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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】6847729
(24)【登録日】2021年3月5日
(45)【発行日】2021年3月24日
(54)【発明の名称】切削装置
(51)【国際特許分類】
H01L 21/301 20060101AFI20210315BHJP
B24B 27/06 20060101ALI20210315BHJP
【ＦＩ】
H01L21/78 F
B24B27/06 M
【請求項の数】3
【全頁数】17
(21)【出願番号】特願2017-63638(P2017-63638)
(22)【出願日】2017年3月28日
(65)【公開番号】特開2018-166178(P2018-166178A)
(43)【公開日】2018年10月25日
【審査請求日】2020年1月9日
(73)【特許権者】
【識別番号】000134051
【氏名又は名称】株式会社ディスコ
(74)【代理人】
【識別番号】110002147
【氏名又は名称】特許業務法人酒井国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】田中 英明
(72)【発明者】
【氏名】宮田 諭
【審査官】
中田 剛史
(56)【参考文献】
【文献】
特開２０１１−０７９０９８（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特開２０１０−０２９９７８（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特開２０１４−１４３３２３（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特開２０１５−２２６９４５（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）
Ｈ０１Ｌ ２１／３０１
Ｂ２４Ｂ ２７／０６
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
第１のスピンドルの先端に固定されたフランジに第１の切削ブレードが挟持され装着される第１の切削ユニットと、第２のスピンドルの先端に固定されたフランジに第２の切削ブレードが挟持され装着される第２の切削ユニットと、該切削ブレードに加工される被加工物を保持するチャックテーブルと、装着する該切削ブレードの品種を登録するブレード情報登録部を含み各構成要素を制御する制御ユニットと、を備える切削装置であって、
該切削ユニットは、
該スピンドルを回転自在に支持するスピンドルハウジングに固定され、該切削ブレードを覆って加工液を供給するブレードカバーを備え、
該ブレードカバーは、
該スピンドルハウジングに固定された固定部と、
加工液ノズルを該固定部に開閉可能に装着し、該加工液ノズルが該切削ブレードに近接した近接位置と、該切削ブレードから離間し該フランジに該切削ブレードを着脱する離間位置と、に選択的に位置付け可能な可動部と、を備え、
該制御ユニットは、
該第１の切削ブレードを装着する際に該第１の切削ブレードの品種が登録されると、該第２の切削ユニットの該ブレードカバーの可動部は離間位置に設定されないが、該第１の切削ユニットの該ブレードカバーの可動部は離間位置に設定され、
該第２の切削ブレードを装着する際に該第２の切削ブレードの品種が登録されると、該第１の切削ユニットの該ブレードカバーの可動部は離間位置に設定されないが、該第２の切削ユニットの該ブレードカバーの可動部は離間位置に設定されることを特徴とする切削装置。
該切削ユニットは、
該スピンドルを回転自在に支持するスピンドルハウジングに固定され、該切削ブレードを覆って加工液を供給するブレードカバーを備え、
該ブレードカバーは、
該スピンドルハウジングに固定された固定部と、
加工液ノズルを該固定部に開閉可能に装着し、該加工液ノズルが該切削ブレードに近接した近接位置と、該切削ブレードから離間し該フランジに該切削ブレードを着脱する離間位置と、に選択的に位置付け可能な可動部と、を備え、
該制御ユニットは、
該第１の切削ブレードを装着する際に該第１の切削ブレードの品種が登録されると、該第２の切削ユニットの該ブレードカバーの可動部は離間位置に設定されないが、該第１の切削ユニットの該ブレードカバーの可動部は離間位置に設定され、
該第２の切削ブレードを装着する際に該第２の切削ブレードの品種が登録されると、該第１の切削ユニットの該ブレードカバーの可動部は離間位置に設定されないが、該第２の切削ユニットの該ブレードカバーの可動部は離間位置に設定されることを特徴とする切削装置。
【請求項2】
該切削ブレード又は該切削ブレードを収容するケースに設置され該切削ブレードの品種情報を含む識別コードを読み取る読み取りユニットを備え、
該ブレード情報登録部には、該読み取りユニットによって読み取られた該品種情報が登録されることを特徴とする請求項１に記載の切削装置。
該ブレード情報登録部には、該読み取りユニットによって読み取られた該品種情報が登録されることを特徴とする請求項１に記載の切削装置。
【請求項3】
該制御ユニットは、該切削ブレードと該スピンドルの組合せを含む加工条件を登録する加工条件登録部を備え、登録された該切削ブレードの該品種と該スピンドルの組合せから、該ブレードカバーの可動部を離間位置に設定する該切削ユニットを決定する請求項１に記載の切削装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、被加工物を切削加工する切削装置に関する。
【背景技術】
【0002】
半導体ウエーハや樹脂パッケージ基板など各種板状の被加工物を切削ブレードで分割する切削装置（ダイサー）が知られている。切削装置は、切削ブレードを装着するスピンドルにより構成された切削ユニットを２つ備えて、同時に２本の分割予定ラインを切削できるデュアルタイプのものが用いられる。このデュアルタイプの切削装置は、効率的な切削を実施している。
【0003】
デュアルタイプの切削装置は、それぞれのスピンドルに、それぞれ別の種類の切削ブレードを装着し、一方のスピンドルに装着した切削ブレードが厚い刃厚を有して、被加工物表面のメタルや機能層を除去するハーフカット溝を形成し、他方のスピンドルに装着した切削ブレードが薄い刃厚を有して、ハーフカット溝の溝底をフルカットして、個々のチップに分割するステップカットを実施することが知られている（例えば、特許文献１及び特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特許第２８９２４５９号公報
【特許文献2】特開２００６−１８１７００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
ステップカットを実施する場合、デュアルタイプの切削装置は、各スピンドルに誤った種類の切削ブレードを装着して加工してしまうと、チッピングが大きくなったりして想定していた加工結果を大きく悪化させてしまう恐れがある。そこで、スピンドルに装着する切削ブレードの種類を間違えることなく、スピンドルに切削ブレードを装着できる方法が検討されてきた。例えば、切削ブレードや切削ブレードを収容するブレードケースと同じ色のフランジをスピンドルに装着することが考えられる。この場合、加工を続けると、フランジが切削屑で汚れてしまい、見分けがつきにくくなったり、オペレータの注意が散漫になると、色によっての識別も看過されてしまう恐れがあった。
【0006】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、スピンドルに装着する切削ブレードの種類を間違えることなく、スピンドルに切削ブレードを装着することができる切削装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0007】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の切削装置は、第１のスピンドルの先端に固定されたフランジに第１の切削ブレードが挟持され装着される第１の切削ユニットと、第２のスピンドルの先端に固定されたフランジに第２の切削ブレードが挟持され装着される第２の切削ユニットと、該切削ブレードに加工される被加工物を保持するチャックテーブルと、装着する該切削ブレードの品種を登録するブレード情報登録部を含み各構成要素を制御する制御ユニットと、を備える切削装置であって、該切削ユニットは、該スピンドルを回転自在に支持するスピンドルハウジングに固定され、該切削ブレードを覆って加工液を供給するブレードカバーを備え、該ブレードカバーは、該スピンドルハウジングに固定された固定部と、加工液ノズルを該固定部に開閉可能に装着し、該加工液ノズルが該切削ブレードに近接した近接位置と、該切削ブレードから離間し該フランジに該切削ブレードを着脱する離間位置と、に選択的に位置付け可能な可動部と、を備え、該制御ユニットは、該第１の切削ブレードを装着する際に該第１の切削ブレードの品種が登録されると、該第２の切削ユニットの該ブレードカバーの可動部は離間位置に設定されないが、該第１の切削ユニットの該ブレードカバーの可動部は離間位置に設定され、該第２の切削ブレードを装着する際に該第２の切削ブレードの品種が登録されると、該第１の切削ユニットの該ブレードカバーの可動部は離間位置に設定されないが、該第２の切削ユニットの該ブレードカバーの可動部は離間位置に設定されることを特徴とする。
【0008】
前記切削装置において、該切削ブレード又は該切削ブレードを収容するケースに設置され該切削ブレードの品種情報を含む識別コードを読み取る読み取りユニットを備え、該ブレード情報登録部には、該読み取りユニットによって読み取られた該品種情報が登録されても良い。
【0009】
前記切削装置において、該制御ユニットは、該切削ブレードと該スピンドルの組合せを含む加工条件を登録する加工条件登録部を備え、登録された該切削ブレードの該品種と該スピンドルの組合せから、該ブレードカバーの可動部を離間位置に設定する該切削ユニットを決定しても良い。
【発明の効果】
【0010】
本願発明の切削装置は、スピンドルに装着する切削ブレードの種類を間違えることなく、スピンドルに切削ブレードを装着することができる、という効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【0011】
【発明を実施するための形態】
【0012】
本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。
【0014】
実施形態１に係る切削装置１は、被加工物２０１を切削加工する装置である。実施形態１では、被加工物２０１は、シリコン、サファイア、ガリウムなどを母材とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハである。被加工物２０１は、表面２０２に格子状に形成された複数の分割予定ライン２０３によって格子状に区画された領域にデバイス２０４が形成されている。本発明の被加工物２０１は、中央部が薄化され、外周部に厚肉部が形成された所謂ＴＡＩＫＯウエーハでもよく、ウエーハの他に、樹脂により封止されたデバイスを複数有した矩形状のパッケージ基板、セラミックス板、ガラス板等でも良い。被加工物２０１は、裏面２０５に保護部材である粘着テープ２０６が貼着されている。粘着テープ２０６は、外周に環状フレーム２０７が取り付けられている。
【0015】
図１に示された切削装置１は、被加工物２０１をチャックテーブル１０で保持し分割予定ライン２０３に沿って切削ブレード２１（図２に示す）で切削する装置である。切削装置１は、図１に示すように、被加工物２０１を吸引保持する保持面１１を備えたチャックテーブル１０と、チャックテーブル１０に保持された被加工物２０１をスピンドル２２（図２に示す）に装着した切削ブレード２１で切削する切削ユニット２０と、制御ユニット１００とを備える。
【0016】
また、切削装置１は、チャックテーブル１０を保持面１１と平行な加工送り方向であるＸ軸方向に移動させる図示しない加工送りユニットと、切削ユニット２０を保持面１１と平行でかつＸ軸方向に直交する割り出し方向であるＹ軸方向に移動させる図示しない割り出し送りユニットと、切削ユニット２０をＸ軸方向とＹ軸方向との双方と直交する鉛直方向に平行なＺ軸方向に移動させる図示しない切り込み送りユニットとを備える。また、切削装置１は、切削前後の被加工物２０１を複数収容するカセット１１１が載置されかつカセット１１１をＺ方向に移動させるカセットエレベータ１１０と、カセット１１１に被加工物２０１を出し入れするとともに被加工物２０１を搬送する図示しない搬送ユニットとを備える。
【0017】
なお、切削装置１は、図１に示すように、切削ユニット２０を２つ備え、かつ切削ブレード２１同士が対面する位置に配置された、即ち、２スピンドルのダイサ、いわゆるフェイシングデュアルタイプの切削装置である。
【0018】
チャックテーブル１０は、円盤形状であり、被加工物２０１を保持する保持面１１がポーラスセラミック等から形成されている。また、チャックテーブル１０は、加工送りユニットにより移動自在で図示しない回転駆動源によりＺ方向と平行な軸心回りに回転自在に設けられている。チャックテーブル１０は、図示しない真空吸引源と接続され、真空吸引源により吸引されることで、切削ユニット２０の切削ブレード２１により切削加工される被加工物２０１を吸引、保持する。また、チャックテーブル１０の周囲には、エアーアクチュエータにより駆動して被加工物２０１の周囲の環状フレーム２０７を挟持するクランプ部１２が複数設けられている。
【0019】
次に、切削ユニット２０を図面に基いて説明する。図２は、図１に示された切削装置の切削ユニットのスピンドルユニットを示す斜視図である。図３は、図２に示すスピンドルユニットのスピンドルとフランジとを示す斜視図である。図４は、図２に示すスピンドルユニットのスピンドルと切削ブレードとを示す斜視図である。図５は、図２に示すスピンドルユニットのＹ軸方向の断面図である。図６は、図５に示されたスピンドルユニットのスピンドルがロックされた状態を示す断面図である。図７は、図１に示された切削装置の切削ユニットの正面図である。図８は、図７に示された切削装置の切削ユニットのブレードカバーの可動部が離間位置に位置付けられた状態を示す正面図である。
【0020】
切削ユニット２０は、図２に示すように、スピンドル２２の先端に固定されたフランジ２９に切削ブレード２１が挟持されて装着される。切削ユニット２０は、チャックテーブル１０に保持された被加工物２０１を切削ブレード２１で切削するものである。切削ユニット２０は、それぞれ、チャックテーブル１０に保持された被加工物２０１に対して、割り出し送りユニットによりＹ軸方向に移動自在に設けられ、かつ、切り込み送りユニットによりＺ軸方向に移動自在に設けられている。
【0021】
切削ユニット２０は、図２に示すスピンドルユニット２７と、図７に示すブレードカバー３０とを備える。スピンドルユニット２７は、図２、図３及び図４に示すように、スピンドル２２と、スピンドルハウジング２３と、第１のフランジ部材２４（図３及び図４に示す）と、切削ブレード２１と、円環状の第２のフランジ部材２５（図２及び図７に示す）とを備える。
【0022】
スピンドル２２は、図５及び図６に示すスピンドルモータ２２３によりＹ軸方向と平行な軸心回りに回転される。スピンドルモータ２２３は、スピンドル２２に連結されたロータ２２４と、ロータ２２４を回転させるステータ２２５とを備える。スピンドル２２の先端部には、図３に示すように、先端に向かうに従って徐々に小径となるテーパ部２２１と、テーパ部２２１よりも先端側に設けられた雄ねじ２２２が形成されている。スピンドルハウジング２３は、割り出し送りユニットによりＹ軸方向に移動自在に設けられ、かつ切り込み送りユニットによりＺ軸方向に移動自在に設けられた略円筒状に形成されている。スピンドルハウジング２３は、雄ねじ２２２が形成された先端部を露出させた状態でスピンドル２２を収容している。スピンドルハウジング２３は、スピンドル２２を軸心回りに回転自在に支持している。
【0023】
第１のフランジ部材２４は、スピンドル２２の先端部の外周に取り付けられる円筒状の円筒部２４１と、円筒部２４１の外周面から径方向外向きに延出したフランジ部２４２とを備える。円筒部２４１のフランジ部２４２よりも先端側には、雄ねじ２４３が形成されている。第１のフランジ部材２４は、円筒部２４１内にスピンドル２２の先端部が嵌め込まれ、ナット２８がスピンドル２２の先端部に設けられた雄ねじ２２２の外周に螺合することにより、図４に示すように、スピンドル２２に固定される。
【0024】
切削ブレード２１は、いわゆるハブブレードであり、円盤状の支持基台２１１の外周に固定されて、被加工物２０１を切削する円環状の切り刃２１２を備える。切り刃２１２は、ダイヤモンドやＣＢＮ（Cubic Boron Nitride）等の砥粒と、金属や樹脂等のボンド材（結合材）とからなり所定厚みに形成されている。なお、切削ブレード２１として、切り刃２１２のみで構成されたワッシャーブレードを用いてもよい。
【0025】
切削ブレード２１は、第１のフランジ部材２４の円筒部２４１を内側に通して、フランジ部２４２の表面上に重ねられ、第２のフランジ部材２５が円筒部２４１に形成された雄ねじ２４３の外周に螺合して、第１のフランジ部材２４と第２のフランジ部材２５との間に保持されて、スピンドル２２に固定される。第１のフランジ部材２４と第２のフランジ部材２５とは、互いの間に切削ブレード２１を挟んで把持し、第１のフランジ部材２４がスピンドル２２の一端部に固定され、第２のフランジ部材２５が第１のフランジ部材２４に固定されることで、切削ブレード２１をスピンドル２２に固定するフランジ２９を構成する。こうして、切削ユニット２０のスピンドルユニット２７は、スピンドル２２の先端に固定されたフランジ２９に切削ブレード２１が挟持され装着される。
【0026】
また、スピンドルユニット２７は、図５及び図６に示すように、スピンドル２２の回転を規制するロック機構２７１を備えている。このロック機構２７１は、例えば特開２００４−２３５２５０号公報中に示されるロック装置と同一構成でよく、詳細構成は省略する。ロック機構２７１は、スピンドル２２の所定位置の同一円周上に形成された複数（例えば、３個）の係合穴２７２に係脱自在に係合するようにスピンドルハウジング２３に径方向にスライド自在に設けられたシャフトロックピン２７３を備える。
【0027】
シャフトロックピン２７３は、コイルばね２７４により係合穴２７２から離脱する方向に付勢されている。ロック機構２７１は、図６に示すように、制御ユニット１００により制御される切換弁２７５を介して、加圧気体供給源２７６から加圧された気体がシャフトロックピン２７３に供給されると、シャフトロックピン２７３がコイルばね２７４の付勢力に抗してスライドして、係合穴２７２内に係合してスピンドル２２の回転を規制する（即ちスピンドル２２をロックする）。ロック機構２７１は、図５に示すように、切換弁２７５を介して、加圧気体供給源２７６から加圧された気体がシャフトロックピン２７３に供給されないと、シャフトロックピン２７３がコイルばね２７４の付勢力により係合穴２７２内から離脱してスピンドル２２の回転を許容する。
【0028】
ブレードカバー３０は、スピンドルハウジング２３に固定され、切削ブレード２１の上方及びＸ軸方向の両側を覆って、切削加工中に加工液である切削水を切削ブレード２１に供給するものである。ブレードカバー３０は、図７及び図８に示すように、固定部３１と、可動部３２とを備える。
【0029】
固定部３１は、スピンドルハウジング２３に固定される。固定部３１は、切削ブレード２１の上方及びＸ軸方向の一方側を覆う。固定部３１は、ブレード破損検出器５０を取り付けているとともに、切削加工中に切削ブレード２１に切削水を供給する切削水噴射口３１１が設けられている。ブレード破損検出器５０は、切削ブレード２１の回転中に切削ブレード２１の破損又は磨耗を検出するものである。ブレード破損検出器５０は、検出結果を制御ユニット１００に出力する。
【0030】
可動部３２は、加工液ノズルである切削水ノズル３２１を固定部３１に開閉可能に装着しているものであり、固定部３１のＸ軸方向の他方側に取り付けられている。可動部３２は、固定部３１にＸ軸方向に移動自在に支持されている。可動部３２は、固定部３１に収容されたエアーシリンダ３１２のロッド３１３（図８に示す）が伸縮することにより、固定部３１に対してＸ軸方向に移動される。また、可動部３２は、下端に切削水ノズル３２１を装着している。切削水ノズル３２１は、可動部３２の下端から切削水噴射口３１１に向かって延びており、切削加工中に切削ブレード２１及び切削ブレード２１が切削する被加工物２０１の切削箇所に切削水を供給する切削水供給孔（図示せず）を複数設けている。
【0031】
可動部３２は、エアーシリンダ３１２のロッド３１３が伸縮することにより、切削水ノズル３２１が切削ブレード２１に近接した図７に示す近接位置と、切削ブレード２１から離間しスピンドル２２に切削ブレード２１を着脱可能とする図８に示す離間位置と、に選択的に位置付け可能である。近接位置は、スピンドル２２への切削ブレード２１の着脱を切削水ノズル３２１等が規制する位置であり、離間位置は、スピンドル２２への切削ブレード２１の着脱を許容する位置である。
【0032】
次に、切削ユニット２０の切削ブレード２１を交換する手順を図面に基いて説明する。図９は、図１に示された切削装置の切削ブレードを交換する際に用いられる着脱治具を示す斜視図である。図１０は、図９に示された着脱治具を回転するためのトルクドライバを示す平面図である。図１１は、図１に示された切削装置の切削ブレードを交換する状態を示す正面図である。図１２は、図１に示された切削装置の切削ブレードを交換する状態を一部断面で示す側面図である。
【0033】
切削ユニット２０の切削ブレード２１を交換する際には、ブレードカバー３０の可動部３２を離間位置に位置付けて、第２のフランジ部材２５を第１のフランジ部材２４の円筒部２４１の外周に着脱する。図９に示す着脱治具４０及び図１０に示すトルクドライバ４１は、第２のフランジ部材２５を第１のフランジ部材２４の円筒部２４１の外周に着脱するためのものである。
【0034】
着脱治具４０は、図９に示すように、円形凹部４０１を有しており、円形凹部４０１の内周面に周方向に等間隔離間して４個の固定ナット把持爪４０２が配設されている。円形凹部４０１は、離間位置に位置付けられている切削ユニット２０の第２のフランジ部材２５の外側に被さることができる。なお、円形凹部４０１は、着脱治具４０が切削水ノズル３２１等と接触して、近接位置に位置付けられている切削ユニット２０の第２のフランジ部材２５の外側には被さることができない。固定ナット把持爪４０２は、半径方向に弾性変形可能に配設され、互いの間に円形凹部４０１が被さった第２のフランジ部材２５を外側から把持可能である。円形凹部４０１の中央部には、トルクドライバ４１の先端の差し込み用の貫通孔４０３が形成されている。貫通孔４０３の平面形状は、正六角形である。
【0035】
トルクドライバ４１は、図１０に示すように、着脱治具４０の貫通孔４０３中に挿入される断面６角形状の係合部４１１と、トルクドライバ回転用のハンドル４１２とを有している。トルクドライバ４１は、第２のフランジ部材２５の外側に被さった着脱治具４０の貫通孔４０３に係合部４１１が挿入されて、ハンドル４１２が回転されることにより、第２のフランジ部材２５を第１のフランジ部材２４に対して回転させる。
【0036】
切削ユニット２０の切削ブレード２１を交換する際には、ブレードカバー３０の可動部３２を離間位置に位置付けて、図１１及び図１２に示すように、円形凹部４０１を第２のフランジ部材２５の外側に被せ、貫通孔４０３内にハンドル４１２の係合部４１１を挿入する。ハンドル４１２を回転して、第２のフランジ部材２５を第１のフランジ部材２４に対して回転させて、第２のフランジ部材２５を第１のフランジ部材２４から取り外す。切削ブレード２１を交換し、その後、第２のフランジ部材２５を着脱治具４０の円形凹部４０１内に収容し、第２のフランジ部材２５を雄ねじ２４３の外周に螺合し、貫通孔４０３内にハンドル４１２の係合部４１１を挿入する。ハンドル４１２を回転して、第２のフランジ部材２５を第１のフランジ部材２４に対して回転させて、第２のフランジ部材２５を第１のフランジ部材２４に固定して、フランジ部材２４，２５間に交換後の切削ブレード２１を挟持する。なお、着脱治具４０及びトルクドライバ４１は、円形凹部４０１が近接位置に位置付けられている切削ユニット２０の第２のフランジ部材２５の外側には被さることができないので、近接位置に位置付けられている切削ユニット２０の第２のフランジ部材２５を第１のフランジ部材２４に対して回転させることができない。
【0037】
また、実施形態１において、交換用の切削ブレード２１は、図１３及び図１４に示すケース６０に収容されている。図１３は、図１に示された切削装置の交換用の切削ブレードをケース内に収容するところを示す分解斜視図である。図１４は、図１に示された切削装置の交換用の切削ブレードを収容するケースの平面図である。
【0038】
ケース６０は、合成樹脂により構成され、透明であるのが好ましい。ケース６０は、図１３に示すように、本体ケース６１と、本体ケース６１にヒンジ部６２で開閉可能に取り付けられたカバー６３とから構成される。ヒンジ部６２は、本体ケース６１及びカバー６３よりも厚みが薄く形成されて可撓性を有する、所謂セルフヒンジである。本体ケース６１は、切削ブレード２１の中央に設けられた孔が嵌合される円形凸部６４を備えている。
【0039】
カバー６３は、本体ケース６１の外側に係止可能なフック６５が一体的に形成されており、フック６５を本体ケース６１に形成された係合突起６６に係止することにより、カバー６３が、図１４に示すように本体ケース６１に対して閉じた状態で保持される。
【0040】
ケース６０のカバー６３は、外表面の所定箇所に切削ブレード２１の品種情報である種類を特定する着脱シール７０が貼着（設置）されている。着脱シール７０は、切削ブレード２１の種類を特定するための品種情報を含む識別コードであるバーコード７１が印刷されている。また、実施形態１において、着脱シール７０は、切削ブレード２１の種類を示す文字列７２も印刷されている。バーコード７１は、切削ブレード２１の種類を示す。
【0041】
また、切削装置１は、バーコード７１を読み取る図１５に示す読み取りユニット８０を備える。図１５は、図１に示された切削装置の読み取りユニットを示す斜視図である。実施形態１において、読み取りユニット８０は、バーコード７１を光学的に読み取るバーコードリーダである。読み取りユニット８０は、読み取ったバーコード７１が示す切削ブレード２１の種類を制御ユニット１００に出力する。
【0042】
前述した切削装置１は、２つの切削ユニット２０のスピンドル２２に互いに異なる種類の切削ブレード２１を装着し、一方の切削ユニット２０の切削ブレード２１で分割予定ライン２０３の厚み方向の途中まで切削した後、他方の切削ユニット２０の切削ブレード２１で被加工物２０１をデバイス２０４に分割する、所謂ステップカットを行う装置である。
【0043】
以下、一方の切削ユニット２０を第１の切削ユニット２０−１と記し、第１の切削ユニット２０−１のスピンドル２２を第１のスピンドル２２−１、切削ブレード２１を第１の切削ブレード２１−１と記す。また、他方の切削ユニット２０を第２の切削ユニット２０−２と記し、第２の切削ユニット２０−２のスピンドル２２を第２のスピンドル２２−２、切削ブレード２１を第２の切削ブレード２１−２と記す。また、第１の切削ユニット２０−１と第２の切削ユニット２０−２とを区別する必要がない場合には、単に切削ユニット２０と記し、第１のスピンドル２２−１と第２のスピンドル２２−２とを区別する必要がない場合には、単にスピンドル２２と記し、第１の切削ブレード２１−１と第２の切削ブレード２１−２とを区別する必要がない場合には、単に切削ブレード２１と記す。切削装置１が、所謂ステップカットを行うために、第１の切削ユニット２０−１の第１のスピンドル２２−１に装着される第１の切削ブレード２１−１の種類は、予め定められ、かつ第２の切削ユニット２０−２の第２のスピンドル２２−２に装着される第２の切削ブレード２１−２の種類は、予め定められ、かつ第１の切削ブレード２１−１の種類と異なる。
【0044】
制御ユニット１００は、切削装置１の上述した各構成要素をそれぞれ制御して、被加工物２０１に対する加工動作を切削装置１に実施させるものである。なお、制御ユニット１００は、コンピュータである。制御ユニット１００は、加工動作の状態や画像などを表示する液晶表示装置などにより構成される表示ユニット２００及びオペレータが加工内容情報などを登録する際に用いる図示しない入力装置と接続されている。入力装置は、表示ユニット２００に設けられたタッチパネルと、キーボード等の外部入力装置とのうち少なくとも一つにより構成される。図１６は、図１に示された切削装置の制御ユニットの機能ブロック図である。
【0045】
また、制御ユニット１００は、図１及び図１６に示すように、ブレード情報登録部１０１と、加工条件登録部１０２と、決定部１０３とを備える。ブレード情報登録部１０１は、各切削ユニット２０−１，２０−２のスピンドル２２−１，２２−２に装着する切削ブレード２１−１，２１−２の品種である種類を登録するものである。ブレード情報登録部１０１には、読み取りユニット８０によって読み取られた品種情報である切削ブレード２１の種類が登録される。
【0046】
加工条件登録部１０２は、切削ブレード２１−１，２１−２とスピンドル２２−１，２２−２の組合せを含む加工条件１０４を登録するものである。加工条件登録部１０２に登録される加工条件１０４は、図１６に示すように、第１の切削ユニット２０−１の条件を登録する第１の切削条件登録部１０４−１と、第２の切削ユニット２０−２の条件を登録する第２の切削条件登録部１０４−２と、被加工物２０１の加工条件を登録する被加工物条件登録部１０４−３とを備える。
【0047】
第１の切削条件登録部１０４−１は、第１の切削ユニット２０−１の第１のスピンドル２２−１に装着される第１の切削ブレード２１−１の種類、切削可能な分割予定ライン２０３の数、及び切削可能な長さが入力装置などから登録される。第２の切削条件登録部１０４−２は、第２の切削ユニット２０−２の第２のスピンドル２２−２に装着される第２の切削ブレード２１−２の種類、切削可能な分割予定ライン２０３の数、及び切削可能な長さが入力装置などから登録される。
【0048】
被加工物条件登録部１０４−３は、被加工物２０１の外径、厚さ、粘着テープ２０６の厚さ、切削加工時の第１の切削ブレード２１−１の保持面１１からの高さ、第１のスピンドル２２−１の回転数、切削加工時の第２の切削ブレード２１−２の保持面１１からの高さ、第２のスピンドル２２−２の回転数、及び加工送り速度が入力装置などから登録される。
【0049】
決定部１０３は、ブレード情報登録部１０１に登録された切削ブレード２１の種類と、加工条件登録部１０２に登録されているスピンドル２２−１，２２−２の組合せから、ブレードカバー３０の可動部３２を離間位置に設定する切削ユニット２０を切削ユニット２０−１，２０−２のうちの一方に決定するものである。決定部１０３は、ブレード情報登録部１０１に読み取りユニット８０が読み取った切削ブレード２１の種類が登録されると、第１の切削条件登録部１０４−１と第２の切削条件登録部１０４−２とを参照する。
【0050】
決定部１０３は、第１の切削条件登録部１０４−１と第２の切削条件登録部１０４−２とのうちブレード情報登録部１０１に登録された切削ブレード２１の種類と、同じ切削ブレード２１の種類が登録されているものを特定し、特定した切削条件登録部１０４−１，１０４−２が対応する切削ユニット２０−１，２０−２を特定する。決定部１０３は、特定した切削ユニット２０−１，２０−２のスピンドルモータ２２３を停止し、ロック機構２７１のシャフトロックピン２７３に加圧された気体を供給して。ロック機構２７１にスピンドル２２−１，２２−２の回転を規制させる即ちスピンドル２２−１，２２−２をロックする。決定部１０３は、特定した切削ユニット２０−１，２０−２のブレードカバー３０内のエアーシリンダ３１２のロッド３１３を伸張させて、可動部３２を離間位置に設定し、特定しなかった切削ユニット２０−１，２０−２のブレードカバー３０内のエアーシリンダ３１２のロッド３１３を縮小させたままにして可動部３２を近接位置に維持する。
【0051】
こうして、決定部１０３は、第１の切削ブレード２１−１を装着する際に、ブレード情報登録部１０１に第１の切削ブレード２１−１の種類が登録されると、第２の切削ユニット２０−２のブレードカバー３０の可動部３２は近接位置に維持されて離間位置に設定されないが、第１の切削ユニット２０−１の第１のスピンドル２２−１をロックし、第１の切削ユニット２０−１のブレードカバー３０の可動部３２は離間位置に設定される。また、決定部１０３は、第２の切削ブレード２１−２を装着する際に、ブレード情報登録部１０１に第２の切削ブレード２１−２の種類が登録されると、第１の切削ユニット２０−１のブレードカバー３０の可動部３２は近接位置に維持されて離間位置に設定されないが、第２の切削ユニット２０−２の第２のスピンドル２２−２をロックし、第２の切削ユニット２０−２のブレードカバー３０の可動部３２は離間位置に設定される。
【0052】
次に、実施形態１に係る切削装置１の加工動作を説明する。実施形態１に係る切削装置１の加工動作は、オペレータが加工内容情報を制御ユニット１００に登録し、オペレータが切削加工前の被加工物２０１を収容したカセット１１１をカセットエレベータ１１０に載置し、オペレータから加工動作の開始指示があると、制御ユニット１００により開始される。
【0053】
加工動作において、制御ユニット１００は、被加工物２０１を搬送ユニットに取り出させ、粘着テープ２０６を介して被加工物２０１を保持面１１に吸引保持する。制御ユニット１００は、第２の切削ユニット２０−２に取り付けられた図示しない撮像ユニットが撮像した画像に切削ユニット２０−１，２０−２の切削ブレード２１−１，２１−２との位置合わせを行なうためのパターンマッチング等の画像処理を実行し、チャックテーブル１０に保持された被加工物２０１と切削ユニット２０−１，２０−２との相対位置を調整する。
【0054】
そして、制御ユニット１００は、加工内容情報に基づいて、加工送りユニットと割り出し送りユニットと切り込み送りユニットと回転駆動源により、切削ブレード２１−１，２１−２と被加工物２０１とを分割予定ライン２０３に沿って相対的に移動させて、被加工物２０１の分割予定ライン２０３を切削する。
【0055】
制御ユニット１００は、すべての分割予定ライン２０３を切削して、被加工物２０１を個々のデバイス２０４に分割すると、被加工物２０１をカセット１１１内に搬入し、カセット１１１内に収容した被加工物２０１を順に切削加工して、カセット１１１内の全ての被加工物２０１の切削加工が完了すると加工動作を終了する。
【0056】
以上のように、実施形態１に係る切削装置１によれば、第１の切削ブレード２１−１を装着する際には、第１の切削ユニット２０−１のブレードカバー３０の可動部３２のみが離間位置に設定され、第２の切削ブレード２１−２を装着する際には、第２の切削ユニット２０−２のブレードカバー３０の可動部３２のみが離間位置に設定される。このために、切削装置１は、着脱治具４０を用いて離間位置に位置付けられた切削ユニット２０−１，２０−２のスピンドル２２−１，２２−２に切削ブレード２１−１，２１−２を装着することができる。また、切削装置１は、着脱治具４０等が近接位置に位置付けられている切削ユニット２０の第２のフランジ部材２５を回転させることができないので、近接位置に位置付けられている切削ユニット２０のスピンドル２２に切削ブレード２１を装着したくても物理的に装着することができない。その結果、切削装置１は、オペレータの注意力が散漫になったとしても、スピンドル２２に装着する切削ブレード２１の種類を間違えることなく、スピンドル２２に切削ブレード２１を装着することができる。
【0057】
また、切削装置１は、切削ブレード２１を収容するケース６０に設置されたバーコード７１を読み取る読み取りユニット８０を備え、ブレード情報登録部１０１に読み取りユニット８０が読み取った切削ブレード２１の種類が登録される。このために、切削装置１は、読み取りユニット８０でバーコード７１を読み取ることにより、スピンドル２２に装着する切削ブレード２１の種類を間違えることなく、スピンドル２２に切削ブレード２１を装着することができる。
【0058】
また、切削装置１は、制御ユニット１００の加工条件登録部１０２の切削条件登録部１０４−１，１０４−２に各切削ユニット２０−１，２０−２のスピンドル２２−１，２２−２に装着する切削ブレード２１−１，２１−２の種類を登録している。このために、切削装置１は、ブレード情報登録部１０１に登録された切削ブレード２１の種類と切削条件登録部１０４−１，１０４−２に登録された切削ブレード２１−１，２１−２の種類とを照合することができる。その結果、ブレード情報登録部１０１に登録された種類の切削ブレード２１を装着する切削ユニット２０のブレードカバー３０の可動部３２のみを確実に離間位置に位置付けることができる。
【0059】
〔実施形態２〕本発明の実施形態２に係る切削装置を図面に基いて説明する。図１７は、実施形態２に係る切削装置の切削ユニットに装着される切削ブレードとケースとを示す斜視図である。図１７は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
【0060】
実施形態２に係る切削装置１は、切削ブレード２１の支持基台２１１の所定箇所に切削ブレード２１の種類を特定する着脱シール７０が貼着（設置）されていること以外、実施形態１と同じである。実施形態２に係る切削装置１の読み取りユニット８０は、切削ブレード２１に設置された着脱シール７０のバーコード７１を読み取る。
【0061】
実施形態２に係る切削装置１は、実施形態１と同様に、離間位置に位置付けられた切削ユニット２０のスピンドル２２に切削ブレード２１を装着することにより、スピンドル２２に装着する切削ブレード２１の種類を間違えることなく、スピンドル２２に切削ブレード２１を装着することができる。
【0062】
また、実施形態２に係る切削装置１は、切削ブレード２１の支持基台２１１の所定箇所に切削ブレード２１の種類を特定する着脱シール７０が貼着されているので、ケース６０から切削ブレード２１を取り外して、時間などが経過し、切削ブレード２１を取り出したケース６０が不明となっても、切削ブレード２１の貼着されたバーコード７１を読み取ることで、種類を誤ることなく切削ブレード２１をスピンドル２２に装着することができる。
【0063】
前述した実施形態１及び実施形態２に係る切削装置１の制御ユニット１００は、ＣＰＵ（central processing unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read only memory）又はＲＡＭ（random access memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有する。制御ユニット１００の演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、切削装置１を制御するための制御信号を、入出力インターフェース装置を介して切削装置１の上述した構成要素に出力する。また、制御ユニット１００のブレード情報登録部１０１の機能は、読み取りユニット８０が読み取った切削ブレード２１の種類を演算処理装置が記憶装置に書き込むことにより実現される。制御ユニット１００の加工条件登録部１０２の機能は、加工条件を演算処理装置が記憶装置に書き込むことにより実現される。即ち、制御ユニット１００のブレード情報登録部１０１及び加工条件登録部１０２の機能は、記憶装置により実現される。制御ユニット１００の決定部１０３の機能は、演算処理装置が記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムを実行することにより実現される。
【0064】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。実施形態１及び実施形態２に示された切削装置１は、読み取りユニット８０がバーコード７１を読み取って、ブレード情報登録部１０１に読み取りユニット８０が読み取った切削ブレード２１−１，２１−２の種類が登録されるが、本発明では、オペレータが入力装置を操作して、ブレード情報登録部１０１に切削ブレード２１−１，２１−２の種類が登録されても良い。
【符号の説明】
【0065】
１ 切削装置１０ チャックテーブル
２０ 切削ユニット
２０−１ 第１の切削ユニット
２０−２ 第２の切削ユニット
２１ 切削ブレード
２１−１ 第１の切削ブレード
２１−２ 第２の切削ブレード
２２ スピンドル
２２−１ 第１のスピンドル
２２−２ 第２のスピンドル
２３ スピンドルハウジング
２９ フランジ
３０ ブレードカバー
３１ 固定部
３２ 可動部
６０ ケース
７１ バーコード（識別コード）
８０ 読み取りユニット
１００ 制御ユニット
１０１ ブレード情報登録部
１０２ 加工条件登録部
２０１ 被加工物
３２１ 切削水ノズル（加工液ノズル）