特許6861242半径方向の拡張により歪が低減されたヘテロ構造を準備するプロセスおよび装置

発明の名称　半径方向の拡張により歪が低減されたヘテロ構造を準備するプロセスおよび装置

出願人　グローバルウェーハズ　カンパニー　リミテッド　（識別番号 518112516）

　　　　特許公開件数ランキング 779 位（10件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 747 位（9件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6861242

公報発行日　2021年4月21

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6861242

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