特許第6779295号(P6779295)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6779295スパッタリングガス混合物中のトレースその場クリーニングガスを利用したイオン注入プラズマフラッドガン(PFG)の性能の改善
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