特許6848849ｐ型シリコンウェーハ中のＦｅ濃度測定方法及びＳＰＶ測定装置

発明の名称　ｐ型シリコンウェーハ中のＦｅ濃度測定方法及びＳＰＶ測定装置

出願人　株式会社ＳＵＭＣＯ　（識別番号 302006854）

　　　　特許公開件数ランキング 673 位（35件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 357 位（70件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6848849

公報発行日　2021年3月24

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6848849

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-6848849「ｐ型シリコンウェーハ中のＦｅ濃度測定方法及びＳＰＶ測定装置」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録