特許6788660欠陥検査装置

発明の名称　欠陥検査装置

出願人　株式会社日立ハイテクノロジーズ　（識別番号 501387839）

　　　　特許公開件数ランキング 220 位（142件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 74 位（296件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6788660

公報発行日　2020年11月25

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6788660

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