特許6804864ＭＲＡＭスタックをパターニングする乾式プラズマ・エッチング法

発明の名称　ＭＲＡＭスタックをパターニングする乾式プラズマ・エッチング法

出願人　ラム　リサーチ　コーポレーション　（識別番号 592010081）

　　　　特許公開件数ランキング 127 位（253件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 136 位（203件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6804864

公報発行日　2020年12月23

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6804864

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