特許6783456IP Force 特許公報全文掲載

技術分野

試料中の微小な異物等を検出可能であり、検査のキャリブレーション等の調整が容易なX線透過検査装置

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

前記従来の技術には、以下の課題が残されている。
すなわち、従来のX線透過検査装置では、異物のサイズや位置が予め分かっている標準試料を用いてX線源及びX線検出器の調整(キャリブレーション等)を行いたい場合、移動する試料に対向するようにX線源とX線検出器とが設置されているため、試料の代わりに標準試料を試料と同じ位置に設置した状態で、標準試料の検査を行う必要があった。また、標準試料の検査後に、試料を元の位置に設置し直す作業も必要であった。このため、試料と標準試料との交換作業が必要になり、検査作業を長く中断させなければならないという不都合があった。特に、帯状の試料を検査する場合に、ロールtoロールで連続して試料を流して検査を行うため、途中で検査を中断して試料を標準試料に取り替え、検査することが困難であった。 本発明は、前述の課題に鑑みてなされたもので、容易に標準試料による調整が可能なX線透過検査装置を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明は、前記課題を解決するために以下の構成を採用した。すなわち、本発明のX線透過検査装置は、試料に対してX線を照射するX線源と、前記X線源からのX線を照射中に前記試料を特定の方向に連続して移動させる試料移動機構と、前記試料に対して前記X線源と反対側に設置され前記試料を透過した前記X線を検出するX線検出器と、前記試料とは別の位置に設置された標準試料を移動可能な標準試料移動機構と、前記X線源及・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る
【発明の効果】
本発明によれば、以下の効果を奏する。
すなわち、本発明に係るX線透過検査装置によれば、X線源及びX線検出器と、試料及び標準試料とを相対的に移動可能で、X線源及びX線検出器が試料に対向する配置状態から標準試料移動機構により移動される標準試料に対向する配置状態へ変更可能な配置変更機構を備えているので、試料と標準試料との交換作業が不要となり、複数又は長尺な試料の検査途中でも、試料を検査ラインから取り外す必要がなく、容易にキャリブレーション等の調整が可能になる。

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】本発明に係るX線透過検査装置の第1実施形態において、試料検査時の状態(a)と標準試料検査時の状態(b)とを示す概略的な平面図である。

【図2】第1実施形態において、X線透過検査装置を示す試料検査時の概略的な正面図である。

【図3】第1実施形態において、X線検出器(TDIセンサ)を示す斜視図である。

【図4】本発明に係るX線透過検査装置の第2実施形態において、標準試料検査時の状態を示す概略的な平面図である。

【図5】第2実施形態において、X線透過検査装置を示す試料検査時の概略的な正面図である。

【図6】本発明に係るX線透過検査装置の第3実施形態において、試料検査時の状態を示す概略的な平面図である。

【図7】第3実施形態において、標準試料検査時の状態を示す概略的な平面図である。

【図8】本発明に係るX線透過検査装置の第4実施形態において、試料検査時の状態を示す概略的な平面図である。

【図9】第4実施形態において、標準試料検査時の状態を示す概略的な平面図である。

選択図 図1出願人が指定した本件の代表的な図

1,21,31,41…X線透過検査装置、2,22A,22B,22C,32A,32B,32C…X線源、3…試料移動機構、4,24A,24B,24C、34A,34B,34C…X線検出器、5…標準試料移動機構、6,26A,26B,26C,36A,36B,36C,46…配置変更機構、7,27A,27B,27C,37A,37B,37C…検査部、C…制御部、S1…試料、S2…標準試料、X…X線

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