特許6823399複数の視野の高さマップを測定し、装置のドリフトに対する感度を最小限に抑えてこれらを合成高さマップに結合する方法

発明の名称　複数の視野の高さマップを測定し、装置のドリフトに対する感度を最小限に抑えてこれらを合成高さマップに結合する方法

出願人　株式会社ミツトヨ　（識別番号 137694）

　　　　特許公開件数ランキング 527 位（50件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 516 位（45件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6823399

公報発行日　2021年2月3

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6823399

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