特許 6796741 レチクルを保持及び輸送するための、透明窓アセンブリを有する容器

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6796741

(24)【登録日】2020年11月18日

(45)【発行日】2020年12月9日

(54)【発明の名称】レチクルを保持及び輸送するための、透明窓アセンブリを有する容器

(51)【国際特許分類】

   G03F 1/66 20120101AFI20201130BHJP

   H01L 21/673 20060101ALI20201130BHJP

   B65D 85/30 20060101ALI20201130BHJP

【ＦＩ】

   G03F1/66

   H01L21/68 T

   B65D85/30

【請求項の数】9

【全頁数】11

(21)【出願番号】特願2020-502632(P2020-502632)

(86)(22)【出願日】2018年7月16日

(65)【公表番号】特表2020-528160(P2020-528160A)

(43)【公表日】2020年9月17日

(86)【国際出願番号】US2018042275

(87)【国際公開番号】WO2019018281

(87)【国際公開日】20190124

【審査請求日】2020年1月28日

(31)【優先権主張番号】62/535,660

(32)【優先日】2017年7月21日

(33)【優先権主張国】US

(73)【特許権者】

【識別番号】505307471

【氏名又は名称】インテグリス・インコーポレーテッド

(74)【代理人】

【識別番号】100105957

【弁理士】

【氏名又は名称】恩田 誠

(74)【代理人】

【識別番号】100068755

【弁理士】

【氏名又は名称】恩田 博宣

(74)【代理人】

【識別番号】100142907

【弁理士】

【氏名又は名称】本田 淳

(72)【発明者】

【氏名】エッグム、ショーン ディ．

(72)【発明者】

【氏名】ラシュケ、ラス

【審査官】 右▲高▼ 孝幸

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００５−０８６０９２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−１５３８９９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２００９／００９２３８５（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 米国特許出願公開第２０１３／００５１７８５（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 特開２０１４−１９１３５１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０００−３４０６４２（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０３Ｆ １／６６

Ｂ６５Ｄ ８５／３０

Ｈ０１Ｌ ２１／６７３

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

レチクルを輸送するためのポッドであって、
カバーと、
レチクルを取り付けるための空間を確立するように前記カバーと協働するように構成された内側ベース板とを含み、前記内側ベース板は、
境界面を有する穴、
前記境界面から内方に延び、取り付け面を有する第１のフランジ、
前記境界面から内方に延びる第２のフランジ、及び
前記穴内に取り付けられるように構成された窓アセンブリを含み、前記窓アセンブリは、
内側平坦面、外側平坦面及び側面平坦面を有する透明板であって、前記内側平坦面が前記取り付け面に接触するように構成された、透明板と、
前記透明板の外側平坦面又は側面平坦面に接触するシールであって、前記穴の境界面に接触し、前記窓アセンブリと前記穴との間の界面を密閉するように構成されたシールと、
前記第２のフランジに接触し、前記シール及び透明板を前記穴内に保持するように構成された保持器と、を有する、ポッド。

【請求項2】

前記保持器はポリマーで作られる、請求項１に記載のポッド。

【請求項3】

前記保持器は止め輪である、請求項１に記載のポッド。

【請求項4】

前記窓アセンブリはワッシャを有する、請求項３に記載のポッド。

【請求項5】

前記止め輪はステンレス鋼で作られ、前記ワッシャはステンレス鋼で作られる、請求項４に記載のポッド。

【請求項6】

前記透明板は角丸矩形であるか、又は円形である、請求項１に記載のポッド。

【請求項7】

前記保持器は、前記第２のフランジに接触するように、且つ前記シール及び透明板を前記穴内に着脱可能に保持するように構成される、請求項１に記載のポッド。

【請求項8】

前記内側ベース板には、ツールによる前記窓アセンブリの除去を容易にするための切欠き凹部と、前記保持器を収容するための前記境界面におけるアンダーカット領域とが形成される、請求項１に記載のポッド。

【請求項9】

前記透明板はポッドの外側から前記内側ベース板に支持されるレチクルの視認を容易にするように構成される、請求項１に記載のポッド。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は一般的には、フォトマスク、レチクル、半導体基板及びウェハなど脆弱な装置を格納、輸送、出荷及び処理する当該技術分野に関する。

【背景技術】

【0002】

極紫外線（ＥＵＶ：ｅｘｔｒｅｍｅ ｕｌｔｒａｖｉｏｌｅｔ）リソグラフィは集積回路及び他の半導体装置を製作するために採用される現像技術である。レチクルとも呼ばれる反射性フォトマスクが、ウェハとも呼ばれる膨大な数の基板上に複写される所望パターンにより形成される。レチクルは平らなガラス板であり、各ウェハは好適には１枚の薄い半導体材料である。一般的に、リソグラフィはウェハを放射線（この場合は極紫外線放射）源に晒すことに関わる。放射線は、パターンをレチクルからウェハへ転写するためにレチクルからウェハ上へ反射される。

【0003】

極紫外線（ＥＵＶ）リソグラフィにより、このレチクルは従来のフォトリトグラフィにおいて使用されるレチクルと比較すると特に汚染及び損傷に敏感である。この感度の差は部分的には、放射線がレチクルを透過されるものとは対照的にレチクルから反射されるという理由で引き起こされる。放射線は、レチクルに使用され得る極紫外線（ＥＵＶ）放射に対して透明な材料が現在存在しないのでレチクルから反射される。

【0004】

レチクルの汚染のリスクは通常、容器内のレチクルを輸送する間に発生する。容器は通常、汚染物質が容器に入るのを防止するために密閉される。しかし、輸送中のレチクルと容器との相対運動が粒子を形成させレチクルを損傷させ得る。別の問題は、レチクルが容器に対し初期位置から移動し得、したがって適切な配列（ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）状態にないということである。レチクルが容器から除去され処理装置内に置かれる場合、自動装置が通常は使用される。したがって、輸送中に引き起こされるなんらかの位置ずれ（ｍｉｓａｌｉｇｎｍｅｎｔ）が処理中にも存在し、ウェハ上に形成されるパターンを欠陥のあるものにし得る。

【0005】

上記論述からわかるように、レチクルを保持するための容器アセンブリであって、レチクルが容器アセンブリとの適切な配列状態にあるということを感知装置が確認するのを容易にするための窓を含む容器アセンブリの必要性が当該技術分野において存在する。好適には、この窓は、容器アセンブリ内への汚染物質の進入を防止するように、そして窓の設置中に汚染の発生を最小化するように設計される。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

本発明は上記した懸案を鑑みてなされたものである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本開示は一般的には、レチクルを輸送するためのポッドに関する。ポッドは、内側カバー、カバー内に取り付けられる内側ベース板、及びベースを含む。内側ベース板は、レチクルを取り付けるための空間を確立するようにカバーと協働するように構成される。内側ベース板は、境界面を有する穴、境界面から内方に延び取り付け面を有する第１のフランジ、及び境界面から内方に延びる第２のフランジを含む。窓アセンブリは穴内に取り付けられるように構成される。窓アセンブリは、内側平坦面、外側平坦面、及び側面平坦面を有する透明板を有し、内側平坦面は取り付け面に接触するように構成される。窓アセンブリはまた、透明板の外側平坦面又は側面平坦面に接触するシールであって、穴の境界面に接触し窓アセンブリと穴との間の界面を密閉するように構成されたシールを有する。保持器は、第２のフランジに接触するように、そしてシール及び透明板を穴内に保持するように構成される。透明板は、ポッドの外側から内側ベース板に支持されるレチクルの視認を容易にするように構成される。いくつかの実施形態では、保持器はシール及び透明板を穴内に着脱可能に保持するように構成される。

【0008】

一例示的実施形態では、保持器はポリマーで作られる。別の例示的実施形態では、保持器は止め輪（ｓｎａｐ ｒｉｎｇ）であり、窓アセンブリはワッシャを有する。場合によっては、止め輪はステンレス鋼で作られ、ワッシャはステンレス鋼で作られる。

【0009】

いくつかの実施形態では、透明板は丸角を有する矩形（本明細書では角丸矩形とも呼ぶ）である。他の実施形態では、透明板は円形である。
いくつかの実施形態では、内側ベース板には、ツール（ｔｏｏｌ）による窓アセンブリの除去を容易にするために切欠き凹部が形成される。内側ベース板はまた、保持器を収容するために境界面にアンダーカット領域を含む。

【0010】

先の概要は、本開示に特有な革新的特徴のいくつかの理解を容易にするために提供されるが、完全な説明であるようには意図されていない。本開示の完全な認識は、明細書全体、特許請求の範囲、図面及び要約書を全体として採用することにより得ることができる。

【0011】

本開示は、以下の添付図面に関する様々な例示的実施形態の説明を考慮するとより完全に理解され得る。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】本開示の実施形態による極紫外線（ＥＵＶ）レチクルポッドの断面を示す。

【図2】図１に示すポッドの内側ベース板の斜視図を示す。

【図3A】ベース板内に取り付けられ別個の矩形シール及び窓保持器により適所に保持された窓を有する線３−３に沿った図２のベース板の断面を示す。

【図3B】図３Ａのシール及び窓保持器の分解図を示す。

【図4A】本開示の実施形態によるベース板内に取り付けられ別個の円状シール及び窓保持器により適所に保持された窓の断面を示す。

【図4B】図４Ａのシール及び窓保持器の分解図を示す。

【図5A】本開示の別の実施形態によるベース板内に取り付けられ別個の円状シール、ワッシャ及び窓保持器により適所に保持された窓の断面を示す。

【図5B】図５Ａのシール、ワッシャ及び窓保持器の分解図を示す。

【図6A】本開示のさらに別の実施形態によるベース板内に取り付けられ別個の矩形シール及び窓保持器により適所に保持された窓の断面を示す。

【図6B】図６Ａのシール及び窓保持器の分解図を示す。

【発明を実施するための形態】

【0013】

本開示は様々な修正及び代替形式に服すが、その各論は、図面に一例として示されており、詳細に説明されることになる。しかし、本意図は本開示の態様を説明される特定の例示的実施形態に制限することではないということを理解すべきである。逆に、本意図は本開示の精神及び範囲に入るすべての修正、等価及び代替実施形態をカバーすることである。

【0014】

本明細書と添付特許請求の範囲とにおいて使用されるように、単数形式の「１つの（ａ）」、「１つの（ａｎ）」及び「その（ｔｈｅ）」は、その内容が別途明確に規定しない限り、複数の参照物を含む。本明細書と添付特許請求の範囲とにおいて使用されるように、用語「又は」は通常、その内容が別途明確に規定しない限り「及び／又は」を含む意味で採用される。

【0015】

以下の詳細説明は、様々な図面内の同様な要素が同じ番号を付けられた図面を参照して読まれるべきである。詳細説明及び必ずしも原寸に比例していない図面は、例示的実施形態を描写しており、したがって本開示の範囲を制限するようには意図されていない。描写される例示的実施形態は単なる例示であるように意図されている。任意の例示的実施形態の選択された特徴は別途言明しない限り追加実施形態に取り込まれ得る。

【0016】

図１を最初に参照すると、例示的極紫外線（ＥＵＶ）ポッド１００が示される。ポッド１００は、輸送及び格納のためにレチクル１０５（特に極紫外線（ＥＵＶ）レチクル）を保持するように構成される。ポッド１００はベース１１０及びカバー１１５を含む。ベース１１０及びカバー１１５は、内側ポッド１２５を収容するための好適な密閉筐体１２０を形成する。内側ポッド１２５は内側ベース板１３０及び内側カバー１３５を含む。内側ベース板１３０及び内側カバー１３５は、レチクル１０５を含むために好適な密閉筐体１４０を形成する。ベース１１０はベース１１０の内面から上方に延びる位置決め突起１４５を含む。内側ベース板１３０はベース１１０に支持され、位置決め突起１４５は、ポッド１００に対して内側ポッド１２５を定位するために内側ベース板１３０の下側（又は外側）面１５０に形成された凹溝（見えない）内に延びる。レチクル１０５は内側ベース板１３０の上側（又は内側）面１５１に支持される。カバー１１５はカバー１１５の内面から下方に延びる位置決め突起１５５を含む。位置決め突起１５５は、内側ポッド１２５をポッド１００に対して定位するために内側カバー１３５内に形成された穴（見えない）内に延びる。

【0017】

図２は内側ベース板１３０の下面１５０を示す。内側ベース板１３０は、それぞれが対応窓アセンブリ２１０〜２１５を含む複数の穴２００〜２０５を有する。これは、レチクル１０５が図１に示す内側ベース板１３０の上面１５１に支持される場合に内側ベース板１３０の下に位置する感知装置（図示せず）がレチクル１０５の位置を判断することを容易にする。内側ベース板１３０はまた、内側ベース板１３０をベース１１０に対して揃うように位置決め突起１４５（図１）と嵌合するように構成された複数の凹溝２２０〜２２２を含む。

【0018】

次に図３Ａを参照すると、内側ベース板１３０の断面が示される。具体的には、図３Ａは穴２００及び窓アセンブリ２１０を示す。穴２００は境界面（すなわち周囲側壁）３００を有する。フランジ３０５が境界面３００から内方に延び、アンダーカット（すなわち凹部）３１０が境界面３００中に外方に延びる。フランジ３０５は取り付け面３１５を有する。窓アセンブリ２１０は透明板３２０、シール３２５及び保持器３３０を含む。透明板３２０は外側（又は下側）平坦面３３５及び内側（又は上側）平坦面３３６を有し、内側平坦面３３６は取り付け面３１５に接触している。透明板３２０は内側ベース板１３０の上面１５１に支持されたレチクルの視認を容易にするように構成される。シール３２５は透明板３２０の外側平坦面３３５とアンダーカット３１０とに接触する。シール３２５は窓アセンブリ２１０と穴２００との間の界面を密閉するように構成される。保持器３３０は、シール３２５及び透明板３２０を穴２００内に保持するためにシール３２５及びアンダーカット３１０に接触する。場合によっては、保持器３３０がシール３２５及び透明板３２０を穴２００内に着脱可能に保持するように構成される。このような保持は、上及び下から窓アセンブリ２１０全体にわたって延びる内側ベース板１３０によるものであり、これにより窓アセンブリ２１０の上下移動を防止する。特に、アンダーカット３１０を包含することにより境界面３００から内方に延びる第２のフランジ３４０を生じる。フランジ３４０が窓アセンブリ２１０が穴２００を通って外方へ（又は下へ）移動するのを防止する一方で、フランジ３０５は窓アセンブリ２１０が穴２００を通って内方へ（又は上へ）移動するのを防止する。すなわち、シール３２５及び透明板３２０が当該方向にフランジ３０５により適所に保持されるので、フランジ３４０と保持器３３０との接触は保持器３３０の外方運動を防止し、シール３２５と保持器３３０との接触は保持器３３０の内方運動を防止する。同様に、シール３２５及び保持器３３０が当該方向にフランジ３４０により適所に保持されるので、フランジ３０５と透明板３２０との接触は透明板３２０の内方運動を防止し、シール３２５と透明板３２０との接触は透明板３２０の外方運動を防止する。

【0019】

図３Ｂは窓アセンブリ２１０の分解図を示す。この図は穴２００、透明板３２０、シール３２５及び保持器３３０の矩形形状を明確に示す。但し、この形状はこの矩形が丸角を有するのでより正確には角丸矩形と称される。加えて、保持器３３０は複数の突起３４５を含む。窓アセンブリ２１０が穴２００内に設置されるとフランジ３４０に接触するのは突起３４５である。いかなるねじ式締め具（例えばねじ）も窓アセンブリ２１０を固定するために必要ではない。換言すれば、窓アセンブリ２１０はねじ式締め具を必要としない。これは粒子生成を低減し、その結果レチクル１０５を汚染する可能性が低減する。好適には、内側ベース板１３０はアルミニウムで作られ、透明板３２０はガラスで作られる一方で、シール３２５及び保持器３３０のそれぞれはポリマーで作られる。ポリマーシールとして好適なポリマーの非限定的例は、フッ素化ポリマー、弾性ポリマー及び熱可塑性エラストマポリマーを含む。好ましいポリマーは低レベルのガス抜けを呈示するものである。保持器はまた、ポリマーである実施形態を含み得る。保持器に好適なポリマーの非限定的例はポリエーテル・エーテル・ケトン及びポリエーテルイミドを含む。

【0020】

窓アセンブリ２１０を穴２００内に取り付けるために、透明板３２０が、取り付け面３１５に接触した状態で置かれる。次に、シール３２５は、アンダーカット３１０内に置かれ、透明板３２０の外側平坦面３３５に接触する。保持器３３０は、シール３２５及びフランジ３４０に接触するようにアンダーカット３１０内に置かれ、これによりシール３２５及び透明板３２０を穴２００内に着脱可能に保持する。保持器３３０の挿入中に、シール３２５は保持器３３０により圧縮される。シール３２５による復元力が保持器３３０とフランジ３４０との接触を維持するのを助ける。

【0021】

次に図４Ａへ移ると、本開示の実施形態に従って構築された別の内側ベース板４００の断面が示される。内側ベース板４００は穴４０５と穴４０５内に位置する窓アセンブリ４１０とを含む。切欠き凹部４１５が内側ベース板４００の下側（又は外側）面４２０内に形成される。切欠き凹部４１５は、窓アセンブリ４１０を損傷することなく窓アセンブリ４１０がツールにより穴４０５から除去され得るようにツール（図示せず）に対するアクセスを提供する。穴４０５は境界面（すなわち周囲側壁）４２５を有する。フランジ４３０は境界面４２５から内方に延び、アンダーカット（すなわち凹部）４３５は境界面４２５に向かって外方に延びる。フランジ４３０は取り付け面４４０を有する。窓アセンブリ４１０は透明板４４５、シール４５０及び保持器４５５を含む。透明板４４５は外側（又は下側）平坦面４６０及び内側（又は上側）平坦面４６１を有し、内側平坦面４６１は取り付け面４４０に接触する。透明板４４５は内側ベース板４００に支持されたレチクルの視認を容易にするように構成される。シール４５０は透明板４４５の外側平坦面４６０とアンダーカット４３５とに接触する。シール４５０は窓アセンブリ４１０と穴４０５との間の界面を密閉するように構成される。保持器４５５は、シール４５０及び透明板４４５を穴４０５内に保持するためにシール４５０とアンダーカット４３５とに接触する。場合によっては、保持器４５５はシール４５０及び透明板４４５を穴４０５内に着脱可能に保持するように構成される。このような保持は、上及び下から窓アセンブリ４１０全体にわたって延びる内側ベース板４００によるものであり、これにより窓アセンブリ４１０の上下移動を防止する。特に、アンダーカット４３５を包含することにより境界面４２５から内方に延びる第２のフランジ４６５を生じる。フランジ４６５は窓アセンブリ４１０が穴４０５を通って外方へ（又は下へ）移動するのを防止する一方で、フランジ４３０は窓アセンブリ４１０が穴４０５を通って内方へ（又は上へ）移動するのを防止する。すなわち、フランジ４６５と保持器４５５との接触は保持器４５５の外方運動を防止し、シール４５０と保持器４５５との接触は保持器４５５の内方運動を防止する。これは、シール４５０及び透明板４４５が当該方向にフランジ４３０により適所に保持されるためである。同様に、フランジ４３０と透明板４４５との接触は透明板４４５の内方運動を防止し、シール４５０と透明板４４５との接触は透明板４４５の外方運動を防止する。これは、シール４５０及び保持器４５５が当該方向にフランジ４６５により適所に保持されるためである。

【0022】

図４Ｂは窓アセンブリ４１０の分解図を提供する。この図は、穴４０５、透明板４４５、シール４５０及び保持器４５５の円形形状を明確に示す。いかなるねじ式締め具（例えばねじ）も窓アセンブリ４１０を穴４０５内に固定するために必要ではない。換言すれば、窓アセンブリ４１０はねじ式締め具を含まない。これは粒子生成を低減し、これにより、内側ベース板４００に支持されたレチクルを汚染する可能性が低減する。好適には、内側ベース板４００はアルミニウムで作られ、透明板４４５はガラスで作られる一方で、シール４５０及び保持器４５５のそれぞれはポリマーで作られる。ポリマーシールとして好適なポリマーの非限定的例は、フッ素化ポリマー、弾性ポリマー及び熱可塑性エラストマポリマーを含む。好ましいポリマーは低レベルのガス抜けを呈示するものである。保持器はまた、ポリマーである実施形態を含み得る。保持器に好適なポリマーの非限定的例はポリエーテル・エーテル・ケトン及びポリエーテルイミドを含む。

【0023】

次に図５Ａを参照すると、本開示の別の実施形態に従って構築された別の内側ベース板５００の断面が示される。内側ベース板５００は穴５０５と穴５０５内に位置する窓アセンブリ５１０とを含む。切欠き凹部５１５が内側ベース板５００の下側（又は外側）面５２０内に形成される。切欠き凹部５１５は、窓アセンブリ５１０を損傷することなく窓アセンブリ５１０がツールにより穴５０５から除去され得るようにツール（図示せず）に対するアクセスを提供する。穴５０５は境界面（すなわち周囲側壁）５２５を有する。フランジ５３０は境界面５２５から内方に延び、アンダーカット（すなわち凹部）５３５は境界面５２５に向かって外方に延びる。フランジ５３０は取り付け面５４０を有する。窓アセンブリ５１０は透明板５４５、シール５５０、ワッシャ５５５及び保持器５６０を含む。透明板５４５は外側（又は下側）平坦面５６５及び内側（又は上側）平坦面５６６を有し、内側平坦面５６６は取り付け面５４０に接触している。透明板５４５は内側ベース板５００に支持されたレチクルの視認を容易にするように構成される。シール５５０は透明板５４５の外側平坦面５６５とアンダーカット５３５とに接触する。シール５５０は窓アセンブリ５１０と穴５０５との間の界面を密閉するように構成される。ワッシャ５５５はシール５５０と保持器５６０の間に位置し、シール５５０、保持器５６０及びアンダーカット５３５に接触する。保持器５６０はアンダーカット５３５に接触し、シール５５０及び透明板５４５を穴５０５内に保持する。場合によっては、保持器５６０はシール５５０及び透明板５４５を穴５０５内に着脱可能に保持するように構成される。このような保持は、上及び下から窓アセンブリ５１０全体にわたって延びる内側ベース板５００によるものであり、これにより窓アセンブリ５１０の上下移動を防止する。特に、アンダーカット５３５を包含することにより境界面５２５から内方に延びる第２のフランジ５７０を生じる。フランジ５７０は窓アセンブリ５１０が穴５０５を通って外方へ（又は下へ）移動するのを防止する一方で、フランジ５３０は窓アセンブリ５１０が穴５０５を通って内方へ（又は上へ）移動するのを防止する。すなわち、フランジ５７０と保持器５６０との接触が保持器５６０の外方運動を防止し、ワッシャ５５５と保持器５６０との接触が保持器５６０の内方運動を防止する。これは、ワッシャ５５５、シール５５０及び透明板５４５が当該方向にフランジ５３０により適所に保持されるためである。同様に、フランジ５３０と透明板５４５との接触が透明板５４５の内方運動を防止し、シール５５０と透明板５４５との接触が透明板５４５の外方運動を防止する。これは、シール５５０、ワッシャ５５５及び保持器５６０が当該方向にフランジ５７０により適所に保持されるためである。

【0024】

図５Ｂは窓アセンブリ５１０の分解図を提供する。この図は、穴５０５、透明板５４５、シール５５０、ワッシャ５５５及び保持器５６０の円形形状を明確に示す。加えて、間隙（ｇａｐ）が保持器５６０の第１の端５７５と第２の端５７６との間に設けられる。この空間は、保持器５６０が止め輪として機能するように、窓アセンブリ５１０の設置中に保持器５６０が収縮するのを容易にする。いかなるねじ式締め具（例えばねじ）も窓アセンブリ５１０を穴５０５内に固定するために必要ではない。換言すれば、窓アセンブリ５１０はねじ式締め具を含まない。これは粒子生成を低減し、その結果、内側ベース板５００に支持されたレチクルを汚染する可能性が低減する。好適には、内側ベース板５００はアルミニウムで作られ、透明板５４５はガラスで作られ、シール５５０はポリマーで作られる一方で、ワッシャ５５５及び保持器５６０のそれぞれはステンレス鋼で作られる。ポリマーシールとして好適なポリマーの非限定的例は、フッ素化ポリマー、弾性ポリマー及び熱可塑性エラストマポリマーを含む。好ましいポリマーは低レベルのガス抜けを呈示するものである。保持器はまたポリマーである実施形態を含み得る。保持器に好適なポリマーの非限定的例はポリエーテル・エーテル・ケトン及びポリエーテルイミドを含む。ポリマーシールとして好適なポリマーの非限定的例は、フッ素化ポリマー、弾性ポリマー及び熱可塑性エラストマポリマーを含む。好ましいポリマーは低レベルのガス抜けを呈示するものである。保持器はまたポリマーである実施形態を含み得る。保持器に好適なポリマーの非限定的例はポリエーテル・エーテル・ケトン及びポリエーテルイミドを含む。

【0025】

次に図６Ａを参照すると、本開示のさらに別の実施形態に従って構築されたさらに別の内側ベース板６００の断面が示される。内側ベース板６００は穴６０５と穴６０５内に位置する窓アセンブリ６１０とを含む。穴６０５は境界面（すなわち周囲側壁）６１５を有する。フランジ６２０は境界面６１５から内方に延び、アンダーカット（すなわち凹部）６２５は境界面６１５に向かって外方に延びる。フランジ６２０は取り付け面６３０を有する。窓アセンブリ６１０は透明板６３５、シール６４０及び保持器６４５を含む。透明板６３５は外側（又は下側）平坦面６５０及び内側（又は上側）平坦面６５１を有し、内側平坦面６５１は取り付け面６３０に接触している。透明板６３５は内側ベース板６００に支持されたレチクルの視認を容易にするように構成される。シール６４０は境界面６１５、取り付け面６３０及び透明板６３５の側面平坦面６５５に接触する。シール６４０は窓アセンブリ６１０と穴６０５との間の界面を密閉するように構成される。保持器６４５は、シール６４０、アンダーカット６２５、及び透明板６３５の外側平坦面６５０に接触する。保持器６４５はシール６４０及び透明板６３５を穴６０５内に保持するように構成される。場合によっては、保持器６４５はシール６４０及び透明板６３５を穴６０５内に着脱可能に保持するように構成される。このような保持は、上及び下から窓アセンブリ６１０全体にわたって延びる内側ベース板６００によるものであり、その結果窓アセンブリ６１０の上下移動を防止する。特に、アンダーカット６２５を包含することにより境界面６１５から内方に延びる第２のフランジ６６０を生じる。フランジ６６０は窓アセンブリ６１０が穴６０５を通って外方へ（又は下へ）移動するのを防止する一方で、フランジ６２０は窓アセンブリ６１０が穴６０５を通って内方へ（又は上へ）移動するのを防止する。すなわち、フランジ６６０と保持器６４５との接触が保持器６４５の外方運動を防止し、シール６４０と透明板６３５と保持器６４５との接触は保持器６４５の内方運動を防止する。これは、シール６４０及び透明板６３５が当該方向にフランジ６２０により適所に保持されるためである。同様に、フランジ６２０と透明板６３５との接触が透明板６３５の内方運動を防止し、保持器６４５と透明板６３５との接触は透明板６３５の外方運動を防止する。これは、保持器６４５が当該方向にフランジ６６０により適所に保持されるためである。

【0026】

図６Ｂは窓アセンブリ６１０の分解図を示す。この図は穴６０５、透明板６３５、シール６４０及び保持器６４５の矩形形状を明確に示すが、この形状はより正確には角丸矩形と称される。加えて、保持器６４５は複数の突起６６５を含む。窓アセンブリ６１０が設置されるとフランジ６６０に接触するのは突起６６５である。いかなるねじ式締め具（例えばねじ）も窓アセンブリ６１０を穴６０５内に固定するために必要ではない。これは粒子生成を低減し、その結果、内側ベース板６００に支持されたレチクルを汚染する可能性が低減する。好適には、内側ベース板６００はアルミニウムで作られ、透明板６３５はガラスで作られる一方で、シール６４０及び保持器６４５のそれぞれはポリマーで作られる。保持器に好適なポリマーの非限定的例はポリエーテル・エーテル・ケトン及びポリエーテルイミドを含む。ポリマーシールとして好適なポリマーの非限定的例は、フッ素化ポリマー、弾性ポリマー及び熱可塑性エラストマポリマーを含む。好ましいポリマーは低レベルのガス抜けを呈示するものである。保持器はまたポリマーである実施形態を含み得る。保持器に好適なポリマーの非限定的例はポリエーテル・エーテル・ケトン及びポリエーテルイミドを含む。

【0027】

本開示のいくつかの例示的実施形態をこのように説明したが、当業者は、添付された本明細書の特許請求の範囲内でさらに他の実施形態がなされ使用され得るということを容易に認識することになる。本文書によりカバーされる本開示の多数の利点がこれまでの明細書内に記載された。しかし、本開示は多くの点で単に例示的であるということが理解される。変更は本開示の範囲を越えることなく詳細に（特に部品の形状、サイズ及び配置に関して）行われ得る。本開示の範囲は当然、添付の特許請求の範囲が表現される言語で定義される。

【図1】

【図2】

【図3A】

【図3B】

【図4A】

【図4B】

【図5A】

【図5B】

【図6A】

【図6B】