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特許第6855420号(P6855420)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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▶ バーサム　マテリアルズ　ユーエス，リミティド　ライアビリティ　カンパニーの特許一覧

特許6855420半導体デバイスの製造中にシリコン−ゲルマニウム／シリコン積層体からシリコン−ゲルマニウム合金を選択的に除去するためのエッチング液

書誌要約請求の範囲詳細な説明課題実施例実施するための形態図面の説明

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