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特許第6795919号(P6795919)
IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版
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6795919
ランタン化合物及びその製造方法、ランタン前駆体組成物、並びにそれを利用した薄膜形成方法、及び集積回路素子の製造方法
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