特許 6853873 樹脂膜の形成方法およびマスク

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6853873

(24)【登録日】2021年3月16日

(45)【発行日】2021年3月31日

(54)【発明の名称】樹脂膜の形成方法およびマスク

(51)【国際特許分類】

   C23C 14/12 20060101AFI20210322BHJP

   C23C 14/04 20060101ALI20210322BHJP

   C23C 14/58 20060101ALI20210322BHJP

   H01L 51/50 20060101ALI20210322BHJP

   H05B 33/10 20060101ALI20210322BHJP

【ＦＩ】

   C23C14/12

   C23C14/04 A

   C23C14/58 C

   H05B33/14 A

   H05B33/10

【請求項の数】5

【全頁数】12

(21)【出願番号】特願2019-501343(P2019-501343)

(86)(22)【出願日】2018年2月20日

(86)【国際出願番号】JP2018006003

(87)【国際公開番号】WO2018155440

(87)【国際公開日】20180830

【審査請求日】2019年3月15日

(31)【優先権主張番号】特願2017-30320(P2017-30320)

(32)【優先日】2017年2月21日

(33)【優先権主張国】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000231464

【氏名又は名称】株式会社アルバック

(74)【代理人】

【識別番号】100141139

【弁理士】

【氏名又は名称】及川 周

(74)【代理人】

【識別番号】100134359

【弁理士】

【氏名又は名称】勝俣 智夫

(74)【代理人】

【識別番号】100192773

【弁理士】

【氏名又は名称】土屋 亮

(72)【発明者】

【氏名】青代 信

(72)【発明者】

【氏名】清 健介

(72)【発明者】

【氏名】高橋 明久

【審査官】 今井 淳一

(56)【参考文献】

【文献】 国際公開第２０１２／０５３５３２（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開２０１６−１６６４１３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｃ２３Ｃ １４／１２

Ｃ２３Ｃ １４／０４

Ｃ２３Ｃ １４／５８

Ｈ０１Ｌ ５１／５０

Ｈ０５Ｂ ３３／１０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板上にパターニングされた樹脂膜を形成する方法であって、
マスク本体が可撓性の支持部と接着部とが重なった構造を有するマスクを用い、前記基板に対して前記接着部が接するように前記マスクを設ける第１工程と、
前記マスク本体に設けた開口部を通して前記基板に気化した樹脂材料を供給し該基板上で凝縮させ、該基板上に、ＵＶ光の照射により硬化若しくは重合する液状の樹脂材料膜を形成した後、該樹脂材料膜と前記マスクにＵＶ光を照射する第２工程と、
前記基板から前記マスクを剥離する第３工程と、
を少なくとも順に備える、
樹脂膜の形成方法。

【請求項2】

前記接着部としてＵＶ光の照射により前記基板に対する粘着性が低下する部材を用いる、
請求項１に記載の樹脂膜の形成方法。

【請求項3】

前記樹脂材料膜の厚さが前記接着部の厚さを超えないように制御する、
請求項１に記載の樹脂膜の形成方法。

【請求項4】

前記第１工程と前記第３工程は大気圧雰囲気において行われ、前記第２工程は減圧雰囲気において行われる、
請求項１に記載の樹脂膜の形成方法。

【請求項5】

マスク本体に設けた開口部を通して基板に液状の樹脂材料膜を形成した後、該樹脂材料膜を重合させて、該基板上に樹脂膜を形成するためのマスクであって、
前記マスク本体は、可撓性の支持部と、前記支持部に接する接着部とが重なった構造を有し、かつ、前記接着部が前記基板に接するものとされており、
前記接着部はＵＶ光の照射によって前記基板に対する粘着性が低下する部材であり、
前記接着部の厚さが、前記基板上に形成される樹脂材料膜の厚さに比べて大きい、
マスク。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、低コスト化および作業の簡単化を図ることが可能な、樹脂膜の形成方法と、樹脂膜の形成において有効な構成を備えたマスクに関する。
本願は、２０１７年２月２１日に日本に出願された特願２０１７−０３０３２０号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。

【背景技術】

【0002】

高分子有機物からなる樹脂膜の製法としては、蒸着重合法や紫外線硬化法が広く用いられている。この２つの製法は何れも、減圧された処理槽内に低分子の有機物ガスを導入し、被処理体上に供給された樹脂材料が重合反応を起し、高分子の樹脂膜を被処理体の表面上に形成する方法であり、被処理体の表面に対する樹脂膜のカバレッジ（被覆率）が良いという特長がある。特許文献１には、これに適した成膜装置が開示されている。

【0003】

図７にメタルマスクを用いて樹脂膜を成膜するプロセスを示す。樹脂膜の代表例としてアクリル樹脂膜を例示する。
まず、基板Ｓに対して無機保護膜形成などの前処理を施した後、成膜室内へ基板Ｓを移動する（ＳＸ１、ＳＸ２）。

【0004】

成膜室内（減圧雰囲気）において、図８〜図１０に示すように、所望の開口部を設けたメタルマスクＭＸを基板Ｓの被成膜面上に配置する（ＳＸ３）。これにより、開口部の位置にある基板Ｓの被成膜面は、図１０に示すように、露呈された状態となる。
次に、図１１に示すように、メタルマスクＭＸを介して、アクリル材料膜ｆを基板Ｓの上に形成する（ＳＸ４）。アクリル材料膜ｆは、基板Ｓを被覆する部位ｆ１と、部位ｆ１に連なりメタルマスクＭＸを被覆する部位ｆ２と、から構成される［図１１Ｂ］。

【0005】

次いで、アクリル材料膜ｆに紫外線（ＵＶ）照射して、アクリル材料膜ｆを硬化してアクリル樹脂膜Ｆを形成した後、図１２に示すように、メタルマスクＭＸを矢印の方向へ移動させることにより、メタルマスクＭＸを基板Ｓから剥離する（ＳＸ５、ＳＸ６）。メタルマスクＭＸは、一回の成膜後、もしくは、基板を入れ替えて複数回使用された（複数回の成膜が行われた）後、クリーニングされて、再使用される。
このような装置では、メタルマスクＭＸをクリーニングする設備が必要となる。さらに、真空中でメタルマスクＭＸと基板を位置合わせするアライメント機構が必要となる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】日本国特許第４１１２７０２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

本発明は、上述した事情に鑑みてなされたもので、マスクを用いた樹脂膜の形成において、低コスト化および作業の簡単化を図ることが可能な、樹脂膜の形成方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明の第１態様に係る樹脂膜の形成方法は、基板上にパターニングされた樹脂膜を形成する方法であって、マスク本体が可撓性（フィルム状）の支持部と接着部とが重なった構造を有するマスクを用い、前記基板（被成膜面）に対して前記接着部が接するように前記マスクを設ける第１工程（工程α）と、前記マスク本体に設けた開口部を通して前記基板（被成膜面）に気化した樹脂材料を供給し該基板上で凝縮させ、該基板上に、ＵＶ光の照射により硬化若しくは重合する液状の樹脂材料膜を形成した後、該樹脂材料膜と前記マスクにＵＶ光を照射する第２工程（工程β）と、前記基板から前記マスクを剥離する第３工程（工程γ）と、を少なくとも順に備える。
本発明の第１態様に係る樹脂膜の形成方法においては、前記接着部としてＵＶ光の照射により前記基板に対する粘着性が低下する部材を用いてもよい。
本発明の第１態様に係る樹脂膜の形成方法においては、前記樹脂材料膜の厚さが前記接着部の厚さを超えないように制御してもよい。
本発明の第１態様に係る樹脂膜の形成方法においては、前記第１工程と前記第３工程は大気圧雰囲気において行われ、前記第２工程は減圧雰囲気において行われてもよい。

【0009】

本発明の第２態様に係るマスクは、マスク本体に設けた開口部を通して基板に液状の樹脂材料膜を形成した後、該樹脂材料膜を重合させて、該基板上に樹脂膜を形成するためのマスクであって、前記マスク本体は、可撓性（フィルム状）の支持部と、前記支持部に接するに接着部とが重なった構造を有し、かつ、前記接着部が前記基板に接するものとされており、前記接着部はＵＶ光の照射によって前記基板に対する粘着性が低下する部材であり、前記接着部の厚さが、前記基板上に形成される樹脂材料膜の厚さに比べて大きい。

【発明の効果】

【0010】

本発明の態様に係る樹脂膜の形成方法は、樹脂膜を形成する前にマスクを基板に配置する作業や、樹脂を形成した後にマスクを基板から剥離する作業を、大気圧雰囲気で行うことができる。これにより、従来の製法においては必須であった、減圧雰囲気における基板に対するマスクの配置および剥離の作業が、本発明の態様においては不要となる。
ゆえに、本発明の態様は、マスクを用いた樹脂膜の形成において、低コスト化および作業の簡単化を図ることが可能な、樹脂膜の形成方法をもたらす。

【0011】

本発明の態様に係るマスクは、マスク本体が可撓性（フィルム状）の支持部と接着部とが重なった構造を有し、接着部はＵＶ光の照射によって基板に対する粘着性が低下する部材から構成されている。これにより、樹脂膜の形成後に行われる、基板からマスクを除去する作業が容易となる。また、マスクを除去した際に生じる、マスクに隣接する部分（マスク端とも呼ぶ）において樹脂膜の膜厚が局所的に増加する現象（図１２Ｂに示すような急峻な凸部の発生）が抑制される。
したがって、本発明の態様によれば、樹脂膜の膜厚ムラが小さく、均一な膜厚の樹脂膜を実現する。このような樹脂膜の用途としては、例えば、フレキシブルディスプレイの封止膜に好適に用いられる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】本発明の実施形態に係るアクリル樹脂膜の作製フローを示す図である。

【図2】粘着フィルムマスクを基板に配置する前の断面図である。

【図3】粘着フィルムマスクの平面図である。

【図4A】基板に粘着フィルムマスクを配置し、ＵＶ照射した状態を示す断面図である。

【図4B】基板に粘着フィルムマスクを配置し、ＵＶ照射した状態を示す断面図である。

【図5A】粘着フィルムマスクを介して基板にアクリル材料膜を形成した状態を示す断面図である。

【図5B】粘着フィルムマスクを介して基板にアクリル材料膜を形成した状態を示す断面図である。

【図6A】ＵＶ照射後、粘着フィルムマスクを基板から剥離した状態を示す断面図である。

【図6B】ＵＶ照射後、粘着フィルムマスクを基板から剥離した状態を示す断面図である。

【図7】従来のアクリル樹脂膜の作製フローを示す図である。

【図8】メタルからなる従来のマスクを基板に配置する前の断面図である。

【図9】従来のマスクの平面図である。

【図10A】従来のマスクを基板に配置した後の状態を示す断面図である。

【図10B】従来のマスクを基板に配置した後の状態を示す断面図である。

【図11A】従来のマスクを配置した基板にアクリル樹脂膜が形成された状態を示す断面図である。

【図11B】従来のマスクを配置した基板にアクリル樹脂膜が形成された状態を示す断面図である。

【図12A】ＵＶ照射した後、従来のマスクを基板から剥離した状態を示す断面図である。

【図12B】ＵＶ照射した後、従来のマスクを基板から剥離した状態を示す断面図である。

【図13】本発明の実施形態に係るアクリル膜の製造装置の一例を示す模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

以下、本発明の一実施形態に係る樹脂膜の形成方法と、この樹脂膜の形成において有効な構成を備えたマスクを、図面に基づいて説明する。樹脂膜の一例としてアクリル樹脂を例示する。

【0014】

＜アクリル樹脂膜の形成方法＞
図１は、本発明の一実施形態に係るアクリル樹脂膜の作製工程を示すフローチャートであり、アクリル樹脂膜の形成方法は、工程ＳＡ１〜工程ＳＡ７の７つの工程から構成される。
工程ＳＡ２〜工程ＳＡ３はアクリル樹脂膜を形成する前にマスクを基板に配置する工程（作業）であり、工程ＳＡ６〜工程ＳＡ７はアクリルを樹脂形成した後にマスクを基板から剥離する工程（作業）である。これらの作業は全て、後述する粘着フィルムマスクを用いることにより、成膜室外（大気圧雰囲気）において行うことができる。これらの２つの作業の間に位置する、工程ＳＡ４〜工程ＳＡ５は基板上にアクリル樹脂膜を形成する工程（作業）であり、この作業のみ成膜室内（減圧雰囲気）において行なわれる。ゆえに、本発明の実施形態によれば、従来の製法においては必須であった、減圧雰囲気における基板に対するマスクの配置および剥離の作業が不要となる。このため、マスクを用いたアクリル樹脂膜の形成において、低コスト化および作業の簡単化を図ることが可能となる。

【0015】

以下では、図１のフローチャートに示した各工程（工程ＳＡ１〜工程ＳＡ７）について、図２〜図６を用いて詳細に説明する。
図２は、本発明の実施形態において用いる粘着フィルムマスクを基板に配置する前の断面図である。図３は、粘着フィルムマスクの平面図である。図４Ａ及び図４Ｂは、基板に粘着フィルムマスクを配置した状態を示す断面図である。

【0016】

粘着フィルムマスクＭＡは、マスク本体ＭＡ１に設けた開口部を通して基板Ｓ上にアクリル材料を供給し、基板Ｓ上に液状のアクリル材料膜を形成するためのマスクである。粘着フィルムマスクＭＡを配置する前に、基板Ｓには、発光部や無機封止膜などが形成される（工程ＳＡ１）。

【0017】

粘着フィルムマスクＭＡは、図２および図３に示すように、基板Ｓに対して、所定の形状からなる開口部を有する。粘着フィルムマスクＭＡは、図４Ｂに示すように、可撓性（フィルム状）の支持部からなるマスク本体ＭＡ１と、マスク本体ＭＡ１に接着部ＭＡ２が重なった構造を有する。この接着部ＭＡ２は、ＵＶ光照射により、基板Ｓに対する粘着性が低下する部材から構成されている。

【0018】

可撓性（フィルム状）の支持部からなるマスク本体ＭＡ１と接着部ＭＡ２とが重なった構造を有するマスクＭＡを用い、基板Ｓの被成膜面（図４Ａ及び図４Ｂにおいては上面）に対して接着部ＭＡ２が接するようにマスクＭＡを配置する（工程ＳＡ２）。接着部ＭＡ２により、マスクＭＡは基板Ｓに接着されて固定される。粘着フィルムマスクＭＡが貼り付けられた基板Ｓは成膜室内に搬送される（工程ＳＡ３）。工程ＳＡ２と工程ＳＡ３を、工程αとする。

【0019】

次に、マスク本体ＭＡ１に設けた開口部を通して基板Ｓの被成膜面に気化したアクリル材料を供給する。基板は冷却されているので、気体のアクリル材料は凝縮し、図５Ａ及び図５Ｂに示すように、基板Ｓ上に液体のアクリル材料膜ｆを形成する（工程ＳＡ４）。ここで、符号ｆ１は基板Ｓの被成膜面に着膜したアクリル材料膜であり、符号ｆ２は可撓性（フィルム状）の支持部からなるマスク本体ＭＡ１に着膜したアクリル材料膜である。

【0020】

その後、アクリル材料膜ｆに対してＵＶ光を照射する（工程ＳＡ５）。これにより、アクリル材料膜ｆは硬化し、アクリル樹脂膜Ｆとなる。さらに、ＵＶ光の照射の影響を受けて、マスク本体ＭＡ１と基板Ｓとの間に位置する接着部ＭＡ２は基板Ｓに対して、接着力が弱まった状態となる。工程ＳＡ４と工程ＳＡ５を、工程βとする。この状態で基板Ｓは、成膜装置の外部へ搬送される（工程ＳＡ６）。

【0021】

次いで、図６Ａ及び図６Ｂに示すように、基板ＳからマスクＭＡを剥離する（工程ＳＡ７）。工程ＳＡ７を、工程γとする。
接着部ＭＡは接着力が弱まっている、もしくは失っているので、マスクＭＡは容易に基板Ｓから剥離することができる。剥離されたマスクは廃棄される。フィルムマスクは金属マスクに比べて安価であることから、使い捨てが可能である。さらに、フィルムマスクを洗浄する必要がないので、最終的には環境負荷、コスト共に、金属マスクに比べて有利になる。
図６Ａにおける矢印は、基板からマスクＭＡを剥離する方向を表わしている。図６Ｂは符号Ｅの領域の拡大図である。符号ｅａは、基板Ｓの被成膜面に着膜したアクリル樹脂膜の部位Ｆ１の端部である。アクリル樹脂膜の部位Ｆ１の端部とは、基板からマスクＭＡが剥離された際に形成された側端部を意味する。

【0022】

このように作製されたアクリル樹脂膜では、図１２Ｂに示されるような急峻な凸部の発生は確認されなかった。
すなわち、従来の製法ではマスクを除去した際に発生していた、マスクに隣接する部分（マスク端とも呼ぶ）における急峻な凸部の形成が、本発明の実施形態によれば著しく抑制できることが明らかとなった。
したがって、本発明の実施形態は、膜厚ムラが小さく、良好な視認性が確保される均一な膜厚が要求される、封止膜の用途に好適なマスクパターンの形成方法をもたらす。

【0023】

＜粘着フィルムマスク＞
本発明の一実施形態に係る粘着フィルムマスクＭＡは、図４Ｂに示すように、可撓性（フィルム状）の支持部からなるマスク本体ＭＡ１と接着部ＭＡ２とが重なった構造を有する。そして、接着部ＭＡ２は、ＵＶ光の照射によって基板に対する粘着性が低下する部材から構成されている。これにより、第一実施形態においても説明したように、アクリル樹脂膜Ｆを形成した後に行われる、基板Ｓから粘着フィルムマスクＭＡを除去する作業が容易となる。

【0024】

また、基板Ｓに対する粘着性が低下する部材（接着部ＭＡ２）が存在することにより、基板Ｓに液体のアクリル材料膜ｆが形成された時に、表面張力によりマスクと接触する部分でアクリル材料膜の膜厚が増加することが抑制される。これは、接着部ＭＡ２に対して液体のアクリル材料膜の接触角が大きい場合や、アクリル材料膜の硬化と接着部ＭＡ２の粘着性の低下が同時に起こる場合などに顕著になると考えられる。ゆえに、本発明の一実施形態に係る粘着フィルムマスクＭＡは、粘着フィルムマスクＭＡを除去した際に生じる、アクリル樹脂膜の部位Ｆ１と部位Ｆ２の分離を誘導する。その結果、マスクに隣接する部分（マスク端とも呼ぶ）において樹脂膜の膜厚が局所的に増加する現象（急峻な凸部の発生）の発生が解消される。
したがって、本発明の実施形態は、アクリル樹脂膜の膜厚ムラが小さく、良好な視認性が確保される均一な膜厚のアクリル樹脂膜を実現する。このようなアクリル樹脂膜の用途としては、例えば、有機ＥＬディスプレイやフレキシブルディスプレイの封止膜に好適に用いられる。

【0025】

粘着フィルムマスクＭＡは、ポリイミド（ＰＩ）やポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）樹脂からなるマスク本体ＭＡ１と、ＵＶ光の照射により粘着性が低下する接着材からなる接着部ＭＡ２とから構成されている。マスク本体ＭＡ１が可撓性（フィルム状）の支持部からなる。
基板Ｓと接する接着材ＭＥ２の厚さは、形成されるアクリル樹脂膜の厚さより大きく設定されるとよい。これにより、「急峻な凸部」状態の発生が更に低減するので好ましい。例えば、接着材ＭＥ２の厚さがアクリル樹脂膜の厚さより大きい範囲で、アクリル樹脂膜の厚さが５０ｎｍ〜２０μｍの場合、接着部ＭＡ２の厚さが１０μｍ〜５０μｍである。

【0026】

＜アクリル樹脂膜の製造装置＞
図１３は、上述した本発明の一実施形態に係る粘着フィルムマスクＭＡを用い、基板に樹脂材料を供給することにより該基板上に液体の樹脂材料膜を形成し、樹脂材料膜を重合して樹脂膜を形成する製造装置１００の一構成例である。以下では、樹脂材料膜の一例であるアクリル膜を成膜する場合について詳述する。
成膜装置１００は、内部空間が減圧可能なチャンバ１１０と、気化した樹脂材料をチャンバ１１０（処理室）に供給する気化器３００と、を有する。

【0027】

チャンバ１１０の内部空間は、後述するように、上部空間１０７、下部空間１０８から構成されている。
チャンバ１１０には、不図示の真空排気装置（真空排気手段、真空ポンプ等）が接続され、真空排気装置は、チャンバ１１０の内部空間が真空雰囲気となるように、内部空間のガスを排気できるように構成されている。

【0028】

チャンバ１１０の内部空間には、図１３に示すように、シャワープレート１０５が配されており、チャンバ１１０内においてシャワープレート１０５より上側が上部空間１０７を構成する。チャンバ１１０の最上部には、紫外光を透過可能な部材からなる天板１２０が設けられ、天板１２０の上側には紫外光の照射装置１２２（ＵＶ照射装置）が配されている。ここで、シャワープレート１０５も紫外光を透過可能な部材で形成することにより、照射装置１２２から天板１２０を通過して上部空間１０７へ導入された紫外光は、さらにシャワープレート１０５を通過し、シャワープレート１０５の下側に位置する下部空間１０８へ進行可能となる。これにより、後述する基板Ｓ上に形成されたアクリル材料膜に対して、成膜後に紫外光を照射し、アクリル材料膜（樹脂材料膜）を硬化させ、アクリル樹脂膜（樹脂膜）を形成することが可能とされている。

【0029】

チャンバ１１０には、不図示の加熱装置が配されている。上部空間１０７及び下部空間１０８を構成するチャンバ１１０の内壁面の温度は、樹脂材料の露点温度以上、好ましくは４０〜２５０℃程度となるように設定可能であり、加熱装置によって制御される。

【0030】

チャンバ１１０内においてシャワープレート１０５より下側に位置する下部空間１０８には、アクリル樹脂膜が形成される基板Ｓを載置するステージ１０２（基板保持部）が配されている。

【0031】

ステージ１０２においては、表面に基板が配置されるべき位置が予め定められている。ステージ１０２は、その表面が露出された状態で、チャンバ１１０内に配置されている。符号Ｓは基板ステージ１０２の表面の所定位置に配置された基板を示している。ステージ１０２には、基板Ｓを冷却する基板冷却装置１０２ａが設けられる。

【0032】

基板冷却装置１０２ａは、ステージ１０２内部に冷媒を供給してステージ１０２上面の基板Ｓを冷却する。具体的には、基板Ｓの温度が基板Ｓを載置するステージ１０２（基板保持部）に内蔵された冷却装置１０２ａにより制御され、樹脂材料の気化温度以下、好ましくは零度（０℃）以下、例えば、−３０℃〜０℃程度に制御される。

【0033】

ステージ１０２の上側位置には、ステージ１０２の全面に対してシャワープレート１０５が設けられる。シャワープレート１０５は、多数の貫通孔の設けられた石英等の紫外線透過材料からなる板状部材で構成され、チャンバ１１０の内部空間を上空間と下空間とに分割している。

【0034】

チャンバ１１０の上部空間１０７は、配管１１２（樹脂材料供給管）およびバルブ１１２Ｖを介して気化器３００と連通している。この樹脂材料供給管１１２を介してチャンバ１１０の上部空間１０７に対して、気化された樹脂材料は供給可能である。

【0035】

樹脂材料供給管１１２（第一配管）のバルブ１１２Ｖよりも気化器３００に近い位置には、バルブ１１３Ｖを有する樹脂材料迂回管１１３（第二配管）の一端が接続されている。樹脂材料迂回管１１３（第二配管）の他端は、排気管１１４を介して外部に接続されており、樹脂材料迂回管１１３を通じてガスが排気可能である。

【0036】

バルブ１１２Ｖおよびバルブ１１３Ｖの開閉駆動は、制御部４００によって制御される。制御部４００は、気化器３００からの気化した樹脂材料をチャンバ１１０内へ供給する成膜状態と、気化器３００からの気化した樹脂材料を外部に排気してチャンバ１１０内への供給しない非成膜状態と、を切り替え可能に制御する。

【0037】

バルブ１１２Ｖ、バルブ１１３Ｖ、及び制御部４００は、チャンバ１１０の内部に樹脂材料を供給する、或いは、チャンバ１１０の外部に樹脂材料を排気する選択機能を有する切替部を構成している。

【0038】

気化器３００は、チャンバ１１０に対して気化された樹脂材料を供給可能とする。図１３に示すように、気化器３００は、気化槽１３０と、吐出部１３２と、樹脂材料原料容器１５０と、を有する。

【0039】

気化槽１３０は、図１３に示すように、液状の樹脂材料を気化するための内部空間を備え、内部空間の上方には、液状の樹脂材料を噴霧する吐出部１３２が配されている。気化槽１３０は、略円筒状に形成されるが、他の断面形状とされることもできる。気化槽１３０は、その内面が、例えば、ＳＵＳやアルミニウム等からなることができる。

【0040】

吐出部１３２には、樹脂材料原料容器１５０にバルブ１４０Ｖを介して接続された樹脂材料液供給管１４０の一端と、窒素ガス等とされるキャリアガスを供給するキャリアガス供給管１３０Ｇと、が接続されている。樹脂材料液供給管１４０の他端は、樹脂材料原料容器１５０に接続されるとともに、樹脂材料原料容器１５０内に貯留された液状の樹脂材料の内部に位置している。

【0041】

樹脂材料原料容器１５０には、窒素ガス等とされる材料液供給用の加圧ガス供給管１５０Ｇが接続され、樹脂材料原料容器１５０の内圧を上昇させて加圧した液状の樹脂材料を樹脂材料液供給管１４０へと送液可能となっている。

【0042】

吐出部１３２は、樹脂材料液供給管１４０から供給された液状の樹脂材料をキャリアガスとともに気化槽１３０の内部空間に噴霧するよう構成されている。吐出部１３２は、気化槽１３０の頂部略中央位置に設けられている。

【0043】

気化槽１３０には、図１３に示すように、気化槽１３０の下側位置に加温部１３５が設けられる。
加温部１３５は、内部空間を上空間と下空間とに分割するように配置され、加温部１３５より上方に気化空間が形成され、下方に貯留部が形成される。

【0044】

加温部１３５は、吐出部１３２より下方位置に設けられ、吐出部１３２から噴霧された液状の樹脂材料を加熱して気化させるものである。

【0045】

樹脂材料原料容器１５０の内圧を上昇させて、樹脂材料液供給管１４０から供給された液状の樹脂材料を、吐出部１３２からキャリアガスとともに気化槽１３０の内部空間に噴霧する。このとき、吐出部１３２に供給される樹脂材料およびキャリアガスをさらに加温することもできる。

【0046】

吐出部１３２からキャリアガスとともに気化槽１３０の内部空間に噴霧された樹脂材料は、加温された気化槽１３０の内部において気化する。

【0047】

樹脂材料の気化が定常的に行われている間に、制御部４００により、バルブ１１２Ｖを開状態として、チャンバ１１０にガスが流入可能な状態とするとともに、バルブ１１３Ｖを閉状態とする。これにより、樹脂材料迂回管１１３（第二配管）にガスが流入できない状態とする。これにより、チャンバ１１０に気化した樹脂材料が供給され、成膜処理を行うことが可能となる。

【0048】

切替部の駆動によって、即ち、制御部４００によってバルブ１１２Ｖ及びバルブ１１３Ｖの開閉状態を切替えるだけで、チャンバ１１０に対する樹脂材料の供給と、樹脂材料迂回管１１３（第二配管）に対する樹脂材料の供給とを選択することができる。このため、チャンバ１１０に供給する気化した樹脂材料の供給量を安定化できるため、成膜レートが変動することを防止して、膜特性の優れた樹脂材料膜を安定して形成することが可能となる。さらに、チャンバ１１０における基板の入れ替え時に、チャンバ１１０に樹脂材料を導入せずに樹脂材料の気化を継続して行うことができるので、蒸気発生の停止／開始を繰り返すことなく、蒸気の発生レートを概ね一定にすることができる。

【0049】

成膜装置１００は、例えば、気化温度４０℃〜２５０℃程度とされる紫外線硬化型のアクリル樹脂とされる樹脂材料の成膜と、成膜された樹脂材料の硬化のための紫外線照射とを同一のチャンバ１１０内で可能とするように構成されている。これにより、何れの処理工程も同一の装置構成で行うことが可能となり、生産性を向上させることができる。

【産業上の利用可能性】

【0050】

本発明は、樹脂膜の形成方法と、樹脂膜の形成において有効な構成を備えたマスクに広く適用可能である。本発明は、例えば、有機ＥＬディスプレイやフレキシブルディスプレイの封止膜として樹脂膜を作製する場合に好適に用いられる。

【符号の説明】

【0051】

Ｆ 樹脂材料膜、ＭＡ マスク、ＭＡ１ マスク本体、ＭＡ２ 接着部、Ｓ 基板、ｆ（ｆ１、ｆ２） アクリル材料膜、Ｆ（Ｆ１、Ｆ２）アクリル樹脂膜。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4A】

【図4B】

【図5A】

【図5B】

【図6A】

【図6B】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10A】

【図10B】

【図11A】

【図11B】

【図12A】

【図12B】

【図13】