特許第6803967号(P6803967)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

知財求人 - 知財ポータルサイト「IP Force」

▶ アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドの特許一覧

特許6803967低損傷及び高スループットのプラズマ処理のための大面積VHF PECVDチャンバ
<>
  • 特許6803967-低損傷及び高スループットのプラズマ処理のための大面積VHF  PECVDチャンバ 図000002
  • 特許6803967-低損傷及び高スループットのプラズマ処理のための大面積VHF  PECVDチャンバ 図000003
  • 特許6803967-低損傷及び高スループットのプラズマ処理のための大面積VHF  PECVDチャンバ 図000004
  • 特許6803967-低損傷及び高スループットのプラズマ処理のための大面積VHF  PECVDチャンバ 図000005
  • 特許6803967-低損傷及び高スループットのプラズマ処理のための大面積VHF  PECVDチャンバ 図000006
  • 特許6803967-低損傷及び高スループットのプラズマ処理のための大面積VHF  PECVDチャンバ 図000007
  • 特許6803967-低損傷及び高スループットのプラズマ処理のための大面積VHF  PECVDチャンバ 図000008
< >