特許6790099マルチビーム走査型顕微鏡システムの焦点調整方法及びシステム

発明の名称　マルチビーム走査型顕微鏡システムの焦点調整方法及びシステム

出願人　ケーエルエー−テンカー　コーポレイション　（識別番号 500049141）

　　　　特許公開件数ランキング 279 位（39件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 454 位（19件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6790099

公報発行日　2020年11月25

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6790099

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