【図1】基板処理システムの概略構成を示す斜視図である。

【図2】図１中のＩＩ−ＩＩ線に沿う断面図である。

【図3】図２中のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う断面図である。

【図4】第一加湿部及び第一除湿部の概略構成を示す模式図である。

【図5】第二加湿部及び第二除湿部の概略構成を示す模式図である。

【図6】加湿ノズルの概略構成を示す模式図である。

【図7】第三加湿部及び第三除湿部の概略構成を示す模式図である。

【図8】第三加湿部及び第三除湿部の概略構成を示す模式図である。

【図9】加湿ノズルの概略構成を示す模式図である。

【図10】制御部のハードウェア構成を例示するブロック図である。

【図11】第一加湿部及び第一除湿部の制御手順を示すフローチャートである。

【図12】第二加湿部及び第二除湿部の制御手順を示すフローチャートである。

【図13】第三加湿部及び第三除湿部の制御手順を示すフローチャートである。