特許6861683変調装置およびそれを使用する荷電粒子マルチ小ビームリソグラフィシステム

発明の名称　変調装置およびそれを使用する荷電粒子マルチ小ビームリソグラフィシステム

出願人　エーエスエムエル　ネザーランズ　ビー．ブイ．　（識別番号 504151804）

　　　　特許公開件数ランキング 232 位（137件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 340 位（75件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6861683

公報発行日　2021年4月21

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6861683

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