示す。
【図2】図１に示す測定装置における試験対象物経路長と参照経路長との経路長差の分布の図を示す。
【図3】図１に示す測定装置の照明瞳面での本発明による強度分布の例示的な実施形態を示す。
【図4】図３に示す強度分布を用いて生成されたマルチフリンジインターフェログラムの強度曲線を示す。
【図5】図１に示す測定装置の照明瞳面での本発明による強度分布のさらに別の例示的な実施形態と、この強度分布を用いて生成されたマルチフリンジインターフェログラムの強度曲線とを示す。
【図6】図１に示す測定装置の照明瞳面での本発明による強度分布のさらに別の例示的な実施形態と、この強度分布を用いて生成されたマルチフリンジインターフェログラムの強度曲線とを示す。
【図7】図１に示す測定装置の照明瞳面での本発明による強度分布のさらに別の例示的な実施形態を示す。
【図8】図１に示す測定装置の照明瞳面での本発明による強度分布のさらに別の例示的な実施形態を示す。
【図9】図１に示す測定装置の照明瞳面での本発明による強度分布のさらに別の例示的な実施形態を示す。
【図10】図１に示す測定装置の照明瞳面での本発明による強度分布のさらに別の例示的な実施形態を示す。
【図11】図１に示す測定装置の照明モジュールの例示的な実施形態を示す。
【図12】図１に示す測定装置の照明モジュールのさらに別の例示的な実施形態を示す。
【図13】照明瞳面での強度分布及びそれを用いて生成されたマルチフリンジインターフェログラムの強度曲線の比較例を示す。
選択図 図1出願人が指定した本件の代表的な図
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