【図1】ＥＵＶ照明光学ユニットを有するＥＵＶ投影リソグラフィのための投影露光装置を通る略子午断面図である。

【図2】図１に記載の投影露光装置の無方向性ＥＵＶ放射線源からの放出光を照明光学ユニットの中間フォーカスの場所に配置された主焦点に伝達するためのコレクターの実施形態を示す類似の子午断面図である。

【図3】図１に記載の投影露光装置の無方向性ＥＵＶ放射線源からの放出光を照明光学ユニットの中間フォーカスの場所に配置された主焦点に伝達するためのコレクターの実施形態を示す類似の子午断面図である。

【図4】図１に記載の投影露光装置の無方向性ＥＵＶ放射線源からの放出光を照明光学ユニットの中間フォーカスの場所に配置された主焦点に伝達するためのコレクターの実施形態を示す類似の子午断面図である。

【図5】図１に記載の投影露光装置の無方向性ＥＵＶ放射線源からの放出光を照明光学ユニットの中間フォーカスの場所に配置された主焦点に伝達するためのコレクターの実施形態を示す類似の子午断面図である。

【図6】図１に記載の投影露光装置の無方向性ＥＵＶ放射線源からの放出光を照明光学ユニットの中間フォーカスの場所に配置された主焦点に伝達するためのコレクターの実施形態を示す類似の子午断面図である。

【図7】図１に記載の投影露光装置の無方向性ＥＵＶ放射線源からの放出光を照明光学ユニットの中間フォーカスの場所に配置された主焦点に伝達するためのコレクターの実施形態を示す類似の子午断面図である。

【図8】図１に記載の投影露光装置の無方向性ＥＵＶ放射線源からの放出光を照明光学ユニットの中間フォーカスの場所に配置された主焦点に伝達するためのコレクターの実施形態を示す類似の子午断面図である。

【図9】図１に記載の投影露光装置の照明光学ユニットの視野ファセットミラーの平面図である。

【図10】図２から図８に記載の実施形態のうちの１つのコレクターを用いて生成することができる照明遠視野の半径方向強度分布の図である。

【図10A】コレクターのミラーサブユニットの配置及び成形に使用される式を導出するのに使用される変数を定めるために様式化したコレクターを通る略子午断面図である。

【図11】図１に記載の投影露光装置のための照明光学ユニットの更に別の実施形態を示す図である。