特許6797741真空式液体収集装置、真空式液体収集装置に用いられる制御装置、及び、真空ポンプを制御する方法

発明の名称　真空式液体収集装置、真空式液体収集装置に用いられる制御装置、及び、真空ポンプを制御する方法

出願人　株式会社荏原製作所　（識別番号 239）

　　　　特許公開件数ランキング 176 位（48件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 259 位（29件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6797741

公報発行日　2020年12月9

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6797741

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