特許6772977シリコン単結晶引上げ装置及び単結晶シリコンインゴットの製造方法

発明の名称　シリコン単結晶引上げ装置及び単結晶シリコンインゴットの製造方法

出願人　株式会社ＳＵＭＣＯ　（識別番号 302006854）

　　　　特許公開件数ランキング 660 位（37件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 364 位（72件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6772977

公報発行日　2020年10月21

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6772977

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