特許 6851688 加工工具の管理方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6851688

(24)【登録日】2021年3月12日

(45)【発行日】2021年3月31日

(54)【発明の名称】加工工具の管理方法

(51)【国際特許分類】

   B23Q 41/08 20060101AFI20210322BHJP

   B23Q 11/00 20060101ALI20210322BHJP

   B23Q 17/00 20060101ALI20210322BHJP

   G05B 19/048 20060101ALI20210322BHJP

   G06Q 50/04 20120101ALI20210322BHJP

   B42D 15/00 20060101ALI20210322BHJP

   G09F 3/02 20060101ALI20210322BHJP

   B65G 1/137 20060101ALI20210322BHJP

   G05B 19/418 20060101ALN20210322BHJP

   G09F 3/00 20060101ALN20210322BHJP

【ＦＩ】

   B23Q41/08 B

   B23Q11/00 R

   B23Q17/00 G

   B23Q17/00 F

   B23Q17/00 D

   G05B19/048

   G06Q50/04

   B42D15/00

   G09F3/02 F

   B65G1/137 C

   !G05B19/418 Z

   !G09F3/00 M

【請求項の数】5

【全頁数】8

(21)【出願番号】特願2017-84706(P2017-84706)

(22)【出願日】2017年4月21日

(65)【公開番号】特開2018-181266(P2018-181266A)

(43)【公開日】2018年11月15日

【審査請求日】2020年2月19日

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】100075384

【弁理士】

【氏名又は名称】松本 昂

(74)【代理人】

【識別番号】100172281

【弁理士】

【氏名又は名称】岡本 知広

(74)【代理人】

【識別番号】100206553

【弁理士】

【氏名又は名称】笠原 崇廣

(72)【発明者】

【氏名】関家 一馬

【審査官】 松本 泰典

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１２−６８０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平４−２６７４７２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１４−３４０８９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１４−６５５８３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１６−１３９３３３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−２９５７２７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００２−１６３５１３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０５Ｂ １９／０４８

Ｂ２３Ｑ ４１／０８

Ｂ２３Ｑ １１／００

Ｂ２３Ｑ １７／００

Ｂ４２Ｄ １５／００

Ｇ０５Ｂ １９／４１８

Ｇ０６Ｑ ５０／０４

Ｇ０９Ｆ ３／００

Ｇ０９Ｆ ３／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

加工装置に装着する加工工具の管理方法であって、
該加工工具を該加工装置に装着する際に、該加工工具又は該加工工具のケースに表示された該加工工具の品種を示す品種情報と該加工工具のシリアル番号とを、該加工装置に入力する情報入力ステップと、
入力された情報から、同一の品種毎に、加工工具毎に異なるシリアル番号の入力数をカウントし、品種毎に加工工具の使用数を集計する集計ステップと、を備え、
該使用数から品種毎の発注タイミングを判断する加工工具の管理方法。

【請求項2】

該集計ステップでは、一括発注され複数の加工装置で使用された品種毎の使用数が集計される請求項１記載の加工工具の管理方法。

【請求項3】

該情報入力ステップでは、該加工装置に備えられた読み取りユニットで該品種情報と該シリアル番号とが読み取られる請求項１記載の加工工具の管理方法。

【請求項4】

該加工工具は、チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードである請求項１記載の加工工具の管理方法。

【請求項5】

該加工工具の品種毎に使用数の閾値を設定し、該使用数が該閾値に達したか否かで発注タイミングが判定される判定ステップを更に備えた請求項１記載の加工工具の管理方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、切削装置で使用される切削ブレード等の加工工具の管理方法に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体ウェーハや樹脂パッケージ基板、ガラスやセラミックス等の板状被加工物を個々のチップに分割したり薄化したりするのに、切削ブレード又は研削砥石を有する研削ホイール等の加工工具を、切削装置や研削装置等の加工装置に装着して加工する技術が知られている。

【0003】

これらの加工工具を加工装置に装着する際には、加工工具のサイズや製品情報（砥粒のサイズやボンドの種類等）を加工装置に入力して装着する。その際に、入力ミスの防止と利便性のため、加工工具やケースに設定された品種情報等の識別コードを装置に読み取らせて入力できる装置も開発されている（例えば、特開２００１−１４４０３４号公報及び特開２００９−０４６２２６号公報参照）。

【0004】

切削ブレード等の加工工具は消耗品であり、加工工具のユーザーはメーカーに必要個数を適宜発注する（例えば、特開２００９−１０４２７２号公報参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２００１−１４４０３４号公報

【特許文献2】特開２００９−０４６２２６号公報

【特許文献3】特開２００９−１０４２７２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

加工工具を発注する際、発注担当者は、無駄なく発注するために、加工工具の使用数を確認し発注数を決定するが、その度に、倉庫の在庫状況を確認したり、一定期間で使用された加工工具の個数を装置や管理表等を見て確認したりと、発注するための情報を収集するのに多大な工数をかけていた。

【0007】

本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、加工工具の使用数を容易にカウントでき、加工工具の使用状況に基づいて発注個数を容易に決定できる加工工具の管理方法を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明によると、加工装置に装着する加工工具の管理方法であって、該加工工具を該加工装置に装着する際に、該加工工具又は該加工工具のケースに表示された品種を示す該加工工具の品種情報と該加工工具のシリアル番号とを、該加工装置に入力する情報入力ステップと、入力された情報から、同一の品種毎に、加工工具毎に異なるシリアル番号の入力数をカウントし、品種毎に加工工具の使用数を集計する集計ステップと、を備え、該使用数から品種毎の発注タイミングを判断する加工工具の管理方法が提供される。

【0009】

好ましくは、集計ステップでは、一括発注され複数の加工装置で使用された品種毎の使用数が集計される。好ましくは、情報入力ステップでは、加工装置に備えられた読み取りユニットで品種情報とシリアル番号とが読み取られる。

【0010】

好ましくは、加工工具の管理方法は、加工工具の品種毎に使用数の閾値を設定し、使用数が閾値に達したか否かで発注タイミングが判定される判定ステップを更に備えている。

【発明の効果】

【0011】

本発明の加工装置の管理方法によると、品種情報を有する品種情報とシリアル番号を加工装置に登録するだけで、複数の加工装置で多くの同一の加工工具が使用されていたとしても、加工工具の使用数を容易にカウントすることができる。よって、消耗品である加工工具の発注時に、加工工具の使用状況に基づいて発注個数を容易に決定することができる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】切削装置の外観斜視図である。

【図2】収容ケース内に切削ブレードを収容する状態を示す分解斜視図である。

【図3】収容ケースの平面図である。

【図4】情報登録ステップを示す斜視図である。

【図5】本発明の管理方法が適用されるシステム構成図である。

【図6】情報入力ステップ及びカウントステップを説明するブロック図である。

【図7】判定ステップを説明するブロック図である。

【図8】発注ステップを説明するブロック図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１を参照すると、加工装置の一種である切削装置の全体斜視図が示されている。切削装置２の機構部は、複数のパネルを形成された外装カバー４内に収容されている。

【0014】

６はチャックテーブルであり、回転可能且つＸ軸方向に移動可能に構成されている。チャックテーブル６には、よく知られているようにダイシングテープを介してウェーハを支持する環状フレームをクランプする複数のクランプ８が配設されている。

【0015】

切削装置２は、Ｙ軸方向に整列して配設された第１切削ユニット１０及び第２切削ユニット１２を有している。第１切削ユニット１０及び第２切削ユニット１２とも、Ｙ軸方向に伸長するガイドレール１４に案内されてＹ軸方向に移動可能であると共に、Ｚ軸方向（高さ方向）にも移動可能に配設されている。切削装置２はスピンドルを２本有する所謂デュアルダイサーである。

【0016】

１６は内部に複数枚のウェーハを収容したカセット２６を載置するカセット載置台であり、上下方向（Ｚ軸方向）に移動可能に構成されている。カセット２６内には、ウェーハ１１をダイシングテープＴを介して環状フレームＦで支持した形態のウェーハユニット１３が複数枚収容されて、カセット載置台１６上に載置される。

【0017】

１８は切削装置２の稼働状況を表示する表示ランプであり、切削装置２が正常作動時には例えば緑色で点灯し、何らかの故障が発生した場合には赤色が点滅する。２０はタッチパネル式の表示モニタであり、オペレータが装置の操作指令を入力できると共に、装置の稼働状況が表示モニタ２０上に表示される。

【0018】

２２，２４は非常停止ボタンであり、オペレータがこの非常停止ボタン２２，２４を押すと切削装置２の作動を直ちに停止することができる。表示モニタ２０に隣接して、読み取り部３０を有する読み取りユニット２８が配設されている。

【0019】

図２を参照すると、切削ブレード４２を収容ケース３２内に収容する所を示す分解斜視図が示されている。収容ケース３２は樹脂のモールド成形体から形成されており、透明であるのが好ましい。

【0020】

収容ケース３２は、本体ケース３４と、本体ケース３４にヒンジ部３８で開閉可能に取り付けられたカバー３６とから構成される。本体ケース３４には切削ブレード４２の装着穴４４が嵌合される円形凸部４０が形成されている。

【0021】

カバー３６にはフック５２が一体的に形成されており、このフック５２を本体ケース３４に形成された係合突起５４に係合することにより、カバー３６が本体ケース３４に対して閉じた状態で保持される。

【0022】

切削ブレード４２には、切削装置２の品種情報４８及びシリアル番号５０が印刷されたシール４６が貼付されている。品種情報４８は、ハブブレード又はワッシャーブレードといった切削ブレードの品種や切削ブレードのサイズ等の情報を含む。

【0023】

本実施形態では、品種情報４８はバーコードから構成される。シリアル番号５０は、切削ブレード毎に異なる番号、文字、記号等が付されて構成されている。シリアル番号から、切削ブレードの製造履歴等を追うことができる。

【0024】

図３を参照すると、収容ケース３２の平面図が示されており、収容ケース３２にも、内部に収容された切削ブレードの品種情報４８とシリアル番号５０と同一の品種情報４８及びシリアル番号５０が印刷されたシール４６が貼付されている。

【0025】

第１切削ユニット１０又は第２切削ユニット１２で被加工物の切削加工を継続して、切削ブレードに欠けが生じたり又は切削ブレードが相当程度磨耗した場合には、新たな切削ブレードを第１切削ユニット１０又は第２切削ユニット１２のスピンドルに装着する必要がある。

【0026】

このような場合、オペレータが新たな切削ブレードを収容した収容ケース３２に貼付されているシール４６に印刷された品種情報４８及びシリアル番号５０を読み取りユニット２８の読み取り部３０で読み取らせ、切削装置２のコントローラ６０のメモリに切削ブレードの品種情報４８及びシリアル番号５０を格納する。

【0027】

以下、図５乃至図８を参照して、本発明実施形態の加工工具の管理方法について説明する。図５は本発明実施形態の加工工具の管理方法が適用されるシステムのブロック図であり、それぞれコントローラ（制御ユニット）６０を有する複数台の切削装置２Ａ，２Ｂ，２Ｃがサーバー６２に接続されており、サーバー６２は複数台の（１台のみ図示）コンピュータ端末６４に接続されている。

【0028】

新たな切削ブレードを切削装置２Ａ，２Ｂ，又は２Ｃに装着する場合、読み取りユニット２８で収容ケース３２に貼付されているシール４６の品種情報４８及びシリアル番号５０を読み取り、これらの情報を自身のコントローラ６０に格納すると共に、サーバー６２に送信する。

【0029】

サーバー６２では、読み取りユニット２８から入力された情報から、切削装置の同一品種毎にシリアル番号５０の入力数がカウントされ、同一品種毎の使用数がサーバー６２で集計される。

【0030】

例えば、図６（Ａ）に示すように、切削装置２Ａに品種情報４８がＺＨ０１２０００でシリアル番号５０が１２３４５６７ＡＢＣの切削ブレードを装着する際に、品種情報４８及びシリアル番号５０を読み取りユニット２８に読み取らせると、サーバー６２に品種情報４８がＺＨ０１２０００でシリアル番号５０が１２３４５６７ＡＢＣの切削ブレードの使用量（使用数）が登録され、コンピュータ端末６４でもサーバー６２内の情報を呼び出すことができる。

【0031】

次いで、図６（Ｂ）に示すように、切削装置２Ｂに同一の品種情報４８でシリアル番号５０が７６５４３２１ＡＢＣの切削ブレードが装着されると、サーバー６２では、シリアル番号５０は図６（Ａ）の切削装置２Ａで使用された切削ブレードとは異なるが、同一品種であるＺＨ０１２０００の切削ブレードが使用されたと判断し、品種情報ＺＨ０１２０００の切削ブレードの使用量は２個であると登録される。サーバー６２内の情報はコンピュータ端末６２でも確認することができる。

【0032】

同一品種の切削ブレードの使用量が一定数に達すると、その品種の切削ブレードをメーカー側に発注する必要があるため、例えば図７に示すように、同一品種の切削ブレードの閾値を例えば５に設定する。

【0033】

切削装置２Ａ，２Ｂ，又は２Ｃで使用された品種情報ＺＨ０１２０００の切削ブレードが設定された閾値である５個に達すると、サーバー４２では該品種の切削ブレードは閾値に達したと判定する。

【0034】

この判定結果はコンピュータ端末６４でも確認できるため、切削装置のオペレータ又は購買担当者は、品種情報ＺＨ０１２０００の切削ブレードを必要個数メーカー側に発注する。

【0035】

切削ブレードの発注は図８に示すように、ユーザー側のサーバー６２とメーカー側のサーバー７２との間を通信回線で接続し、所定品種の切削ブレードが予め設定した閾値に達した際に、ユーザー側のサーバー６２からメーカー側のサーバー７２に発注情報を送信し、メーカー側の担当者がコンピュータ端末６４でこの発注情報を確認し、ユーザーＡに所定個数の切削ブレードを納品するように設定することができる。

【0036】

上述した実施形態では、加工工具として切削装置２の切削ブレードを採用し、切削ブレードの管理方法について説明したが、加工工具は切削ブレードに限られるものではなく、研削装置の研削ホイール、研磨装置の研磨パッド等の他の加工工具等も同様な方法で管理することができる。

【0037】

上述した実施形態では、品種情報４８及びシリアル番号５０は、切削ブレード等の加工工具にシールで添付された例を示したが、刻印等で工具に直接描かれていても良い。

【符号の説明】

【0038】

２，２Ａ，２Ｂ，２Ｃ 切削装置
２８ 読み取りユニット
３０ 読み取り部
３２ 収容ケース
４６ シール
４８ 品種情報
５０ シリアル番号
６０ コントローラ（制御ユニット）
６２ サーバー
６４ コンピュータ端末

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】