特許 6792462 マウントフランジ端面状態確認治具

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6792462

(24)【登録日】2020年11月10日

(45)【発行日】2020年11月25日

(54)【発明の名称】マウントフランジ端面状態確認治具

(51)【国際特許分類】

   B24B 49/08 20060101AFI20201116BHJP

   B24B 45/00 20060101ALI20201116BHJP

   H01L 21/301 20060101ALI20201116BHJP

   B23Q 17/00 20060101ALI20201116BHJP

   B23Q 17/20 20060101ALI20201116BHJP

【ＦＩ】

   B24B49/08

   B24B45/00 Z

   H01L21/78 F

   B23Q17/00 A

   B23Q17/20 Z

【請求項の数】1

【全頁数】10

(21)【出願番号】特願2017-6533(P2017-6533)

(22)【出願日】2017年1月18日

(65)【公開番号】特開2018-114586(P2018-114586A)

(43)【公開日】2018年7月26日

【審査請求日】2019年11月8日

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110001014

【氏名又は名称】特許業務法人東京アルパ特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】花島 聡

【審査官】 亀田 貴志

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１５−２３２２２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−２８４７７４（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ２４Ｂ ４９／０８

Ｂ２３Ｑ １７／００

Ｂ２３Ｑ １７／２０

Ｂ２４Ｂ ４５／００

Ｈ０１Ｌ ２１／３０１

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

スピンドルの先端に固定されて切削ブレードが装着されるマウントフランジの環状端面の状態を確認するためのマウントフランジ端面状態確認治具であって、
該マウントフランジは、該スピンドルの先端に配設されて切削ブレードの嵌合孔に嵌合するボス部と、該ボス部の後端から径方向外側に突出して形成されるとともに前面に環状端面を有し、該環状端面の内周側と該ボス部との間に環状凹部を備えたフランジ部と、を備え、
該マウントフランジ端面状態確認治具は、該環状端面の全面に当接する当接面を有するとともに該ボス部が収容される収容穴が形成された本体を備え、
該本体には、該環状凹部に対応する位置に形成された開口と、一端が該開口に連通するとともに他端が吸引源に接続された吸引路と、が形成されるとともに該環状端面と該当接面とからのエアのリークの有無を検出するリーク検出手段と、を備えたマウントフランジ端面状態確認治具。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、切削ブレードが装着されるマウントフランジの環状端面の状態を検出するためのマウントフランジ端面状態確認治具に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体ウェーハ等の板状の被加工物を個々のチップに分割するために、回転軸に円盤状の切削ブレードを固定して構成される切削ユニットを備えた切削装置が用いられている。そして、回転軸に対する切削ブレードの固定は、スピンドルに装着されるマウントフランジと呼ばれる固定具を介して行われる。

【0003】

例えば、スピンドルに固定される切削ブレードがハブタイプのブレードである場合に、ハブ基台のアルミを含む異物が切削ブレードを挟持固定する挟持面となるマウントフランジの環状端面に固着されてしまうこと等により、マウントフランジの環状端面が平坦でなくなってしまう場合がある。そして、環状端面の平坦性が失われると、切削ブレードが回転軸の軸心に対して傾いた状態で回転軸に装着されてしまい、回転時に切削ブレードがばたつくことで被加工物の精密な加工ができなくなるという問題がある。

【0004】

そこで、上記問題を解消するために、マウントフランジの環状端面の修正（例えば、特許文献１参照）を適宜実施して、切削ブレードによる被加工物の精密な加工が実施できる状態を保っている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２００９−２９７８５５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

マウントフランジの環状端面の修正とともに行うマウントフランジの環状端面の平坦度の確認は、環状端面にダイヤルゲージを当接させ、マウントフランジを回転させてゲージの接触針を環状端面全周に接触させることで行っていた。しかし、上記ダイヤルゲージを使用する確認方法は手間が掛かるという問題がある。

【0007】

よって、上記問題を鑑みると、マウントフランジの環状端面の平坦度等が所望の状態となっているか否かをより容易に確認できるようにするという課題がある。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記課題を解決するための本発明は、スピンドルの先端に固定されて切削ブレードが装着されるマウントフランジの環状端面の状態を確認するためのマウントフランジ端面状態確認治具であって、該マウントフランジは、該スピンドルの先端に配設されて切削ブレードの嵌合孔に嵌合するボス部と、該ボス部の後端から径方向外側に突出して形成されるとともに前面に環状端面を有し、該環状端面の内周側と該ボス部との間に環状凹部を備えたフランジ部と、を備え、該マウントフランジ端面状態確認治具は、該環状端面の全面に当接する当接面を有するとともに該ボス部が収容される収容穴が形成された本体を備え、該本体には、該環状凹部に対応する位置に形成された開口と、一端が該開口に連通するとともに他端が吸引源に接続された吸引路と、が形成されるとともに該環状端面と該当接面とからのエアのリークの有無を検出するリーク検出手段と、を備えたマウントフランジ端面状態確認治具である。

【発明の効果】

【0009】

本発明に係るマウントフランジ端面状態確認治具は、マウントフランジの環状端面の全面に当接する当接面を有するとともにマウントフランジのボス部が収容される収容穴が形成された本体を備え、本体には、環状凹部に対応する位置に形成された開口と、一端が開口に連通するとともに他端が吸引源に接続された吸引路と、が形成されるとともに環状端面と当接面とからのエアのリークの有無を検出するリーク検出手段と、を備えており、マウントフランジの環状端面の平坦度を検査する際に、マウントフランジのボス部を治具の収容穴に収容させ、かつ、マウントフランジの環状端面の全面に治具の当接面を当接させた状態で吸引源を作動させるだけで、環状端面と当接面との間のエアのリークの有無によって環状端面の平坦度を確認できるため、従来に比べてより容易に環状端面の平坦度を確認できる。
また、従来とは異なり、ダイヤルゲージを使用することなく環状端面の平坦度を確認することができるため、従来において発生し得る問題、すなわち、例えば、ダイヤルゲージを誤って過度に環状端面に押し当てた状態でマウントフランジを回転させることで、かえって環状端面を傷付けてしまい平坦度を悪くしてしまうという問題も発生しない。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】切削ユニットの一例を示す分解斜視図である。

【図2】マウントフランジ端面状態確認治具の構造を示す断面図である。

【図3】マウントフランジ端面状態確認治具の収容穴にマウントフランジのボス部を収容している状態を示す断面図である。

【図4】マウントフランジの環状端面の全面に治具の当接面を当接させた状態で吸引源を作動させて、環状端面と当接面とからのエアのリークの有無を検出している状態を示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

図１に示す切削ユニット６は、半導体ウェーハ等の被加工物に切削加工を施す切削装置に備えられるユニットであり、例えば、回転可能なスピンドル６２１を備えるスピンドルユニット６２と、スピンドル６２１に着脱可能に装着されるマウントフランジ６１と、マウントフランジ６１を介してスピンドル６２１に装着される切削ブレード６０とを少なくとも備えている。

【0012】

切削ブレード６０は、例えば、ハブブレードであり、円環板状に形成され中央に嵌合孔６００ｃを備えるアルミニウム製の基台６００と、基台６００の外周側にダイヤモンド砥粒等を適宜のバインダーにより固定することで形成された環状の切り刃６０１とを備える。

【0013】

図１に示すように、スピンドルユニット６２のスピンドルハウジング６２０中には、Ｙ軸方向の軸心を備え図示しないモータにより回転駆動されるスピンドル６２１が回転可能に収容されている。スピンドル６２１の先端部は、スピンドルハウジング６２０から前方（＋Ｙ方向側）に突出しており、マウントフランジ６１を取り付けることができるようになっている。スピンドル６２１の先端部には、ネジ穴６２１ａが設けられている。

【0014】

マウントフランジ６１は、切削ブレード６０の嵌合孔６００ｃに嵌合するボス部６１０と、ボス部６１０の後端から径方向外側に突出して形成されたフランジ部６１１とを備えており、その中心には、スピンドル６２１が嵌合する嵌合孔６１３が厚み方向（Ｙ軸方向）に向かって貫通形成されている。ボス部６１０はフランジ部６１１よりも小径に形成されており、ボス部６１０の側面には雄ねじ６１０ｃが形成されている。

【0015】

フランジ部６１１の前面の外周側には環状の端面６１１ａが形成されており、この環状端面６１１ａは、切削ブレード６０の基台６００を挟持する挟持面となり、高い平坦度を備えている。環状端面６１１ａの幅は、切削ブレード６０の基台６００の形状及び大きさ等によって適宜な大きさが採用される。環状端面６１１ａの内周側とボス部６１０との間には環状の凹部６１１ｂが形成されている。

【0016】

マウントフランジ６１の嵌合孔６１３にスピンドル６２１に挿嵌した後、スピンドル６２１のネジ穴６２１ａにマウントフランジ固定ボルト６４を螺合することによって、マウントフランジ６１をスピンドル６２１に装着することができる。さらに、切削ブレード６０の嵌合孔６００ｃにマウントフランジ６１のボス部６１０を嵌合させると、マウントフランジ６１のボス部６１０は、切削ブレード６０の基台６００内から＋Ｙ方向側に突き出た状態になる。そして、ブレード固定ナット６３をボス部６１０の雄ねじ６１０ｃに螺合させて締め付けることにより、切削ブレード６０が、ブレード固定ナット６３とマウントフランジ６１のフランジ部６１１の環状端面６１１ａとによりＹ軸方向両側から挟まれて固定され、スピンドル６２１に装着された状態になる。そして、図示しないモータによりスピンドル６２１が回転駆動されることに伴って、切削ブレード６０も高速回転する。

【0017】

上記マウントフランジ６１の環状端面６１１ａが所望の平坦度を有しているかを確認するために用いられる図２に示すマウントフランジ端面状態確認治具３は、環状端面６１１ａの全面に当接する当接面３０４を有するとともにボス部６１０が収容される収容穴３０５が形成された本体３０を備えている。

【0018】

本体３０は、例えば、基台部３０Ａと基台部３０Ａの前面３００（図２における−Ｙ方向側の面）に固定され上記当接面３０４を有する当接部３０Ｂとから構成されている。基台部３０Ａの前面３００の中央領域には、ピストン機構収容孔３００ａが＋Ｙ方向側に向かって穿つように形成されており、ピストン機構収容孔３００ａの底面（図２における−Ｙ方向側の面）にはボルト穴３００ｃが形成されている。基台部３０Ａの前面３００の外周側の領域には固定ネジ３０３が螺合するネジ穴３００ｂが形成されている。

【0019】

当接部３０Ｂの前面３０１の中央領域には、凸部３０２が−Ｙ方向側に向かって突き出るように形成されており、前面３０１は、この凸部３０２によって環状の段差が１段形成された状態になっている。凸部３０２の中央領域にはマウントフランジ６１のボス部６１０が収容される収容穴３０５がＹ軸方向に向かって貫通形成されており、凸部３０２の環状の当接面３０４よりも一段へこんだ環状面には、固定ネジ３０３を挿通させる固定ネジ挿通穴３０１ｂがＹ軸方向に向かって貫通形成されている。
当接部３０Ｂの背面（図２において＋Ｙ方向側の面）を基台部３０Ａの前面３００に接触させ、固定ネジ挿通穴３０１ｂとネジ穴３００ｂとを重ね合わせて、固定ネジ３０３を固定ネジ挿通穴３０１ｂに通してネジ穴３００ｂに螺合させることにより、図２に示すように基台部３０Ａに当接部３０Ｂを固定することができる。

【0020】

環状の当接面３０４は、例えば、ダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）がコーティングされた高硬度かつ高い平坦度を備える平坦面となっており、フランジ部６１１の環状端面６１１ａよりも大きな面積を備えている。

【0021】

マウントフランジ６１の環状凹部６１１ｂに対応する位置、すなわち、例えば凸部３０２の当接面３０４よりも内周側の位置には、円形の開口３０６が形成されている。開口３０６の外径は、例えば、環状凹部６１１ｂの内径よりも大きくかつ環状凹部６１１ｂの外径よりも小さくなっており、マウントフランジ６１のボス部６１０をマウントフランジ端面状態確認治具３の収容穴３０５に収容した状態において、環状凹部６１１ｂの一部と開口３０６の一部とがＹ軸方向において対向する状態になる。そして、開口３０６には、吸引路３０７の一端が連通している。

【0022】

図２に示す例において、吸引路３０７は、例えば、開口３０６に連通し当接部３０Ｂの内部を当接部３０Ｂの厚み方向に向かって所定距離延びた後、さらに下方に向かって延び当接部３０Ｂの外側面に開口する内部流路３０７ａと、内部流路３０７ａに連通するエルボ管３０７ｂと、エルボ管３０７ｂに接続されフレキシブルチューブ又は金属配管等から構成される外部流路３０７ｃとから構成されている。外部流路３０７ｃの他端、すなわち吸引路３０７の他端は、真空発生装置及びコンプレッサー等から構成される吸引源３０８に連通している。

【0023】

例えば、外部流路３０７ｃ上には、吸引源３０８側から順に、吸引源３０８が生み出す吸引力の吸引路３０７への供給と遮断とを切り替えるソレノイドバルブ３０８ａと、マウントフランジ６１の環状端面６１１ａとマウントフランジ端面状態確認治具３の当接面３０４とからのエアのリークの有無を検出するリーク検出手段３１とが配設されている。リーク検出手段３１は、例えば、吸引路３０７を流れるエアの流量を測定する流量計（フロートを備える面積式流量計等）又は吸引路３０７内に流れるエアの圧力を測定する圧力計等である。なお、ソレノイドバルブ３０８ａ及びリーク検出手段３１の配設箇所並びに吸引路３０７の構成については、本実施形態に限定されるものではない。

【0024】

図２に示すように、ボス部６１０が収容される収容穴３０５の外径は、基台部３０Ａのピストン機構収容孔３００ａの外径と同径であり、かつ、マウントフランジ６１のボス部６１０の外径より僅かに大きくボス部６１０が嵌合する大きさとなっている。基台部３０Ａに当接部３０Ｂが固定されている状態において、収容穴３０５の中心とピストン機構収容孔３００ａの中心とは合致している。

【0025】

例えば、マウントフランジ端面状態確認治具３の本体３０の内部にはピストン機構３２が配設されている。ピストン機構３２は、収容穴３０５からピストン機構収容孔３００ａにかけて本体３０の内部を移動する可動部材３２Ａと、可動部材３２Ａに軸通された固定軸３２３とを備えている。固定軸３２３の軸心はＹ軸方向になっており、その中心にボルト３２３ａが挿通されている。そして、このボルト３２３ａがピストン機構収容孔３００ａの底面に形成されたボルト穴３００ｃに螺合することで、固定軸３２３はピストン機構収容孔３００ａの底面に固定されている。可動部材３２Ａは、固定軸３２３にガイドされてＹ軸方向に往復移動可能となっている。

【0026】

略円筒状の可動部材３２Ａは、マウントフランジ６１のボス部６１０が当接する後端部３２０と、後端部３２０に結合する前端部３２１とを備えている。図２に示すように、後端部３２０の外径は、収容穴３０５内を摺動可能な大きさに定められている。前端部３２１は、外側面に一段段差が形成されており、この段差部分とピストン機構収容孔３００ａの底面との間には、圧縮コイルバネ３２４が配設されている。圧縮コイルバネ３２４の一端は、ピストン機構収容孔３００ａの底面に固定されており、そのもう一端は、上記段差部分に固定されている。そして、圧縮コイルバネ３２４の内周側には、固定軸３２３及び前端部３２１の＋Ｙ方向側の先端部分となる小径の部位が挿通されている。

【0027】

後端部３２０の背面（図２における−Ｙ方向側の面）には、ボス部６１０の環状の先端が当接する。また、該背面の内周側の根元部分には、ゴム樹脂等からなる円環状のＯリング３２０ａが配設されている。

【0028】

図１に示すスピンドル６２１が図示しないモータに回転駆動されることに伴って、切削ブレード６０が回転すると、マウントフランジ６１の環状端面６１１ａと切削ブレード６０の基台６００との間には摺れが発生する場合がある。この摺れによって発生する摩擦熱により、基台６００のアルミニウムの一部が環状端面６１１ａに溶着し、これが固まることで環状端面６１１ａに微小な突出部分が形成されてしまい環状端面６１１ａの平坦度が粗くなっている場合がある。
そこで、以下に、図２に示すマウントフランジ端面状態確認治具３により、切削加工において既に使用したマウントフランジ６１の環状端面６１１ａの状態を確認していく。また、その際の作業手順及びマウントフランジ端面状態確認治具３の各構成要素の動作について詳述していく。なお、本確認作業を実施する際に、本実施形態においてはマウントフランジ６１がスピンドル６２１から取り外された状態となっているが、マウントフランジ６１がスピンドル６２１に取り付けられた状態で、本確認作業を実施してもよい。

【0029】

まず、図２に示すように、マウントフランジ６１が、マウントフランジ端面状態確認治具３の近くに搬送され、マウントフランジ６１のボス部６１０の中心がマウントフランジ端面状態確認治具３の収容穴３０５の中心におおよそ位置するように位置付けられる。次いで、マウントフランジ６１を＋Ｙ方向側に移動させ、図３に示すようにボス部６１０を収容穴３０５に収容していく。

【0030】

ボス部６１０の環状の先端面を可動部材３２Ａの後端部３２０の背面に当接させた後、さらに、マウントフランジ６１を＋Ｙ方向側に移動させることで、ボス部６１０が収容穴３０５にさらに収容されていく。また、ボス部６１０に押されて可動部材３２Ａが＋Ｙ方向に移動し、当初自然長であった圧縮コイルバネ３２４が可動部材３２Ａの前端部３２１の段差部分により押圧され収縮し、かつ、可動部材３２Ａを−Ｙ方向側に押し戻そうとする付勢力を蓄える。なお、本実施形態においては、Ｏリング３２０ａにより、ボス部６１０が後端部３２０を＋Ｙ方向側に押す際に、ボス部６１０が傷ついてしまうことが防がれる。

【0031】

図４に示すように、マウントフランジ６１をさらに＋Ｙ方向側に移動させることで、マウントフランジ６１の環状端面６１１ａ全面をマウントフランジ端面状態確認治具３の当接部３０Ｂの当接面３０４に当接させ、マウントフランジ６１に対して＋Ｙ方向側に向かう所定の押圧力が掛けられた状態を維持する。なお、当接面３０４は、ＤＬＣコーティングが施されているため、環状端面６１１ａに微小な突出部分が存在している場合であっても、当接面３０４がこの微小な突出部分によって窪んでしまうことはなく、当接面３０４は高い平坦度を保つことができる。

【0032】

図４に示すように、マウントフランジ６１の環状凹部６１１ｂの一部に対して開口３０６の一部が対面した状態となる。次いで、ソレノイドバルブ３０８ａによって吸引源３０８と吸引路３０７とが連通した状態に設定され、吸引源３０８が吸引を行うことで、開口３０６から吸引源３０８へと向かう方向のエアの流れが発生する。このエアの流れが発生することで、開口３０６上にはマウントフランジ６１を吸引する吸引力が発生する。

【0033】

環状端面６１１ａに微小な突出部分が存在しない場合には、環状端面６１１ａと当接面３０４との間には隙間が存在しない状態となる。そのため、環状端面６１１ａと当接面３０４との間からエアのリーク、すなわち、環状端面６１１ａと当接面３０４との間から外気の吸引は行われず、したがって開口３０６から吸引路３０７への新たなエアの吸引も行われない。なお、ボス部６１０は収容穴３０５に嵌合していることに加えて、Ｏリング３２０ａによりボス部６１０と後端部３２０との間に隙間が形成されないため、マウントフランジ６１の嵌合孔６１３を経由する外気の吸引も発生しない。このように、マウントフランジ端面状態確認治具３はマウントフランジ６１によって密閉された状態であるため、所定時間経過後、吸引路３０７内のエア流量が所定の値（例えば、０（Ｌ／分）又は、リーク検出手段３１の測定誤差等を考慮した０（Ｌ／分）より僅かに大きな値）まで低下する。そして、例えば、リーク検出手段３１には、予め、この所定のエア流量値が基準値として設定されている。

【0034】

これに対して、環状端面６１１ａに切削ブレード６０の基台６００のアルミが付着していることで、環状端面６１１ａに微小な突出部分が複数形成されている場合には、環状端面６１１ａと当接面３０４との間には微小な隙間が形成されることになる。そのため、環状端面６１１ａと当接面３０４との間からエアのリーク、すなわち、環状端面６１１ａと当接面３０４との間から外気の吸引が行われ、開口３０６が新たなエアを吸引路３０７に対して吸引し、吸引路３０７に新たなエアが流れ込むため、所定時間が経過した後においても、リーク検出手段３１が検出する吸引路３０７内のエア流量値が上記基準値よりも大きくなっている。例えば、リーク検出手段３１は、検出した吸引路３０７内のエア流量値が上記基準値よりも大きくなっている場合には、環状端面６１１ａと当接面３０４とからのエアのリークがある旨の検出結果を、オペレータが判断できるように図示しないモニター等に表示する。なお、環状端面６１１ａと当接面３０４との間からエアのリークがない場合の吸引路３０７内のエア流量値の基準値を予めオペレータが記憶しており、オペレータがリーク検出手段３１に表示されるエア流量値を監視し記憶している基準値と比較することで、エアのリークの有無を検出するものとしてもよい。

【0035】

このように、本発明に係るマウントフランジ端面状態確認治具３は、マウントフランジ６１の環状端面６１１ａの全面に当接する当接面３０４を有するとともにマウントフランジ６１のボス部６１０が収容される収容穴３０５が形成された本体３０を備え、本体３０には、マウントフランジ６１の環状凹部６１１ｂに対応する位置に形成された開口３０６と、一端が開口３０６に連通するとともに他端が吸引源３０８に接続された吸引路３０７と、が形成されるとともに環状端面６１１ａと当接面３０４とからのエアのリークの有無を検出するリーク検出手段３１と、を備えている。そのため、マウントフランジ６１の環状端面６１１ａの平坦度等の状態を確認する際に、マウントフランジ６１のボス部６１０を治具３の収容穴３０５に収容させ、かつ、マウントフランジ６１の環状端面６１１ａの全面に治具３の当接面３０４を当接させた状態で吸引源３０８を作動させるだけで、環状端面６１１ａと当接面３０４との間のエアのリークの有無によって環状端面６１１ａの平坦度の確認、すなわち、例えば、環状端面６１１ａに切削ブレード６０の基台６００のアルミ付着による微小な突出部分が形成されていることで平坦度が粗くなっていないかどうか等を、従来に比べてより容易に確認できる。
また、従来とは異なり、ダイヤルゲージを使用することなく環状端面６１１ａの平坦度等の状態を確認することができるため、従来において発生し得る問題、すなわち、例えば、ダイヤルゲージを誤って過度に環状端面６１１ａに押し当てた状態でマウントフランジ６１を回転させることで、かえって環状端面６１１ａを傷付けてしまい平坦度を悪くしてしまうという問題も発生しない。

【0036】

マウントフランジ端面状態確認治具３によりマウントフランジ６１の環状端面６１１ａの状態を確認した後、吸引源３０８による吸引を停止する。例えば、環状端面６１１ａに微小な突出部分がほとんど存在しない場合には、環状端面６１１ａと当接面３０４との間には隙間が存在しない状態となっているため、マウントフランジ６１とマウントフランジ端面状態確認治具３と間には真空吸着力が残存している。例えば、本実施形態と異なり、本体３０の内部にピストン機構３２が配設されていないと仮定すると、オペレータ等がマウントフランジ端面状態確認治具３を−Ｙ方向側に引っ張っても、真空吸着力によりマウントフランジ端面状態確認治具３からマウントフランジ６１を容易に取り外せない場合が生じ得る。しかし、本実施形態においては、マウントフランジ端面状態確認治具３の本体３０の内部にピストン機構３２を配設しているため、可動部材３２Ａを−Ｙ方向側に押し戻そうとする付勢力を蓄えている圧縮コイルバネ３２４によって、可動部材３２Ａが−Ｙ方向側に押し戻される。そのため、マウントフランジ６１に加えている＋Ｙ方向への押圧力を解除することで、マウントフランジ６１をマウントフランジ端面状態確認治具３から自動的かつ容易に取り外すことができる。なお、マウントフランジ端面状態確認治具３は、ピストン機構３２が本体３０の内部に配設されていない構成であってもよい。

【0037】

本発明に係るマウントフランジ端面状態確認治具３は本実施形態に限定されるものではなく、また、添付図面に図示されている切削ユニット６及びマウントフランジ端面状態確認治具３の形状や構成等についても、これに限定されず、本発明の効果を発揮できる範囲内で適宜変更可能である。

【0038】

例えば、スピンドル６２１に装着される切削ブレード６０が、ハブブレードではなく、基台を備えない環状のワッシャータイプのブレードであり、ワッシャータイプのブレードが回転することによって、マウントフランジ６１の環状端面６１１ａに微小な溝状のきずが形成されることで、環状端面６１１ａの平坦度が粗くなってしまう場合がある。このような微小な溝状のきずが、例えば、マウントフランジ６１の環状端面６１１ａの外周側に開口するように形成されている場合には、マウントフランジ６１のボス部６１０を治具３の収容穴３０５に収容させ、かつ、マウントフランジ６１の環状端面６１１ａの全面に治具３の当接面３０４を当接させた状態で吸引源３０８を作動させるだけで、環状端面６１１ａと当接面３０４との間のエアのリークが発生するため、環状端面６１１ａの平坦度が粗くなっていること容易に確認することができる。

【符号の説明】

【0039】

３：マウントフランジ端面状態確認治具
３０：本体
３０Ａ：基台部 ３００：基台部の前面 ３００ａ：ピストン機構収容孔 ３００ｂ：ネジ穴 ３００ｃ：ボルト穴 ３０３：固定ネジ
３０Ｂ：当接部 ３０１：当接部の前面 ３０１ｂ：固定ネジ挿通穴
３０２：凸部 ３０４：当接面 ３０５：収容穴 ３０６：開口
３０７：吸引路 ３０７ａ：内部流路 ３０７ｂ：エルボ管 ３０７ｃ：外部流路
３０８：吸引源 ３０８ａ：ソレノイドバルブ
３１：リーク検出手段
３２：ピストン機構 ３２Ａ：可動部材 ３２０：後端部 ３２０ａ：Ｏリング ３２１：前端部
３２３：固定軸 ３２３ａ：ボルト
３２４：圧縮コイルバネ
６：切削ユニット
６０：切削ブレード ６００：基台 ６００ｃ：嵌合孔 ６０１：切り刃
６１：マウントフランジ
６１０：ボス部 ６１０ｃ：雄ねじ
６１１：フランジ部 ６１１ａ：環状端面 ６１１ｂ：環状凹部
６１３：嵌合孔
６２：スピンドルユニット ６２０：スピンドルハウジング ６２１：スピンドル ６２１ａ：ネジ穴
６３：ブレード固定ナット ６４：マウントフランジ固定ボルト

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】