発明の名称 MoOCl4を使用することによるCVD Mo堆積
出願人 インテグリス・インコーポレーテッド (識別番号 505307471)
特許公開件数ランキング 426 位(22件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 351 位(25件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-6793243
公報発行日 2020年12月2
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6793243
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