特許第6849792号(P6849792)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6849792表面フィーチャを充填する低ｋ膜を作るための前駆体および流動性ＣＶＤ法
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  • 特許6849792-表面フィーチャを充填する低ｋ膜を作るための前駆体および流動性ＣＶＤ法 図000008
  • 特許6849792-表面フィーチャを充填する低ｋ膜を作るための前駆体および流動性ＣＶＤ法 図000009
  • 特許6849792-表面フィーチャを充填する低ｋ膜を作るための前駆体および流動性ＣＶＤ法 図000010
  • 特許6849792-表面フィーチャを充填する低ｋ膜を作るための前駆体および流動性ＣＶＤ法 図000011
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