特許第6851382号(P6851382)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6851382基板を保持するための保持構成、基板を支持するためのキャリア、真空処理システム、基板を保持するための方法、及び基板を解放するための方法
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