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特許6814442ボロメータ型テラヘルツ波検出素子およびボロメータ型テラヘルツ波検出素子アレイ
発明の名称 ボロメータ型テラヘルツ波検出素子およびボロメータ型テラヘルツ波検出素子アレイ
出願人 国立大学法人 東京大学 （識別番号 504137912）
特許公開件数ランキング 219 位（286件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 196 位（275件）（共同出願を含む）
出願人 日本電気株式会社 （識別番号 4237）
特許公開件数ランキング 12 位（1161件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 5 位（1685件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-6814442
公報発行日 2021年1月20
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6814442
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