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公報発行日 2020年11月11
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【図1】本発明に係るX線透過検査装置の第1実施形態において、試料検査時の状態(a)と標準試料検査時の状態(b)とを示す概略的な平面図である。
【図2】第1実施形態において、X線透過検査装置を示す試料検査時の概略的な正面図である。
【図3】第1実施形態において、X線検出器(TDIセンサ)を示す斜視図である。
【図4】本発明に係るX線透過検査装置の第2実施形態において、標準試料検査時の状態を示す概略的な平面図である。
【図5】第2実施形態において、X線透過検査装置を示す試料検査時の概略的な正面図である。
【図6】本発明に係るX線透過検査装置の第3実施形態において、試料検査時の状態を示す概略的な平面図である。
【図7】第3実施形態において、標準試料検査時の状態を示す概略的な平面図である。
【図8】本発明に係るX線透過検査装置の第4実施形態において、試料検査時の状態を示す概略的な平面図である。
【図9】第4実施形態において、標準試料検査時の状態を示す概略的な平面図である。
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