特許 6807659 レシピセットの実行を同期化するためのシステム及び方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6807659

(24)【登録日】2020年12月10日

(45)【発行日】2021年1月6日

(54)【発明の名称】レシピセットの実行を同期化するためのシステム及び方法

(51)【国際特許分類】

   H05H 1/46 20060101AFI20201221BHJP

【ＦＩ】

   H05H1/46 M

【請求項の数】30

【外国語出願】

【全頁数】44

(21)【出願番号】特願2016-109685(P2016-109685)

(22)【出願日】2016年6月1日

(65)【公開番号】特開2017-37831(P2017-37831A)

(43)【公開日】2017年2月16日

【審査請求日】2019年5月31日

(31)【優先権主張番号】62/171,941

(32)【優先日】2015年6月5日

(33)【優先権主張国】US

(31)【優先権主張番号】14/974,915

(32)【優先日】2015年12月18日

(33)【優先権主張国】US

(31)【優先権主張番号】15/148,414

(32)【優先日】2016年5月6日

(33)【優先権主張国】US

(73)【特許権者】

【識別番号】592010081

【氏名又は名称】ラム リサーチ コーポレーション

【氏名又は名称原語表記】ＬＡＭ ＲＥＳＥＡＲＣＨ ＣＯＲＰＯＲＡＴＩＯＮ

(74)【代理人】

【識別番号】110000028

【氏名又は名称】特許業務法人明成国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】ジョン・シー．・バルコア・ジュニア

(72)【発明者】

【氏名】トニー・サン

(72)【発明者】

【氏名】ボストジャン・パスト

【審査官】 鳥居 祐樹

(56)【参考文献】

【文献】 特表２０１５−５１１７６６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２０１５／００１１０８８（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０５Ｈ １／２４

Ｃ２３Ｃ １６／４５５

Ｃ２３Ｃ １６／５０

Ｃ２３Ｃ １６／５２

Ｈ０１Ｌ ２１／３１

Ｈ０１Ｌ ２１／３０２

Ｈ０１Ｌ ２１／３０６５

Ｇ０５Ｂ １９／０５

Ｈ０４Ｂ １／４０

Ｈ０４Ｌ ２５／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

方法であって、
コマンドコントローラによって、レシピセットをマスタコントローラに送信することと、
前記マスタコントローラによって、前記レシピセットをプラズマシステムのサブシステムコントローラによる実行のために送信することであって、前記レシピセットを前記マスタコントローラから前記サブシステムコントローラに送信することは、クロック信号の第１のクロックサイクル中に実施される、ことと、
前記コマンドコントローラによって、レシピイベント信号を生成することと、
前記コマンドコントローラによって、前記サブシステムコントローラによる前記レシピセットの実行の時間を示す前記レシピイベント信号を前記サブシステムコントローラに送信することであって、前記実行の時間は、前記第１のクロックサイクルに続く第２のクロックサイクル中に生じ、前記第２のクロックサイクルは、前記クロック信号のサイクルである、ことと、
前記コマンドコントローラによって、追加のレシピセットを前記マスタコントローラに送信することと、
前記マスタコントローラによって、前記追加のレシピセットを前記プラズマシステムの前記サブシステムコントローラによる実行のために前記サブシステムコントローラに送信することであって、前記追加のレシピセットを前記マスタコントローラから前記サブシステムコントローラに送信することは、前記クロック信号の前記第２のクロックサイクル中に実施される、ことと、
を備える方法。

【請求項2】

請求項１に記載の方法であって、
前記レシピセットを前記コマンドコントローラから前記マスタコントローラに送信することは、転送媒体を通して前記マスタコントローラにパケットを送信することを含み、前記レシピセットを前記マスタコントローラから前記サブシステムコントローラに送信することは、転送媒体を通して前記サブシステムコントローラに前記パケットを送信することを含む、方法。

【請求項3】

請求項１に記載の方法であって、更に、
前記マスタコントローラによって、前記第１のクロックサイクル中に、別のレシピセットを前記プラズマシステムの別のサブシステムコントローラによる実行のために送信することを備え、
前記実行の時間は、前記プラズマシステムの前記別のサブシステムコントローラによる前記別のレシピセットの実行のための時間である、方法。

【請求項4】

請求項１に記載の方法であって、
前記コマンドコントローラは、コンピューティングデバイス内に位置し、前記コンピューティングデバイスは、ラップトップコンピュータ、又はデスクトップコンピュータ、又はタブレット端末、又は携帯電話を含む、方法。

【請求項5】

請求項１に記載の方法であって、
前記レシピセットは、ＲＦ発生器によって生成される高周波数（ＲＦ）信号の電力、又は前記ＲＦ信号の周波数、又は前記プラズマシステムのプラズマチャンバ内の圧力、又は前記プラズマチャンバ内の温度、又は前記プラズマチャンバ内の電極間のギャップ、又は前記プラズマチャンバへのガスの流量、又は前記プラズマシステムのインピーダンス整合回路網のコンデンサのキャパシタンス、又は前記インピーダンス整合回路網のインダクタのインダクタンス、又はこれらの組み合わせを含む、方法。

【請求項6】

請求項１に記載の方法であって、
前記レシピセットは、前記レシピセットが前記サブシステムコントローラからサブシステムに送信されるときに前記サブシステムコントローラによって実行され、前記サブシステムコントローラは、前記マスタコントローラに接続されている、方法。

【請求項7】

請求項６に記載の方法であって、
前記サブシステムは、高周波数（ＲＦ）発生器、又は圧力サブシステム、又は温度サブシステム、又はギャップサブシステム、又はガスフローサブシステム、又はインピーダンス整合回路網である、方法。

【請求項8】

請求項１に記載の方法であって、
前記プラズマシステムは、１つ以上の高周波数（ＲＦ）発生器と、インピーダンス整合回路網と、プラズマチャンバとを含み、前記１つ以上のＲＦ発生器は、対応する１本以上のＲＦケーブルを通して前記インピーダンス整合回路網に接続され、前記インピーダンス整合回路網は、ＲＦ伝送路を通して前記プラズマチャンバに接続される、方法。

【請求項9】

請求項１に記載の方法であって、
前記実行の時間は、前記サブシステムコントローラによって前記コマンドコントローラから前記レシピイベント信号が受信される時間であり、前記サブシステムコントローラは、前記マスタコントローラに接続され、サブシステムを制御し、前記サブシステムコントローラによって受信される前記レシピイベント信号は、前記レシピセットの即座の実行を引き起こす、方法。

【請求項10】

請求項１に記載の方法であって、
前記実行の時間は、前記サブシステムコントローラからサブシステムに前記レシピセットが送信される時間であり、前記サブシステムコントローラは、前記マスタコントローラから前記レシピセットを受信するために前記マスタコントローラに接続される、方法。

【請求項11】

請求項１に記載の方法であって、
前記レシピイベント信号は、前記レシピセットの実行をトリガする、方法。

【請求項12】

請求項１に記載の方法であって、
前記レシピイベント信号は、サブシステムのための前記サブシステムコントローラによって受信されるときに、前記レシピセットの実行の即座の起動を示している、方法。

【請求項13】

方法であって、
マスタコントローラによって、クロック信号の第１のクロックサイクル中に、レシピセットをサブシステムコントローラによる実行のために送信することであって、前記サブシステムコントローラは、プラズマシステムのコンポーネントを制御するように構成される、ことと、
前記マスタコントローラによって、レシピイベント信号を生成することと、
前記マスタコントローラによって、前記プラズマシステムの前記サブシステムコントローラによる前記レシピセットの実行の時間を示す前記レシピイベント信号を送信することであって、前記レシピセットの前記実行の時間は、前記レシピセットが送信される前記第１のクロックサイクルに続く第２のクロックサイクル中に生じ、前記第２のクロックサイクルは、前記クロック信号のサイクルである、ことと、
前記マスタコントローラによって、追加のレシピセットを前記プラズマシステムの前記サブシステムコントローラによる実行のために前記サブシステムコントローラに送信することであって、前記追加のレシピセットを前記マスタコントローラから前記サブシステムコントローラに送信することは、前記クロック信号の前記第２のクロックサイクル中に実施される、ことと、
を備える方法。

【請求項14】

請求項１３に記載の方法であって、
前記レシピセットを送信することは、ケーブルを通して前記サブシステムコントローラにパケットを送信することを含む、方法。

【請求項15】

請求項１３に記載の方法であって、
前記プラズマシステムは、１つ以上の高周波数（ＲＦ）発生器と、インピーダンス整合回路網と、プラズマチャンバとを含み、前記１つ以上のＲＦ発生器は、前記インピーダンス整合回路網に接続され、前記インピーダンス整合回路網は、前記プラズマチャンバに接続される、方法。

【請求項16】

請求項１３に記載の方法であって、更に、
前記マスタコントローラによって、前記クロック信号の前記第１のクロックサイクル中に、別のレシピセットを別のサブシステムコントローラによる実行のために送信することであって、前記別のサブシステムコントローラは、前記プラズマシステムの別のコンポーネントを制御するように構成される、ことを備え、
前記実行の時間は、前記プラズマシステムの前記別のサブシステムコントローラによる前記別のレシピセットの実行のための時間である、方法。

【請求項17】

請求項１３に記載の方法であって、
前記レシピセットは、前記サブシステムコントローラによって、前記レシピセットを前記コンポーネントに送信することによって実行される、方法。

【請求項18】

請求項１３に記載の方法であって、
前記実行の時間は、前記サブシステムコントローラによって前記マスタコントローラから前記レシピイベント信号が受信される時間であり、前記サブシステムコントローラは、前記マスタコントローラに接続され、前記コンポーネントを制御する、方法。

【請求項19】

請求項１３に記載の方法であって、
前記実行の時間は、前記サブシステムコントローラから前記コンポーネントに前記レシピセットが送信される時間である、方法。

【請求項20】

請求項１３に記載の方法であって、
前記レシピイベント信号は、前記レシピセットの実行をトリガする、方法。

【請求項21】

請求項１３に記載の方法であって、
前記レシピイベント信号は、前記サブシステムのための前記サブシステムコントローラによって受信されるときに、前記レシピセットの実行の即座の起動を示している、方法。

【請求項22】

方法であって、
マスタコントローラによって、プラズマ処理システムのサブシステムのプロセッサにレシピセットを送信することであって、前記マスタコントローラから送信することは、クロック信号の第１のクロックサイクル中に生じる、ことと、
前記マスタコントローラによって、レシピイベント信号を生成することと、
前記マスタコントローラによって、前記レシピセットの実行の時間を示す前記レシピイベント信号を、前記サブシステムの前記プロセッサに送信することであって、前記実行の時間の送信は、前記第１のクロックサイクルに続く第２のクロックサイクル中に生じる、ことと、
前記マスタコントローラによって、追加のレシピセットを前記サブシステムの前記プロセッサによる実行のために前記サブシステムの前記プロセッサに送信することであって、前記追加のレシピセットを前記マスタコントローラから前記サブシステムの前記プロセッサに送信することは、前記クロック信号の前記第２のクロックサイクル中に実施される、ことと、
を備える方法。

【請求項23】

請求項２２に記載の方法であって、
前記レシピセットを送信することは、ケーブルを通して前記サブシステムの前記プロセッサにパケットを送信することを含む、方法。

【請求項24】

請求項２２に記載の方法であって、更に、
前記マスタコントローラによって、別のレシピセットを別のサブシステムの別のプロセッサによる実行のために送信することであって、前記別のプロセッサは、前記プラズマ処理システムの前記別のサブシステムを制御するように構成され、前記別のレシピセットを送信することは、前記第１のクロックサイクル中に生じる、ことを備え、
前記実行の時間は、前記別のサブシステムの前記別のプロセッサによる前記別のレシピセットの実行のための時間である、方法。

【請求項25】

請求項２２に記載の方法であって、
前記レシピセットは、前記プロセッサによって、前記サブシステムの前記プロセッサが信号を生成するためにドライバに信号を送信するときに実行される、方法。

【請求項26】

請求項２２に記載の方法であって、
前記実行の時間は、前記プロセッサによって前記マスタコントローラから前記レシピイベント信号が受信される時間であり、前記プロセッサは、前記マスタコントローラに接続され、前記サブシステムを制御する、方法。

【請求項27】

請求項２２に記載の方法であって、
前記実行の時間は、前記プラズマ処理システムの一部を駆動するために前記プロセッサからドライバに前記レシピセットが送信される時間である、方法。

【請求項28】

請求項２２に記載の方法であって、
前記レシピイベント信号は、前記レシピセットの実行をトリガする、方法。

【請求項29】

請求項２２に記載の方法であって、
前記レシピイベント信号は、前記プロセッサによって受信されるときに、前記レシピセットの実行の即座の起動を示している、方法。

【請求項30】

請求項１に記載の方法であって、更に、
前記コマンドコントローラによって、追加のレシピイベント信号を生成することと、
前記コマンドコントローラによって、前記サブシステムコントローラによる前記追加のレシピセットの実行の時間を示す前記追加のレシピイベント信号を、前記サブシステムコントローラに送信することであって、前記実行の時間は、前記第２のクロックサイクルに続く第３のクロックサイクル中に生じ、前記第３のクロックサイクルは、前記クロック信号のサイクルである、ことと、
を備える方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本実施形態は、レシピセットの実行を同期化するためのシステム及び方法に関する。

【背景技術】

【0002】

多様な動作を実施するために、プラズマシステムが使用される。例えば、プラズマシステムは、ウエハを洗浄するため、ウエハ上に材料を堆積させるため、ウエハをエッチングするためなどの、複数のステーションを有する。各ステーションは、動作を実施するための１つ以上の処理機器によって制御される。

【0003】

動作を実施するために、処理機器間で情報が転送される。しかしながら、情報を転送するために、各処理機器は、過密なスケジュール下にある。例えば、各処理機器は、事前に指定された時間枠内でデータを処理してからその処理されたデータを別の処理機器に提供する必要がある。

【0004】

このような時間枠要件は、処理機器の費用をかさませる。また、処理機器の使用時は、処理機器間におけるデータ転送速度に限界がある。

【0005】

本開示で説明される実施形態が提起されるのは、このような状況においてである。

【発明の概要】

【0006】

本開示の実施形態は、レシピセットの実行を同期化するための装置、方法、及びコンピュータプログラムを提供する。これらの実施形態は、例えば、プロセス、又は装置、又はシステム、又はハードウェア、又は方法、又はコンピュータ読み取り可能媒体などの、数々の形態で実現可能であることがわかる。幾つかの実施形態が、以下で説明される。

【0007】

一実施形態では、実行されるべきレシピセットは、そのレシピセットの実行のための信号を送信する前に、或るコントローラから別のコントローラに送信される。例えば、マスタコントローラは、スレーブコントローラによるレシピセットの実行を示すパルスを送信する前に、スレーブコントローラにレシピセットを送信する。このような、レシピセットの事前送信は、レシピセットの実行に備えて準備する時間をスレーブコントローラに与える。スレーブコントローラによるレシピセットの実行を示すパルスが受信されるや否や、スレーブコントローラは、処理のためにレシピセットを送信することによってレシピセットを実行する。

【0008】

レシピセットの実行を示すパルスを送信する前に、複数のレシピセットを複数のスレーブコントローラに送信することによって、各スレーブコントローラは、１つの時間枠内でレシピセットを実行する必要がなくなる。例えば、ＥｔｈｅｒＣＡＴ（制御自動化技術のためのＥｔｈｅｒｎｅｔ（登録商標））では、１つのスレーブコントローラが複数のレシピセットを受信し、複数のレシピセットのうちの一レシピセットを識別し、その識別されたレシピセットを、複数のレシピセットを別のスレーブコントローラに送信する前に実行する。識別及び実行は、１つの時間枠内でなされるべきであり、これは、制約になって、費用の増加を招く。また、このようなＥｔｈｅｒＣＡＴスレーブコントローラは、費用がかさみ、ボリュームが少ないために得るのが困難である。更に、ＥｔｈｅｒＣＡＴスレーブコントローラは、速度面で限界があり、例えば、メガビット毎秒の速度に制限される。レシピセットの実行を同期化するためのシステム及び方法を使用することによって、複数のレシピセットの送信がギガビット毎秒（Ｇｂｐｓ）又はそれよりも高速でなされ、スレーブコントローラがそれまでに識別及び実行を実施しなければならないような時間枠がない。スレーブコントローラは、スレーブコントローラによるレシピセットの実行を示すパルスを受信した後、即座にレシピセットを実行する。

【0009】

一実施形態では、レシピセットの実行を同期化するための方法が説明される。方法は、コマンドコントローラによって、マスタコントローラにレシピセットを送信することと、マスタコントローラによって、レシピセットを、プラズマシステムのサブシステムコントローラによる実行のために送信することとを含む。レシピセットをマスタコントローラからサブシステムコントローラに送信する動作は、クロック信号の第１のクロックサイクル中に実施される。方法は、コマンドコントローラによって、レシピイベント信号を生成することと、コマンドコントローラによって、レシピイベント信号をサブシステムコントローラに送信し、サブシステムコントローラによるレシピセットの実行の時間を示すことと、を含む。実行の時間は、第１のクロックサイクルに続く第２のクロックサイクル中に生じる。第２のクロックサイクルは、上記クロック信号のサイクルである。

【0010】

一実施形態では、レシピセットの実行を同期化するための方法が説明される。方法は、マスタコントローラによって、クロック信号の第１のクロックサイクル中に、レシピセットをサブシステムコントローラによる実行のために送信することを含む。サブシステムコントローラは、プラズマシステムのコンポーネントを制御するように構成される。方法は、更に、マスタコントローラによって、レシピイベント信号を生成することと、マスタコントローラによって、レシピイベント信号を送信し、プラズマシステムのサブシステムコントローラによるレシピセットの実行の時間を示すことと、を含む。実行の時間は、レシピセットが送信される第１のクロックサイクルに続く第２のクロックサイクル中に生じる。第２のクロックサイクルは、上記クロック信号のサイクルである。

【0011】

一実施形態では、レシピセットの実行を同期化するための方法が提供される。方法は、マスタコントローラによって、プラズマシステムのサブシステムのプロセッサにレシピセットを送信することを含む。マスタコントローラから送信する動作は、クロック信号の第１のクロックサイクル中に生じる。方法は、更に、マスタコントローラによって、レシピイベント信号を生成することと、マスタコントローラによって、レシピイベント信号を送信し、レシピセットの実行の時間をサブシステムのプロセッサに示すことと、を含む。レシピイベント信号を送信する動作は、第１のクロックサイクルに続く第２のクロックサイクル中に生じる。

【0012】

上述された実施形態の一部が有する利点として、複数のコントローラ間でレシピセットの実行を同期化することが挙げられる。例えば、１つの送信元コントローラから１つ以上の受信先コントローラに、（ｎ＋１）番目のレシピセットが同期方式で送信される。（ｎ＋１）番目のレシピセットを受信先コントローラに送信した後、送信元コントローラ又は別のコントローラは、レシピセットの実行の開始を受信先コントローラに合図するために、レシピイベント信号を提供する。（ｎ＋１）番目のレシピセットの送信と、レシピイベント信号の送信との間の時間は、受信先コントローラが（ｎ＋１）番目のレシピセットの実行に備えて準備することを可能にする。例えば、（ｎ＋１）番目のレシピセットは、ウエハがプラズマチャンバ内に装着される期間中に、受信先コントローラに送信される。レシピイベント信号が受信先コントローラに送信されるときは、ウエハは、既に装着済みである。更に、受信先コントローラは、レシピイベント信号を受信するや否や、ウエハの処理を開始させるためにレシピセットを実行する。

【0013】

その他の利点としては、例えば、Ｅｔｈｅｒｎｅｔプロトコル、ユニヴァーサルデータグラムプロトコル（ＵＤＰ）、インターネットプロトコル上のＵＤＰ（ＵＤＰ ｏｖｅｒ ＩＰ）、ＵＤＰ ｏｖｅｒ ＩＰ ｏｖｅｒ Ｅｔｈｅｒｎｅｔ、カスタマイズされたプロトコルなどの、ギガビット毎秒の又はそれよりも高速のデータ転送速度を有する通信プロトコルの使用が挙げられる。（ｎ＋１）番目のレシピセットは、（ｎ＋１）番目のレシピセットを転送するために通信プロトコルを適用することによって生成されるパケットのペイロードとしてパケットに埋め込まれる。このような通信プロトコルの使用は、ギガビット毎秒の又はそれよりも高速の転送速度の実現を可能にする。通信プロトコルの使用は、時間を省略し、ＥｔｈｅｒＣＡＴプロトコルと比べて費用効果を向上させる。

【0014】

添付の図面と関連して述べられる以下の詳細な説明から、その他の態様が明らかになる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

実施形態は、添付の図面と関連して述べられる以下の詳細な説明を参照することによって理解される。

【0016】

【図1A-1】複数のサブシステムコントローラ間のけるレシピセットの実行の同期化を説明するための、システムの一実施形態の図である。

【0017】

【図1A-2】図１Ａ−１のシステムと同様なシステムの一実施形態の図である。

【0018】

【図1B-1】入力機器を通してユーザから入力信号を受信することを伴わないサブシステムコントローラとマスタコントローラとの間における同期化を説明するための、システムの一実施形態の図である。

【0019】

【図1B-2】図１Ｂ−１のシステムと同様なシステムの一実施形態の図である。

【0020】

【図1C】マスタコントローラから受信されるレシピイベント信号にしたがったサブシステムの同期化を説明するための、システムの一実施形態の図である。

【0021】

【図1D】サブシステムコントローラとサブシステムとの間における同期化を説明するための、システムの一実施形態の図である。

【0022】

【図1E】マスタコントローラとＲＦ発生器コントローラとの間における同期化を実現するためにユーザインターフェース（ＵＩ）コンピュータを使用することを説明するための、システムの一実施形態の図である。

【0023】

【図2A-1】コントローラへの（ｎ＋１）番目のレシピセットの送信と、コントローラによるレシピセットの実行の時間との間における同期化を説明するための、タイミング図の一実施形態である。

【0024】

【図2A-2】コントローラによるパケットの実行の時間が、コントローラによってパケットが受信される時間から、それよりも後の、パケットが実行されることを示すデジタルパルスが受信される時間に変化することを説明するための、タイミング図の一実施形態である。

【0025】

【図2B】図１Ｅのシステムの機能を説明するために使用される、タイミング図の一実施形態である。

【0026】

【図3A】Ｅｔｈｅｒｎｅｔパケットの一実施形態の図である。

【0027】

【図3B】本開示で説明される一実施形態にしたがった、パケットを説明するための図である。

【0028】

【図4】プラズマ処理システムの一実施形態の図である。

【0029】

【図5】サブシステムを説明するための、システムの一実施形態の図である。

【0030】

【図6】プラズマチャンバの一実施形態の図である。

【発明を実施するための形態】

【0031】

以下の実施形態は、レシピセットの実行を同期化するためのシステム及び方法を説明している。本実施形態は、これらの具体的詳細の一部又は全部を伴わずとも実施され得ることが明らかである。また、本実施形態を不必要に不明瞭にしないために、周知のプロセス動作の詳細な説明は省略される。

【0032】

図１Ａ−１は、複数のサブシステムコントローラ間におけるレシピセットの実行の同期化を説明するための、システム１００の一実施形態の図である。システム１００は、コンピューティングデバイス１０８内に位置するコマンドコントローラ１０２を含む。本明細書で言うコントローラは、１つ以上のプロセッサと、１つ以上のメモリデバイスとを含む。本明細書で言うプロセッサは、中央演算処理装置（ＣＰＵ）、殊用途向け集積回路（ＡＳＩＣ）、又はプログラム可能論理装置（ＰＬＤ）を言い、これらの用語は、本明細書では区別なく使用される。メモリデバイスの例として、読み出し専用メモリ（ＲＯＭ）、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）、ハードディスク、揮発性メモリ、不揮発性メモリ、ストレージディスクの冗長アレイ、フラッシュメモリなどが挙げられる。これらのコンピューティングデバイス１０８の一例として、ラップトップコンピュータ、又はデスクトップコンピュータ、又はタブレット端末、又は携帯電話が挙げられる。

【0033】

システム１００は、更に、転送媒体１１２を通じてコマンドコントローラ１０２に接続されたマスタコントローラ１０６を含む。本明細書で言う転送媒体の例として、同軸ケーブル、導体ケーブル、有線媒体、ツイストペア、光ファイバケーブル、ケーブル、Ｅｔｈｅｒｎｅｔケーブル、無線媒体、有線媒体と無線媒体との組み合わせなどが挙げられる。通信プロトコルの例としては、ユニヴァーサルデータグラムプロトコル（ＵＤＰ）、インターネットプロトコル上のＵＤＰ（ＵＤＰ ｏｖｅｒ ＩＰ）、ＵＤＰ ｏｖｅｒ ＩＰ ｏｖｅｒ Ｅｔｈｅｒｎｅｔ、カスタマイズされたプロトコル、シリアル転送プロトコル、パラレル転送プロトコル、ユニヴァーサルシリアルバス（ＵＳＢ）プロトコル、カスタマイズされた通信プロトコルなどが挙げられる。シリアルプロトコルの例として、例えば、ＲＳ２３２プロトコル、ＲＳ４２２プロトコル、ＲＳ４２３プロトコル、ＲＳ３８５プロトコルなどが挙げられる。様々な実施形態において、シリアルプロトコルでは、データは、シリアル方式で転送される。例えば、１つのビットが、別のビットが転送された後に順次転送される。パラレルプロトコルの一例は、データをパラレル方式で転送するものである。実例を挙げると、パラレルプロトコルでは、複数のビットが同時的になどで転送される。本明細書では、実施形態によっては転送媒体とリンクとが区別なく使用される。本明細書では、幾つかの実施形態においてシリアルプロトコル又はパラレルプロトコルが非パケット化プロトコルとして言及される。

【0034】

システム１００は、サブシステムコントローラＡと、サブシステムコントローラＢと、サブシステムコントローラＣとを含む。サブシステムコントローラＡは、転送媒体１１０Ａを通してマスタコントローラ１０６に接続され、サブシステムコントローラＢは、転送媒体１１０Ｂを通してマスタコントローラ１０６に接続され、サブシステムコントローラＣは、転送媒体１１０Ｃを通してマスタコントローラ１０６に接続される。

【0035】

更に、各サブシステムコントローラは、１つ以上の対応する物理媒体を通して対応するサブシステムに接続される。物理媒体は、米国特許出願第１４／９７４，９１５号において物理的な通信媒体として説明されている。例えば、サブシステムコントローラＡは、専用の物理媒体を通してサブシステムＡに接続され、サブシステムコントローラＢは、専用の物理媒体を通してサブシステムＢに接続され、サブシステムコントローラＣは、専用の物理媒体を通してサブシステムＣに接続される。

【0036】

留意すべきは、本明細書では、実施形態によってはサブシステムという用語とコンポーネントという用語とが区別なく使用されることがあることである。

【0037】

サブシステムの一例としては、高周波数（ＲＦ）発生器、又は圧力サブシステム、又は温度サブシステム、又はギャップ（間隔）サブシステム、又はガスフローサブシステム、又は冷却液フローサブシステム、又はインピーダンス整合回路網が挙げられる。実例を挙げると、サブシステムＡは、例えば２ＭＨｚなどのｘメガヘルツ（ＭＨｚ）高周波数（ＲＦ）発生器であり、サブシステムＢは、ｙメガヘルツＲＦ発生器であり、サブシステムＣは、ｚメガヘルツＲＦ発生器である。ｙの一例として、２又は２７が挙げられ、ｚの一例として、２７又は６０が挙げられる。一実施形態では、ｘＭＨｚＲＦ発生器の代わりに、例えば４００ｋＨｚなどのキロヘルツ（ｋＨｚ）ＲＦ発生器が使用される。

【0038】

圧力サブシステムは、例えば圧力コントローラ、ドライバ、モータ、１本以上のロッド、閉じ込めリングなどの、複数のパーツを含む。圧力コントローラは、ドライバを通してモータに接続され、モータは、更に、１本以上のロッドを通してプラズマチャンバ内の閉じ込めリングに接続される。プラズマチャンバは、後程更に説明される。ドライバの例として、１つの又は一群のトランジスタが挙げられる。圧力コントローラのプロセッサは、モータを駆動してモータのロータを回転させるために、ドライバに信号を送信する。ロータの回転は、１本以上のロッドを通して閉じ込めリングの移動の量を制御し、そうして更に、プラズマチャンバ内の圧力を変化させる。

【0039】

一実施形態では、圧力コントローラは、圧力サブシステム内に位置する代わりに、サブシステムコントローラＡの一例であり、上述された圧力サブシステムの残りのパーツが、圧力サブシステム内に位置している。

【0040】

温度サブシステムは、例えば温度コントローラ、ドライバ、ヒータなどの、複数のパーツを含む。温度コントローラは、ドライバを通してヒータに接続される。温度コントローラの温度プロセッサは、ドライバに信号を送信して或る量の電流を生成させる。ドライバは、上記の量の電流を生成し、その電流をヒータに提供する。ヒータは、プラズマチャンバを加熱するための熱を生成する。

【0041】

一実施形態では、温度コントローラは、温度サブシステム内に位置する代わりに、サブシステムコントローラＢの一例であり、上述された温度サブシステムの残りのパーツが、温度サブシステム内に位置している。

【0042】

ギャップサブシステムは、例えばギャップコントローラ、ギャップドライバ、モータ、１本以上のロッドなどの、パーツを含む。ギャップコントローラは、ギャップドライバを通してモータに接続され、モータは、１本以上のロッドを通してプラズマチャンバの上部電極に接続される。ギャップコントローラのギャッププロセッサは、ドライバに信号を送信して或る量の電流を生成させ、その電流は、モータに提供されてモータのロータを回転させる。ロータの回転は、１本以上のロッドを回転させ、そうして、プラズマチャンバの上部電極と下部電極との間のギャップを変化させる。

【0043】

一実施形態では、ギャップコントローラは、ギャップサブシステム内に位置する代わりに、サブシステムコントローラＣの一例であり、上述されたギャップサブシステムの残りのパーツが、ギャップサブシステム内に位置している。

【0044】

ガスフローサブシステムは、例えばガスフローコントローラ、ドライバ、モータ、弁、管、１本以上のロッド、ガス源などの、複数のパーツを含む。ガス源は、プラズマチャンバ内で例えば半導体ウエハなどの基板等に対して材料を堆積させる、材料をスパッタリングする、エッチングする、洗浄するなどの処理を行うためのプロセスガスを貯蔵する。プロセスガスの例として、酸素含有ガス又はフッ素含有ガスなどが挙げられる。ガスフローコントローラのガスフロープロセッサは、信号をドライバに送信し、ドライバは、モータを駆動するために電流を生成する。モータは、回転し、１本以上のロッドを通して管内で弁の位置を変化させ、そうして更に、ガス源から管を経てプラズマチャンバに至る或る量のガスフローを実現する。

【0045】

一実施形態では、ガスフローコントローラは、ガスフローサブシステム内に位置する代わりに、サブシステムコントローラＡの一例であり、上述されたガスフローサブシステムの残りのパーツが、ガスフローサブシステム内に位置している。

【0046】

一実施形態では、ガスフローサブシステム内のモータに代わり、ガスフローサブシステムのドライバによって生成される電磁電流が、ガスフローサブシステムの弁が開く又は閉じる量を制御する。

【0047】

冷却フローサブシステムは、ガス源の代わりに、冷却液を貯蔵する液源が使用されることを除いて、ガスフローサブシステムのそれと同じパーツを有し、ガスフローサブシステムと同様に動作し、冷却フローサブシステムの出力は、例えばプラズマチャンバの上部電極、下部電極、上部電極延長部、下部電極延長部などのコンポーネントに冷却液を供給してそのコンポーネントを冷却するために、そのコンポーネントに接続される。

【0048】

インピーダンス整合回路網は、例えばインピーダンス整合コントローラ、１つ以上のドライバ、１つ以上のモータ、１つ以上のコンデンサ、１つ以上のインダクタ、１つ以上のレジスタなどの、複数のパーツを含む。インピーダンス整合コントローラのプロセッサは、ドライバの１つに信号を生成して電流を生成させる。電流は、モータの１つに提供されてそのモータのロータを回転させ、そうして更に、１つ以上のコンデンサの１つの板間の面積を変化させて、そのコンデンサのキャパシタンスを変化させる。同様に、インピーダンス整合コントローラのプロセッサは、ドライバの別の１つに信号を送信して電流を生成させる。電流は、モータの別の１つに提供されてそのモータのロータを回転させ、そうして更に、インダクタのうちの１つのコアを回転させてそのインダクタのインダクタンスを変化させる又はインダクタのうちの１つのコイル間の間隔を変化させてインダクタンスを更に変化させる。例えば、インピーダンス整合回路網のインダクタのインダクタンスは、インダクタのコアをインダクタのコイルに入る又はインダクタのコイルから出るように滑らせることによって変更される。コアは、その磁気コアを滑らせるためにインピーダンス整合回路網のモータに取り付けられる。

【0049】

コマンドコントローラ１０２は、例えば、マウス、キーボード、スタイラス、タッチ画面などの入力機器に、入出力（Ｉ／Ｏ）インターフェースを通して接続される。Ｉ／Ｏインターフェースの例として、シリアルポート、パラレルポート、ＵＳＢポートなどが挙げられる。入力機器及びＩ／Ｏインターフェースを通してユーザから信号を受信すると、コマンドコントローラ１０２は、サブシステムＡによって実行されるための（ｎ＋１）番目のレシピセット、サブシステムＢによって実行されるための（ｎ＋１）番目のレシピセット、及びサブシステムＣによって実行されるための（ｎ＋１）番目のレシピセットを、転送媒体１１２を通してマスタコントローラ１０６に送信する。例えば、コマンドコントローラは、通信プロトコルを適用して、サブシステムＡによって実行されるべき（ｎ＋１）番目のレシピセットを含むパケットを生成し、通信プロトコルを適用して、サブシステムＢによって実行されるべき（ｎ＋１）番目のレシピセットを含むパケットを生成し、通信プロトコルを適用して、サブシステムＣによって実行されるべき（ｎ＋１）番目のレシピセットを含むパケットを生成し、それらのパケットを、転送媒体１１２を通してマスタコントローラ１０６に送信する。別の例として、コマンドコントローラ１０２は、非パケット化プロトコルを適用することによって、例えばパラレル方式又はシリアル方式などで、（ｎ＋１）番目のレシピセットを送信する。一部の実施形態では、コマンドコントローラは、例えばクロック信号の同じクロックサイクル内で、クロックサイクルの立ち上がりエッジで、クロックサイクルの立ち下がりエッジでなどの同時方式で、（ｎ＋１）番目のレシピセットを、転送媒体１１２を通してマスタコントローラに送信する。

【0050】

留意すべきは、様々な実施形態において、（ｎ＋１）番目が、或るレシピセットが事前に送信されたｎ番目のレシピセットの次に実行されるべきレシピセットであることを示すために使用されることである。ここで、ｎは、ゼロ以上の整数である。例えば、ｎ番目のレシピセットは、（ｎ＋１）番目のレシピセットの送信に先立って送信される。（ｎ＋１）番目のレシピセットは、ｎ番目のレシピセットの送信に続いて送信される。一部の実施形態では、ｎ番目のレシピセットは、（ｎ＋１）番目のレシピセットが送信される時点で実行される。

【0051】

コマンドコントローラ１０２からサブシステムＡ、Ｂ、及びＣのための（ｎ＋１）番目のレシピセットを受信すると、マスタコントローラ１０６は、（ｎ＋１）番目のレシピセットの１つを含むパケット内の、例えばメディアアクセス制御（ＭＡＣ）アドレスなどの宛先アドレスから識別を行って、（ｎ＋１）番目のレシピセットのその１つがサブシステムＡのためのものであることを決定し、（ｎ＋１）番目のレシピセットの別の１つを含むパケット内の宛先アドレスから識別を行って、（ｎ＋１）番目のレシピセットのその別の１つがサブシステムＢのためのものであることを決定し、（ｎ＋１）番目のレシピセットの更に別の１つを含むパケット内の宛先アドレスから識別を行って、（ｎ＋１）番目のレシピセットのその更に別の１つがサブシステムＣのためのものであることを決定する。マスタコントローラ１０６は、サブシステムＡのための（ｎ＋１）番目のレシピセットを含むパケットを、転送媒体１１０Ａを通してサブシステムコントローラＡに送信し、サブシステムＢのための（ｎ＋１）番目のレシピセットを含むパケットを、転送媒体１１０Ｂを通してサブシステムコントローラＢに送信し、サブシステムＣのための（ｎ＋１）番目のレシピセットを含むパケットを、転送媒体１１０Ｃを通してサブシステムコントローラＣに送信する。

【0052】

非パケット化プロトコルが適用される一部の実施形態では、コマンドコントローラ１０２からサブシステムＡ、Ｂ、及びＣのための（ｎ＋１）番目のレシピセットを受信すると、マスタコントローラ１０６は、（ｎ＋１）番目のレシピセットの１つの中の宛先アドレスから、（ｎ＋１）番目のレシピセットのその１つがサブシステムＡのためのものであると識別し、（ｎ＋１）番目のレシピセットの別の１つの中の宛先アドレスから、（ｎ＋１）番目のレシピセットのその別の１つがサブシステムＢのためのものであると識別し、（ｎ＋１）番目のレシピセットの更に別の１つの中の宛先アドレスから、（ｎ＋１）番目のレシピセットのその更に別の１つがサブシステムＣのためのものであると識別する。マスタコントローラ１０６は、サブシステムＡのための（ｎ＋１）番目のレシピセットを、パラレル方式又はシリアル方式で、転送媒体１１０Ａを通してサブシステムコントローラＡに送信し、サブシステムＢのための（ｎ＋１）番目のレシピセットを、パラレル方式又はシリアル方式で、転送媒体１１０Ｂを通してサブシステムコントローラＢに送信し、サブシステムＣのための（ｎ＋１）番目のレシピセットを、パラレル方式又はシリアル方式で、転送媒体１１０Ｃを通してサブシステムコントローラＣに送信する。

【0053】

Ａ、Ｂ、及びＣのサブシステムのための（ｎ＋１）番目のレシピセットは、マスタコントローラ１０６によって、対応するサブシステムコントローラＡ、Ｂ、及びＣに、例えばクロック信号の第１のクロックサイクル中になど、同時に送信される。第１のクロックサイクルの例として、クロックサイクルＣ１や時間ｔｓなどが挙げられる。実例を挙げると、Ａ、Ｂ、及びＣサブシステムのための（ｎ＋１）番目のレシピセットは、対応するサブシステムコントローラＡ、Ｂ、及びＣに（ｎ＋１）番目のレシピセットを同期方式で送信するために、第１のクロックサイクルの立ち上がりエッジ中又は立ち下がりエッジ中に送信される。クロック信号は、例えば発振器や、位相ロックループを伴う発振器などの、クロック源によって生成される。

【0054】

一実施形態では、クロック信号は、コンピューティングデバイス１０８内に位置付けられたクロック源によって生成される。この実施形態では、クロック信号は、クロック源から、コマンドコントローラ１０２、マスタコントローラ１０６、サブシステムコントローラＡ、サブシステムコントローラＢ、サブシステムコントローラＣ、並びに／又はサブシステムＡ、Ｂ、及びＣ内の任意のコントローラ若しくはプロセッサに送信される。

【0055】

一実施形態では、クロック信号は、コンピューティングデバイス１０８の外に位置付けられてマスタコントローラ１０６に接続されたクロック源によって生成される。この実施形態では、クロック信号は、クロック源から、コマンドコントローラ１０２、マスタコントローラ１０６、サブシステムコントローラＡ、サブシステムコントローラＢ、サブシステムコントローラＣ、並びに／又はサブシステムＡ、Ｂ、及びＣ内の任意のコントローラ若しくはプロセッサに送信される。

【0056】

一部の実施形態では、クロック信号は、マスタコントローラ１０６内に位置付けられたクロック源によって生成される。この実施形態では、クロック信号は、クロック源から、コマンドコントローラ１０２、マスタコントローラ１０６のプロセッサ、サブシステムコントローラＡ、サブシステムコントローラＢ、サブシステムコントローラＣ、並びに／又はサブシステムＡ、Ｂ、及びＣ内の任意のコントローラ若しくはプロセッサに送信される。

【0057】

入力機器を通してユーザからの入力が受信されると、コマンドコントローラ１０２は、レシピイベント信号１０４を生成する。レシピイベント信号１０４の一例として、デジタル出力信号又はアナログ出力信号が挙げられる。レシピイベント信号１０４は、コマンドコントローラ１０２から、通信媒体１２６及び通信媒体１２０を通してマスタコントローラ１０６に送信され、通信媒体１２６、通信媒体１２４、及び通信媒体１２２Ａを通してサブシステムコントローラＡに送信され、通信媒体１２６、通信媒体１２４、及び通信媒体１２２Ｂを通してサブシステムコントローラＢに送信され、通信媒体１２６、通信媒体１２４、及び通信媒体１２２Ｃを通してサブシステムコントローラＣに送信される。通信媒体の一例として、ワイヤ、又はケーブル、又は有線媒体と無線媒体との組み合わせが挙げられる。

【0058】

レシピイベント信号１０４は、対応するサブシステムコントローラＡ、Ｂ、及びＣによる（ｎ＋１）番目のレシピセットの実行の時間ｔｅを示す。例えば、レシピイベント信号１０４の受信を受けて、サブシステムコントローラＡは、サブシステムＡのための（ｎ＋１）番目のレシピセットを、そのサブシステムＡのための（ｎ＋１）番目のレシピセットをリンク１１４Ａを通してサブシステムＡに送信することによって実行する。更に、レシピイベント信号１０４の受信を受けて、サブシステムコントローラＢは、サブシステムＢのための（ｎ＋１）番目のレシピセットを、そのサブシステムＢのための（ｎ＋１）番目のレシピセットをリンク１１４Ｂを通してサブシステムＢに送信することによって実行する。また、レシピイベント信号１０４の受信を受けて、サブシステムコントローラＣは、サブシステムＡのための（ｎ＋１）番目のレシピセットを、そのサブシステムＣのための（ｎ＋１）番目のレシピセットをリンク１１４Ｃを通してサブシステムＣに送信することによって実行する。対応するサブシステムコントローラＡ、Ｂ、及びＣによる（ｎ＋１）番目のレシピセットの実行の時間は、第１のクロックサイクルに続く、例えばＣ２、Ｃ３、Ｃ４、Ｃ５、Ｃ６、時間ｔｅなどの第２のクロックサイクル中に生じる。例えば、第１のクロックサイクルは、第２のクロックサイクル中に先行する。別の例として、第２のクロックサイクルは、第１のクロックサイクルに続く１つ以上のクロックサイクルの後に生じる。この１つ以上のクロックサイクルは、第２のクロックサイクルに先行する。第２のクロックサイクル、及び第１のクロックサイクルと第２のクロックサイクルとの間の任意のクロックサイクルは、上記クロック信号のサイクルである。

【0059】

レシピイベント信号１０４は、サブシステムコントローラから対応するサブシステムへの（ｎ＋１）番目のレシピセットの例えば送信などの実行をトリガする働きをする。例えば、サブシステムＡのための（ｎ＋１）番目のレシピセットを受信した後、サブシステムコントローラＡは、コマンドコントローラ１０２からのレシピイベント信号１０４の受信を待機する。待機後、レシピイベント信号１０４を受信すると、サブシステムコントローラＡは、即座に、サブシステムＡのための（ｎ＋１）番目のレシピセットをサブシステムＡに送信する。実例を挙げると、サブシステムコントローラＡによってコマンドコントローラ１０２からレシピイベント信号１０４が受信されるのと同じクロックサイクル中に、サブシステムコントローラＡは、リンク１１４Ａを通してサブシステムＡのための（ｎ＋１）番目のレシピセットをサブシステムＡに送信する。別の例として、サブシステムＡのための（ｎ＋１）番目のレシピセットを受信した後、サブシステムコントローラＡは、コマンドコントローラ１０２からのレシピイベント信号１０４の受信を待機する。待機時間中に、サブシステムコントローラＡは、サブシステムＡのための（ｎ＋１）番目のレシピセットを含むパケットの中のフレームクロックシーケンス（ＦＣＳ）フィールド内のビットにしたがって、エラーチェックを実施する。実例を挙げると、サブシステムコントローラＡは、Ｅｔｈｅｒｎｅｔパケットのペイロードフィールド内に格納された（ｎ＋１）番目のレシピセットのビットからシーケンスを算出し、算出されたシーケンスがＦＣＳフィールド内のビットと一致するかどうかを決定する。一致しないと決定されたら、サブシステムコントローラＡは、エラーフラグを生成してマスタコントローラ１０６及び／又はコマンドコントローラ１０２に送信する。反対に、一致すると決定されたら、サブシステムコントローラＡは、サブシステムコントローラＡの受信バッファからサブシステムコントローラＡの送信バッファにＥｔｈｅｒｎｅｔパケットを転送し、レシピイベント信号１０４の受信を待機する。レシピイベント信号が受信されるクロックサイクル中に、サブシステムコントローラＡは、ＥｔｈｅｒｎｅｔパケットをサブシステムＡに、例えば伝送するなどのように送信する。

【0060】

レシピイベント信号１０４は、（ｎ＋１）番目のレシピセットの実行を指示する。例えば、サブシステムコントローラによってコマンドコントローラ１０２又はマスタコントローラ１０６からレシピイベント信号１０４が受信される、例えばクロックサイクル中などの時点で、サブシステムコントローラは、（ｎ＋１）番目のレシピセットを、処理のために対応するサブシステムに送信する。

【0061】

レシピイベント信号１０４は、サブシステムのためのサブシステムコントローラによって受信されるときに、レシピセットの処理の即座の起動を示している。例えば、レシピイベント信号１０４が、例えばクロックサイクル中などの或る時点でサブシステムコントローラＡによってコマンドコントローラ１０２又はマスタコントローラ１０６から受信されるとき、サブシステムコントローラＡは、例えば同じクロックサイクル中、クロックサイクルの立ち上がりエッジ中、クロックサイクルの立ち下がりエッジ中など即座に、対応するサブシステムのための（ｎ＋１）番目のレシピセットをそのサブシステムによる処理のために送信する。

【0062】

サブシステムコントローラと、対応するサブシステムとの間における通信方式の例が、米国特許出願第１４／９７４，９１５号で提供されている。例えば、通信プロトコルは、サブシステムＡのための（ｎ＋１）番目のレシピセットをリンク１１４Ａを通してサブシステムＡに転送するために、サブシステムコントローラＡによって適用される。別の例として、通信プロトコルは、サブシステムＢのための（ｎ＋１）番目のレシピセットをリンク１１４Ｂを通してサブシステムＢに転送するために、サブシステムコントローラＢによって適用される。

【0063】

サブシステムのための（ｎ＋１）番目のレシピセットを受信すると、サブシステムは、基板の処理を促すために、サブシステムのための（ｎ＋１）番目のレシピセットを処理する。例えば、サブシステムＡがＲＦ発生器であるときは、ＲＦ発生器の例えばプロセッサＰＡなどのプロセッサは、或る電力量及び周波数のＲＦ信号を、ＲＦ信号のドライバ及び増幅器に送信する。ドライバは、プロセッサから受信された信号から電流信号を生成し、増幅器は、その電流信号を増幅して増幅電流信号を生成する。増幅電流信号は、上記の電力量及び周波数を有するＲＦ信号を生成するために、ＲＦ電源に提供される。上記の電力量及び周波数は、サブシステムＡのための（ｎ＋１）番目のレシピセット内にある。別の例として、サブシステムＢが圧力サブシステムであるときは、圧力コントローラのプロセッサＰＢなどのプロセッサは、圧力サブシステムのモータを駆動してモータのロータを回転させるために、圧力サブシステムのドライバに信号を送信する。ロータの回転は、閉じ込めリングの移動量を制御し、そうして更に、プラズマチャンバ内に或る大きさの圧力を実現する。上記の圧力の大きさは、サブシステムＢのための（ｎ＋１）番目のレシピセット内に提供されている。更に別の例として、サブシステムＣが温度サブシステムであるときは、温度コントローラの例えばプロセッサＰＣなどの温度プロセッサは、或る量の電流を生成するために、温度サブシステムのドライバに信号を送信する。ドライバは、上記の量の電流を生成し、その電流をヒータに提供する。電流を受け取ると、ヒータは、プラズマチャンバを加熱するための熱を生成し、プラズマチャンバ内を或る温度にする。上記の温度は、サブシステムＣのための（ｎ＋１）番目のレシピセット内に提供されている。

【0064】

別の例として、サブシステムＡがギャップサブシステムであるときは、ギャップコントローラの例えばプロセッサＰＡなどのギャッププロセッサは、或る量の電流を生成するために、ギャップサブシステムのドライバに信号を送信し、生成された電流は、サブシステムＡのモータに提供されて、モータのロータを回転させる。ロータの回転は、サブシステムＡの１本以上のロッドを回転させて、上部電極と下部電極との間に或る大きさのギャップを実現する。上記のギャップの大きさは、サブシステムＡのための（ｎ＋１）番目のレシピセット内に提供されている。更に別の例として、サブシステムＢがガスフローサブシステムであるときは、ガスフローコントローラの例えばプロセッサＰＢなどのガスフロープロセッサは、ドライバに信号を送信し、これは、サブシステムＢのモータを駆動するための電流を生成する。モータのロータは、回転して弁の位置を変化させ、そうして更に、サブシステムＢのガス源からサブシステムＢの管を経てプラズマチャンバに至る或る量のガスフローを実現する。上記のガスフローの量は、サブシステムＢのための（ｎ＋１）番目のレシピセット内に提供されている。

【0065】

別の例として、サブシステムＣがインピーダンス整合回路網であるときは、インピーダンス整合回路網の例えばプロセッサＰＣなどのプロセッサは、電流を生成するために、インピーダンス整合回路網のドライバの１つに信号を送信する。電流は、インピーダンス整合回路網のモータの１つに提供されて、そのモータのロータを回転させ、そうして更に、インピーダンス整合回路網の１つ以上のコンデンサの１つの板間の面積を変化させて、コンデンサを或るキャパシタンスにする。同様に、インピーダンス整合回路網のプロセッサは、電流を生成するために、インピーダンス整合回路網のドライバの別の１つに信号を送信する。電流は、インピーダンス整合回路網のモータの別の１つに提供されて、そのモータのロータを回転させ、そうして更に、インピーダンス整合回路網のインダクタのコアの位置を変化させて、インダクタを或るインダクタンスにする。キャパシタンス及びインダクタンスは、サブシステムＣのための（ｎ＋１）番目のレシピセット内に提供されている。

【0066】

留意すべきは、図１Ａ−１には、３つのサブシステムＡ、Ｂ、及びＣが示されているが、一実施形態では、任意の数のサブシステムが使用されることである。例えば、３つのサブシステムに代わり、２つのサブシステム及び対応する２つのサブシステムコントローラが使用される。別の例として、１つのサブシステム及び１つのサブシステムコントローラが使用される。

【0067】

一実施形態では、コマンドコントローラ１０２、マスタコントローラ１０６、サブシステムコントローラＡ、サブシステムコントローラＢ、及びサブシステムコントローラＣは、１つ以上のトランシーバを含み、これは、ギガビット物理層を実装する。１つ以上のトランシーバは、パケットの送受信に使用される。

【0068】

一部の実施形態では、コントローラのトランシーバは、コントローラのプロセッサに接続される。

【0069】

幾つかの実施形態では、コントローラによって実施されるものとして本明細書で説明される機能が、コントローラのプロセッサによって実施される。

【0070】

様々な実施形態において、レシピイベント信号１０４は、転送媒体１１０Ａと同様な第１の転送媒体を通してサブシステムコントローラＡに送信される。第１の転送媒体は、コマンドコントローラ１０２をサブシステムコントローラＡに接続する。更に、レシピイベント信号１０４は、転送媒体１１０Ｂと同様な第２の転送媒体を通してサブシステムコントローラＢに送信される。第２の転送媒体は、コマンドコントローラ１０２をサブシステムコントローラＢに接続する。また、レシピイベント信号１０４は、転送媒体１１０Ｃと同様な第３の転送媒体を通してサブシステムコントローラＡに送信される。第３の転送媒体は、コマンドコントローラ１０２をサブシステムコントローラＣに接続する。

【0071】

一部の実施形態では、サブシステムコントローラＡは、例えば（ｎ＋１）番目のレシピセットなどの各レシピセットの受信の確認を、転送媒体１１０Ａを通してマスタコントローラ１０６に送信し、マスタコントローラ１０６は、確認の受信を受けて、その確認を、転送媒体１１２を通してコマンドコントローラ１０２に送信する。同様に、サブシステムコントローラＢは、例えば（ｎ＋１）番目のレシピセットなどの各レシピセットの受信の確認を、転送媒体１１０Ｂを通してマスタコントローラ１０６に送信し、マスタコントローラ１０６は、確認の受信を受けて、その確認を、転送媒体１１２を通してコマンドコントローラ１０２に送信する。更に、サブシステムコントローラＣは、例えば（ｎ＋１）番目のレシピセットなどの各レシピセットの受信の確認を、転送媒体１１０Ｃを通してマスタコントローラ１０６に送信し、マスタコントローラ１０６は、確認の受信を受けて、その確認を、転送媒体１１２を通してコマンドコントローラ１０２に送信する。

【0072】

様々な実施形態において、確認は、サブシステムによって、レシピセットの受信後にマスタコントローラ１０６に送信される。例えば、或る確認が、サブシステムコントローラによって、（ｎ＋１）番目のレシピセットの受信後にマスタコントローラ１０６に送信され、別の確認が、サブシステムコントローラによって、（ｎ＋２）番目のレシピセットの受信後にマスタコントローラ１０６に送信され、以下同様である。

【0073】

一部の実施形態では、レシピセットは、パケット内のペイロードとして送信され、各レシピセットは、それぞれ異なるパケットに入れて送信される。例えば、（ｎ＋１）番目のレシピセットは、（ｎ＋１）番目のパケットに入れて送信され、（ｎ＋２）番目のレシピセットは、（ｎ＋２）番目のパケットに入れて送信される。（ｎ＋２）番目のパケットは、（ｎ＋１）番目のパケットに続く。

【0074】

図１Ａ−２は、サブシステムＡ、Ｂ、及びＣが図示されていないことを除いて図１Ａ−１のシステム１００と同様である、システム１５０の一実施形態の図である。システム１５０は、リンク１１０Ａ、１１０Ｂ、及び１１０Ｃが通信プロトコルを適用するリンクであることを説明するために使用される。例えば、サブシステムＡ、Ｂ、及びＣのための（ｎ＋１）番目のレシピセットを含むＥｔｈｅｒｎｅｔパケットは、マスタコントローラ１０６から、スレーブコントローラである対応するサブシステムコントローラＡ、Ｂ、及びＣに通信される。

【0075】

図１Ｂ−１は、入力機器を通してユーザから入力信号を受信することを伴わないサブシステムコントローラＡ、Ｂ、及びＣとマスタコントローラ１０６との間における同期化を説明するための、システム１６０の一実施形態の図である。第１のクロック中に、マスタコントローラ１０６は、サブシステムＡのための（ｎ＋１）番目のレシピセットを、通信媒体１１０Ａを通してサブシステムコントローラＡに送信し、サブシステムＢのための（ｎ＋１）番目のレシピセットを、通信媒体１１０Ｂを通してサブシステムコントローラＢに送信し、サブシステムＣのための（ｎ＋１）番目のレシピセットを、通信媒体１１０Ｃを通してサブシステムコントローラＣに送信する。例えば、マスタコントローラ１０６は、通信プロトコルを適用し、サブシステムＡのための（ｎ＋１）番目のレシピセットを含むパケットを生成し、そのパケットを、クロック信号の例えばサイクルＣ１などの第１のクロックサイクル中に、転送媒体１１０Ａを通してサブシステムコントローラＡに送信する。別の例として、マスタコントローラ１０６は、通信プロトコルを適用し、サブシステムＢのための（ｎ＋１）番目のレシピセットを含むパケットを生成し、そのパケットを、クロック信号の第１のクロックサイクル中に、転送媒体１１０Ｂを通してサブシステムコントローラＢに送信する。更に、尚も別の例として、マスタコントローラ１０６は、通信プロトコルを適用して、サブシステムＣのための（ｎ＋１）番目のレシピセットを含むパケットを生成し、そのパケットを、クロック信号の第１のクロックサイクル中に、転送媒体１１０Ｃを通してサブシステムコントローラＣに送信する。別の例として、マスタコントローラ１０６は、非パケット化通信プロトコルを適用し、（ｎ＋１）番目のレシピセットをシリアル方式又はパラレル方式で転送媒体１１０Ａを通してサブシステムコントローラＡに送信し、非パケット化通信プロトコルを適用し、（ｎ＋１）番目のレシピセットをシリアル方式又はパラレル方式で転送媒体１１０Ｂを通してサブシステムコントローラＢに送信し、非パケット化通信プロトコルを適用して、（ｎ＋１）番目のレシピセットをシリアル方式又はパラレル方式で転送媒体１１０Ｃを通してサブシステムコントローラＣに送信する。

【0076】

マスタコントローラ１０６から（ｎ＋１）番目のレシピセットを受信すると、サブシステムコントローラＡ、Ｂ、及びＣは、（ｎ＋１）番目のレシピセットを対応するサブシステムＡ、Ｂ、及びＣに送信する前に、レシピイベント信号１０４の受信を待機する。マスタコントローラ１０６は、レシピイベント信号１０４を生成し、そのレシピイベント信号１０４を、通信媒体１６２及び通信媒体１６４Ａを通してサブシステムコントローラＡに送信する。更に、マスタコントローラ１０６は、レシピイベント信号１０４を、通信媒体１６２及び通信媒体１６４Ｂを通してサブシステムコントローラＢに送信し、レシピイベント信号１０４を、通信媒体１６２及び通信媒体１６４Ｃを通してサブシステムコントローラＣに送信する。レシピイベント信号１０４は、サブシステムコントローラＡ、Ｂ、及びＣによる（ｎ＋１）番目のレシピセットの実行の時間を示している。マスタコントローラ１０６は、クロック信号の例えばクロックサイクルＣ２などの第２のクロックサイクル中に、レシピイベント信号１０４をサブシステムコントローラＡ、Ｂ、及びＣに送信する。

【0077】

サブシステムコントローラＡ、Ｂ、及びＣによる（ｎ＋１）番目のレシピセットの実行の時間は、サブシステムコントローラＡ、Ｂ、及びＣによってマスタコントローラ１０６からレシピイベント信号１０４が受信される時間である。例えば、サブシステムコントローラＡ、Ｂ、及びＣによってレシピイベント信号１０４が受信される例えばクロックサイクルＣ２などのクロックサイクル中に、サブシステムコントローラＡ、Ｂ、及びＣは、（ｎ＋１）番目のレシピセットを実行する。

【0078】

サブシステムコントローラＡ、Ｂ、及びＣは、（ｎ＋１）番目のレシピセットを対応するサブシステムＡ、Ｂ、及びＣに送信することによって、（ｎ＋１）番目のレシピセットを実行する。例えば、レシピイベント信号１０４の受信を受けて、サブシステムコントローラＡは、即座に、リンク１１４Ａを通してサブシステムＡのための（ｎ＋１）番目のレシピセットをサブシステムＡに送信する。実例を挙げると、レシピイベント信号１０４が受信されるクロックサイクルＣ２中に、サブシステムコントローラＡは、リンク１１４Ａを通してサブシステムＡのための（ｎ＋１）番目のレシピセットをサブシステムＡによる処理のためにサブシステムＡに送信する。別の例として、レシピイベント信号１０４の受信を受けて、サブシステムコントローラＢは、即座に、リンク１１４Ｂを通してサブシステムＢのための（ｎ＋１）番目のレシピセットをサブシステムＢによる処理のためにサブシステムＢに送信する。実例を挙げると、レシピイベント信号１０４が受信されるクロックサイクルＣ２中に、サブシステムコントローラＢは、リンク１１４Ｂを通してサブシステムＢのための（ｎ＋１）番目のレシピセットをサブシステムＢに送信する。更に別の例として、レシピイベント信号１０４の受信を受けて、サブシステムコントローラＣは、即座に、リンク１１４Ｃを通してサブシステムＣのための（ｎ＋１）番目のレシピセットをサブシステムＣによる処理のためにサブシステムＣに送信する。実例を挙げると、レシピイベント信号１０４が受信されるクロックサイクルＣ２中に、サブシステムコントローラＣは、リンク１１４Ｃを通してサブシステムＣのための（ｎ＋１）番目のレシピセットをサブシステムＣに送信する。

【0079】

様々な実施形態において、レシピイベント信号１０４は、転送媒体１１０Ａを通してマスタコントローラ１０６からサブシステムコントローラＡに送信される。更に、レシピイベント信号１０４は、転送媒体１１０Ｂを通してマスタコントローラ１０６からサブシステムコントローラＢに送信され、転送媒体１１０Ｃを通してマスタコントローラ１０６からサブシステムコントローラＣに送信される。

【0080】

図１Ｂ−２は、サブシステムＡ、Ｂ、及びＣが図示されていないことを除いて図１Ｂ−１のシステム１６０と同様である、システム１８０の一実施形態の図である。システム１８０は、リンク１１０Ａ、１１０Ｂ、及び１１０Ｃが通信プロトコルを適用することを説明するために使用される。例えば、サブシステムＡ、Ｂ、及びＣのための（ｎ＋１）番目のレシピセットを含むパケットは、マスタコントローラ１０６から、スレーブコントローラである対応するサブシステムコントローラＡ、Ｂ、及びＣに通信される。更に、レシピイベント信号１０４は、マスタコントローラ１０６によって生成されて、サブシステムコントローラＡ、Ｂ、及びＣに送信される。

【0081】

図１Ｃは、マスタコントローラ１０６から受信されるレシピイベント信号にしたがったサブシステムＡ、Ｂ、及びＣの同期化を説明するための、システム１９０の一実施形態の図である。マスタコントローラ１０６は、転送媒体１７２Ａを通してサブシステムＡに接続され、転送媒体１７２Ｂを通してサブシステムＢに接続され、転送媒体１７２Ｃを通してサブシステムＣに接続される。更に、マスタコントローラ１０６は、通信媒体１９２及び通信媒体１９４Ａを通してサブシステムＡに接続され、通信媒体１９２及び通信媒体１９４Ｂを通してサブシステムＢに接続され、通信媒体１９２及び通信媒体１９４Ｃを通してサブシステムＣに接続される。

【0082】

マスタコントローラ１０６は、サブシステムＡによる実行及び処理のための（ｎ＋１）番目のレシピセットをサブシステムＡのプロセッサＰＡに送信し、サブシステムＢによる実行及び処理のための（ｎ＋１）番目のレシピセットをサブシステムＢのプロセッサＰＢに送信し、サブシステムＣによる実行及び処理のための（ｎ＋１）番目のレシピセットをサブシステムＣのプロセッサＰＣに送信する。例えば、マスタコントローラ１０６は、サブシステムＡのための（ｎ＋１）番目のレシピセットを含むパケットを生成するために通信プロトコルを適用しそのパケットを転送媒体１７２Ａを通してサブシステムＡに送信することによって、サブシステムＡのための（ｎ＋１）番目のレシピセットを転送媒体１７２Ａを通して送信する。別の例として、マスタコントローラ１０６は、サブシステムＢのための（ｎ＋１）番目のレシピセットを含むパケットを生成するために通信プロトコルを適用しそのパケットを転送媒体１７２Ｂを通してサブシステムＢに送信することによって、サブシステムＢのための（ｎ＋１）番目のレシピセットを転送媒体１７２Ｂを通して送信する。別の例として、マスタコントローラ１０６は、サブシステムＣのための（ｎ＋１）番目のレシピセットを含むパケットを生成するために通信プロトコルを適用しそのパケットを転送媒体１７２Ｃを通してサブシステムＣに送信することによって、サブシステムＣのための（ｎ＋１）番目のレシピセットを転送媒体１７２Ｃを通して送信する。更に別の例として、マスタコントローラ１０６は、シリアル方式又はパラレル方式で、転送媒体１７２Ａを通してサブシステムＡのための（ｎ＋１）番目のレシピセットをサブシステムＡに送信し、シリアル方式又はパラレル方式で、転送媒体１７２Ｂを通してサブシステムＢのための（ｎ＋１）番目のレシピセットをサブシステムＢに送信し、シリアル方式又はパラレル方式で、転送媒体１７２Ｃを通してサブシステムＣのための（ｎ＋１）番目のレシピセットをサブシステムＣに送信する。サブシステムＡ、Ｂ、及びＣへの（ｎ＋１）番目のレシピセットの送信は、クロック信号の例えば時間ｔｓやクロックサイクルＣ１などの第１のクロックサイクル中に生じる。例えば、（ｎ＋１）番目のレシピセットは、第１のクロックサイクルの立ち上がりエッジ中又は立ち下がりエッジ中に送信される。

【0083】

（ｎ＋１）番目のレシピセットを受信すると、プロセッサＰＡ、ＰＢ、及びＰＣは、例えばレシピセット及び／又はレシピセットを使用して識別されるパラメータをサブシステムＡ、Ｂ、及びＣの対応部分に送信するなどのレシピセットの実行を行う前に、レシピイベント信号１０４の受信を待機する。例えば、待機時間中に、プロセッサＰＡは、サブシステムＡのための（ｎ＋１）番目のレシピセットを含むパケットを構文解析し、そのパケットから（ｎ＋１）番目のレシピセットを抽出することによって、そのパケットを非パケット化する。パケットを非パケット化するためには、通信プロトコルが適用される。更に、プロセッサＰＡは、サブシステムＡのための（ｎ＋１）番目のレシピセット内の１つ以上の変数と、１つ以上のパラメータとのマッピングから、１つ以上のパラメータを識別する。サブシステムＡのための（ｎ＋１）番目のレシピセット内の１つ以上の変数と、１つ以上のパラメータとのマッピングは、サブシステムＡのメモリデバイス内に格納されている。パラメータの一例として、電流の量が挙げられる。変数の例として、ＲＦ信号の周波数、及び／又はＲＦ信号の電力、又はプラズマチャンバ内の圧力、又はプラズマチャンバ内へのガスフロー、プラズマチャンバ内の温度、又は上部電極と下部電極との間のギャップ、又はインピーダンス整合回路網のコンデンサのキャパシタンス、又はインピーダンス整合回路網のインダクタのインダクタンスなどが挙げられる。実例を挙げると、プロセッサＰＡは、或る電力量又は周波数を有するＲＦ信号を生成するためにサブシステムＡのドライバに提供されるべき電流を識別する。別の実例として、プロセッサＰＡは、上部電極と下部電極との間に或る大きさのギャップを形成するために、又はプラズマチャンバ内に或る圧力を実現するために、プラズマチャンバ内に或る温度を実現するために、又はプラズマチャンバ内への或る流量のガスフローを実現するために、インピーダンス整合回路網のコンデンサを或るキャパシタンスにするために、又はインピーダンス整合回路網のインダクタを或るインダクタンスにするために、サブシステムＡのドライバに提供されるべき電流を識別する。

【0084】

同様に、待機期間中に、プロセッサＰＢは、サブシステムＢのための（ｎ＋１）番目のレシピセットを含むパケットを構文解析し、そのパケットから（ｎ＋１）番目のレシピセットを抽出することによって、そのパケットを非パケット化する。更に、プロセッサＰＢは、サブシステムＢのための（ｎ＋１）番目のレシピセット内の１つ以上の変数と、１つ以上のパラメータとのマッピングから、１つ以上のパラメータを識別する。サブシステムＢのための（ｎ＋１）番目のレシピセット内の１つ以上の変数と、１つ以上のパラメータとのマッピングは、サブシステムＢのメモリデバイス内に格納されている。また、待機期間中に、プロセッサＰＣは、サブシステムＣのための（ｎ＋１）番目のレシピセットを含むパケットを構文解析し、そのパケットから（ｎ＋１）番目のレシピセットを抽出することによって、そのパケットを非パケット化する。更に、プロセッサＰＣは、サブシステムＣのための（ｎ＋１）番目のレシピセット内の１つ以上の変数と、１つ以上のパラメータとのマッピングから、１つ以上のパラメータを識別する。サブシステムＣのための（ｎ＋１）番目のレシピセット内の１つ以上の変数と、１つ以上のパラメータとのマッピングは、サブシステムＣのメモリデバイス内に格納されている。

【0085】

一実施形態では、サブシステムのプロセッサによるパケットの構文解析、パケットからの（ｎ＋１）番目のレシピセットの抽出、及び抽出された（ｎ＋１）番目のレシピセット内の１つ以上の変数とのマッピングからの１つ以上のパラメータの識別は、レシピイベント信号１０４の受信を待機する待機時間中ではなく、レシピイベント信号１０４の受信後に、プロセッサによって実施される。

【0086】

非パケット化プロトコルが適用される一部の実施形態では、パケットを構文解析してパケットから（ｎ＋１）番目のレシピセットを抽出するためにプロセッサＰＡ、ＰＢ、及びＰＣによって非パケット化を実施する必要がない。

【0087】

マスタコントローラ１０６は、レシピイベント信号１０４を生成する。レシピイベント信号１０４は、通信媒体１９２及び１９４Ａを通してマスタコントローラ１０６からプロセッサＰＡに送信され、通信媒体１９２及び１９４Ｂを通してマスタコントローラ１０６からプロセッサＰＢに送信され、通信媒体１９２及び１９４Ｃを通してマスタコントローラ１０６からプロセッサＰＣに送信される。

【0088】

レシピイベント信号１０４は、プロセッサＰＡ、ＰＢ、及びＰＣによる（ｎ＋１）番目のレシピセットの実行の時間ｔｅを示す。実行の時間は、プロセッサＰＡ、ＰＢ、及びＰＣによってレシピイベント信号１０４が受信される時間である。例えば、レシピイベント信号１０４を受信すると、プロセッサＰＡ、ＰＢ、及びＰＣは、（ｎ＋１）番目のレシピセットを、対応するサブシステムＡ、Ｂ、及びＣのドライバに信号を送信してサブシステムの一部を駆動することによって、即座に実行する。対応するドライバへの信号の送信は、プロセッサＰＡ、ＰＢ、及びＰＣによる（ｎ＋１）番目のレシピセットの実行の一例である。実例を挙げると、レシピイベント信号１０４を受信すると、プロセッサＰＡは、或る電力量及び／又は周波数を有するＲＦ信号をサブシステムＡが生成するように、サブシステムＡのドライバに即座に信号を送信する。信号は、サブシステムＡ内に格納されているマッピングから識別されるパラメータ値を含む。別の実例として、レシピイベント信号は、プロセッサＰＡがサブシステムＡのドライバに信号を送信するための例えば起動信号などのトリガとして機能し、この信号は、サブシステムＡに格納されているマッピングから識別されるパラメータ値を含む。１つの実例として、レシピイベント信号１０４がプロセッサＰＡによって受信される及び／又はマスタコントローラ１０６によってプロセッサＰＡに送信される例えばクロックサイクルＣ２などの同じクロックサイクル中に、プロセッサＰＡは、サブシステムＡのドライバに信号を送信する。この信号は、サブシステムＡに格納されているマッピングから識別されるパラメータ値を含む。

【0089】

別の実例として、レシピイベント信号１０４を受信すると、プロセッサＰＢは、プラズマチャンバ内に或る圧力又は温度を実現するために、サブシステムＢのドライバに信号を送信する。信号は、サブシステムＢ内に格納されているマッピングから識別されるパラメータ値を含む。別の実例として、レシピイベント信号は、プロセッサＰＢがサブシステムＢのドライバに信号を送信するための例えば起動信号などのトリガとして機能し、この信号は、サブシステムＢに格納されているマッピングから識別されるパラメータ値を含む。別の実例として、レシピイベント信号１０４がプロセッサＰＢによって受信される例えばクロックサイクルＣ２などの同じクロックサイクル中に、プロセッサＰＢは、サブシステムＢのドライバに信号を送信する。この信号は、サブシステムＢに格納されているマッピングから識別されるパラメータ値を含む。

【0090】

尚も別の実例として、レシピイベント信号１０４を受信すると、プロセッサＰＣは、上部電極と下部電極との間に或る大きさのギャップを実現するために、サブシステムＣのドライバに信号を送信する。信号は、サブシステムＣ内に格納されているマッピングから識別されるパラメータ値を含む。別の実例として、レシピイベント信号は、プロセッサＰＣがサブシステムＣのドライバに信号を送信するための例えば起動信号などのトリガとして機能し、この信号は、サブシステムＣに格納されているマッピングから識別されるパラメータ値を含む。別の実例として、レシピイベント信号１０４がプロセッサＰＣによって受信される例えばクロックサイクルＣ２などの同じクロックサイクル中に、プロセッサＰＣは、サブシステムＣのドライバに信号を送信する。この信号は、サブシステムＣに格納されているマッピングから識別されるパラメータ値を含む。

【0091】

プロセッサＰＡ、ＰＢ、及びＰＣからの信号は、例えばクロックサイクルＣ２や時間ｔｅなどの第２のクロックサイクル中に、対応するサブシステムＡ、Ｂ、及びＣのドライバに送信される。第２のクロックサイクルは、第１のクロックサイクルに続く。例えば、第１のクロックサイクルは、第２のクロックサイクルに先行する。別の例として、第２のクロックサイクルは、第１のクロックサイクルに続く１つ以上のクロックサイクルの後に生じる。この１つ以上のクロックサイクルは、第２のクロックサイクルに先行する。第２のクロックサイクル、及び第１のクロックサイクルと第２のクロックサイクルとの間の任意のクロックサイクルは、上記クロック信号のサイクルである。

【0092】

レシピイベント信号１０４は、（ｎ＋１）番目のレシピセットの実行を指示する。例えば、サブシステムのプロセッサによってマスタコントローラ１０６からのレシピイベント信号１０４が受信される例えばクロックサイクル中などの時点で、プロセッサは、（ｎ＋１）番目のレシピセットに基づいて識別されるパラメータを、処理のためにサブシステムのドライバに送信する。実例を挙げると、サブシステムのドライバは、サブシステムのプロセッサから受信された信号を、プラズマチャンバ内に或る圧力を実現する、プラズマチャンバ内への或る流量のガスフローを実現する、プラズマチャンバ内に或る温度を実現する、上部電極と下部電極との間に或る大きさのギャップを形成する、インピーダンス整合回路網のコンデンサを或るキャパシタンスにする、又はインピーダンス整合回路網のインダクタを或るインダクタンスにするようにモータを駆動することによって処理する。別の実例として、ＲＦ発生器のドライバは、ＲＦ発生器のデジタル信号プロセッサ（ＤＳＰ）から受信された信号を、或る電力量及び周波数を有するＲＦ信号の生成を促すための駆動信号を生成することによって処理する。ＲＦ信号は、ＲＦ発生器のＲＦ電源によって生成される。ＲＦ電源は、ドライバに接続される。一部の実施形態では、ＲＦ電源は、増幅器を通してドライバに接続され、この増幅器は、ドライバによって生成された電流信号を増幅させ、その増幅電流信号をＲＦ電源に提供する。ＲＦ電源は、増幅電流信号の受信を受けて、ＲＦ信号を生成する。

【0093】

レシピイベント信号１０４は、サブシステムのプロセッサによって受信されるときに、プロセッサによるレシピセットの実行の即座の起動を示している。例えば、レシピイベント信号１０４が、例えばクロックサイクル中などの或る時点でプロセッサＰＡによってマスタコントローラ１０６から受信されるときに、プロセッサＰＡは、例えば同じクロックサイクル中など即座に、サブシステムＡのための（ｎ＋１）番目のレシピセットから抽出された変数を実現するための信号をサブシステムのドライバに送信する。

【0094】

一部の実施形態では、図１Ａ−１及び図１Ｂ−１を参照にして上述された「第１のクロックサイクル」と、図１Ｃを参照にして上述された「第１のクロックサイクル」との間に関連性はない。同様に、図１Ａ−１及び図１Ｂ−１を参照にして上述された「第２のクロックサイクル」と、図１Ｃを参照にして上述された「第２のクロックサイクル」との間に関連性はない。図１Ｃを参照にして説明された「第１のクロックサイクル」は、図１Ａ−１及び図１Ｂ−１を参照にして説明された「第１のクロックサイクル」とは無関係であり、同様に、図１Ｃを参照にして説明された「第２のクロックサイクル」は、図１Ａ−１及び図１Ｂ−１を参照にして説明された「第２のクロックサイクル」とは無関係である。

【0095】

一実施形態では、プロセッサＰＡ、ＰＢ、及びＰＣによって実施されるものとして上述された受信及び送信の代わりに、サブシステムＡ、Ｂ、及びＣのそれぞれのトランシーバがそれらの受信及び送信を実施し、プロセッサＰＡ、ＰＢ、及びＰＣは、（ｎ＋１）番目のレシピセットに含まれて受信された変数に基づいてサブシステムのメモリデバイスからパラメータを識別することに関連する上述された残りの動作を実施する。サブシステムのトランシーバは、サブシステムのプロセッサに接続される。トランシーバは、通信プロトコルを実行するための物理層を実装する。

【0096】

様々な実施形態において、レシピイベント信号１０４は、転送媒体１７２Ａを通してマスタコントローラ１０６からサブシステムＡに送信される。更に、レシピイベント信号１０４は、転送媒体１７２Ｂを通してマスタコントローラ１０６からサブシステムＢに送信され、転送媒体１７２Ｃを通してマスタコントローラ１０６からサブシステムＣに送信される。

【0097】

一部の実施形態では、プロセッサＰＡは、例えば（ｎ＋１）番目のレシピセットなどの各レシピセットの受信の確認を、転送媒体１７２Ａを通してマスタコントローラ１０６に送信する。同様に、サブシステムＢは、レシピセットの受信の確認を、転送媒体１７２Ｂを通してマスタコントローラ１０６に送信する。更に、サブシステムコントローラＣは、レシピセットの受信の確認を、転送媒体１７２Ｃを通してマスタコントローラ１０６に送信する。

【0098】

様々な実施形態において、確認は、サブシステムによって、レシピセットの受信後にマスタコントローラ１０６に送信される。例えば、確認は、サブシステムによって、（ｎ＋１）番目のレシピセットの受信後にマスタコントローラ１０６に送信され、別の確認は、サブシステムによって、（ｎ＋２）番目のレシピセットの受信後にマスタコントローラ１０６に送信され、以下同様である。

【0099】

図１Ｄは、サブシステムコントローラＡ、Ｂ、及びＣとサブシステムＡ、Ｂ、及びＣとの間における同期化を説明するための、システム１９０の一実施形態の図である。プロセッサＰＡ、ＰＢ、及びＰＣは、例えばサイクルＣ１や時間ｔｓなどの第１のクロックサイクル中に、対応するサブシステムコントローラＡ、Ｂ、及びＣから（ｎ＋１）番目のレシピセットを受信する。例えば、プロセッサＰＡは、サブシステムＡのための（ｎ＋１）番目のレシピセットをサブシステムコントローラＡから受信し、プロセッサＰＢは、サブシステムＢのための（ｎ＋１）番目のレシピセットをサブシステムコントローラＢから受信し、プロセッサＰＣは、サブシステムＣのための（ｎ＋１）番目のレシピセットをサブシステムコントローラＣから受信する。

【0100】

一部の実施形態では、サブシステムコントローラＡ、Ｂ、及びＣは、サブシステムコントローラＡ、Ｂ、及びＣによる、対応するサブシステムＡ、Ｂ、及びＣへの（ｎ＋１）番目のレシピセットの送信を同期化するために、例えばマスタコントローラ１０６や、コマンドコントローラ１０２（図１Ａ−１）などの別のコントローラ、又は例えば発振器や、位相ロックループを伴う発振器などのクロック源などから、クロック信号を提供される。様々な実施形態において、クロック源は、サブシステムコントローラＡ、Ｂ，及びＣのうちの１つのサブシステムコントローラ内に位置付けられ、１つ以上の通信媒体を通してサブシステムコントローラＡ、Ｂ、及びＣのうちの残りのサブシステムコントローラに接続される。

【0101】

プロセッサＰＡ、ＰＢ、及びＰＣは、例えばマスタコントローラ１０６又はコマンドコントローラ１０２などの他のコントローラからレシピイベント信号１０４が受信されるまで、（ｎ＋１）番目のレシピセットから識別された１つ以上のパラメータを対応するサブシステムＡ、Ｂ、及びＣのドライバに送信するのを待機する。留意すべきは、上記他のコントローラが、１つ以上の通信媒体を通してプロセッサＰＡに、１つ以上の通信媒体を通してプロセッサＰＢに、１つ以上の通信媒体を通してプロセッサＰＣに、レシピイベント信号１０４を送信することである。レシピイベント信号１０４の受信を受けて、プロセッサＰＡは、サブシステムＡのメモリデバイスに格納されているマッピングを使用して識別されたパラメータを含む信号を、サブシステムＡのドライバに送信する。例えば、プロセッサＰＡによってレシピイベント信号１０４が受信される例えばクロックサイクルＣや時間ｔｅなどの第２のクロックサイクル中に、プロセッサＰＡは、サブシステムＡに格納されているマッピングを使用して識別されたパラメータを含む信号を、サブシステムＡのドライバに送信する。更に、レシピイベント信号１０４の受信を受けて、プロセッサＰＢは、サブシステムＢのメモリデバイスに格納されているマッピングを使用して識別されたパラメータを含む信号を、サブシステムＢのドライバに送信する。例えば、プロセッサＰＢによってレシピイベント信号１０４が受信される第２のクロックサイクル中に、プロセッサＰＢは、サブシステムＢに格納されているマッピングを使用して識別されたパラメータを含む信号を、サブシステムＢのドライバに送信する。また、レシピイベント信号１０４の受信を受けて、プロセッサＰＣは、サブシステムＣのメモリデバイスに格納されているマッピングを使用して識別されたパラメータを含む信号を、サブシステムＣのドライバに送信する。例えば、プロセッサＰＣによってレシピイベント信号１０４が受信される第２のクロックサイクル中に、プロセッサＰＣは、サブシステムＡに格納されているマッピングを使用して識別されたパラメータを含む信号を、サブシステムＣのドライバに送信する。レシピイベント信号１０４は、パラメータ値を含む信号をプロセッサＰＡ、ＰＢ、及びＰＣのそれぞれから対応するサブシステムＡ、Ｂ、及びＣの対応するドライバに送信するための例えば起動などのトリガとして機能する。

【0102】

留意すべきは、一部の実施形態では、図１Ａ−１及び図１Ｂ−１又は図１Ｃを参照にして上述された「第１のクロックサイクル」と、図１Ｄを参照にして上述された「第１のクロックサイクル」との間に関連性はないことである。同様に、図１Ａ−１及び図１Ｂ−１又は図１Ｃを参照にして上述された「第２のクロックサイクル」と、図１Ｄを参照にして上述された「第２のクロックサイクル」との間に関連性はない。図１Ｄを参照にして説明された「第１のクロックサイクル」は、図１Ａ−１及び図１Ｂ−１又は図１Ｃを参照にして説明された「第１のクロックサイクル」とは無関係であり、同様に、図１Ｄを参照にして説明された「第２のクロックサイクル」は、図１Ａ−１及び図１Ｂ−１又は図１Ｃを参照にして説明された「第２のクロックサイクル」とは無関係である。

【0103】

一部の実施形態では、プロセッサＰＡは、例えば（ｎ＋１）番目のレシピセットなどの各レシピセットの受信の確認を、転送媒体１１４Ａを通してサブシステムコントローラＡに送信する。同様に、プロセッサＰＢは、レシピセットの受信の確認を、転送媒体１１４Ｂを通してサブシステムコントローラＢに送信する。更に、プロセッサＰＣは、レシピセットの受信の確認を、転送媒体１１４Ｃを通してサブシステムコントローラＣに送信する。

【0104】

様々な実施形態において、確認は、サブシステムによって、そのサブシステムに接続された対応するサブシステムコントローラに送信される。確認は、各レシピセットの受信後に送信される。例えば、確認は、サブシステムＡのプロセッサＰＡによって、（ｎ＋１）番目のレシピセットの受信後にサブシステムコントローラＡに送信され、別の確認は、プロセッサＰＡによって、（ｎ＋２）番目のレシピセットの受信後にサブシステムコントローラＡに送信され、以下同様である。

【0105】

図１Ｅは、ユーザインターフェース（ＵＩ）コンピュータ１５３とＲＦ発生器コントローラ１５５Ａ、１５５Ｂ、及び１５５Ｃとの間における同期化を示すための、システム１５１の一実施形態の図である。ＵＩコンピュータ１５３は、図１Ａ−１のコンピューティングデバイス１０８の一例である。更に、ＲＦ発生器コントローラ１５５Ａは、サブシステムコントローラＡ（図１Ａ−１）の一例であり、ＲＦ発生器コントローラ１５５Ｂは、サブシステムコントローラＢ（図１Ａ−１）の一例であり、ＲＦ発生器コントローラ１５５Ｃは、サブシステムコントローラＣ（図１Ａ−１）の一例である。システム１５１は、更に、ＲＦ発生器１、２、及び３を含む。ＲＦ発生器１は、ＲＦＧ１として表示され、ＲＦ発生器２は、ＲＦＧ２として表示され、ＲＦ発生器３は、ＲＦＧ３として表示される。ＲＦ発生器１は、ｘＭＨｚ ＲＦ発生器の一例であり、ＲＦ発生器２は、ｙＭＨｚ ＲＦ発生器の一例であり、ＲＦ発生器３は、ｚＭＨｚ ＲＦ発生器の一例である。

【0106】

システム１５１の機能が、図２Ｂを参照にして説明される。図２Ｂに示されるように、ＵＩコンピュータ１５３は、転送媒体を通してＥｔｈｅｒｎｅｔプロトコルと伝送制御プロトコル（ＴＣＰ）／インターネットプロトコル（ＩＰ）又はユーザデータグラムプロトコル（ＵＤＰ）／ＩＰとを適用することによって、マスタ−マスタコントローラを通して（ｎ＋１）番目のレシピセットをマスタコントローラ１０６に送信する。一実施形態では、システム１５１は、マスタ−マスタコントローラを除外してある。一実施形態では、マスタコントローラ１０６が、マスタ−マスタコントローラによって実施される機能を実施する。

【0107】

マスタコントローラ１０６は、ＲＦ発生器１のための（ｎ＋１）番目のレシピセットをＲＦ発生器コントローラ１５５Ａに送信するために、ＲＦ発生器２のための（ｎ＋１）番目のレシピセットをＲＦ発生器コントローラ１５５Ｂに送信するために、ＲＦ発生器３のための（ｎ＋１）番目のレシピセットをＲＦ発生器コントローラ１５５Ｃに送信するために、ＴＣＰ／ＩＰプロトコル又はＵＤＰ／ＩＰプロトコルと、Ｅｔｈｅｒｎｅｔプロトコルとを適用する。例えば、図１Ｅに戻り、ＲＦ発生器１のための（ｎ＋１）番目のレシピセットは、マスタコントローラ１０６からスイッチ１５７を通してＲＦ発生器コントローラ１５５Ａに送信される。別の例として、図１Ｅに示されるように、ＲＦ発生器２のための（ｎ＋１）番目のレシピセットは、マスタコントローラ１０６からスイッチ１５７を通してＲＦ発生器コントローラ１５５Ｂに送信される。尚も別の例として、図１Ｅに示されるように、ＲＦ発生器３のための（ｎ＋１）番目のレシピセットは、マスタコントローラ１０６からスイッチ１５７を通してＲＦ発生器コントローラ１５５Ｃに送信される。スイッチ１５７の一例が、米国特許出願第１４／９７４，９１５号で説明されている。

【0108】

図２Ｂを参照すると、ＲＦ発生器コントローラ１５５Ａ、１５５Ｂ、及び１５５Ｃは、マスタコントローラ１０６から（ｎ＋１）番目のレシピセットを受信すると、（ｎ＋１）番目のレシピセットを対応するＲＦ発生器１、２、及び３送信する前に、ＵＩコンピュータ１５３からのレシピイベント信号１０４の受信を待機する。図１Ｅに戻り、ＵＩコンピュータ１５３には、例えばデジタルパルス信号生成器、アナログパルス信号生成器、プロセッサなどの信号生成器１５９が、入出力インターフェース（Ｉ／Ｏ）を通して接続されている。信号生成器１５９は、例えばデジタル信号やアナログ信号などの汎用Ｉ／Ｏ（ＧＰＩＯ）信号を生成し、その信号を、マスタ−マスタコントローラと、対応するＲＦ発生器コントローラ１５５Ａ、１５５Ｂ、及び１５５Ｃの対応するＧＰＩＯピンとを通してＲＦ発生器コントローラ１５５Ａ、１５５Ｂ、及び１５５Ｃに提供する。ＧＰＩＯ信号は、レシピイベント信号１０４の一例である。一部の実施形態では、信号生成器１５９は、ＵＩコンピュータ１５３内に位置付けられる。一部の実施形態では、ＧＰＩＯ信号は、ユーザからの入力機器を通して例えば選択やクリックなどの入力がＵＩコンピュータ１５３によって受信されたときに生成される。入力機器は、ＵＩコンピュータ１５３に接続される周辺機器である。

【0109】

図２Ｂを参照すると、例えばＧＰＩＯ信号の受信と同じクロックサイクル中などのように、ＧＰＩＯ信号の受信を受けて即座に、ＲＦ発生器コントローラ１５５Ａは、Ｅｔｈｅｒｎｅｔプロトコル及びＵＤＰ／ＩＰプロトコルを適用して、ＲＦ発生器１のための（ｎ＋１）番目のレシピセットをＲＦ発生器１に送信し、ＲＦ発生器コントローラ１５５Ｂは、Ｅｔｈｅｒｎｅｔプロトコル及びＵＤＰ／ＩＰプロトコルを適用して、ＲＦ発生器２のための（ｎ＋１）番目のレシピセットをＲＦ発生器２に送信し、ＲＦ発生器コントローラ１５５Ｃは、Ｅｔｈｅｒｎｅｔプロトコル及びＵＤＰ／ＩＰプロトコルを適用して、ＲＦ発生器３のための（ｎ＋１）番目のレシピセットをＲＦ発生器３に送信する。

【0110】

図２Ａ−１は、コントローラへの（ｎ＋１）番目のレシピセットの送信と、コントローラによるレシピセットの実行の時間との間における同期化を説明するための、タイミング図２００の一実施形態である。タイミング図２００は、（ｎ＋１）番目のパケット、（ｎ＋２）番目のパケット、及び（ｎ＋３）番目のパケットがマスタコントローラ１０６からサブシステムコントローラＡ（図１Ａ−１）に送信される一連２０２Ａを示している。更に、タイミング図２００は、（ｎ＋１）番目のパケット、（ｎ＋２）番目のパケット、及び（ｎ＋３）番目のパケットがマスタコントローラ１０６からサブシステムコントローラＢ（図１Ａ−１）に送信される一連２０２Ｂを示している。また、タイミング図２００は、（ｎ＋１）番目のパケット、（ｎ＋２）番目のパケット、及び（ｎ＋３）番目のパケットがマスタコントローラ１０６からサブシステムコントローラＣ（図１Ａ−１）に送信される一連２０２Ｃを示している。

【0111】

図１Ｃを参照にして説明される一実施形態では、一連２０２Ａのパケットは、マスタコントローラ１０６からサブシステムＡに送信され、一連２０２Ｂのパケットは、マスタコントローラ１０６からサブシステムＢに送信され、一連２０２Ｃのパケットは、マスタコントローラ１０６からサブシステムＣに送信される。

【0112】

図１Ｄを参照にして説明される一実施形態では、一連２０２Ａのパケットは、サブシステムコントローラＡからサブシステムＡに送信され、一連２０２Ｂのパケットは、サブシステムコントローラＢからサブシステムＢに送信され、一連２０２Ｃのパケットは、サブシステムコントローラＣからサブシステムＣに送信される。

【0113】

タイミング図２００は、更に、レシピイベント信号１０４の一例であるパルス信号２０４Ａを含む。タイミング図２００は、クロック信号２０２を含み、このクロック信号は、マスタコントローラ１０６、又はコマンドコントローラ１０２、又はマスタコントローラ１０６の外に位置付けられたクロック源、又はコマンドコントローラ１０２の外に位置付けられたクロック源によって生成される（図１Ａ−１）。

【0114】

一部の実施形態では、パルス信号２０４Ａの、時間ｔｅ１におけるパルスが、レシピイベント信号１０４の一例である。

【0115】

時間ｔｓ１では、本明細書で説明されるように、１つ以上のコントローラによって、サブシステムＡ、Ｂ、及びＣのための（ｎ＋１）番目のパケットが送信される。実行時間ｔｅ１では、本明細書で説明されるように、（ｎ＋１）番目のパケットが実行されることを示すためのデジタルパルスが、１つ以上のコントローラによって受信される。更に、時間ｔｅ１と同時に起きる時間ｔｓ２では、本明細書で説明されるように、サブシステムＡ、Ｂ、及びＣのための（ｎ＋２）番目のパケットが、１つ以上のコントローラによって送信される。実行時間ｔｅ２中には、本明細書で説明されるように、本明細書で説明されるように１つ以上のコントローラによって（ｎ＋２）番目のパケットが実行されることを示すためのデジタルパルスが、１つ以上のコントローラによって受信される。更に、時間ｔｅ２と同時に起きる時間ｔｓ３では、本明細書で説明されるように、サブシステムＡ、Ｂ、及びＣのための（ｎ＋３）番目のパケットが１つ以上のコントローラによって送信される。実行時間ｔｅ３中には、本明細書で説明されるように、１つ以上のコントローラによって（ｎ＋３）番目のパケットが実行されることを示すためのデジタルパルスが１つ以上のコントローラによって受信される。

【0116】

一部の実施形態では、例えばプロセッサＰＡ、又はプロセッサＰＢ、又はプロセッサＰＣなどのプロセッサが、コントローラ内に位置付けられる。

【0117】

留意すべきは、時間ｔｓ１は、クロック信号２０２の第１のクロックサイクルＣ１中に発生し、時間ｔｅ１及びｔｓ２は、クロック信号２０２の第２のクロックサイクルＣ２中に発生し、時間ｔｅ２及びｔｓ３は、クロック信号２０２の第３のクロックサイクルＣ３中に発生し、時間ｔｅ３は、クロック信号２０２の第４のクロックサイクルＣ４中に発生することである。

【0118】

更に留意すべきは、一部の実施形態では、図１Ａ−１、図１Ｂ−１、図１Ｃ、及び図１Ｄの各図を参照にして説明された第１のクロックサイクルが、図２Ａ−１を参照にして説明された第１のクロックサイクルの一例であることである。更に、これらの実施形態では、図１Ａ−１、図１Ｂ−１、図１Ｃ、及び図１Ｄの各図を参照にして説明された第２１のクロックサイクルは、図２Ａ−１を参照にして説明された第２のクロックサイクルの一例である。

【0119】

留意すべきは、様々な実施形態において、図２Ａ−１に示されたパケットのサイズが様々であることである。例えば、サブシステムＡのための一連２０２Ａのなかの（ｎ＋１）番目のパケットは、サブシステムＢのための一連２０２Ｂのなかの（ｎ＋１）番目のパケットよりも小さい又は大きいサイズのペイロードを有する。更に、サブシステムＢのための一連２０２Ｂのなかの（ｎ＋１）番目のパケットは、サブシステムＣのための一連２０２Ｃのなかの（ｎ＋１）番目のパケットよりも小さい又は大きいサイズのペイロードを有する。

【0120】

図２Ａ−２は、コントローラによるパケットの実行の時間が、コントローラによってパケットが受信される時間から、それよりも後の、パケットが実行されることを示すデジタルパルスが受信される時間に変化することを説明するための、タイミング図２１０の一実施形態である。デジタルパルスは、デジタルパルス信号２１２のパルスであり、これは、レシピイベント信号１０４の一例である。一部の実施形態では、パルス信号２１２の、時間ｔｅ１におけるパルスが、レシピイベント信号１０４の一例である。

【0121】

タイミング図に示されるように、図２Ａ−２に示された実行時間ｔｅ２は、タイミング図２００（図２Ａ−１）に示された実行時間ｔｅ２よりも前に起きる。例えば、図２Ａ−２に示された実行時間ｔｅ２は、時間ｔｓ３と同時には起きず、ｔｓ３が起きる前に起きる。別の例として、実行時間ｔｅ２は、（ｎ＋２）番目のパケットが受信される時間と、（ｎ＋３）番目のパケットの受信が終わる時間との間に起きる。

【0122】

一部の実施形態では、図２Ａ−２に示された実行時間ｔｅ１は、タイミング図２００（図２Ａ−１）に示された実行時間ｔｅ１よりも前に起きる。例えば、図２Ａ−２に示された実行時間ｔｅ１は、時間ｔｓ２と同時には起きず、ｔｓ２が起きる前に起きる。別の例として、実行時間ｔｅ１は、（ｎ＋１）番目のパケットが受信される時間と、（ｎ＋２）番目のパケットの受信が終わる時間との間に起きる。

【0123】

一部の実施形態では、パルス信号２１２のデジタルパルスは、レシピセットを受信した全てのコントローラから、それらのレシピセットの受信の確認を受信した後に、所定の時間間隔内に送信される。例えば、パルス信号２１２のデジタルパルスは、（ｎ＋１）番目のレシピセットの受信の確認の受信と、（ｎ＋２）番目のレシピセットの受信の確認の受信との間で送信される。実例を挙げると、コマンドコントローラ１０２は、マスタコントローラ１０６を通してサブシステムコントローラＡ、Ｂ、及びＣから（ｎ＋１）番目のレシピセットの受信の確認を受信した後、所定の時間間隔以内の時間ｔｅ１に、レシピイベント信号１０４の第１のデジタルパルスをマスタコントローラ１０６に送信する。（ｎ＋１）番目のレシピセットは、サブシステムコントローラＡ、Ｂ、及びＣによって、マスタコントローラ１０６から受信される。（ｎ＋１）番目のレシピセットの受信の確認は、サブシステムコントローラＡ、Ｂ、及びＣからマスタコントローラ１０６に送信され、マスタコントローラ１０６は、（ｎ＋１）番目のレシピセットの受信の確認をコマンドコントローラ１０２に送信する。実例を挙げると、レシピセットの受信の確認は、転送媒体を通してサブシステムコントローラＡからマスタコントローラ１０６に送信され、マスタコントローラ１０６は、その確認を、転送媒体１１２を通してコマンドコントローラ１０２に送信する。更に、コマンドコントローラ１０２は、マスタコントローラ１０６を通してサブシステムコントローラＡ、Ｂ、及びＣから（ｎ＋２）番目のレシピセットの受信の確認を受信した後、所定の時間間隔以内の時間ｔｅ２に、レシピイベント信号１０４の第２のデジタルパルスをマスタコントローラ１０６に送信する。（ｎ＋２）番目のレシピセットは、サブシステムコントローラＡ、Ｂ、及びＣによって、マスタコントローラ１０６から受信される。（ｎ＋２）番目のレシピセットの受信の確認は、サブシステムコントローラＡ、Ｂ、及びＣからマスタコントローラ１０６に送信され、マスタコントローラ１０６は、（ｎ＋２）番目のレシピセットの受信の確認をコマンドコントローラ１０２に送信する。一部の実施形態では、レシピセットの受信の確認は、通信媒体１２２Ａ、１２４、及び１２６を通してサブシステムコントローラＡからコマンドコントローラ１０２に送信され、レシピセットの受信の確認は、通信媒体１２２Ｂ、１２４、及び１２６を通してサブシステムコントローラＢからコマンドコントローラ１０２に送信され、レシピセットの受信の確認は、通信媒体１２２Ｃ、１２４、及び１２６を通してサブシステムコントローラＣからコマンドコントローラ１０２に送信される。

【0124】

別の実例として、マスタコントローラ１０６は、サブシステムコントローラＡ、Ｂ、及びＣから（ｎ＋１）番目のレシピセットの受信の確認を受信した後、所定の時間間隔以内の時間ｔｅ１に、レシピイベント信号１０４の第１のデジタルパルスをサブシステムコントローラＡ、Ｂ、及びＣに送信する。更に、マスタコントローラ１０６は、サブシステムコントローラＡ、Ｂ、及びＣから（ｎ＋２）番目のレシピセットの受信の確認を受信した後、所定の時間間隔以内の時間ｔｅ２に、レシピイベント信号１０４の第２のデジタルパルスをサブシステムコントローラＡ、Ｂ、及びＣに送信する。一部の実施形態では、確認は、サブシステムコントローラをマスタコントローラ１０６に接続する転送媒体を通して、サブシステムコントローラからマスタコントローラ１０６に送信される。様々な実施形態において、確認は、サブシステムコントローラをマスタコントローラ１０６に接続する１つ以上の通信媒体を通して、サブシステムコントローラからマスタコントローラ１０６に送信される。別の実例として、マスタコントローラ１０６は、プロセッサＰＡ、ＰＢ、及びＰＣから（ｎ＋１）番目のレシピセットの受信の確認を受信した後、所定の時間間隔以内の時間ｔｅ１に、レシピイベント信号１０４の第１のデジタルパルスをプロセッサＰＡ、ＰＢ、及びＰＣに送信する。更に、マスタコントローラ１０６は、プロセッサＰＡ、ＰＢ、Ｐ及びＣから（ｎ＋２）番目のレシピセットの受信の確認を受信した後、所定の時間間隔以内の時間ｔｅ２に、レシピイベント信号１０４の第２のデジタルパルスをプロセッサＰＡ、ＰＢ、及びＰＣに送信する。一部の実施形態では、確認は、サブシステムをマスタコントローラ１０６に接続する転送媒体を通して、サブシステムからマスタコントローラ１０６に送信される。様々な実施形態において、確認は、サブシステムをマスタコントローラ１０６に接続する１つ以上の通信媒体を通して、サブシステムからマスタコントローラ１０６に送信される。尚も別の実例として、サブシステムコントローラは、サブシステムのプロセッサから（ｎ＋１）番目のレシピセットの受信の確認を受信した後、所定の時間間隔以内の時間ｔｅ１に、レシピイベント信号１０４の第１のデジタルパルスをプロセッサに送信する。更に、サブシステムコントローラは、プロセッサから（ｎ＋２）番目のレシピセットの受信の確認を受信した後、所定の時間間隔以内の時間ｔｅ２に、レシピイベント信号１０４の第２のデジタルパルスをプロセッサに送信する。

【0125】

一部の実施形態では、所定の時間間隔は、入力機器を通してユーザから受信される。例えば、所定の時間間隔は、例えば（ｎ＋１）番目のパケット及び（ｎ＋２）番目のパケットなどの２つの連続するパケットの受信の確認が受信される間の時間間隔である。

【0126】

様々な実施形態において、パルス信号２１２のデジタルパルスは、送信元コントローラが、対応する１つ以上の受信先コントローラから１つ以上の確認を受信することなしに、送信元コントローラから１つ以上の受信先コントローラへのレシピセットの送信にかかった所定の長さの時間に基づいて、送信元コントローラから送信される。１つ以上の受信先コントローラは、送信元コントローラに接続されている。例えば、送信元コントローラは、送信元コントローラから１つ以上の受信先コントローラにレシピセットを通信するためにかかった所定の長さの時間が、例えばｘマイクロ秒又はｘミリ秒又はｘナノ秒などのｘ単位であることを、入力機器を通してユーザによって提供される。ｘ単位が経過するごとに、送信元コントローラは、パルス信号２１２のパルスを１つ以上の受信先コントローラに送信する。送信元コントローラの一例は、１つ以上の受信先コントローラがサブシステムコントローラＡ、Ｂ、及びＣであるときのコマンドコントローラ１０２である。送信元コントローラの別の例は、１つ以上の受信先コントローラがサブシステムコントローラＡ、Ｂ、及びＣであるときのマスタコントローラ１０６である。送信元コントローラの尚も別の例は、１つ以上の受信先コントローラがプロセッサＰＡ、ＰＢ、及びＰＣであるときのマスタコントローラ１０６である。

【0127】

様々な実施形態において、送信元コントローラから１つ以上の受信先コントローラにレシピセットを送信するためにかかった所定の長さの時間は、送信元コントローラによって学習ルーチン中に決定される。例えば、送信元コントローラは、例えばペイロードとして異なるビット数のレシピセットを有するなど様々なサイズのパケットを、１つ以上の受信先コントローラに送信する。送信元コントローラは、様々なサイズのパケットのうちで、最も大きいサイズのパケットを送信するためにかかった最も長い時間を決定し、その最も長い時間を所定の長さの時間として決定する。

【0128】

幾つかの実施形態では、時間ｔｅ２は、時間ｔｓ３と、１つ以上の受信先コントローラによって（ｎ＋２）番目のパケットが受信される時間との間である。

【0129】

図２Ｂは、図１Ｅを参照にして上述されたタイミング図２３０である。

【0130】

図３Ａは、Ｅｔｈｅｒｎｅｔパケット３００の一実施形態の図である。Ｅｔｈｅｒｎｅｔパケット３００は、プリアンブルフィールドと、フレーム開始デリミタフィールドと、デスティネーションメディアアクセス制御（ＭＡＣ）アドレスフィールドと、ソースＭＡＣアドレスフィールドと、Ｅｔｈｅｒｎｅｔタイプフィールドと、ペイロードフィールドと、フレームチェックシーケンス（ＦＣＳ）フィールドと、パケット間ギャップとを含む。プリアンブルフィールド及びフレーム開始デリミタフィールドは、Ｅｔｈｅｒｎｅｔフレームの開始を示すために満たされている。Ｅｔｈｅｒｎｅｔフレームは、デスティネーションＭＡＣアドレスフィールドと、ソースＭＡＣアドレスフィールドと、Ｅｔｈｅｒｎｅｔタイプフィールドと、ペイロードフィールドと、ＦＣＳフィールドとを含む。

【0131】

ＭＡＣデスティネーションアドレスフィールドは、例えばマスタコントローラ１０６のネットワークインターフェース、又はサブシステムコントローラＡのネットワークインターフェース、又はサブシステムコントローラＢのネットワークインターフェース、又はサブシステムコントローラＣのネットワークインターフェース、又はサブシステムＡのネットワークインターフェース、又はサブシステムＢのネットワークインターフェース、又はサブシステムＣのネットワークインターフェースなどの、Ｅｔｈｅｒｎｅｔパケット３００を受信することになるネットワークインターフェースを一意に識別するアドレスを含む。

【0132】

マスタコントローラ１０６のネットワークインターフェースは、１つ以上の転送媒体に及びマスタコントローラ１０６のプロセッサに接続される。例えば、マスタコントローラ１０６のネットワークインターフェースは、転送媒体１１０Ａ、１１０Ｂ、及び１１０Ｃ（図１Ａ−１）に接続される。別の例として、マスタコントローラ１０６のネットワークインターフェースは、転送媒体１６４Ａ、１６４Ｂ、及び１６４Ｃ（図１Ｂ−１）に接続される。更に別の例として、マスタコントローラ１０６のネットワークは、転送媒体１７２Ａ、１７２Ｂ、及び１７２Ｃ（図１Ｃ）に接続される。

【0133】

同様に、サブシステムコントローラのネットワークインターフェースは、１つ以上の転送媒体に及びサブシステムコントローラのプロセッサに接続される。例えば、サブシステムコントローラＡのネットワークインターフェースは、転送媒体１１０Ａ及び１１４Ａ（図１Ａ−１）に接続され、サブシステムコントローラＢのネットワークインターフェースは、転送媒体１１０Ｂ及び１１４Ｂ（図１Ａ−１）に接続され、サブシステムコントローラＣのネットワークインターフェースは、転送媒体１１０Ｃ及び１１４Ｃ（図１Ａ−１）に接続される。

【0134】

更に、サブシステムのネットワークインターフェースは、１つ以上の転送媒体に及びサブシステムのプロセッサに接続される。例えば、サブシステムＡのネットワークインターフェースは、転送媒体１１４Ａ（図１Ａ−１）に接続され、サブシステムＢのネットワークインターフェースは、転送媒体１１４Ｂ（図１Ａ−１）に接続され、サブシステムＣのネットワークインターフェースは、転送媒体１１４Ｃ（図１Ａ−１）に接続される。別の例として、サブシステムＡのネットワークインターフェースは、転送媒体１７２Ａ（図１Ｃ）に接続され、サブシステムＢのネットワークインターフェースは、転送媒体１７２Ｂ（図１Ｃ）に接続され、サブシステムＣのネットワークインターフェースは、転送媒体１７２Ｃ（図１Ｃ）に接続される。

【0135】

一実施形態では、ネットワークインターフェースは、例えば、本明細書で説明されたマスタコントローラ１０６、又はサブシステムコントローラＡ、又はサブシステムコントローラＢ、又はサブシステムコントローラＣ、又はプロセッサＰＡ、又はプロセッサＰＢ、又はプロセッサＰＣなどのコントローラ内に実装される。

【0136】

ＭＡＣソースアドレスフィールドは、Ｅｔｈｅｒｎｅｔパケット３００を送信するネットワークインターフェースを一意に識別するアドレスを含む。Ｅｔｈｅｒｎｅｔタイプフィールドは、ペイロードの長さ、又はペイロード内にカプセル化された例えばＩｎｔｅｒｎｅｔ Ｐｒｏｔｏｃｏｌヴァージョン４、Ａｐｐｌｅ Ｔａｌｋ（商標）などのプロトコルの、いずれかを示すデータを含む。ペイロードフィールドは、例えば（ｎ＋１）番目のレシピセット、（ｎ＋２）番目のレシピセット、（ｎ＋３）番目のレシピセットなどの１つ以上のレシピセットの、例えば４２オクテットから１５００オクテットまでなどの様々なビット数に適応することができる。ＦＣＳフィールドは、フレームの完全性をチェックするために使用される。パケット間ギャップは、２つの連続するパケット間におけるアイドル時間である。

【0137】

図３Ｂは、例えばデータグラムなどのパケット３２０を説明するための一実施形態の図である。パケット３２０は、ヘッダフィールドと、例えばレシピセットなどを含むフィールドなどのペイロードフィールドとを含む。ヘッダフィールドは、パケット３２０の送信元である、例えばネットワークインターフェースのアドレスなどのソースアドレスのＩＤのためのフィールドと、パケット３２０を受信するように指定される、例えばネットワークインターフェースのアドレスなどのデスティネーションアドレスのＩＤのためのフィールドと、ヘッダの及びヘッダに付されたペイロードの合計長さのためのフィールドと、チェックサム値のためのフィールドとを含む。

【0138】

様々な実施形態において、パケット３２０は、ソースアドレスを識別するためのソースアドレスフィールド及びデスティネーションアドレスを識別するためのデスティネーションアドレスフィールドを除外するために、例えばカスタマイズされた通信プロトコルを使用して生成されるなどカスタマイズされる。２地点間通信では、ソースアドレス及びデスティネーションアドレスを識別する必要がない。この除外は、マスタコントローラ１０６と、マスタコントローラ１０６に接続されたサブシステムコントローラとの間、又はサブシステムコントローラと、サブシステムコントローラに接続されたサブシステムとの間、又はマスタコントローラと、マスタコントローラに接続されたサブシステムとの間におけるデータ速度を増加させる。

【0139】

一部の実施形態では、ヘッダは、チェックサム値のためのフィールド、並びに／又はヘッダの及びペイロードの合計長さのためのフィールドを除外するために、例えばカスタマイズされた通信プロトコルを使用して生成されるなどカスタマイズされる。この除外は、マスタコントローラ１０６と、マスタコントローラ１０６に接続されたサブシステムコントローラとの間、又はサブシステムコントローラと、サブシステムコントローラに接続されたサブシステムとの間、又はマスタコントローラと、マスタコントローラに接続されたサブシステムとの間におけるデータ速度を増加させる。

【0140】

様々な実施形態において、チェックサム値は、ネットワークインターフェースがパケット３２０を送信することによって生成される。チェックサム値は、パケット３２０のペイロードから、又はパケット３２０のヘッダから、又はこれらの組み合わせから生成される。チェックサム値は、パケット３２０のペイロード及び／又はヘッダが、送信元のネットワークインターフェースから受信先のネットワークインターフェースに転送される最中に変更されたかどうかを決定するために、パケット３２０の、例えばデスティネーションネットワークインターフェースなどのレシーバによって計算された別のチェックサム値と比較される。

【0141】

一部の実施形態では、例えばＵＤＰデータグラムなどのデータグラムが、ＩＰパケットに埋め込まれ、これは、更に、Ｅｔｈｅｒｎｅｔパケットに埋め込まれる。

【0142】

様々な実施形態において、パケット３２０は、フィールドが図３Ｂに示されたのと異なる位置にあるように、例えばカスタマイズされたプロトコルを使用して生成されるなどカスタマイズされる。例えば、ペイロードのためのフィールドは、長さのためのフィールドの前にある。別の例として、デスティネーションアドレスのためのフィールドは、ソースアドレスのためのフィールドの前又は長さのためのフィールドの後にある。カスタマイズされたプロトコルは、１つ以上のカスタマイズパケットを生成する物理層によって適用される。

【0143】

図４は、プラズマ処理システム４００の一実施形態の図である。プラズマ処理システム４００は、マスタコントローラ１０６と、ｘＭＨｚ ＲＦ発生器と、ｙＭＨｚ ＲＦ発生器と、ｚＭＨｚ ＲＦ発生器と、サブシステムコントローラＡと、サブシステムコントローラＢと、サブシステムコントローラＣとを含む。更に、プラズマ処理システム４００は、インピーダンス整合回路網４０２と、プラズマチャンバ４０４とを含む。

【0144】

一実施形態では、ｘＭＨｚ ＲＦ発生器の代わりに、ｋＨｚ ＲＦ発生器が使用される。

【0145】

（ｎ＋１）番目のレシピセットの受信を受けて、ｘＭＨｚ ＲＦ発生器は、ＲＦ信号を生成する。例えば、ｘＭＨｚ ＲＦ発生器によって生成されるＲＦ信号は、ｘＭＨｚ ＲＦ発生器によって受信された（ｎ＋１）番目のレシピセット内に規定された電力量及び／又は周波数を有する。同様に、（ｎ＋１）番目のレシピセットの受信を受けて、ｙＭＨｚ ＲＦ発生器は、ＲＦ信号を生成し、（ｎ＋１）番目のレシピセットの受信を受けて、ｚＭＨｚ ＲＦ発生器は、ＲＦ信号を生成する。例えば、ｙＭＨｚ ＲＦ発生器によって生成されるＲＦ信号は、ｙＭＨｚ ＲＦ発生器によって受信された（ｎ＋１）番目のレシピセット内に規定された電力量及び／又は周波数を有する。別の例として、ｚＭＨｚ ＲＦ発生器によって生成されるＲＦ信号は、ｚＭＨｚ ＲＦ発生器によって受信された（ｎ＋１）番目のレシピセット内に規定された電力量及び／又は周波数を有する。ＲＦ信号は、対応するＲＦケーブル４０６Ａ、４０６Ｂ、及び４０６Ｃを通してインピーダンス整合回路網４０２に提供される。インピーダンス整合回路網４０２は、修正されたＲＦ信号を生成するために、インピーダンス整合回路網４０２の出力に接続された負荷のインピーダンスを、インピーダンス整合回路網４０２の１つ以上の入力に接続されたソースのインピーダンスに一致させる。例えば、インピーダンス整合回路網４０２は、プラズマチャンバ４０４及びＲＦ伝送路４０８のインピーダンスを、ＲＦケーブル４０６Ａ、４０６Ｂ、及び４０６Ｃ、ｘＭＨｚ ＲＦ発生器、ｙＭＨｚ ＲＦ発生器、及びｚＭＨｚ ＲＦ発生器のインピーダンスに一致させる。

【0146】

修正されたＲＦ信号は、ＲＦ伝送路４０８を通じてプラズマチャンバ４０４の下部電極４１０に送信される。下部電極４１０は、例えば静電チャック（ＥＳＣ）などのチャックの一部である。下部電極４１０の反対側に、下部電極４１０に相対してプラズマチャンバ４０４の上部電極４１２が位置付けられる。上部電極４１２及び下部電極４１０は、それぞれ、例えばアルミニウムやアルミニウム合金などの金属で作成される。

【0147】

プロセスガスがプラズマチャンバ４０４に供給され、修正されたＲＦ信号が下部電極に供給されると、下部電極４１０の上面上に座しているウエハ４１６を処理するために、プラズマチャンバ４０４内でプラズマが打ち出される又は維持される。

【0148】

図５は、例えばサブシステムＡ、又はサブシステムＢ、又はサブシステムＣなどのサブシステム５００を説明するための、システムの一実施形態の図である。サブシステム５００は、例えばプロセッサＰＡ、又はプロセッサＰＢ、又はプロセッサＰＣなどのプロセッサ５０２を含む。プロセッサ５０２は、例えば１つ以上のトランジスタや１つ以上の電流生成器などのドライバ５０４に接続される。ドライバは、機械的な又は電気的なパーツ５０６に接続される。パーツ５０６の例として、モータ又は増幅器が挙げられる。

【0149】

サブシステム５００がＲＦ発生器であるときは、パーツ５０６は、ＲＦ電源に接続される増幅器を含む。更に、サブシステム５００が圧力サブシステム、又はギャップサブシステム、又はガスフローサブシステム、又は冷却液フローサブシステムであるときは、パーツ５０６は、モータである。

【0150】

プロセッサ５０２は、ドライバ５０４に提供される信号を生成する。プロセッサ５０２から信号を受信すると、ドライバ５０４は、駆動信号を生成し、この駆動信号は、パーツ５０６を動作させるためにパーツ５０６に提供される。パーツ５０６がモータであるときは、モータは、冷却フローサブシステムの弁が開く若しくは閉じる量、又はガスフローサブシステムの弁が開く若しくは閉じる量、又は閉じ込めリングが開く若しくは閉じる量、又は上部電極４１２（図４）と下部電極４１０（図４）との間のギャップの大きさを制御する。パーツ５０６がヒータであるときは、ヒータは、ドライバ５０４が電流信号をヒータに供給するときに熱くなる。パーツ５０６が増幅器であるときは、増幅器は、ドライバ５０４から電流信号を受信すると、増幅された信号を生成し、この増幅信号は、ＲＦ信号を生成するためにＲＦ電源に提供される。

【0151】

図６は、プラズマチャンバ４０４（図４）の一例であるプラズマチャンバ６２６を説明するための、システムの一実施形態の図である。システムは、プラズマリアクタ６２０と、ＲＦ伝送路４０８（図４）の一例であるＲＦ伝送路６２４とを含む。ＲＦ伝送路６２４は、プラズマリアクタ６２０に接続される。ＲＦ伝送路６２４は、ＲＦロッド６６１と、ＲＦトンネル６６２とを含む。ＲＦロッド６６１は、インピーダンス整合回路網４０２（図４）から受信された修正されたＲＦ信号の転送を促すために使用される。

【0152】

プラズマリアクタ６２０は、プラズマチャンバ６２６と、ＲＦストラップ６６８を通してＲＦロッド６６１に接続されたＲＦシリンダ６１０とを含む。プラズマリアクタ６２０は、更に、ＲＦストラップ６７４及び６７７と、接地シールド６８０と、底部電極ケース６７６とを含む。

【0153】

プラズマチャンバ６２６は、上部電極６６０と、上部電極延長部６２８と、Ｃシュラウド６７０と、接地リング６７２と、チャックアセンブリとを含む。チャックアセンブリは、チャック６５８と、設備板６３０とを含む。上部電極６６０は、上部電極４１２（図４）の一例である。基板４１６は、基板４１６を処理するために、チャック６５８の上に置かれる。基板４１６を処理する例として、基板４１６を洗浄する、又は基板４１６をエッチングする、又は基板４１６の上の酸化物をエッチングする、又は例えば酸化物、二酸化物、フォトレジスト材料などの材料を基板４１６上に堆積させる、又はこれらの組み合わせが挙げられる。

【0154】

Ｃシュラウド６７０は、プラズマチャンバ６２６内の圧力を制御するために使用されるスロットを含む。例えば、スロットは、スロットを通るガスの流れを増加させるために開かれて、プラズマチャンバ６２６のギャップ６７１内のガス圧を減少させる。スロットは、ガスの流れを減少させるために閉じられて、ギャップ６７１内のガス圧を増加させる。

【0155】

様々な実施形態において、底部電極ケース６７６は、例えば円筒状、四角形、多角形などの任意の形状である。

【0156】

様々な実施形態において、ＲＦシリンダ６１０は、円筒ではなく、例えば矩形、四角形などの多角形状を有する。

【0157】

上部電極延長部６２８は、上部電極６６０を取り囲む。Ｃシュラウド６７０は、部分６７０Ａ及び６７０Ｂを含む。接地リング６７２は、接地リング部分６７２Ａと、別の接地リング部分６７２Ｂとを含む。底部電極ケース６７６は、底部電極ケース部分６７６Ａと、別の底部電極ケース部分６７６Ｂと、更に別の底部電極ケース部分６７６Ｃとを含む。底部電極ケース部分６７６Ａ及び６７６Ｂは、それぞれ、底部電極ケース６７６の側壁を形成する。底部電極ケース部分６７６Ｃは、底部電極ケース６７６の底壁を形成する。接地シールド６８０は、シールド部分６８０Ａと、別のシールド部分６８０Ｂとを含む。

【0158】

チャック６５８の上面は、上部電極６６０の底面６３６に面している。プラズマチャンバ６２６は、上部電極６６０と、上部電極延長部６２８とで取り囲まれる。プラズマチャンバ６２６は、更に、Ｃシュラウド６７０と、チャック６５８とによって取り囲まれる。

【0159】

接地リング６７２は、Ｃシュラウド６７０の下方に位置付けられる。一部の実施形態では、接地リング６７２は、Ｃシュラウド６７０の下方にＣシュラウド６７０に隣接して位置付けられる。帰還ＲＦストラップ６７４は、接地リング部分６７２Ａに接続され、帰還ＲＦストラップ６７７は、接地リング部分６７２Ｂに接続される。帰還ＲＦストラップ６７４は、底部電極ケース部分６７６Ａに接続され、帰還ＲＦストラップ６７７は、底部電極ケース部分６７６Ｂに接続される。底部電極ケース部分６７６Ａは、シールド部分６８０Ａに接続され、底部電極ケース部分６７６Ｂは、シールド部分６８０Ｂに接続される。シールド部分６８０Ａは、底部電極ケース部分６７６Ａを通してＲＦトンネル６６２に接続され、シールド部分６８０Ｂは、底部電極ケース部分６７６Ｃを通して接地ＲＦトンネル６６２に接続される。

【0160】

一部の実施形態では、底部電極ケース部分６７６は、ＲＦシリンダ６１０を取り囲む円筒である。ＲＦシリンダ６１０は、修正されたＲＦ信号を通すための媒体である。修正されたＲＦ信号は、プラズマチャンバ６２６のギャップ６７１内にプラズマを発生させる又は維持するために、ＲＦロッド６６１、ＲＦストラップ６６８、及びＲＦシリンダ６１０を通してチャック６５８の下部電極に供給される。ギャップ６７１は、上部電極６６０と、チャック６５８の下部電極との間に形成される。

【0161】

一部の実施形態では、上部電極６６０は、接地される。

【0162】

様々な実施形態において、ＲＦシリンダ６１０をＲＦロッド６６１に接続するために、ＲＦストラップ６６８の代わりに複数のＲＦストラップが使用される。

【0163】

一実施形態では、プラズマチャンバ６２６から出ていくガスを制御し、更にプラズマチャンバ６２６内の圧力を制御するために、Ｃシュラウド６７０の代わりに閉じ込めリングが提供される。

【0164】

留意すべきは、上述された実施形態の幾つかでは、修正されたＲＦ信号が下部電極４１０（図４）に提供され、上部電極４１２（図４）が接地されることである。様々な実施形態では、修正されたＲＦ信号が上部電極４１２に提供され、下部電極４１０が接地される。

【0165】

一実施形態では、１つのプロセッサによって実施されるものとして本明細書で説明される機能が、例えば複数のプロセッサ間で分散されるなど複数のプロセッサによって実施される。

【0166】

一実施形態では、１つのコントローラによって実施されるものとして本明細書で説明される機能が、例えば複数のコントローラ間で分散されるなど複数のコントローラによって実施される。

【0167】

一実施形態では、複数のコントローラによって実施されるものとして本明細書で説明される機能が、１つのコントローラによって実施される。

【0168】

本明細書で説明される実施形態は、ハンドヘルドハードウェアユニット、マイクロプロセッサシステム、マイクロプロセッサをベースにした若しくはプログラム可能な家庭用電子機器、ミニコンピュータ、メインフレームコンピュータなどの、様々なコンピュータシステム構成で実施されてよい。本明細書で説明される実施形態は、また、コンピュータネットワークを通じてリンクされたリモート処理ハードウェアユニットによってタスクが実施される分散コンピューティング環境で実施することもできる。

【0169】

一部の実装形態では、コントローラは、システムの一部であり、システムは、上述された例の一部であってよい。システムは、１つ若しくは複数の処理ツール、１つ若しくは複数のチャンバ、処理のための１つ若しくは複数のプラットフォーム、及び／又は特定の処理コンポーネント（ウエハ台座やガスフローシステムなど）などの、半導体処理機器を含む。システムは、半導体ウエハ又は基板の処理の前、最中、及び後におけるその動作を制御するための電子機器と一体化されてよい。電子機器は、「コントローラ」と呼ばれ、システムの様々なコンポーネント又は副部品を制御してよい。コントローラは、処理要件及び／又はシステムのタイプに応じ、プロセスガスの供給、温度の設定（加熱及び／若しくは冷却）、圧力の設定、真空の設定、電力の設定、ＲＦ発生器の設定、ＲＦ整合回路の設定、周波数の設定、流量の設定、流体供給の設定、位置及び動作の設定、システムに接続された若しくはインターフェース接続されたツール及びその他の移送ツール及び／若しくはロードロックに対してウエハを出入りさせるウエハ移送などの、本明細書で開示される任意のプロセスを制御するようにプログラムされる。

【0170】

概して、多岐にわたる実施形態において、コントローラは、命令を受信する、命令を発行する、動作を制御する、洗浄動作を可能にする、終点測定を可能にするなどの様々な集積回路、ロジック、メモリ、及び／又はソフトウェアを有する電子機器として定義される。集積回路は、プログラム命令を記憶するファームウェアの形態をとるチップ、デジタルＤＳＰ、ＡＳＩＣとして定められたチップ、ＰＬＤ、１つ以上のマイクロプロセッサ、及びプログラム命令（例えばソフトウェア）を実行するマイクロコントローラを含む。プログラム命令は、様々な個別設定（又はプログラムファイル）の形態でコントローラに伝えられて半導体ウエハに対して又は半導体ウエハのためのプロセスを実行に移すための動作パラメータを定義する命令である。動作パラメータは、一部の実施形態では、１枚以上の層、材料、金属、酸化物、シリコン、二酸化シリコン、表面、回路、及び／又はウエハダイの製作における１つ以上の処理工程を実現するためにプロセスエンジニアによって定義されるレシピの一部である。

【0171】

コントローラは、一部の実現形態では、システムと一体化された、システムに接続された、それ以外の形でシステムにネットワーク接続された、若しくはそれらを組み合わせたコンピュータの一部である、又はそのようなコンピュータに接続される。例えば、コントローラは、「クラウド」の中、又はファブホストコンピュータシステムの全体若しくは一部の中にあり、これは、ウエハ処理のためのリモートアクセスを可能にする。コンピュータは、製作動作の現進行状況を監視し、過去の製作動作の履歴を調査し、複数の製作動作から傾向若しくは性能基準を調査するために、又は現処理のパラメータを変更するために、又は現処理を追跡するための処理工程を設定するために、又は新しいプロセスを開始させるために、システムへのリモートアクセスを可能にする。

【0172】

一部の実施形態では、リモートコンピュータ（例えばサーバ）が、ローカルネットワーク又はインターネットを含むコンピュータネットワークを通じてシステムにプロセスレシピを提供する。リモートコンピュータは、パラメータ及び／若しくは設定の入力又はプログラミングを可能にするユーザインターフェースを含み、これらのパラメータ及び／又は設定は、次いで、リモートコンピュータからシステムに伝えられる。一部の例では、コントローラは、ウエハを処理するための設定の形式で命令を受信する。なお、設定は、ウエハに対して実施されるプロセスのタイプに、及びコントローラがインターフェース接続されるように又は制御するように構成されたツールのタイプに特有であることが理解されるべきである。したがって、上述のように、コントローラは、ネットワークによって結ばれて本明細書で説明されるプロセスを遂行するなどの共通の目的に向かって作業する１つ以上の個別のコントローラを含むなどによって分散される。このような目的のための分散コントローラの一例として、（プラットフォームレベルに又はリモートコンピュータの一部として）遠隔設置されてチャンバ内のプロセスを協同して制御する１つ以上の集積回路と通じているチャンバ上の１つ以上の集積回路が挙げられる。

【0173】

制限なく、様々な実施形態において、システムは、プラズマエッチングチャンバ、堆積チャンバ、スピンリンスチャンバ、金属めっきチャンバ、洗浄チャンバ、ベベルエッジエッチングチャンバ、物理蒸着（ＰＶＤ）チャンバ、化学気相成長（ＣＶＤ）チャンバ、原子層堆積（ＡＬＤ）チャンバ、原子層エッチング（ＡＬＥ）チャンバ、イオン注入チャンバ、追跡チャンバ、並びに半導体ウエハの製作及び／若しくは製造に関係付けられる若しくは使用されるその他の任意の半導体処理チャンバを含む。

【0174】

更に留意すべきは、上述された動作は、例えば容量結合プラズマチャンバなどの、平行平板型プラズマチャンバに言及して説明されているが、一部の実施形態では、例えば、誘導結合プラズマ（ＩＣＰ）リアクタやトランス結合プラズマ（ＴＣＰ）リアクタを含むプラズマチャンバ、導体ツール、誘電体ツール、電子サイクロトロン共鳴（ＥＣＲ）リアクタを含むプラズマチャンバなどの、その他のタイプのプラズマチャンバに適用することである。例えば、ｘＭＨｚ ＲＦ発生器、ｙＭＨｚ ＲＦ発生器、及びｚＭＨｚ ＲＦ発生器は、インピーダンス整合回路網を通してＩＣＰプラズマチャンバ内のインダクタに結合される。

【0175】

上記のように、ツールによって実施される１つ以上のプロセス動作に応じ、コントローラは、その他のツール回路若しくはツールモジュール、その他のツールコンポーネント、クラスタツール、その他のツールインターフェース、隣接するツール、近隣のツール、工場の随所にあるツール、メインコンピュータ、別のコントローラ、又は半導体製造工場内のツール場所及び／若しくは装填ポートに対してウエハ入りの容器を出し入れする材料輸送に使用されるツールのうちの、１つ以上とやり取りする。

【0176】

上記の実施形態を念頭に置くと、実施形態によっては、コンピュータシステムに格納されたデータを伴う様々なコンピュータ実行動作を用いるものがあることが、理解されるべきである。これらのコンピュータ実行動作は、物理量の物理的操作を必要とする動作である。

【0177】

実施形態のなかには、これらの動作を実施するためのハードウェアユニット又は装置にも関するものがある。装置は、専用コンピュータ用に特別に構築される。専用コンピュータとして定められるときは、コンピュータは、特別な目的のために動作可能でありつつも、特別な目的の一部ではないその他の処理、プログラム実行、又はルーチンを実施する。

【0178】

一部の実施形態では、本明細書で説明される動作は、選択的にアクティブにされるコンピュータによって実施される、又はコンピュータメモリに格納された１つ以上のコンピュータプログラムによって構成される、又はコンピュータネットワークを通じて得られる。データがコンピュータネットワークを通じて得られるときは、データは、例えばコンピューティングリソースのクラウドなどの、コンピュータネットワーク上のその他のコンピュータによって処理されてよい。

【0179】

本明細書で説明される１つ以上の実施形態は、非一過性のコンピュータ読み取り可能メディア上のコンピュータ読み取り可能コードとして作成することもできる。非一過性のコンピュータ読み取り可能メディアは、コンピュータシステムによって後で読み出されるデータを格納する例えばメモリデバイスなどの任意のデータストレージハードウェアユニットである。非一過性のコンピュータ読み取り可能メディアの例には、ハードドライブ、ネットワーク接続ストレージ（ＮＡＳ）、ＲＯＭ、ＲＡＭ、コンパクトディスクＲＯＭ（ＣＤ−ＲＯＭ）、書き込み可能ＣＤ（ＣＤ−Ｒ）、書き換え可能ＣＤ（ＣＤ−ＲＷ）、磁気テープ、並びにその他の光及び非光データストレージハードウェアユニットがある。一部の実施形態では、非一過性のコンピュータ読み取り可能メディアは、コンピュータ読み取り可能コードが分散方式で格納及び実行されるように、ネットワークで結合されたコンピュータシステムに分散された有形のコンピュータ読み取り可能メディアを含む。

【0180】

上述された方法の動作の一部は、特定の順番で提示されているが、様々な実施形態では、方法の動作と動作との間にその他のハウスキーピング動作が実施されること、又は僅かに異なる時点で起きるように方法の動作が調整されること、又は様々な時間間隔で方法の動作が起きることを可能にするシステム内で分散されること、又は上述されたのと異なる順番で実施されることが、理解されるべきである。

【0181】

更に留意すべきは、一実施形態では、上述された任意の実施形態からの１つ以上の特徴が、本開示で説明された様々な実施形態で説明された範囲から逸脱することなくその他の任意の実施形態の１つ以上の特徴と組み合わされることである。

【0182】

以上の実施形態は、理解を明瞭にする目的で幾らか詳細に説明されてきたが、添付の特許請求の範囲内で特定の変更及び修正が可能であることが明らかである。したがって、本実施形態は、例示的であって限定的ではないと見なされ、本明細書で与えられる詳細に限定されず、添付の特許請求の範囲及びそれらの均等物の範囲内で変更され得る。
本発明は以下の適用例としても実現できる。
［適用例１］
方法であって、
コマンドコントローラによって、レシピセットをマスタコントローラに送信することと、
前記マスタコントローラによって、前記レシピセットをプラズマシステムのサブシステムコントローラによる実行のために送信することであって、前記レシピセットを前記マスタコントローラから前記サブシステムコントローラに送信することは、クロック信号の第１のクロックサイクル中に実施される、ことと、
前記コマンドコントローラによって、レシピイベント信号を生成することと、
前記コマンドコントローラによって、前記レシピイベント信号を前記サブシステムコントローラに送信し、前記サブシステムコントローラによる前記レシピセットの実行の時間を示すことであって、前記実行の時間は、前記第１のクロックサイクルに続く第２のクロックサイクル中に生じ、前記第２のサイクルは、前記クロック信号のサイクルである、ことと、
を備える方法。
［適用例２］
適用例１に記載の方法であって、
前記レシピセットを前記コマンドコントローラから前記マスタコントローラに送信することは、転送媒体を通して前記マスタコントローラにパケットを送信することを含み、前記レシピセットを前記マスタコントローラから前記サブシステムコントローラに送信することは、転送媒体を通して前記サブシステムコントローラに前記パケットを送信することを含む、方法。
［適用例３］
適用例１に記載の方法であって、更に、
前記マスタコントローラによって、前記第１のクロックサイクル中に、別のレシピセットを前記プラズマシステムの別のサブシステムコントローラによる実行のために送信することを備え、
前記時間は、前記プラズマシステムの前記別のサブシステムコントローラによる前記別のレシピセットの実行のための時間である、方法。
［適用例４］
適用例１に記載の方法であって、
前記コマンドコントローラは、コンピューティングデバイス内に位置し、前記コンピューティングデバイスは、ラップトップコンピュータ、又はデスクトップコンピュータ、又はタブレット端末、又は携帯電話を含む、方法。
［適用例５］
適用例１に記載の方法であって、
前記レシピセットは、ＲＦ発生器によって生成される高周波数（ＲＦ）信号の電力、又は前記ＲＦ信号の周波数、又は前記プラズマシステムのプラズマチャンバ内の圧力、又は前記プラズマチャンバ内の温度、又は前記プラズマチャンバ内の電極間のギャップ、又は前記プラズマチャンバへのガスの流量、又は前記プラズマ処理システムのインピーダンス整合回路網のコンデンサのキャパシタンス、又は前記インピーダンス整合回路網のインダクタのインダクタンス、又はこれらの組み合わせを含む、方法。
［適用例６］
適用例１に記載の方法であって、
前記レシピセットは、前記レシピセットが前記サブシステムコントローラからサブシステムに送信されるときに前記サブシステムコントローラによって実行され、前記サブシステムコントローラは、前記マスタコントローラに接続されている、方法。
［適用例７］
適用例６に記載の方法であって、
前記サブシステムは、高周波数（ＲＦ）発生器、又は圧力サブシステム、又は温度サブシステム、又はギャップサブシステム、又はガスフローサブシステム、又はインピーダンス整合回路網である、方法。
［適用例８］
適用例１に記載の方法であって、
前記プラズマシステムは、１つ以上の高周波数（ＲＦ）発生器と、インピーダンス整合回路網と、プラズマチャンバとを含み、前記１つ以上のＲＦ発生器は、対応する１本以上のＲＦケーブルを通して前記インピーダンス整合回路網に接続され、前記インピーダンス整合回路網は、ＲＦ伝送路を通して前記プラズマチャンバに接続される、方法。
［適用例９］
適用例１に記載の方法であって、
前記実行の時間は、前記サブシステムコントローラによって前記コマンドコントローラから前記レシピイベント信号が受信される時間であり、前記サブシステムコントローラは、前記マスタコントローラに接続され、サブシステムを制御し、前記サブシステムコントローラによって受信される前記レシピイベント信号は、前記レシピセットの即座の実行を引き起こす、方法。
［適用例１０］
適用例１に記載の方法であって、
前記実行の時間は、前記サブシステムコントローラからサブシステムに前記レシピセットが送信される時間であり、前記サブシステムコントローラは、前記マスタコントローラから前記レシピセットを受信するために前記マスタコントローラに接続される、方法。
［適用例１１］
適用例１に記載の方法であって、
前記レシピイベント信号は、前記レシピセットの実行をトリガする、方法。
［適用例１２］
適用例１に記載の方法であって、
前記レシピイベント信号は、サブシステムのための前記サブシステムコントローラによって受信されるときに、前記レシピセットの実行の即座の起動を示している、方法。
［適用例１３］
方法であって、
マスタコントローラによって、クロック信号の第１のクロックサイクル中に、レシピセットをサブシステムコントローラによる実行のために送信することであって、前記サブシステムコントローラは、プラズマシステムのコンポーネントを制御するように構成される、ことと、
前記マスタコントローラによって、レシピイベント信号を生成することと、
前記マスタコントローラによって、前記レシピイベント信号を送信し、前記プラズマシステムの前記サブシステムコントローラによる前記レシピセットの実行の時間を示すことであって、前記レシピセットの前記実行の時間は、前記レシピセットが送信される前記第１のクロックサイクルに続く第２のクロックサイクル中に生じ、前記第２のサイクルは、前記クロック信号のサイクルである、ことと、
を備える方法。
［適用例１４］
適用例１３に記載の方法であって、
前記レシピセットを送信することは、ケーブルを通して前記サブシステムコントローラにパケットを送信することを含む。方法。
［適用例１５］
適用例１３に記載の方法であって、
前記プラズマシステムは、１つ以上の高周波数（ＲＦ）発生器と、インピーダンス整合回路網と、プラズマチャンバとを含み、前記１つ以上のＲＦ発生器は、前記インピーダンス整合回路網に接続され、前記インピーダンス整合回路網は、前記プラズマチャンバに接続される、方法。
［適用例１６］
適用例１３に記載の方法であって、更に、
前記マスタコントローラによって、前記クロック信号の前記第１のクロックサイクル中に、別のレシピセットを別のサブシステムコントローラによる実行のために送信することであって、前記別のサブシステムコントローラは、前記プラズマシステムの別のコンポーネントを制御するように構成される、ことを備え、
前記時間は、前記プラズマシステムの前記別のサブシステムコントローラによる前記別のレシピセットの実行のための時間である、方法。
［適用例１７］
適用例１３に記載の方法であって、
前記レシピセットは、前記サブシステムコントローラによって、前記レシピセットを前記コンポーネントに送信することによって実行される、方法。
［適用例１８］
適用例１３に記載の方法であって、
前記実行の時間は、前記サブシステムコントローラによって前記マスタコントローラから前記レシピイベント信号が受信される時間であり、前記サブシステムコントローラは、前記マスタコントローラに接続され、前記コンポーネントを制御する、方法。
［適用例１９］
適用例１３に記載の方法であって、
前記実行の時間は、前記サブシステムコントローラから前記コンポーネントに前記レシピセットが送信される時間である、方法。
［適用例２０］
適用例１３に記載の方法であって、
前記レシピイベント信号は、前記レシピセットの実行をトリガする、方法。
［適用例２１］
適用例１３に記載の方法であって、
前記レシピイベント信号は、前記サブシステムのための前記サブシステムコントローラによって受信されるときに、前記レシピセットの実行の即座の起動を示している、方法。
［適用例２２］
方法であって、
マスタコントローラによって、プラズマ処理システムのサブシステムのプロセッサにレシピセットを送信することであって、前記マスタコントローラから送信することは、クロック信号の第１のクロックサイクル中に生じる、ことと、
前記マスタコントローラによって、レシピイベント信号を生成することと、
前記マスタコントローラによって、前記レシピイベント信号を送信し、前記レシピセットの実行の時間を前記サブシステムの前記プロセッサに示すことであって、前記実行の時間を送信することは、前記第１のクロックサイクルに続く第２のクロックサイクル中に生じる、ことと、
を備える方法。
［適用例２３］
適用例２２に記載の方法であって、
前記レシピセットを送信することは、ケーブルを通して前記サブシステムの前記プロセッサにパケットを送信することを含む。方法。
［適用例２４］
適用例２２に記載の方法であって、更に、
前記マスタコントローラによって、別のレシピセットを別のサブシステムの別のプロセッサによる実行のために送信することであって、前記別のプロセッサは、前記プラズマシステムの前記別のサブシステムを制御するように構成され、前記別のレシピセットを送信することは、前記第１のクロックサイクル中に生じる、ことを備え、
前記時間は、前記別のサブシステムの前記別のプロセッサによる前記別のレシピセットの実行のための時間である、方法。
［適用例２５］
適用例２２に記載の方法であって、
前記レシピセットは、前記プロセッサによって、前記サブシステムの前記プロセッサが信号を生成するためにドライバに信号を送信するときに実行される、方法。
［適用例２６］
適用例２２に記載の方法であって、
前記実行の時間は、前記プロセッサによって前記マスタコントローラから前記レシピイベント信号が受信される時間であり、前記プロセッサは、前記マスタコントローラに接続され、前記サブシステムを制御する、方法。
［適用例２７］
適用例２２に記載の方法であって、
前記実行の時間は、前記プラズマ処理システムの一部を駆動するために前記プロセッサからドライバに前記レシピセットが送信される時間である、方法。
［適用例２８］
適用例２２に記載の方法であって、
前記レシピイベント信号は、前記レシピセットの実行をトリガする、方法。
［適用例２９］
適用例２２に記載の方法であって、
前記レシピイベント信号は、前記プロセッサによって受信されるときに、前記レシピセットの実行の即座の起動を示している、方法。

【図1A-1】

【図1A-2】

【図1B-1】

【図1B-2】

【図1C】

【図1D】

【図1E】

【図2A-1】

【図2A-2】

【図2B】

【図3A】

【図3B】

【図4】

【図5】

【図6】