特許6785809処理容器内の部材をクリーニングする方法、半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム

発明の名称　処理容器内の部材をクリーニングする方法、半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム

出願人　株式会社ＫＯＫＵＳＡＩ　ＥＬＥＣＴＲＩＣ　（識別番号 318009126）

　　　　特許公開件数ランキング 399 位（23件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 400 位（20件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6785809

公報発行日　2020年11月18

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6785809

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