特許6799395基板ホルダ、電子デバイス製造装置において基板を搬送する搬送システム、および電子デバイス製造装置

発明の名称　基板ホルダ、電子デバイス製造装置において基板を搬送する搬送システム、および電子デバイス製造装置

出願人　株式会社荏原製作所　（識別番号 239）

　　　　特許公開件数ランキング 184 位（58件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 254 位（36件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6799395

公報発行日　2020年12月16

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6799395

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