特許 6794654 エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、及びロボット装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6794654

(24)【登録日】2020年11月16日

(45)【発行日】2020年12月2日

(54)【発明の名称】エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、及びロボット装置

(51)【国際特許分類】

   G01D 5/12 20060101AFI20201119BHJP

   G01D 5/04 20060101ALI20201119BHJP

   B25J 19/02 20060101ALI20201119BHJP

【ＦＩ】

   G01D5/12 Q

   G01D5/12 N

   G01D5/04 Z

   B25J19/02

【請求項の数】15

【全頁数】19

(21)【出願番号】特願2016-86723(P2016-86723)

(22)【出願日】2016年4月25日

(65)【公開番号】特開2017-198456(P2017-198456A)

(43)【公開日】2017年11月2日

【審査請求日】2019年3月7日

(73)【特許権者】

【識別番号】000004112

【氏名又は名称】株式会社ニコン

(74)【代理人】

【識別番号】100107836

【弁理士】

【氏名又は名称】西 和哉

(74)【代理人】

【識別番号】100134692

【弁理士】

【氏名又は名称】川村 武

(72)【発明者】

【氏名】大野 康

【審査官】 榮永 雅夫

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００３−４４８３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００４−１０４８８９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２０１３／１４６３７１（ＷＯ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｄ ５／００ − ５／６２

Ｂ２５Ｊ １９／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

測定対象の回転軸に固定され、パターンが形成された回転部と、
前記パターンを検出する検出部と、
前記検出部が取り付けられると共に前記回転部の回転を許容する基板と、前記回転部を収容するケースと前記基板との間を接続し、前記回転軸の移動に前記基板を追従させる接続部と、を有する支持部と、を備えるエンコーダ装置。

【請求項2】

前記基板は、前記回転部に対して所定間隔をあけて平行に配置される、請求項１に記載のエンコーダ装置。

【請求項3】

前記基板は、軸受を介して前記回転軸に保持される、請求項１又は請求項２に記載のエンコーダ装置。

【請求項4】

前記基板は、前記回転部の外周を囲んで配置された筒状のガイド部の内側に保持される、請求項１又は請求項２に記載のエンコーダ装置。

【請求項5】

前記基板は、前記ガイド部に対して、周方向に間隔をあけて複数個所で接触する、請求項４に記載のエンコーダ装置。

【請求項6】

前記基板は、調心軸受を介して前記回転軸に保持され、
前記基板と前記回転部との間に、両者の間隔を保持するギャップ用軸受が配置される、請求項１又は請求項２に記載のエンコーダ装置。

【請求項7】

前記基板を前記回転軸に向けて押し付ける弾性部材を備える、請求項６に記載のエンコーダ装置。

【請求項8】

前記接続部は、前記回転軸の軸方向と直交する面内において、直交する２方向に互いに移動可能なオルダムカップリングを含んで形成される、請求項１から請求項７のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。

【請求項9】

前記接続部は、前記回転軸の軸方向と直交する方向に弾性変形可能な平行バネを含んで形成される、請求項１から請求項７のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。

【請求項10】

前記ケースと前記基板との間にシール部を備える、請求項１から請求項９のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。

【請求項11】

前記パターンは光学パターンであり、
前記検出部は、前記光学パターンによる反射光または透過光を検出する、請求項１から請求項１０のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。

【請求項12】

前記パターンは磁気パターンであり、
前記検出部は、前記磁気パターンによる磁場を検出する、請求項１から請求項１０のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。

【請求項13】

請求項１から請求項１２のいずれか一項に記載のエンコーダ装置と、
前記回転軸に駆動力を供給する駆動部と、を備える、駆動装置。

【請求項14】

移動体と、
前記移動体を移動させる請求項１３に記載の駆動装置と、を備える、ステージ装置。

【請求項15】

請求項１３に記載の駆動装置を備える、ロボット装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、及びロボット装置に関する。

【背景技術】

【0002】

回転情報（回転位置情報と称する場合もある。）を検出するエンコーダ装置は、駆動装置（例えば、モータ装置）などの各種装置に搭載されている（例えば、下記特許文献１参照）。エンコーダ装置は、例えば、駆動装置の回転軸に設けられて回転する回転部を備え、この回転部のパターンからの光又は磁気を検出部により検出して回転情報を取得する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００４−３１８４３９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

エンコーダ装置は、回転情報を精度よく取得可能なことが望まれる。エンコーダ装置は、例えば、回転軸の位置が変動すると、回転部（パターン）と検出部との位置ずれが生じる。この両者の位置ずれにより、取得する回転情報の精度が低下することがある。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本発明の第１態様に従えば、測定対象の回転軸に固定され、パターンが形成された回転部と、パターンを検出する検出部と、検出部が取り付けられると共に回転部の回転を許容する基板と、回転部を収容するケースと基板との間を接続し、回転軸の移動に基板を追従させる接続部と、を有する支持部と、を備えるエンコーダ装置が提供される。また、測定対象の回転軸に固定され、パターンが形成された回転部と、パターンを検出し、回転軸の偏心移動、軸方向に対する傾き方向への移動、及び軸方向への移動のうち、少なくとも１つの移動に応じて移動する検出部と、検出部を支持する支持部と、を備えるエンコーダ装置が提供される。

【0006】

本発明の第２態様に従えば、第１態様に従うエンコーダ装置と、回転軸に駆動力を供給する駆動部と、を備える駆動装置が提供される。

【0007】

本発明の第３態様に従えば、移動体と、移動体を移動させる第２態様に従う駆動装置と、を備えるステージ装置が提供される。

【0008】

本発明の第４態様に従えば、第２態様に従う駆動装置を備えるロボット装置が提供される。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】第１実施形態に係るエンコーダ装置の一例を示す図であり、（ａ）は断面図、（ｂ）は平面図、（ｃ）は一部の側面図である。

【図2】回転軸の偏心移動した状態を示す図である。

【図3】第２実施形態に係るエンコーダ装置の一例を示す図であり、（ａ）は断面図、（ｂ）は平面図、（ｃ）は一部の側面図である。

【図4】第３実施形態に係るエンコーダ装置の一例を示す図であり、（ａ）は断面図、（ｂ）は平面図である。

【図5】第４実施形態に係るエンコーダ装置の一例を示す図であり、（ａ）は断面図、（ｂ）は平面図である。

【図6】第５実施形態に係るエンコーダ装置の一例を示す図であり、（ａ）は断面図、（ｂ）は平面図である。

【図7】第６実施形態に係るエンコーダ装置の一例を示す断面図である。

【図8】（Ａ）及び（Ｂ）は、第６実施形態において回転軸が移動した状態を示す断面図である。

【図9】第７実施形態に係るエンコーダ装置の一例を示す図であり、（ａ）は断面図、（ｂ）は平面図である。

【図10】駆動装置の一例を示す図である。

【図11】ステージ装置の一例を示す図である。

【図12】ロボット装置の一例を示す斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。ただし、本発明はこれに限定されるものではない。また、図面において、一部分を大きくまたは強調して記載するなど適宜縮尺を変更して表現する。また、以下の各図に示すＸＹＺ座標系を適宜用いて方向を説明する。Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向のそれぞれは、適宜、図中の矢印の方向が＋方向（例、＋Ｘ方向）であり、その反対方向が−方向（例、−Ｘ方向）であるとする。

【0011】

［第１実施形態］
図１は、第１実施形態に係るエンコーダ装置１００の一例を示す図である。図１（Ａ）はＸＺ平面に平行な平面による断面図、（Ｂ）は−Ｚ方向に見たときの平面図である。図１（Ｃ）については後述する。図１（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、エンコーダ装置１００は、回転部１０と、検出部２０と、ケース部３０と、支持部４０と、を備えている。エンコーダ装置１００は、例えば、モータ等の駆動部１０１に取り付けられる。エンコーダ装置１００は、駆動部１０１の回転軸１０２の回転情報（回転位置情報）を検出する。回転軸１０２は、例えばモータのシャフト（回転子）であるが、負荷に接続される作用軸（出力軸）でもよい。作用軸は、例えば、モータのシャフトに変速機などの動力伝達部を介して接続される。エンコーダ装置１００が検出した回転情報は、例えば、駆動部１０１の制御部に供給される。この制御部は、エンコーダ装置１００から供給された回転情報を使って、回転軸１０２の回転を制御する。

【0012】

回転情報は、回転軸１０２の回転の数を表す多回転情報、及び回転軸１０２の１回転未満の角度位置（回転角）を表す角度位置情報を含む。多回転情報は、例えば、１回転、２回転というように回転の数を整数で表した情報でもよいし、３６０°、７２０°というように回転の数を角度（例、３６０°の整数倍）で表した情報でもよい。角度位置情報は、９０°、１２０°、２７０°といった情報であり、回転情報は、例えば、１回転と９０°（４５０°）というように、１回転未満の回転角と１回転以上の回転角とを区別可能な情報である。なお、回転情報、多回転情報、及び角度位置情報の少なくとも一つは、度（°）以外の次元（例、ラジアン）で表されてもよいし、その数値が２進数など（例、所定のビット数のデジタルデータ）で表されてもよい。

【0013】

回転部１０は、スケール１１を有する。スケール１１は、例えばモータ等の駆動部１０１の回転軸１０２の反負荷側に固定される。反負荷側は、回転軸１０２のうち駆動部１０１の回転軸１０２によって駆動される回転対象物が接続される側とは反対側である。スケール１１が反負荷側に配置される場合、回転対象物がある負荷等などからの汚れ（例、油）がスケール１１まで飛散して付着することが抑制される。

【0014】

スケール１１は、例えば、円盤状の部材であり、＋Ｚ側の上面及び−Ｚ側の下面がＸＹ平面に平行な板状のものが用いられる。スケール１１は、回転軸１０２に固定され、回転軸１０２に対して垂直（ＸＹ平面に平行）またはほぼ垂直に配置される。また、スケール１１中心は、回転軸１０２の回転の中心軸ＡＸを通るように配置される。スケール１１の素材は任意であり、例えば、金属、樹脂等により形成される。

【0015】

スケール１１は、パターン１２を備えている。パターン１２は、スケール１１の上面に円環状（リング状）に設けられる。パターン１２の中心は、例えばスケール１１の中心にほぼ一致する。パターン１２は、同心円状に形成されるインクリメンタルパターン及びアブソリュートパターンの少なくとも一方を含む。パターン１２は、例えば光反射パターンであるが、これに限定するものではなく、光透過パターンであってもよい。

【0016】

検出部２０は、スケール１１のうちパターン１２が形成された面に対向して配置される。検出部２０は、パターン１２に対して光を照射する光照射部と、パターン１２に照射されて反射した光を検出する受光部と、を有している。光照射部は、例えば発光ダイオード（ＬＥＤ）等の固体光源を含む。光照射部は、発光ダイオード以外の固体光源（例、レーザダイオード）を含んでもよいし、ランプ光源を含んでもよい。受光部としては、例えば光電素子などが用いられる。受光部によって読み取られた光は、電気信号として有線または無線により例えば不図示の制御装置に送信される。

【0017】

ケース部３０は、回転部１０及び検出部２０を収容する。ケース部３０は、駆動部１０１のうち本体部１０３に取り付けられる。ケース部３０は、円筒部３１及び蓋部３２を有している。円筒部３１は、ボルト等の不図示の固定部材により、本体部１０３の＋Ｚ側の面に固定されている。円筒部３１は、回転部１０の周囲を囲んで配置される。円筒部３１は、中心軸が回転軸１０２の中心軸ＡＸと一致するように配置される。蓋部３２は、円筒部３１の＋Ｚ側の端面に配置される。蓋部３２は、例えば、不図示の固定部材により、円筒部３１に固定されるが、円筒部３１と一体に形成されたものでもよい。蓋部３２は、回転部１０のスケール１１と対向するように配置される。

【0018】

支持部４０は、基板４１及び接続部４２を有する。基板４１は、例えば矩形の板状であり、スケール１１に対して中心軸ＡＸの軸線方向に所定間隔を空けて配置される。基板４１は、スケール１１に平行またはほぼ平行に配置される。また、基板４１は、蓋部３２に対しても平行またはほぼ平行に配置される。

【0019】

基板４１の−Ｚ側の面には、検出部２０が取り付けられる。基板４１は、検出部２０に電気的に接続される回路を有してもよい。基板４１は、中心軸ＡＸの軸線方向に貫通された貫通部４１ａを有している。貫通部４１ａには、軸受４３を介して回転軸１０２が貫通される。基板４１は、軸受４３によって回転軸１０２の中心軸ＡＸの軸線周り方向に回転可能に支持されている。この軸受４３により、回転軸１０２が回転した場合でも基板４１が回転することなく回転軸１０２に基板が支持される。また、基板４１は、軸受４３で支持されることによりスケール１１との間隔を一定に維持する。これにより、検出部２０は、パターン１２に対する距離を一定に維持することができる。

【0020】

接続部４２は、基板側ハブ４４と、ケース側ハブ４５と、スライダ４６と、を有している。これら基板側ハブ４４、ケース側ハブ４５、及びスライダ４６は、オルダムカップリング４７を構成する。図１（Ｃ）は、接続部４２を−Ｘ方向に見たときの一例を示す図である。図１（Ａ）及び（Ｃ）に示すように、基板側ハブ４４は、基板４１の＋Ｚ側の上面に固定されている。基板側ハブ４４は、例えば、Ｙ方向に延びる凸部を備える。ケース側ハブ４５は、蓋部３２の−Ｚ側の面に固定されている。ケース側ハブ４５は、例えば、Ｘ方向に延びる凸部を備える。

【0021】

スライダ４６は、Ｚ方向において基板側ハブ４４とケース側ハブ４５との間に配置される。スライダ４６は、−Ｚ側の面に基板側凹部４６ａを有している。基板側凹部４６ａは、Ｙ方向に沿って溝状に形成されている。基板側凹部４６ａには、基板側ハブ４４の凸部が嵌め込まれる。スライダ４６は、基板側凹部４６ａに基板側ハブ４４の凸部が嵌め込まれた状態で、基板側ハブ４４に対してＹ方向に相対的に移動可能であり、また、基板側ハブ４４に対してＸ方向への相対的な移動が規制される。

【0022】

スライダ４６は、＋Ｚ側の面にケース側凹部４６ｂを有している。ケース側凹部４６ｂは、Ｘ方向に沿って溝状に形成されている。ケース側凹部４６ｂには、ケース側ハブ４５の凸部が嵌め込まれる。スライダ４６は、ケース側凹部４６ｂにケース側ハブ４５の凸部が嵌め込まれた状態で、ケース側ハブ４５に対してＸ方向に相対的に移動可能であり、また、ケース側ハブ４５に対してＹ方向への相対的な移動が規制される。

【0023】

このように、スライダ４６は、基板側ハブ４４とケース側ハブ４５とにそれぞれ連結されるため、基板４１は、Ｘ方向またはＹ方向に移動可能であるが、例えば、中心軸ＡＸを軸とする回転方向への移動は規制される。一方、基板４１は、軸受４３によって回転軸１０２に支持されているから、回転軸１０２が移動すると回転軸１０２の移動に伴って移動する。したがって、基板４１は、オルダムカップリング４７から一定の規制を受けつつ、回転軸１０２の移動に応じて移動することになる。基板４１に固定されている検出部２０も、基板４１と同様に、オルダムカップリング４７からの規制を受けつつ、回転軸１０２の移動に応じて移動する。

【0024】

回転軸１０２が偏心移動する場合、この回転軸１０２の移動に伴って基板４１がＸＹ面に沿って移動する。なお、回転軸１０２の偏心移動は、中心軸ＡＸと直交する平面に沿った方向に回転軸１０２が移動することをいう。例えば、基板４１が回転軸１０２とともにＸ方向に移動する場合、基板側ハブ４４及びスライダ４６がケース側ハブ４５に対してＸ方向に移動する。また、例えば、基板４１が回転軸１０２と一体でＹ方向に移動する場合、基板側ハブ４４がスライダ４６（及びケース側ハブ４５）に対してＹ方向に移動する。このように、接続部４２は、回転軸１０２が偏心移動する場合、検出部２０のＸ方向及びＹ方向への移動を許容し、検出部２０が中心軸ＡＸまわりに回転するのを規制するように、検出部２０を支持する。

【0025】

したがって、検出部２０は、回転軸１０２が偏心移動する場合、基板４１とともに回転軸１０２と一体なってＸ方向及びＹ方向に移動する。また、回転軸１０２が偏心移動する場合、回転部１０は回転軸１０２とともに回転軸１０２と同一方向に移動する。これにより、回転軸１０２が偏心移動する場合、検出部２０は、回転部１０に追従してＸ方向及びＹ方向に移動する。このように、支持部４０は、回転軸１０２の移動に追従して移動することにより、検出部２０と回転部１０のパターン１２とを位置合わせする。

【0026】

次に、本実施形態に係るエンコーダ装置１００において、回転軸１０２の偏心による検出誤差を低減する原理を説明する。図２は、偏心による検出誤差が生じる原理を説明する図である。まず、図２（Ａ）には、検出部２０が回転軸１０２の偏心移動に追従しない場合を示す。図２（Ａ）に示すように、例えば、回転軸１０２は、中心軸ＡＸがＸＹ座標平面の位置Ｊ１（ｒ，０）に配置され、回転時には、中心軸ＡＸが原点（０，０）を中心とした円を描くように偏心移動するものとする。この場合において、検出部２０は、例えばパターン１２のうちＸ軸に重なる位置Ｐ１に配置されたパターン１２ａからの反射光を検出するとする。

【0027】

この状態から、回転軸１０２が図中の反時計回りに角度θ回転する場合、中心軸ＡＸが位置Ｊ２（ｒcosθ，ｒsinθ）に偏心移動する。仮に、中心軸ＡＸがＪ１に位置したまま回転軸１０２が回転した場合には、位置Ｐ１に対して時計回りに角度θ離れた位置Ｑ１のパターン１２ｂが反時計回りに移動し、位置Ｐ１に配置される。この場合、検出部２０は、位置Ｐ１に配置される当該パターン１２ｂからの反射光を検出する。

【0028】

しかしながら、偏心によって回転軸１０２の中心軸ＡＸが位置Ｊ１から位置Ｊ２に移動する場合、パターン１２ｂがＸ軸から＋Ｙ側にずれた位置Ｑ２に配置される。このとき、検出部２０はＸ軸上に配置されたままであるため、パターン１２のうちＸ軸に重なる位置Ｑ３には、パターン１２ｃが配置される。したがって、検出部２０は、パターン１２ｃからの反射光を検出する。パターン１２ｂの位置Ｑ２に対して、パターン１２ｃの位置Ｑ３は、中心軸ＡＸを中心として時計回りに角度βずれた位置である。よって、検出部２０では、角度βに相当する検出誤差が生じる。

【0029】

ここで、位置Ｑ３の座標は、中心軸ＡＸからパターン１２ａまでの半径をＲとすると、
（ｒcosθ＋Ｒcos（−β），ｒsinθ＋Ｒsin（−β））
である。

【0030】

位置Ｑ３はＸ軸に重なる位置であるため、Ｙ座標が０である。よって、
ｒsinθ＋Ｒsin（−β）＝０ であり、これより角度βは、
β＝sin^−１（（ｒsinθ）／Ｒ） である。

【0031】

これに対して、第１実施形態に係るエンコーダ装置１００は、回転軸１０２が偏心移動する場合、検出部２０が回転部１０及び回転軸１０２とともにＸ方向及びＹ方向に移動する。このため、図２（Ｂ）に示すように、偏心によって回転軸１０２の中心軸ＡＸが位置Ｊ１から位置Ｊ２に移動した場合、検出部２０が中心軸ＡＸの移動方向と同一方向に追従して移動する。これにより、検出部２０とパターン１２との相対位置が変化することが抑制される。この場合、検出部２０は、Ｘ軸上から移動して、位置Ｑ２に配置されるパターン１２ｂからの反射光を検出する。

【0032】

以上のように、第１実施形態に係るエンコーダ装置１００は、回転軸１０２（回転部１０）の回転情報を精度よく取得可能である。エンコーダ装置１００は、検出部２０が回転軸１０２の中心軸ＡＸに交差する方向（Ｘ方向、Ｙ方向）に回転部１０及び回転軸１０２とともに移動可能である。このため、回転軸１０２が偏心移動する場合であっても、回転部１０のパターン１２と検出部２０との相対的な位置関係がずれることを抑制でき、回転軸１０２（回転部１０）の回転情報を誤差なく取得することができる。

【0033】

なお、本実施形態において、オルダムカップリング４７は上記した構成に限定されない。例えば、基板４１が中心軸ＡＸまわりに回転するのを規制しつつ、Ｘ方向及びＹ方向に移動可能とする任意の構成を適用することができる。また、オルダムカップリング４７において、スライダ４６が基板側ハブ４４及びケース側ハブ４５に対してＸ方向及びＹ方向にそれぞれ移動可能であることに限定されず、ＸＹ平面において直交する二方向に移動可能に設定されたものであれば適用可能である。また、基板４１は、矩形板状の部材が用いられることに限定されず、例えば円盤状のものが使用されてもよい。

【0034】

［第２実施形態］
図３は、第２実施形態に係るエンコーダ装置２００の一例を示す図である。図２（Ａ）はＸＺ平面に平行な平面による断面図、（Ｂ）は−Ｚ方向に見たときの平面図である。図２（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、エンコーダ装置２００は、回転部１０と、検出部２０と、ケース部３０と、支持部１４０とを備えている。第２実施形態では、支持部１４０の構成が第１実施形態とは異なり、他の構成については第１実施形態と同様である。以下の説明において、上記した実施形態と同一または同等の構成部分については同一符号を付けて説明を省略または簡略化する。

【0035】

支持部１４０は、基板４１及び接続部１４２を有している。基板４１の構成は第１実施形態と同様である。接続部１４２は、基板側平行ばね１４４と、ケース側平行ばね１４５と、ばね支持部１４６とを有している。基板側平行ばね１４４は、基板４１の＋Ｚ側の面に取り付けられている。基板側平行ばね１４４は、Ｙ方向に延びた状態で配置されている。基板側平行ばね１４４は、Ｙ方向の剛性が高く、Ｙ方向に弾性変形をしない、またはＹ方向にほとんど弾性変形しないものであり、Ｘ方向に弾性変形可能である。

【0036】

ケース側平行ばね１４５は、蓋部３２の−Ｚ側の面に取り付けられている。ケース側平行ばね１４５は、Ｘ方向に延びた状態で配置されている。ケース側平行ばね１４５は、Ｘ方向の剛性が高く、Ｘ方向に弾性変形をしない、またはＸ方向にほとんど弾性変形しないものであり、Ｙ方向に弾性変形可能である。ばね支持部１４６は、基板側平行ばね１４４とケース側平行ばね１４５との間に配置される。ばね支持部１４６は、基板側平行ばね１４４及びケース側平行ばね１４５の両方にそれぞれ固定される。

【0037】

上記のように構成されたエンコーダ装置２００は、回転軸１０２が偏心移動する場合、この回転軸１０２とともに基板４１が移動する点は第１実施形態と同様である。例えば、基板４１が回転軸１０２とともにＸ方向に移動する場合、基板側平行ばね１４４がＸ方向に弾性変形して基板４１の移動を許容する。また、例えば、基板４１が回転軸１０２とともにＹ方向に移動する場合、ケース側平行ばね１４５がＹ方向に弾性変形して基板４１の移動を許容する。

【0038】

また、基板側平行ばね１４４、ケース側平行ばね１４５及びばね支持部１４６により、基板４１及び検出部２０のＺ方向への移動が規制される。このように、接続部１４３は、回転軸１０２が偏心移動する場合、検出部２０のＸ方向及びＹ方向への移動を許容し、検出部２０のＺ方向への移動を規制するように、検出部２０を支持する。

【0039】

したがって、検出部２０は、回転軸１０２が偏心移動する場合、基板４１と共に回転軸１０２と一体でＸ方向及びＹ方向に移動する。また、回転軸１０２が偏心移動する場合、回転部１０は回転軸１０２と一体でＸ方向及びＹ方向に移動する。よって、回転軸１０２が偏心移動する場合、検出部２０は、回転部１０及びパターン１２に追従してＸ方向及びＹ方向に移動する。このように、支持部１４０は、回転軸１０２の移動に追従して移動することにより、検出部２０と回転部１０のパターン１２とを位置合わせする。

【0040】

以上のように、第２実施形態に係るエンコーダ装置２００は、回転軸１０２の回転情報を精度よく取得可能である。エンコーダ装置２００は、検出部２０が回転軸１０２の中心軸ＡＸに交差する方向（Ｘ方向、Ｙ方向）に回転部１０及び回転軸１０２とともに移動し、回転軸１０２が偏心移動する場合であっても、回転部１０のパターン１２と検出部２０との相対的な位置関係がずれることを抑制でき、回転軸１０２（回転部１０）の回転情報を誤差なく取得することができる。

【0041】

また、接続部１４２は、基板側平行ばね１４４及びケース側平行ばね１４５を用いるため、基板４１が移動した場合は、基板側平行ばね１４４及びケース側平行ばね１４５の一方または双方が弾性変形している。従って、基板４１が元の位置に戻った場合（すなわち回転軸１０２が元の位置に戻った場合）、基板４１は、基板側平行ばね１４４及びケース側平行ばね１４５の一方または双方の弾性力により元の位置に復帰する。このように基板側平行ばね１４４及びケース側平行ばね１４５の弾性力を利用することにより、検出部２０を容易に回転軸１０２の移動に追従させることができる。

【0042】

［第３実施形態］
図４は、第３実施形態に係るエンコーダ装置３００の一例を示す図である。図４（Ａ）はＸＺ平面に平行な平面による断面図、（Ｂ）は−Ｚ方向に見たときの平面図である。図４（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、エンコーダ装置３００は、回転部１０と、検出部２０と、ケース部３０と、支持部４０と、シール部５０と、を備えている。第３実施形態では、シール部５０が設けられている点で第１実施形態と異なり、他の構成については第１実施形態と同様である。以下の説明において、上記した実施形態と同一または同等の構成部分については同一符号を付けて説明を省略または簡略化する。

【0043】

シール部５０は、基板４１と円筒部３１との間に配置されている。シール部５０は、ゴムまたは樹脂等の弾性変形が可能な材料を用いて形成される。シール部５０は、基板４１のＸ方向及びＹ方向への移動に対して弾性変形可能である。シール部５０は、基板４１の外周及び円筒部３１の内周に隙間なく設けられる。シール部５０は、ケース部３０に囲まれる空間のうち、基板４１の−Ｚ側の空間を基板４１の＋Ｚ側の空間に対して封止する。シール部５０は、弾性変形が可能であるため、基板４１がＸ方向及びＹ方向に移動した場合でも伸縮することにより上記した封止を維持することができる。

【0044】

このように、第３実施形態に係るエンコーダ装置３００は、第１実施形態と同様に回転軸１０２の回転情報を精度よく取得可能であることに加えて、シール部５０が設けられるため、オルダムカップリング４７等から異物が発生した場合に、この異物が検出部２０あるいはパターン１２などに付着することを抑制できる。これにより、エンコーダ装置３００は、高精度な回転情報の取得を長時間にわたって維持することができる。

【0045】

［第４実施形態］
図５は、第４実施形態に係るエンコーダ装置４００の一例を示す図である。図５（Ａ）はＸＺ平面に平行な平面による断面図、（Ｂ）は−Ｚ方向に見たときの平面図である。図５（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、エンコーダ装置４００は、回転部１０と、検出部２０と、ケース部３０と、支持部３４０と、を備えている。第３実施形態では、支持部３４０の構成が第１実施形態とは異なり、他の構成については第１実施形態と同様である。以下の説明において、上記した実施形態と同一または同等の構成部分については同一符号を付けて説明を省略または簡略化する。

【0046】

支持部３４０は、基板３４１と、接続部４２と、ガイド部３４３とを有している。基板３４１は、例えばスケール１１とほぼ同一寸法及び同一形状の円盤状に形成される。基板３４１は、回転軸１０２の＋Ｚ側に離間して、中心位置が中心軸ＡＸに一致またはほぼ一致するように配置される。基板３４１は、スケール１１に対してＺ方向に所定間隔をあけて配置される。基板３４１は、スケール１１と平行またはほぼ平行に配置される。基板３４１の−Ｚ側の面には、検出部２０が取り付けられる。基板３４１は、検出部２０に電気的に接続される回路を有してもよい。接続部４２は、基板側ハブ４４が基板３４１の＋Ｚ側の面に固定されている。接続部４２の他の構成については、第１実施形態と同様の構成であるため、説明を省略する。

【0047】

ガイド部３４３は、円筒状に形成される。ガイド部３４３は、スケール１１の外縁に固定されており、スケール１１と一体に回転する。また、ガイド部３４３の内周面は、基板３４１の外縁に当接している。基板３４１は、ガイド部３４３（スケール１１）が回転する場合でも接続部４２に保持されており回転しない。なお、ガイド部３４３と基板３４１との間に摩擦が生じるので、ガイド部３４３の内周面のうち基板３４１との当接部分は、摩擦を軽減するための構成や処理等が施されていてもよい。ガイド部３４３は、基板３４１をＺ方向に支持する支持部３４３ａを有している。この支持部３４３ａにより、基板３４１とスケール１１との間隔が維持される。なお、ガイド部３４３と駆動部１０１との間にも摩擦を軽減するための構成や処理等が施されていてもよい。この場合、例えば、すべり摩擦を転がり摩擦にするためにガイド部３４３と駆動部１０１との間に玉軸受のようにボールを入れてもよい。

【0048】

上記のように構成されたエンコーダ装置４００は、回転軸１０２が偏心移動する場合、回転軸１０２と一体で回転部１０及びガイド部３４３が移動する。このガイド部３４３の移動により、基板３４１が回転部１０及びガイド部３４３とともにＸ方向及びＹ方向に移動する。このため、回転軸１０２が偏心移動する場合でも、この移動に追従して検出部２０が同一方向に移動する。これにより、検出部２０は、回転軸１０２が偏心移動した場合に、スケール１１のパターン１２に対して位置合わせされた状態が維持される。すなわち、検出部２０とパターン１２との位置ずれが生じるのを抑制される。

【0049】

以上のように、第４実施形態に係るエンコーダ装置４００は、第１実施形態と同様に回転軸１０２の回転情報を精度よく取得可能である。エンコーダ装置４００は、検出部２０が回転軸１０２の中心軸ＡＸに交差する方向（Ｘ方向、Ｙ方向）に回転部１０及び回転軸１０２とともに移動可能である。このため、回転軸１０２が偏心移動する場合であっても、回転部１０のパターン１２と検出部２０との相対的な位置関係がずれることを抑制でき、回転軸１０２（回転部１０）の回転情報を誤差なく取得することができる。

【0050】

なお、本実施形態では、ガイド部３４３と基板３４１とを摺動するようにしているがこれに限定されない。例えば、ガイド部３４３と基板３４１との間にローラまたはフリーボール等を配置して両者間の摩擦を低減してもよい。

【0051】

［第５実施形態］
図６は、第５実施形態に係るエンコーダ装置５００の一例を示す図である。図６（Ａ）はＸＺ平面に平行な平面による断面図、（Ｂ）は−Ｚ方向に見たときの平面図である。図６（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、エンコーダ装置５００は、回転部１０と、検出部２０と、ケース部３０と、支持部４４０と、を備えている。第５実施形態では、支持部４４０の基板４４１構成が第４実施形態とは異なり、他の構成については第４実施形態と同様である。以下の説明において、上記した実施形態と同一または同等の構成部分については同一符号を付けて説明を省略または簡略化する。

【0052】

支持部４４０は、基板４４１と、接続部４２と、ガイド部３４３と、を有している。基板４４１は、円板状であり、外径がスケール１１よりも小径に形成される。基板４４１の−Ｚ側の面には、検出部２０が取り付けられる。基板４４１は、検出部２０に電気的に接続される回路を有してもよい。基板４４１は、スケール１１に対してＺ方向に所定間隔をあけて配置される。基板４４１は、スケール１１と平行に配置される。

【0053】

基板４４１の外周部には、径方向の外側に突出してガイド部３４３の内周面に当接する複数の突出部４４１ａが設けられている。突出部４４１ａは、中心軸ＡＸの軸線周り方向に所定の間隔で複数設けられている。本実施形態では、突出部４４１ａが中心軸ＡＸの軸線周りの方向に等間隔で３つ設けられた構成を例に挙げているが、これに限定するものではなく、２つまたは４つ以上設けられてもよく、また、中心軸ＡＸまわりに不等間隔に設けられてもよい。

【0054】

接続部４２は、基板側ハブ４４が基板４４１の＋Ｚ側の面に固定されている。接続部４２の他の構成については、上記各実施形態と同様の構成であり、ガイド部３４３は第４実施形態と同様の構成であるため、説明を省略する。

【0055】

上記のように構成されたエンコーダ装置５００は、回転軸１０２が偏心移動する場合、回転軸１０２と一体で回転部１０及びガイド部３４３が移動する。このガイド部３４３の移動により、基板４４１が回転部１０及びガイド部３４３とともにＸ方向及びＹ方向に移動する。このため、回転軸１０２が偏心移動する場合でも、この移動に追従して検出部２０が同一方向に移動する。これにより、検出部２０は、回転軸１０２が偏心移動した場合に、スケール１１のパターン１２に対して位置合わせされた状態が維持される。すなわち、検出部２０とパターン１２との位置ずれが生じるのを抑制される。

【0056】

以上のように、第５実施形態に係るエンコーダ装置５００は、第４実施形態と同様に、回転軸１０２の回転情報を精度よく取得可能である。また、エンコーダ装置５００は、基板４４１とガイド部３４３との間が突出部４４１ａによって部分的に当接されている。このため、基板の外縁全体がガイド部３４３に当接する場合に比べて、基板４４１とガイド部３４３との間の摩擦が低減される。

【0057】

なお、本実施形態では、突出部４４１ａとガイド部３４３とが摺動しているが、これに限定されない。例えば、突出部４４１ａの先端部分にローラまたはフリーボール等を配置して両者間の摩擦を低減してもよい。また、突出部４４１ａは、Ｚ方向から見たときに円弧状に形成されるがこれに限定されない。例えば、突出部４４１ａは、Ｚ方向から見て三角形状に形成されてもよい。

【0058】

［第６実施形態］
図７は、第６実施形態に係るエンコーダ装置６００の一例を示す図であり、ＸＺ平面に平行な平面による断面図である。図７に示すように、エンコーダ装置６００は、回転部１０と、検出部２０と、ケース部３０と、支持部５４０とを備えている。第６実施形態では、支持部５４０の構成が第１実施形態とは異なり、他の構成については第１実施形態と同様である。以下の説明において、上記した実施形態と同一または同等の構成部分については同一符号を付けて説明を省略または簡略化する。

【0059】

支持部５４０は、基板５４１と、接続部４２と、調心軸受５４３と、弾性部材５５１と、支持板５５２と、ギャップ用軸受５５３と、吸収部５５４と、を有している。基板５４１は、円盤状に形成されている。基板５４１の−Ｚ側の面には、検出部２０が取り付けられる。基板５４１は、検出部２０に電気的に接続される回路を有してもよい。基板５４１は、後述するギャップ用軸受５５３により、スケール１１に対してＺ方向に所定間隔をあけて、スケール１１と平行に配置される。

【0060】

基板５４１は、中心が中心軸ＡＸにほぼ一致するように配置され、中央部が開口されている。基板５４１の開口部分には、円筒状の軸受支持部５４１ａを備えている。接続部４２は、基板側ハブ４４が基板５４１の＋Ｚ側の面に固定されている。また、接続部４２は、ケース側ハブ４６が吸収部５５４を介してケース部３０の蓋部に固定されている。接続部４２の他の構成については、上記各実施形態と同様の構成であるため、説明を省略する。

【0061】

調心軸受５４３は、内輪が回転軸１０２に取り付けられ、かつ、外輪が軸受支持部５４１ａに固定されている。したがって、基板５４１は、調心軸受５４３を介して回転軸１０２に保持され、かつ、回転軸１０２が回転した場合でも回転しない。また、調心軸受５４３により、基板５４１は、中心軸ＡＸと直交する平面に対して傾斜する方向に移動可能である。

【0062】

弾性部材５５１は、例えばコイルスプリング等が用いられ、基板５４１と支持板５５２との間に配置される。支持板５５２は、例えば円板状に形成され、例えばケース部３０の円筒部３１に固定される。支持板５５２の中央部には、開口部５５２ａが形成されている。開口部５５２ａは、少なくとも回転軸１０２の径よりも大きい径である。開口部５５２ａは、図７に示すように、例えば軸受支持部５４１ａの外径よりも大きい径であってもよい。例えば弾性部材５５１は、基板５４１に対して−Ｚ方向に弾性力を作用させることで、当該弾性力により基板５４１を回転部１０側に押し付ける。なお、弾性部材５５１の個数または配置は任意である。

【0063】

ギャップ用軸受５５３は、基板５４１とスケール１１との間に配置される。ギャップ用軸受５５３は、基板５４１とスケール１１とのＺ方向の間隔を保持する。ギャップ用軸受５５３は、基板５４１に対してスケール１１を回転可能に支持する。ギャップ用軸受５５３は、例えば、中心軸ＡＸまわりの３カ所に配置されるが、基板５４１とスケール１１との間隔を保持することができれば個数または配置は任意である。

【0064】

吸収部５５４は、例えばゴム等の弾性変形可能な材料を用いて形成される。吸収部５５４は、オルダムカップリング４７のＺ方向への移動または傾きを吸収するものとして用いられる。ただし、吸収部５５４を配置するか否かは任意であり、吸収部５５４はなくてもよい。なお、吸収部５５４を配置しない場合、オルダムカップリング４７のＺ方向への移動または傾きは、オルダムカップリング４７内で吸収させてもよい。

【0065】

図８（Ａ）は、エンコーダ装置６００の回転軸１０２が傾斜する状態を示す図である。図８（Ａ）では、一部の構成を省略して表している。図８（Ａ）に示すように、エンコーダ装置６００は、回転軸１０２が傾斜する場合、当該回転軸１０２と一体でスケール１１が傾斜する。このとき、基板５４１は、弾性部材５５１の弾性力によりスケール１１側に押し付けられ、かつ、ギャップ用軸受５５３によってスケール１１と同様に傾斜する。

【0066】

基板５４１が傾くことより、オルダムカップリング４７も傾くが、この傾きを吸収部５５４が変形することにより吸収する。なお、基板５４１は、ギャップ用軸受５５３によりスケール１１との間隔が保持される。この場合、弾性部材５５１の弾性力により基板５４１がスケール１１側に押し付けられるため、基板５４１がギャップ用軸受５５３に対して＋Ｚ側に離れることを抑制できる。このように、スケール１１と検出部２０との間の相対的な位置関係が保持される。したがって、回転軸１０２がＺ方向から傾いた状態でも検出部２０が正確にパターン１２を読み取るので、検出誤差を抑制することができる。

【0067】

図８（Ｂ）は、エンコーダ装置６００の回転軸１０２が中心軸ＡＸの軸線方向に移動する状態を示す図である。図８（Ｂ）では、図８（Ａ）と同様に、一部の構成を省略している。図８（Ｂ）に示すように、エンコーダ装置６００は、回転軸１０２が中心軸ＡＸの軸線方向に移動した場合、弾性部材５５１及びギャップ用軸受５５３によって回転部１０のＺ方向の移動に追従して基板５４１もＺ方向に移動する。このとき、オルダムカップリング４７もＺ方向に移動するが、この移動を吸収部５５４が変形することにより吸収する。このように、スケール１１と検出部２０との間の相対的な位置関係が保持される。したがって、回転軸１０２がＺ方向に移動した状態でも検出部２０が正確にパターン１２を読み取るので、検出誤差を抑制することができる。

【0068】

また、図示しないが、回転軸１０２が傾斜せずに、基板５４１が中心軸ＡＸと直交する平面（ＸＹ平面）に対して傾く場合がある。基板５４１は、調心軸受５４３で支持されているので回転軸１０２に対してＺ方向に揺動可能である。したがって、基板５４１が回転軸１０２に対して傾いた場合であっても、上記した図８（Ａ）と同様に、弾性部材５５１及びギャップ用軸受５５３によって回転部１０の傾きに追従して基板５４１も傾いた状態となる。これにより、スケール１１と検出部２０との間の相対的な位置関係が保持され、回転部１０が傾いた状態でも検出部２０が正確にパターン１２を読み取るので、検出誤差を抑制することができる。

【0069】

以上のように、第６実施形態に係るエンコーダ装置６００は、第１実施形態と同様に、回転軸１０２の回転情報を精度よく取得可能である。エンコーダ装置６００は、回転軸１０２がＺ方向に対して傾斜する場合、または回転軸１０２がＺ方向に移動する場合、回転部１０が回転軸１０２に対して傾く場合であっても、検出部２０が回転部１０に追従して移動するため、回転部１０のパターン１２と検出部２０との相対的な位置関係がずれることを抑制し、回転軸１０２（回転部１０）の回転情報を誤差なく取得することができる。なお、第６実施形態では、調心軸受５４３を用いているがこれに限定されず、他の形態の軸受を用いてもよい。

【0070】

［第７実施形態］
図９は、第７実施形態に係るエンコーダ装置７００の一例を示す図である。図９（Ａ）はＸＺ平面に平行な平面による断面図、（Ｂ）は−Ｚ方向に見たときの平面図である。図６（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、エンコーダ装置７００は、回転部１０と、検出部２０と、ケース部３０と、支持部６４０と、を備えている。第７実施形態では、支持部６４０の構成が第１実施形態とは異なり、他の構成については第１実施形態と同様である。以下の説明において、上記した実施形態と同一または同等の構成部分については同一符号を付けて説明を省略または簡略化する。

【0071】

支持部６４０は、複数の駆動素子６４１と、素子支持部６４２と、を有している。駆動素子６４１は、それぞれ検出部２０に取り付けられる。駆動素子６４１としては、例えば圧電素子等が用いられる。複数の駆動素子６４１は、検出部２０をＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向、Ｘ方向を軸とする回転方向、Ｙ方向を軸とする回転方向、及びＺ方向を軸とする回転方向に移動させることができるように配置される。駆動素子６４１のそれぞれは、例えば制御部６５０によって駆動量または駆動タイミング等が制御される。駆動素子６４１は、素子支持部６４２を介してケース部３０の円筒部３１や蓋部３２に支持される。

【0072】

なお、図９（Ａ）に示すように、エンコーダ装置７００は、回転軸１０２の偏心移動、傾斜、Ｚ方向への移動を検出して検出結果を制御部６５０に出力するセンサ６５１を備えてもよい。センサ６５１は、回転軸１０２に代えて回転部１０の一部を検出することにより回転軸１０２の偏心移動等を検出してもよい。

【0073】

制御部６５０は、センサ６５１の検出結果に基づいて駆動素子６４１を駆動し、検出部２０を移動させて回転部１０のパターン１２と検出部２０との相対位置が変動しないように制御する。なお、センサ６５１を配置するか否かは任意である。センサ６５１がない場合、制御部６５０は、不図示の記憶部に記憶された制御内容に基づいて各駆動素子６４１を駆動してもよい。また、制御部６５０は、例えば、検出部２０における検出結果に基づいて、パターン１２のうちインクリメンタルパターンとアブソリュートパターンとの位相差から回転軸１０２の偏心移動等を算出し、この算出結果を用いて各駆動素子６４１を駆動してもよい。

【0074】

以上のように、第７実施形態に係るエンコーダ装置７００は、回転情報を精度よく取得可能である。エンコーダ装置７００は、駆動素子６４１及び制御部６５０により、検出部２０を回転軸１０２（回転部１０）の移動に追従させることができる。このため、回転部１０のパターン１２と検出部２０との相対的な位置関係がずれることを抑制し、回転軸１０２（回転部１０）の回転情報を誤差なく取得することができる。

【0075】

［駆動装置］
次に、駆動装置について説明する。図１０は、駆動装置ＭＴＲの一例を示す図である。以下の説明において、上記した実施形態と同一または同等の構成部分については同一符号を付けて説明を省略または簡略化する。この駆動装置ＭＴＲは、電動モータを含むモータ装置である。駆動装置ＭＴＲは、回転軸１０２と、回転軸１０２を回転駆動する本体部（駆動部）ＢＤと、回転軸１０２の回転情報を検出するエンコーダ装置ＥＣと、本体部ＢＤを制御する制御部ＭＣと、を備える。

【0076】

回転軸１０２は、負荷側端部ＳＦａと、反負荷側端部ＳＦｂとを有する。負荷側端部ＳＦａは、減速機など他の動力伝達機構に接続される。反負荷側端部ＳＦｂには、スケール（図示せず）が固定される。エンコーダ装置ＥＣは、上述した実施形態で説明したエンコーダ装置である。

【0077】

この駆動装置ＭＴＲは、エンコーダ装置ＥＣの検出結果を使って、制御部ＭＣが本体部ＢＤを制御する。駆動装置ＭＴＲは、誤差が抑制された回転情報を用いて本体部ＢＤを制御するので、回転軸１０２の回転位置を精度よく制御することができる。駆動装置ＭＴＲは、モータ装置に限定されず、油圧や空圧を利用して回転する軸部を有する他の駆動装置であってもよい。

【0078】

［ステージ装置］
次に、ステージ装置について説明する。図１１は、ステージ装置ＳＴＧを示す図である。このステージ装置ＳＴＧは、図１０に示した駆動装置ＭＴＲの回転軸１０２のうち負荷側端部ＳＦａに、回転テーブル（移動物体）ＴＢを取り付けた構成である。以下の説明において、上記した実施形態と同一または同等の構成部分については同一符号を付けて説明を省略または簡略化する。

【0079】

ステージ装置ＳＴＧは、駆動装置ＭＴＲを駆動して回転軸１０２を回転させると、この回転が回転テーブルＴＢに伝達される。その際、エンコーダ装置ＥＣは、回転軸１０２の回転情報（例、回転位置）等を検出する。従って、エンコーダ装置ＥＣからの出力を用いることにより、回転テーブルＴＢの角度位置を検出することができる。なお、駆動装置ＭＴＲの負荷側端部ＳＦａと回転テーブルＴＢとの間に減速機等が配置されてもよい。

【0080】

このようにステージ装置ＳＴＧは、エンコーダ装置ＥＣが出力する回転情報において誤差が抑制されるので、回転テーブルＴＢの位置を精度よく制御することができる。なお、ステージ装置ＳＴＧは、例えば、マシニングセンタ等の工作機械に備える回転テーブル等に適用できる。

【0081】

［ロボット装置］
次に、ロボット装置について説明する。図１２は、ロボット装置ＲＢＴを示す斜視図である。なお、図１２には、ロボット装置ＲＢＴの一部（関節部分）を模式的に示した。以下の説明において、上記した実施形態と同一または同等の構成部分については同一符号を付けて説明を省略または簡略化する。このロボット装置ＲＢＴは、第１アームＡＲ１と、第２アームＡＲ２と、関節部ＪＴとを有している。第１アームＡＲ１は、関節部ＪＴを介して、第２アームＡＲ２と接続されている。

【0082】

第１アームＡＲ１は、腕部１０４、軸受１０４ａ、及び軸受１０４ｂを備えている。第２アームＡＲ２は、腕部１０５および接続部１０５ａを有する。接続部１０５ａは、関節部ＪＴにおいて、軸受１０４ａと軸受１０４ｂの間に配置されている。接続部１０５ａは、回転軸ＳＦ２と一体的に設けられている。回転軸ＳＦ２は、関節部ＪＴにおいて、軸受１０４ａと軸受１０４ｂの両方に挿入されている。回転軸ＳＦ２のうち軸受１０４ｂに挿入される側の端部は、軸受１０４ｂを貫通して減速機ＲＧに接続されている。

【0083】

減速機ＲＧは、駆動装置ＭＴＲに接続されており、駆動装置ＭＴＲの回転を例えば１００分の１等に減速して回転軸ＳＦ２に伝達する。図１２に図示しないが、駆動装置ＭＴＲの回転軸１０２のうち負荷側端部は、減速機ＲＧに接続されている。また、駆動装置ＭＴＲの回転軸１０２のうち反負荷側端部には、エンコーダ装置ＥＣのスケール（図示せず）が取り付けられている。

【0084】

ロボット装置ＲＢＴは、駆動装置ＭＴＲを駆動して回転軸１０２を回転させると、この回転が減速機ＲＧを介して回転軸ＳＦ２に伝達される。回転軸ＳＦ２の回転により接続部１０５ａが一体的に回転し、これにより第２アームＡＲ２が、第１アームＡＲ１に対して回転する。その際、エンコーダ装置ＥＣは、回転軸１０２の回転情報（例、回転位置等）を検出する。従って、エンコーダ装置ＥＣからの出力を用いることにより、第２アームＡＲ２の角度位置を検出することができる。

【0085】

このようにロボット装置ＲＢＴは、エンコーダ装置ＥＣが誤差を抑制した回転情報を出力するので、第１アームＡＲ１と第２アームＡＲ２との相対位置を精度よく制御することができる。なお、ロボット装置ＲＢＴは、上記の構成に限定されず、駆動装置ＭＴＲは、関節を備える各種ロボット装置に適用できる。

【0086】

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明の技術範囲は、上述の実施形態などで説明した態様に限定されるものではない。上述の実施形態などで説明した要件の１つ以上は、省略されることがある。また、上述の実施形態などで説明した要件は、適宜組み合わせることができる。

【0087】

また、上記した実施形態は、検出部２０が１つであるがこれに限定されない。例えば、２つ以上の検出部２０が配置されてもよい。この場合、各検出部２０は同じ支持部４０（基板４１）等に支持されてもよく、また、別に形成された支持部（基板）に支持されてもよい。

【0088】

また、上記した実施形態は、回転軸１０２に取り付けられた回転部１０（スケール１１）のパターン１２を、ケース部３０に保持された検出部２０により検出する構成を示しているが、これに限定されない。例えば、検出部２０が回転部１０に固定され、パターン１２が支持部４０の基板４１等に形成されたものでもよい。この場合であっても、回転軸１０２が移動するとパターン１２も移動し、検出部２０がパターン１２の移動に追従することとなる。したがって、検出部２０とパターン１２との相対的な位置が変動しないので、回転軸１０２（回転部１０）の回転情報を誤差なく取得することができる。

【符号の説明】

【0089】

ＡＸ・・・中心軸、ＭＴＲ・・・駆動装置、ＢＤ・・・本体部、ＥＣ、１００、２００、３００、４００、５００、６００、７００・・・エンコーダ装置、ＳＴＧ・・・ステージ装置、ＲＢＴ・・・ロボット装置、１０・・・回転部、１１・・・スケール、１２・・・パターン、２０・・・検出部、３０・・・ケース部、４０、３４０、４４０、５４０、６４０・・・支持部、４１、３４１、４４１、５４１・・・基板、４２・・・接続部、４３・・・軸受、４７・・・オルダムカップリング、５０・・・シール部、５４３・・・調心軸受、５５１・・・弾性部材、５５３・・・ギャップ用軸受、５５４・・・吸収部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】