特許6810059先進的なパターニングプロセスにおけるスペーサ堆積および選択的除去のための装置および方法

発明の名称　先進的なパターニングプロセスにおけるスペーサ堆積および選択的除去のための装置および方法

出願人　アプライド　マテリアルズ　インコーポレイテッド　（識別番号 390040660）

　　　　特許公開件数ランキング 41 位（529件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 34 位（521件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6810059

公報発行日　2021年1月6

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6810059

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