特許 6861756 油圧駆動システム、仕切りバルブ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6861756

(24)【登録日】2021年4月1日

(45)【発行日】2021年4月21日

(54)【発明の名称】油圧駆動システム、仕切りバルブ

(51)【国際特許分類】

   F16K 3/18 20060101AFI20210412BHJP

   F16K 3/10 20060101ALI20210412BHJP

   F16K 3/06 20060101ALI20210412BHJP

   F16K 51/02 20060101ALI20210412BHJP

【ＦＩ】

   F16K3/18 B

   F16K3/10

   F16K3/06 B

   F16K51/02 B

【請求項の数】6

【全頁数】49

(21)【出願番号】特願2019-86579(P2019-86579)

(22)【出願日】2019年4月26日

(65)【公開番号】特開2020-183764(P2020-183764A)

(43)【公開日】2020年11月12日

【審査請求日】2019年12月3日

(73)【特許権者】

【識別番号】000231464

【氏名又は名称】株式会社アルバック

(74)【代理人】

【識別番号】100141139

【弁理士】

【氏名又は名称】及川 周

(74)【代理人】

【識別番号】100134359

【弁理士】

【氏名又は名称】勝俣 智夫

(74)【代理人】

【識別番号】100192773

【弁理士】

【氏名又は名称】土屋 亮

(72)【発明者】

【氏名】徳平 真之介

(72)【発明者】

【氏名】井上 英晃

(72)【発明者】

【氏名】柴山 浩司

(72)【発明者】

【氏名】和出 拓也

(72)【発明者】

【氏名】古瀬 晴邦

(72)【発明者】

【氏名】猿渡 治郎

(72)【発明者】

【氏名】鐸木 幹也

(72)【発明者】

【氏名】和田 慎一

(72)【発明者】

【氏名】照井 敬晶

(72)【発明者】

【氏名】迫田 聖也

(72)【発明者】

【氏名】石田 智也

【審査官】 加藤 昌人

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１７−５３３７０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平５−１９６１５０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１８−１１２２６２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−１８９１３８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｆ１６Ｋ ３／００−３／３６

Ｆ１６Ｋ ５１／０２

Ｆ１５Ｂ １５／１８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

真空雰囲気とされるチャンバ内で対象物を押圧可能に伸縮する真空アクチュエータを有する油圧駆動システムであって、
外部から供給された作動油圧により駆動する前記真空アクチュエータと、
前記真空アクチュエータに作動油圧を供給する油圧駆動部と、
を有し、
前記油圧駆動部が、作動油圧を発生させる油圧発生部と、前記油圧発生部を駆動する駆動部と、前記駆動部に給電する電源と、を備えるとともに、前記駆動部にはモータおよび油圧付勢部材が設けられて、前記油圧発生部において互いに逆向きの作動油圧を発生するように前記油圧発生部を駆動可能とされ、
真空アクチュエータが、前記対象物に向けて伸縮可能な伸縮ロッドと、前記伸縮ロッドを伸縮する固定部と、を有して、前記油圧駆動部から前記固定部に供給された作動油圧により前記伸縮ロッドを駆動可能とされ、
前記駆動部には、前記油圧付勢部材の付勢力によって前記伸縮ロッドが前記対象物から離間する方向に移動した際に、前記モータの逆転状態に対応する逆転対応部が設けられる
ことを特徴とする油圧駆動システム。

【請求項2】

前記逆転対応部には、前記電源からの給電がある状態で前記モータの回転駆動軸を停止するブレーキ機能を有する励磁ブレーキが設けられる
ことを特徴とする請求項１記載の油圧駆動システム。

【請求項3】

前記逆転対応部には、前記電源からの給電がない状態で前記モータの回転駆動軸を前記油圧発生部から連結解除するクラッチ機能を有する励磁クラッチが設けられる
ことを特徴とする請求項２記載の油圧駆動システム。

【請求項4】

前記逆転対応部には、回生電流処理部が設けられ、
前記モータが、ＤＣコアレスブラシレスモータとされる
ことを特徴とする請求項２記載の油圧駆動システム。

【請求項5】

前記モータが、ＤＣブラシ付きモータとされる
ことを特徴とする請求項３記載の油圧駆動システム。

【請求項6】

ノーマルクローズ動作可能な仕切りバルブであって、
中空部と、
前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部及び第２開口部とを有する弁箱と、
前記流路を開放および閉塞可能な弁体と、
前記弁体を前記中空部内における退避位置と弁開口遮蔽位置との間で回転可能に支持するとともに流路方向に延在する軸線を有する回転軸と、
前記弁体を回転駆動可能な回転駆動部と、
前記流路方向における位置を変更可能として前記弁体に設けられる可動弁部と、
前記弁箱に設けられて前記弁開口遮蔽位置の前記可動弁部を前記流路方向に移動してクローズする弁箱付勢部と、
前記付勢部を作動油の給排により駆動する油圧駆動部と、
を具備し、
前記弁箱付勢部が、請求項１から５のいずれか記載の油圧駆動システムにおける前記真空アクチュエータとされ、
前記油圧駆動部が、請求項１から５のいずれか記載の油圧駆動システムにおける前記油圧駆動部とされ、
前記弁体が、請求項１から５のいずれか記載の油圧駆動システムにおける前記対象物とされる
ことを特徴とする仕切りバルブ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は油圧駆動システム、仕切りバルブに関し、特に真空中で油圧駆動可能、かつスプリングバック可能な真空アクチュエータを有する油圧駆動システム、および、これを用いた振り子式の仕切りバルブに用いて好適な技術に関する。

【背景技術】

【0002】

真空装置等においては、真空雰囲気とされるチャンバ内で対象物を押圧するための伸縮アクチュエータが設けられる。このような伸縮アクチュエータとしては、チャンバ内における汚染防止等の観点から、その多くは真空雰囲気であるチャンバ外に駆動部が配置されて、チャンバ内の伸縮部を駆動させる構成が知られている。
例えば、伸縮アクチュエータとしては、電磁駆動型、圧空駆動型、油圧駆動型などがある。

【0003】

これに対し、本発明者らは、密閉時に弁体を弁箱開口に押しつける付勢部として、油圧駆動型の伸縮アクチュエータを有する振り子式仕切りバルブに関する出願をおこなっている（特許文献１）。

【0004】

ここで、伸縮アクチュエータにおける油圧の供給は、油圧発生部におけるスプリング等の付勢部材と、電源から給電されたモータと、が伸縮ロッドの伸長および縮退のいずれかを担っている。
このような伸縮アクチュエータを含む構成、および、その動作をスプリングバックと称する。

【0005】

仕切りバルブとしては、大断面での仕切り動作における高信頼性に加えて、電源供給の消失、あるいは、圧空などの制御流体駆動圧力の消失などの緊急時に、流路を閉じるノーマルクローズを可能とすることが求められてきた。
このノーマルクローズとは、弁仕切り動作をおこなう際に弁体等を駆動させる供給電力や圧空等の動力源が作用していない状態などでは、流路を閉じる動作を可能とすること、および、流路を閉じた状態を維持することを意味している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特許第６３５８７２７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

安全性を鑑みてノーマルクローズを実現するためには、モータによって発生させた油圧による通常駆動と、通常の給電時に加えて非常時である停電時におけるスプリングバックによる緊急動作と、を両立する必要がある。
しかし、停電時にスプリングバックを可能とした場合、給電の消失した油圧発生用のモータに対して、スプリングによる緊急動作をおこなうと、次のような問題がある。

【0008】

まず、停電時において、スプリングバックで油圧が逆流する際には、油圧発生部において、同時にモータの回転軸が逆転される。すると、給電消失状態で逆転したモータでは回生電力が発生する。
ここで、大断面での仕切り動作可能な仕切りバルブでは、弁体を駆動させるためにモータの定格電流が極めて大きいものとされている。したがって、上記の回生電力が極めて大きくなるため、モータに接続された電子部品を破損する可能性がある。このため、回生電力による電子部品等の破損を防止したいという要求があった。

【0009】

また、大断面での仕切り動作可能な仕切りバルブでは、弁体の重量が大きいため、この弁体を駆動させるために、トルクの大きなモータであることが必要である。
このため、油圧発生用のモータとしてＤＣブラシ付きモータ等を採用した場合には、大きなコギングトルクにより、停電時のスプリングによる油圧発生用のモータにおける逆転に支障をきたす場合がある。
したがって、スプリングバックにおけるモータの逆転がコギングトルクにより阻害される可能性がある。

【0010】

この場合には、仕切りバルブにおける弁体の閉塞動作が上手くいかない可能性がある。あるいは、弁体付近での故障などの不具合が発生する場合がある。このような、コギングトルクによるノーマルクローズへの影響を防止して、仕切りバルブにおけるノーマルクローズの動作確実性を向上したいという要求があった。

【0011】

また、サーボモータなどを用いることで、コギングトルクによるノーマルクローズへの影響を低減することが可能であるが、この場合、サーボモータにおける消費電力が大きくなるため好ましくないという問題があった。

【0012】

本発明は、上記の事情に鑑みてなされたもので、以下の目的を達成しようとするものである。
１．油圧駆動可能で、かつ、スプリングバック機構を有する油圧駆動システムにおいて、緊急時の動作確実性を向上すること。
２．コギングトルクの影響を低減すること。
３．緊急時のスプリングバックによるモータの逆転への影響を低減すること。
４．緊急時における不具合発生を防止すること。
５．消費電力を小さくすること。
６．部品の寿命を長くして、メンテナンス等の必要性を低減すること。

【課題を解決するための手段】

【0013】

本発明の油圧駆動システムは、真空雰囲気とされるチャンバ内で対象物を押圧可能に伸縮する真空アクチュエータを有する油圧駆動システムであって、
外部から供給された作動油圧により駆動する前記真空アクチュエータと、
前記真空アクチュエータに作動油圧を供給する油圧駆動部と、
を有し、
前記油圧駆動部が、作動油圧を発生させる油圧発生部と、前記油圧発生部を駆動する駆動部と、前記駆動部に給電する電源と、を備えるとともに、前記駆動部にはモータおよび油圧付勢部材が設けられて、前記油圧発生部において互いに逆向きの作動油圧を発生するように前記油圧発生部を駆動可能とされ、
真空アクチュエータが、前記対象物に向けて伸縮可能な伸縮ロッドと、前記伸縮ロッドを伸縮する固定部と、を有して、前記油圧駆動部から前記固定部に供給された作動油圧により前記伸縮ロッドを駆動可能とされ、
前記駆動部には、前記油圧付勢部材の付勢力によって前記伸縮ロッドが前記対象物へ近接する方向に移動した際に、前記モータの逆転状態に対応する逆転対応部が設けられることにより上記課題を解決した。
本発明の油圧駆動システムは、前記逆転対応部には、前記電源からの給電がある状態で前記モータの回転駆動軸を停止するブレーキ機能を有する励磁ブレーキが設けられる
ことができる。
本発明の油圧駆動システムにおいて、前記逆転対応部には、前記電源からの給電がない状態で前記モータの回転駆動軸を前記油圧発生部から連結解除するクラッチ機能を有する励磁クラッチが設けられる
ことが好ましい。
本発明の油圧駆動システムには、前記逆転対応部には、回生電流処理部が設けられ、
前記モータが、ＤＣコアレスブラシレスモータとされる
ことが可能である。
また、本発明の油圧駆動システムにおいて、前記モータが、ＤＣブラシ付きモータとされる
手段を採用することもできる。
本発明の仕切りバルブは、ノーマルクローズ動作可能な仕切りバルブであって、
中空部と、
前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部及び第２開口部とを有する弁箱と、
前記流路を開放および閉塞可能な弁体と、
前記弁体を前記中空部内における退避位置と弁開口遮蔽位置との間で回転可能に支持するとともに流路方向に延在する軸線を有する回転軸と、
前記弁体を回転駆動可能な回転駆動部と、
前記流路方向における位置を変更可能として前記弁体に設けられる可動弁部と、
前記弁箱に設けられて前記弁開口遮蔽位置の前記可動弁部を前記流路方向に移動してクローズする弁箱付勢部と、
前記弁箱付勢部を作動油の給排により駆動する油圧駆動部と、
を具備し、
前記弁箱付勢部が、上記のいずれか記載の油圧駆動システムにおける前記真空アクチュエータとされ、
前記油圧駆動部が、上記のいずれか記載の油圧駆動システムにおける前記油圧駆動部とされ、
前記弁体が、上記のいずれか記載の油圧駆動システムにおける前記対象物とされる
ことができる。

【0014】

本発明の油圧駆動システムは、真空雰囲気とされるチャンバ内で対象物を押圧可能に伸縮する真空アクチュエータを有する油圧駆動システムであって、
外部から供給された作動油圧により駆動する前記真空アクチュエータと、
前記真空アクチュエータに作動油圧を供給する油圧駆動部と、
を有し、
前記油圧駆動部が、作動油圧を発生させる油圧発生部と、前記油圧発生部を駆動する駆動部と、前記駆動部に給電する電源と、を備えるとともに、前記駆動部にはモータおよび油圧付勢部材が設けられて、前記油圧発生部において互いに逆向きの作動油圧を発生するように前記油圧発生部を駆動可能とされ、
真空アクチュエータが、前記対象物に向けて伸縮可能な伸縮ロッドと、前記伸縮ロッドを伸縮する固定部と、を有して、前記油圧駆動部から前記固定部に供給された作動油圧により前記伸縮ロッドを駆動可能とされ、
前記駆動部には、前記油圧付勢部材の付勢力によって前記伸縮ロッドが前記対象物へ近接する方向に移動した際に、前記モータの逆転状態に対応する逆転対応部が設けられる。
これにより、油圧駆動システムにおいては、通常の給電時には、油圧駆動部によって供給された油圧により真空アクチュエータを駆動して、伸縮ロッドを縮退させることで、対象物への押圧を解除する。また、油圧駆動システムにおいては、油圧付勢部材の付勢力によって伸縮ロッドを伸長させて、対象物を押圧する。これにより、スプリングバック機能を有する油圧駆動システムを提供することが可能である。
また、油圧駆動システムにおいては、電源から駆動部への供給電力がなくなった電源喪失時に、油圧付勢部材の付勢力によって油圧が真空アクチュエータ側へ逆流する。この際、油圧駆動システムにおいては、駆動部のモータが逆転した場合でも、逆転対応部によってモータで発生する回転軸の逆転に対応して、油圧駆動システムが破損、あるいは、真空アクチュエータで破損がおきるなどの不具合を防止することが可能となる。
具体的には、モータで発生する回生電力による他の部品への影響を抑制すること、あるいは、モータにおいて、回転軸の逆転が発生しないようにすることが可能となる。

【0015】

本発明の油圧駆動システムは、前記逆転対応部には、前記電源からの給電がある状態で前記モータの回転駆動軸を停止するブレーキ機能を有する励磁ブレーキが設けられる。
これにより、通常の給電時には、励磁ブレーキによりモータの回転軸が不用意に逆転することを防止することができる。また、電源から駆動部への供給電力がなくなった電源喪失時に、励磁ブレーキによるブレーキ機能を停止することができる。これにより、油圧付勢部材の付勢力によって油圧が真空アクチュエータに逆流した際に、すみやかに駆動部のモータを逆転させて、ノーマリークローズ機能を支障なく呈することが可能となる。

【0016】

本発明の油圧駆動システムにおいて、前記逆転対応部には、前記電源からの給電がない状態で前記モータの回転駆動軸を前記油圧発生部から連結解除するクラッチ機能を有する励磁クラッチが設けられる。
これにより、通常の給電時には、励磁クラッチによりモータの回転駆動力を油圧発生部に速やかに伝達して真空アクチュエータを駆動することができる。また、電源から駆動部への供給電力がなくなった電源喪失時に、モータの回転駆動軸を前記油圧発生部から連結解除することができる。これにより、油圧付勢部材の付勢力によって油圧が真空アクチュエータに逆流した際に、油圧付勢部材の付勢力によって逆転した油圧発生部の動作がモータに伝達されることを防止して、モータが逆転することを防止できる。

【0017】

本発明の油圧駆動システムには、前記逆転対応部には、回生電流処理部が設けられ、
前記モータが、ＤＣコアレスブラシレスモータとされる。
これにより、消費電力が少なくて充分な駆動トルクを有し、かつ、モータの逆転時に発生する回生電力が他の部品に与える影響を抑制して、スプリングバックの機能と、充分な逆転対策とを有し、長寿命な油圧駆動システムを真空雰囲気で稼働させることが可能となる。

【0018】

また、本発明の油圧駆動システムにおいて、前記モータが、ＤＣブラシ付きモータとされる。
これにより、消費電力が少なくて充分な駆動トルクを有し、かつ、モータの逆転時に発生する回生電力が他の部品に与える影響を抑制して、スプリングバックの機能と、充分な逆転対策とを有し、長寿命な油圧駆動システムを真空雰囲気で稼働させることが可能となる。

【0019】

本発明の仕切りバルブは、ノーマルクローズ動作可能な仕切りバルブであって、
中空部と、
前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部及び第２開口部とを有する弁箱と、
前記流路を開放および閉塞可能な弁体と、
前記弁体を前記中空部内における退避位置と弁開口遮蔽位置との間で回転可能に支持するとともに流路方向に延在する軸線を有する回転軸と、
前記弁体を回転駆動可能な回転駆動部と、
前記流路方向における位置を変更可能として前記弁体に設けられる可動弁部と、
前記弁箱に設けられて前記弁開口遮蔽位置の前記可動弁部を前記流路方向に移動してクローズする弁箱付勢部と、
前記弁箱付勢部を作動油の給排により駆動する油圧駆動部と、
を具備し、
前記弁箱付勢部が、上記のいずれか記載の油圧駆動システムにおける前記真空アクチュエータとされ、
前記油圧駆動部が、上記のいずれか記載の油圧駆動システムにおける前記油圧駆動部とされ、
前記弁体が、上記のいずれか記載の油圧駆動システムにおける前記対象物とされる。
これにより、通常の給電時には、油圧駆動部の油圧付勢部材によって供給された油圧により真空アクチュエータを駆動して、伸縮ロッドを伸長させることで、押圧した弁体をクローズさせるとともに、駆動部の駆動によって伸縮ロッドを縮退させて、弁体への押圧を解除して弁開とする。これにより、スプリングバック機能を有する仕切りバルブを提供することが可能である。
また、電源から駆動部への供給電力がなくなった電源喪失時に、油圧付勢部材の付勢力によって油圧が油圧発生部から弁箱付勢部（固定部）に逆流した際に、駆動部のモータが逆転した場合でも、逆転対応部によって、モータで発生する回転軸の逆転に対応して、油圧駆動システムが破損、あるいは、真空アクチュエータで破損がおきるなどの不具合を防止することが可能となる。
具体的には、モータで発生する回生電力による他の部品への影響を抑制すること、あるいは、モータにおいて、回転軸の逆転が発生しないようにすることが可能となる。
さらに、通常の給電時には、励磁ブレーキによりモータの回転軸が不用意に逆転することを防止することができる。また、電源から駆動部への供給電力がなくなった電源喪失時に、励磁ブレーキによるブレーキ機能を停止することができる。これにより、油圧付勢部材の付勢力によって油圧が油圧発生部から弁箱付勢部（固定部）に逆流した際に、すみやかに駆動部のモータを逆転させて、ノーマリークローズ機能を支障なく呈することが可能となる。
あるいは、通常の給電時には、励磁クラッチによりモータの回転駆動力を油圧発生部に速やかに伝達して真空アクチュエータを駆動することができる。また、電源から駆動部への供給電力がなくなった電源喪失時に、モータの回転駆動軸を前記油圧発生部から連結解除することができる。これにより、油圧付勢部材の付勢力によって油圧が油圧発生部から弁箱付勢部（固定部）に逆流した際に、油圧付勢部材の付勢力によって逆転した油圧発生部の動作がモータに伝達されることを防止して、モータが逆転することを防止できる。

【発明の効果】

【0020】

本発明によれば、以下の効果を奏することが可能な油圧駆動システム、仕切りバルブを提供することができる。
１．油圧駆動可能で、かつ、スプリングバック機構を有する油圧駆動システムにおいて、緊急時の動作確実性を向上すること。
２．コギングトルクの影響を低減すること。
３．緊急時のスプリングバックによるモータの逆転への影響を低減すること。
４．緊急時における不具合発生を防止すること。
５．消費電力を小さくすること。
６．部品の寿命を長くして、メンテナンス等の必要性を低減すること。

【図面の簡単な説明】

【0021】

【図1】本発明に係る油圧駆動システムの第１実施形態を示す模式図である。

【図2】本発明に係る油圧駆動システムの第２実施形態を示す模式図である。

【図3】本発明に係る仕切りバルブの第３実施形態を示す流路方向に沿った模式断面図であり、弁体が退避位置（弁開放位置）に配置されている場合を示す図である。

【図4】本発明に係る仕切りバルブの第３実施形態を示す流路に沿った模式断面図であり、弁体が弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）に配置されている場合を示す図である。

【図5】本発明に係る仕切りバルブの第３実施形態を示す流路に沿った模式断面図であり、弁体が弁閉塞位置に配置されている場合を示す図である。

【図6】本発明に係る油圧駆動システム、仕切りバルブの第４実施形態における油圧駆動部を示す模式説明図である。

【図7】本発明に係る油圧駆動システム、仕切りバルブの第４実施形態における油圧駆動部を示す模式説明図である。

【図8】本発明に係る油圧駆動システム、仕切りバルブの第４実施形態における油圧駆動部を示す模式説明図である。

【図9】本発明に係る油圧駆動システム、仕切りバルブの第４実施形態における真空アクチュエータを示す模式説明図である。

【図10】本発明に係る油圧駆動システム、仕切りバルブの第４実施形態における真空アクチュエータを示す模式説明図である。

【図11】本発明に係る油圧駆動システム、仕切りバルブの第４実施形態における真空アクチュエータを示す模式説明図である。

【図12】本発明に係る油圧駆動システムの第５実施形態を備えた真空装置を示す模式説明図である。

【図13】本発明の第６実施形態に係る仕切りバルブの構成を示す流路と直交する断面図である。

【図14】本発明の第６実施形態に係る仕切りバルブの構成を示す流路に沿った断面図であり、弁体が退避動作可能位置（ＦＲＥＥ）に配置されている場合を示す図である。

【図15】図１３における線分Ａ−Ｏに沿う要部を示す流路に沿った拡大断面図であり、弁体が退避動作可能位置（ＦＲＥＥ）に配置されている場合を示す図である。

【図16】図１３における線分Ｂ−Ｏ−Ｃに沿う要部を示す流路に沿った拡大断面図であり、弁体が退避動作可能位置（ＦＲＥＥ）に配置されている場合を示す図である。

【図17】図１３における弁枠付勢部の要部を示す流路に沿った拡大断面図であり、弁体が退避動作可能位置（ＦＲＥＥ）に配置されている場合を示す図である。

【図18】本発明の第６実施形態に係る仕切りバルブの構成を示す流路に沿った断面図であり、弁体が弁閉位置（正圧ｏｒ差圧無）に配置されている場合を示す図である。

【図19】図１８の要部を示す流路に沿った拡大断面図である。

【図20】図１８の要部を示す流路に沿った拡大断面図である。

【図21】図１８の要部を示す流路に沿った拡大断面図である。

【図22】本発明の第６実施形態に係る仕切りバルブの構成を示す流路に沿った断面図であり、弁体が逆圧位置に配置されている場合を示す図である。

【図23】図２３の要部を示す流路に沿った拡大断面図である。

【図24】図２３の要部を示す流路に沿った拡大断面図である。

【図25】本発明の第６実施形態に係る仕切りバルブにおける弁箱での弁箱付勢部の配置を示す斜視図である。

【図26】本発明の第６実施形態に係る仕切りバルブにおける弁箱での弁箱付勢部の配置を示す斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0022】

以下、本発明に係る油圧駆動システムの第１実施形態を、図面に基づいて説明する。
図１は、本実施形態における油圧駆動システムを示す模式図であり、図において、符号７００は、油圧駆動部である。

【0023】

本実施形態に係る油圧駆動システムは、図１に示すように、スプリングバック機能を有し、油圧駆動部７００と、真空アクチュエータ７０とを有する。

【0024】

本実施形態に係る真空アクチュエータ７０は、真空雰囲気とされるチャンバＣｈ内で対象物を押圧可能な伸縮アクチュエータとされる。本実施形態に係る真空アクチュエータ７０は、油圧によって制御するため、その押圧力を所定の値に制御することが可能である。

【0025】

本実施形態に係る真空アクチュエータ７０は、図１に示すように、伸縮ロッド（可動部）７２と、付勢部材（押しつけバネ）７３と、固定部７１と、を有する。

【0026】

本実施形態において、真空アクチュエータ７０の固定部７１は真空装置のチャンバにおける壁部、底部、あるいは、チャンバ内の機構等に固定される。
本実施形態において、真空アクチュエータ７０の可動部（伸縮ロッド）７２は、固定部７１から真空雰囲気とされたチャンバＣｈ内に向けて伸縮可能とされる。

【0027】

真空アクチュエータ７０は、付勢部材（押しつけバネ）７３が対象物から離間する方向に可動部（伸縮ロッド）７２を付勢可能として配置される。
真空アクチュエータ７０においては、図1に示すように、付勢部材（押しつけバネ）７３の付勢力によって縮退した可動部（伸縮ロッド）７２が、対象物から離間して、固定部７１に収納される。

【0028】

真空アクチュエータ７０の駆動は、油圧駆動部７００から供給された油圧（非圧縮性流体）によっておこなわれる。

【0029】

油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００は、図１に示すように、油圧発生部７０１と、油圧管７０２と、油圧付勢部材７２０と、駆動部７０５と、を有する。
油圧発生部７０１は、固定部７１に供給する油圧を発生させる。
油圧管７０２は、油圧発生部７０１と真空アクチュエータ７０の固定部７１とに接続される。
油圧駆動部７００は、ノーマルクローズが可能な構成とされている。

【0030】

油圧発生部７０１は、駆動部７０５の駆動、または、油圧付勢部材７２０の付勢力によって動作方向または逆方向となる油圧を発生させる。

【0031】

油圧発生部７０１は、可動部（伸縮ロッド）７２を伸長動作する際に、油圧付勢部材７２０の付勢力によって油圧を発生させ、作動油を真空アクチュエータ７０へ流すように供給する。
油圧発生部７０１は、また、動作終了時に、油圧状態を維持して可動部（伸縮ロッド）７２を伸縮した状態を維持可能とされている。また、押圧力等、対象物への可動部（伸縮ロッド）７２の当接状態を適切に制御可能となっている。

【0032】

駆動部７０５は、モータ７０５ｍを有する。
モータ７０５ｍは、可動部（伸縮ロッド）７２を縮退縮動作する際に、油圧付勢部材７２０の付勢力に打ち勝って、真空アクチュエータ７０から作動油を油圧発生部７０１へ流すように油圧発生部７０１を駆動する。
モータ７０５ｍは、ＤＣコアレスブラシレスモータとされる。
駆動部７０５は、モータ７０５ｍの回転軸の回転を停止する励磁ブレーキ７０５ｂを有する。

【0033】

駆動部７０５は、モータ７０５ｍの回転軸が駆動方向に対して逆転した際に発生する回生電力を処理する回生電流処理部７０５ｃを有する。
駆動部７０５は、制御部（コントローラ）７０６に接続されて制御される。
駆動部７０５は電源７０７に接続されて、駆動部７０５を駆動するための電力を供給される。

【0034】

真空アクチュエータ７０は、油圧駆動部７００から供給された作動油圧により付勢部材（押しつけバネ）７３の付勢力に打ち勝って可動部（伸縮ロッド）７２を駆動するものとされる。
真空アクチュエータ７０は、油圧駆動部７００によりスプリングバック可能とされる。
スプリングバックとは、油圧発生部７０１の油圧付勢部材７２０の付勢力によって、油圧発生部７０１から真空アクチュエータ７０へと作動油を流して、モータ７０５ｍによる動作方向と逆向きに可動部（伸縮ロッド）７２を駆動することを意味する。

【0035】

駆動部７０５には、逆転対応部が設けられる。逆転対応部は、油圧付勢部材７２０の付勢力によって可動部（伸縮ロッド）７２が対象物に近接する方向に移動するスプリングバック時に、モータ７０５ｍの逆転状態に対応する。

【0036】

励磁ブレーキ７０５ｂと、回生電流処理部７０５ｃとは、逆転対応部を構成している。
励磁ブレーキ７０５ｂは、電源７０７からの給電がある状態でモータ７０５ｍの回転駆動軸を停止するブレーキ機能を有する。

【0037】

励磁ブレーキ７０５ｂは、電源７０７から駆動部７０５へ電力が供給されている状態、つまり、通常の給電時には、モータ７０５ｍの回転軸が不用意に逆転することを防止する。
励磁ブレーキ７０５ｂは、電源７０７から駆動部７０５への供給電力がなくなった電源喪失時に、ブレーキ機能を停止することができる。

【0038】

あるいは、励磁ブレーキ７０５ｂは、通常の給電時に制御部（コントローラ）７０６の制御により、モータ７０５ｍに対するブレーキ機能を解除することができる。
なお、励磁ブレーキ７０５ｂは、公知のものとされ、その構成は限定されない。

【0039】

回生電流処理部７０５ｃは、スプリングバックによって可動部（伸縮ロッド）７２を伸長動作する際に、つまり、油圧発生部７０１から真空アクチュエータ７０へと作動油が逆流した際に、回転軸が逆回転したモータ７０５ｍによって発生する回生電力を消費して、他のドライバへの影響を抑制する回生抵抗とすることが可能である。
あるいは、回生電流処理部７０５ｃは、逆回転したモータ７０５ｍによって発生する回生電力の電流方向を制御して電源７０７側に流れないようにするダイオード等とすることが可能である。
なお、回生電流処理部７０５ｃは、公知のものとされ、その構成は限定されない。

【0040】

本実施形態に係る油圧駆動システムにおいて、通常の給電時に、油圧駆動部７００では、モータ７０５ｍによって作動油が引き込まれる方向へ油圧発生部７０１を動作させる。これにより、真空アクチュエータ７０では、内部の付勢部材（押しつけバネ）７３の付勢力によって、可動部（伸縮ロッド）７２が固定部７１へと縮退する。これにより、可動部（伸縮ロッド）７２による対象物への押圧を解除する。

【0041】

また、本実施形態に係る油圧駆動システムにおいて、油圧駆動部７００では、油圧付勢部材７２０によって作動油が押し出される方向へ油圧発生部７０１を動作させる。これにより、真空アクチュエータ７０では、固定部７１に供給された油圧によって、可動部（伸縮ロッド）７２が固定部７１から伸長する。これにより、可動部（伸縮ロッド）７２によって対象物を押圧する。
このように、油圧発生部７０１の油圧付勢部材７２０によって、真空アクチュエータ７０の可動部（伸縮ロッド）７２を伸長させて対象物を押圧する動作がスプリングバックとなる。

【0042】

スプリングバックのとき、可動部（伸縮ロッド）７２を動作する際に、油圧付勢部材７２０の付勢力によって、油圧発生部７０１から真空アクチュエータ７０へと作動油が逆流する。
同時に、油圧付勢部材７２０の付勢力によって、モータ７０５ｍの回転軸が逆回転する。
回転軸が逆回転したモータ７０５ｍは、回生電力を発生させる。

【0043】

ここで、電源７０７から駆動部７０５へ電力が供給されている状態、つまり、通常の給電時に油圧付勢部材７２０によるスプリングバックが発生した場合には、制御部（コントローラ）７０６が、モータ７０５ｍへのブレーキ機能を解除するように逆転対応部の励磁ブレーキ７０５ｂを制御する。

【0044】

このとき、制御部（コントローラ）７０６は、電源７０７から駆動部７０５への供給電力を制御して、モータ７０５ｍの逆転速度を所定の状態となるように回転数を抑制する制御をおこなうことができる。これにより、モータ７０５ｍにおいて必要以上の回生電力が発生することを抑制できる。
なお、逆回転したモータ７０５ｍによって発生した回生電力は、逆転対応部の回生電流処理部７０５ｃによって消費するか、電流方向制御する。これにより、回生電力が他のドライバに影響を与えることを抑制する。

【0045】

また、電源７０７から駆動部７０５への電力供給がなくなった状態、つまり、電源喪失時に油圧付勢部材７２０によるスプリングバックが発生した場合には、電力供給がなくなった逆転対応部の励磁ブレーキ７０５ｂが、モータ７０５ｍへのブレーキ機能を解除する。

【0046】

このとき、モータ７０５ｍの逆転速度は大きく、大きな回生電力が発生するが、逆回転したモータ７０５ｍによって発生した回生電力は、逆転対応部の回生電流処理部７０５ｃによって消費するか、電流方向制御する。これにより、回生電力が他の部品に影響を与えることを抑制する。

【0047】

これにより、油圧駆動システムは、スプリングバック機能を有するとともに、逆転対応部の励磁ブレーキ７０５ｂと回生電流処理部７０５ｃとによって、逆回転したモータ７０５ｍを空転させて、油圧の逆流が発生した際による影響を抑制することができる。

【0048】

これにより、油圧付勢部材７２０によるスプリングバックが発生した場合でも、逆転対応部の励磁ブレーキ７０５ｂと回生電流処理部７０５ｃとによって、油圧発生部７０１の駆動系の逆転に対応して、逆回転したモータ７０５ｍを空転させ、油圧駆動システムが破損、あるいは、真空アクチュエータ７０で破損がおきるなどの不具合を防止することが可能となる。

【0049】

したがって、モータ７０５ｍで発生する回生電力による他の部品への影響を抑制することができる。あるいは、モータ７０５ｍにおいて、回転軸の逆転が発生しないようにすることが可能となる。

【0050】

これにより、消費電力が少なくて充分な駆動トルクを有し、かつ、モータ７０５ｍの逆転時に発生する回生電力が他の部品に与える影響を抑制して、スプリングバックの機能と、充分な逆転対策とを有し、長寿命な油圧駆動システムを真空雰囲気で稼働させることが可能となる。

【0051】

また、油圧付勢部材７２０によるスプリングバックが発生した場合に、ソレノイドバルブ等を用いて、油圧発生部７０１から真空アクチュエータ７０へと逆流する油圧を遮断する必要がないため、油圧駆動システムとしての動作確実性の向上と、部品の長寿命とを図ることができる。同時に、メンテナンスの回数を減らしても、信頼性の向上を図ることができる。

【0052】

以下、本発明に係る油圧駆動システムの第２実施形態を、図面に基づいて説明する。
図２は、本実施形態における油圧駆動システムを示す模式図であり、図において、符号７００は、油圧駆動部である。

【0053】

本実施形態に係る油圧駆動システムは、図２に示すように、スプリングバック機能を有し、油圧駆動部７００と、真空アクチュエータ７０とを有する。

【0054】

本実施形態に係る真空アクチュエータ７０は、真空雰囲気とされるチャンバＣｈ内で対象物を押圧可能な伸縮アクチュエータとされる。本実施形態に係る真空アクチュエータ７０は、油圧によって制御するため、その押圧力を所定の値に制御することが可能である。

【0055】

本実施形態に係る真空アクチュエータ７０は、図２に示すように、伸縮ロッド（可動部）７２と、フランジ部７７３と、付勢部材（押しつけバネ）７３と、固定部７１と、を有する。

【0056】

本実施形態において、真空アクチュエータ７０の固定部７１は真空装置のチャンバにおける壁部、底部、あるいは、チャンバ内の機構等に固定される。
本実施形態において、真空アクチュエータ７０の可動部（伸縮ロッド）７２は、固定部７１から真空雰囲気とされたチャンバＣｈ内に向けて伸縮可能とされる。

【0057】

真空アクチュエータ７０は、付勢部材（押しつけバネ）７３が対象物から離間する方向に可動部（伸縮ロッド）７２を付勢可能として配置される。
真空アクチュエータ７０においては、図２に示すように、付勢部材（押しつけバネ）７３の付勢力によって縮退した可動部（伸縮ロッド）７２が、対象物から離間して、固定部７１に収納される。

【0058】

真空アクチュエータ７０の駆動は、油圧駆動部７００から供給された油圧（非圧縮性流体）によっておこなわれる。

【0059】

油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００は、図２に示すように、油圧発生部７０１と、油圧管７０２と、油圧付勢部材７２０と、駆動部７０５と、を有する。
油圧発生部７０１は、固定部７１に油圧を供給する油圧を発生させる。
油圧管７０２は、油圧発生部７０１から真空アクチュエータ７０の固定部７１に接続される。
油圧駆動部７００は、ノーマルクローズが可能な構成とされている。

【0060】

油圧発生部７０１は、駆動部７０５の駆動、または、油圧付勢部材７２０の付勢力によって動作方向または逆方向となる油圧を発生させる。

【0061】

油圧発生部７０１は、可動部（伸縮ロッド）７２を伸長動作する際に、油圧付勢部材７２０の付勢力によって油圧を発生させ、作動油を真空アクチュエータ７０へ流すように供給する。
油圧発生部７０１は、また、動作終了時に、油圧状態を維持して可動部（伸縮ロッド）７２を伸縮した状態を維持可能とされている。また、対象物への可動部（伸縮ロッド）７２の当接状態を適切に制御可能となっている。

【0062】

駆動部７０５は、モータ７０５ｍを有する。
モータ７０５ｍは、可動部（伸縮ロッド）７２を縮退動作する際に、油圧付勢部材７２０の付勢力に打ち勝って、真空アクチュエータ７０から作動油を油圧発生部７０１へ流すように油圧発生部７０１を駆動する。
モータ７０５ｍは、ＤＣブラシ付きモータとされる。
駆動部７０５は、モータ７０５ｍの回転軸の回転を停止する励磁ブレーキ７０５ｂを有する。

【0063】

駆動部７０５は、モータ７０５ｍの回転軸が駆動方向に対して逆転した際に、油圧発生部７０１の駆動経路から回転軸を切り離す励磁クラッチ７０５ｄを有する。
駆動部７０５は、制御部（コントローラ）７０６に接続されて制御される。
駆動部７０５は電源７０７に接続されて、駆動部７０５を駆動するための電力を供給される。

【0064】

真空アクチュエータ７０は、油圧駆動部７００から供給された作動油圧により付勢部材（押しつけバネ）７３の付勢力に打ち勝って可動部（伸縮ロッド）７２を駆動するものとされる。
真空アクチュエータ７０は、油圧駆動部７００によりスプリングバック可能とされる。
スプリングバックとは、油圧発生部７０１の油圧付勢部材７２０の付勢力によって、油圧発生部７０１から真空アクチュエータ７０へと作動油を流して、モータ７０５ｍによる動作方向と逆向きに可動部（伸縮ロッド）７２を駆動することを意味する。

【0065】

駆動部７０５には、逆転対応部が設けられる。逆転対応部は、油圧付勢部材７２０の付勢力によって可動部（伸縮ロッド）７２が対象物に近接する方向に移動するスプリングバック時に、モータ７０５ｍの逆転状態に対応する。

【0066】

励磁ブレーキ７０５ｂと、励磁クラッチ７０５ｄとは、逆転対応部を構成している。
励磁ブレーキ７０５ｂは、電源７０７からの給電がある状態でモータ７０５ｍの回転駆動軸を停止するブレーキ機能を有する。このとき、モータ７０５ｍのコギングトルクをブレーキとして利用することができる。

【0067】

励磁ブレーキ７０５ｂは、電源７０７から駆動部７０５へ電力が供給されている状態、つまり、通常の給電時には、モータ７０５ｍの回転軸が不用意に逆転することを防止する。
励磁ブレーキ７０５ｂは、電源７０７から駆動部７０５への供給電力がなくなった電源喪失時に、ブレーキ機能を停止することができる。

【0068】

あるいは、励磁ブレーキ７０５ｂは、通常の給電時に制御部（コントローラ）７０６の制御により、モータ７０５ｍに対するブレーキ機能を解除することができる。
なお、励磁ブレーキ７０５ｂは、公知のものとされ、その構成は限定されない。

【0069】

励磁クラッチ７０５ｄは、スプリングバックによって可動部（伸縮ロッド）７２を伸長動作する際に、つまり、油圧発生部７０１から真空アクチュエータ７０へと作動油が逆流した際に、油圧付勢部材７２０の付勢力によって逆回転した油圧発生部７０１の駆動系からモータ７０５ｍを切り離す。
つまり、励磁クラッチ７０５ｄは、油圧付勢部材７２０の付勢力により作動油が逆流した際に、モータ７０５ｍの回転駆動軸７０５ａを油圧発生部７０１の駆動系から連結解除するクラッチ機能を有する。

【0070】

これにより、油圧付勢部材７２０の付勢力によって油圧発生部７０１の駆動系が逆回転した場合でも、この油圧発生部７０１の駆動系が逆回転をモータ７０５ｍの回転軸に伝達されることを防止する。
励磁クラッチ７０５ｄは、モータ７０５ｍの回転軸が逆転することを防止することが可能である。

【0071】

励磁クラッチ７０５ｄは、電源７０７から駆動部７０５へ電力が供給されている状態、つまり、通常の給電時には、スプリングバックによって可動部（伸縮ロッド）７２を伸長動作する際に、モータ７０５ｍの回転軸が油圧発生部７０１の駆動系を接続された状態を維持する。

【0072】

励磁クラッチ７０５ｄは、電源７０７から駆動部７０５への供給電力がなくなった電源喪失時に、油圧発生部７０１の駆動系からモータ７０５ｍを切り離すことができる。
なお、励磁クラッチ７０５ｄは、公知のものとされ、その構成は限定されない。

【0073】

本実施形態に係る油圧駆動システムにおいて、通常の給電時に、油圧駆動部７００では、モータ７０５ｍによって作動油が引き込まれる方向へ油圧発生部７０１を動作させる。これにより、真空アクチュエータ７０では、内部の付勢部材（押しつけバネ）７３の付勢力によって、可動部（伸縮ロッド）７２が固定部７１へと縮退する。これにより、可動部（伸縮ロッド）７２による対象物への押圧を解除する。

【0074】

また、本実施形態に係る油圧駆動システムにおいて、油圧駆動部７００では、油圧付勢部材７２０によって作動油が押し出される方向へ油圧発生部７０１を動作させる。これにより、真空アクチュエータ７０では、固定部７１に供給された油圧によって、可動部（伸縮ロッド）７２が固定部７１から伸長する。これにより、可動部（伸縮ロッド）７２によって対象物を押圧する。

【0075】

このように、油圧発生部７０１の油圧付勢部材７２０によって、真空アクチュエータ７０の可動部（伸縮ロッド）７２を伸長させて対象物を押圧する動作がスプリングバックとなる。

【0076】

スプリングバックによって可動部（伸縮ロッド）７２を動作する際に、油圧付勢部材７２０の付勢力によって、油圧発生部７０１から真空アクチュエータ７０へと作動油圧が逆流する。
同時に、油圧付勢部材７２０の付勢力によって、油圧発生部７０１の駆動系が逆回転する。
逆回転した油圧発生部７０１の駆動系は、そのままではモータ７０５ｍの回転軸に伝達されて、回生電力を発生させる。

【0077】

ここで、電源７０７から駆動部７０５へ電力が供給されている状態、つまり、通常の給電時に油圧付勢部材７２０によるスプリングバックが発生した場合には、制御部（コントローラ）７０６が、モータ７０５ｍへのブレーキ機能を解除するように逆転対応部の励磁ブレーキ７０５ｂを制御する。
同時に、制御部（コントローラ）７０６が、モータ７０５ｍの回転軸と油圧発生部７０１の駆動系とが接続された状態を維持するように、励磁クラッチ７０５ｄを制御する。

【0078】

このとき、制御部（コントローラ）７０６は、電源７０７から駆動部７０５への供給電力を制御して、モータ７０５ｍの逆転速度を所定の状態となるように回転数を抑制する制御をおこなうことができる。これにより、モータ７０５ｍにおいて必要以上の回生電力が発生することを抑制できる。

【0079】

また、電源７０７から駆動部７０５への電力供給がなくなった状態、つまり、電源喪失時に油圧付勢部材７２０によるスプリングバックが発生した場合には、電力供給がなくなった逆転対応部の励磁ブレーキ７０５ｂが、モータ７０５ｍへのブレーキ機能を解除する。
同時に、電力供給がなくなった逆転対応部の励磁クラッチ７０５ｄが、モータ７０５ｍの回転軸と油圧発生部７０１の駆動系とが切断された状態とする。

【0080】

このとき、油圧発生部７０１の駆動系における逆転速度は大きいが、励磁クラッチ７０５ｄが切断されているため、モータ７０５ｍは逆回転しない。したがって、モータ７０５ｍにおいて回生電力は発生しない。
これにより、回生電力が他の部品に影響を与えることを防止する。

【0081】

これにより、油圧駆動システムは、スプリングバック機能を有するとともに、逆転対応部の励磁ブレーキ７０５ｂと励磁クラッチ７０５ｄとによって、油圧発生部７０１の駆動系を空転させて、モータ７０５ｍを逆回転させずに油圧の逆流による影響を防止することができる。

【0082】

これにより、油圧付勢部材７２０によるスプリングバックが発生した場合でも、逆転対応部の励磁ブレーキ７０５ｂと励磁クラッチ７０５ｄとによって、油圧発生部７０１の駆動系の逆転に対応して、油圧駆動システムが破損、あるいは、真空アクチュエータ７０で破損がおきるなどの不具合を防止することが可能となる。

【0083】

したがって、モータ７０５ｍにおいて、回転軸の逆転が発生しないようにすることが可能となる。あるいは、モータ７０５ｍで発生する回生電力による他の部品への影響を抑制することができる。

【0084】

これにより、消費電力が少なくて充分な駆動トルクを有し、かつ、油圧付勢部材７２０の付勢力による油圧発生部７０１の駆動系の逆転時に、回生電力を発生させずに、他の部品に与える影響を抑制して、スプリングバックの機能と、充分な逆転対策とを有し、長寿命な油圧駆動システムを真空雰囲気で稼働させることが可能となる。

【0085】

また、油圧付勢部材７２０によるスプリングバックが発生した場合に、ソレノイドバルブ、スプール弁等を用いて、真空アクチュエータ７０から油圧発生部７０１へと逆流する油圧を遮断する必要がないため、油圧駆動システムとしての動作確実性の向上と、部品の長寿命とを図ることができる。同時に、メンテナンスの回数を減らしても、信頼性の向上を図ることができる。
また、回生電力を処理する構成を備える必要がないため、油圧駆動システムを小型にして、油圧駆動システムを省スペースに構成することができる。

【0086】

モータ７０５ｍをＤＣブラシ付きモータとしたことにより、コギングトルクが発生する力のロスになる場合があるが、これを防止することができる。また、モータ７０５ｍをＤＣブラシ付きモータとした場合でも、モータ７０５ｍの出力を上げるために定格を大きくした場合には、それに比例してコギングトルクも強くなるが、これを防止することができる。

【0087】

またモータ７０５ｍのコギングトルクをブレーキとして利用することにより簡素な部品構成が実現できる。
あるいは、モータ自体によるコギングトルクがゼロまたは限りなく小さいモータを利用することにより油圧のロスを低減することができる。
モータによって逆転対応部の構成における組み合わせを変更することで、幅広いモータの選択を可能とし、制御の煩雑化を伴わない安価で、簡潔な構成を実現可能とすることができる。

【0088】

以下、本発明に係る油圧駆動システム、仕切りバルブの第３実施形態を、図面に基づいて説明する。

【0089】

図３は、本実施形態における仕切りバルブの退避位置（弁開放位置）を示す流路に沿った模式断面図である。図４は、本実施形態における仕切りバルブの弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）を示す流路に沿った模式断面図である。図５は、本実施形態における仕切りバルブの弁閉塞位置を示す流路に沿った模式断面図である。
本実施形態において、上述した第１または第２実施形態と対応する構成には同一の符号を付してその説明を省略する。図において、符号１００は、仕切りバルブである。

【0090】

本実施形態における油圧駆動システムでは、図３〜図５に示すように、真空アクチュエータ７０が、仕切りバルブ１００において、弁閉塞位置とする真空アクチュエータ（付勢部、押しつけシリンダ）７０として備えられる。
また、本実施形態における油圧駆動システムでは、図３〜図５に示すように、油圧駆動部７００が、弁閉塞位置とする真空アクチュエータ（付勢部、押しつけシリンダ）７０を駆動する。

【0091】

本実施形態に係る仕切りバルブ１００は、ノーマルクローズ動作可能な振り子型スライド弁である。本実施形態に係る仕切りバルブ１００は、図３〜図５に示すように、弁箱１０と、中空部１１と、弁体５と、回転軸２０と、回転駆動部２１と、油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００と、を備える。

【0092】

弁箱１０は、中空部１１と、中空部１１を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路Ｈとなる第１開口部１２ａおよび第２開口部１２ｂと、を有する。
流路Ｈは、第２開口部１２ｂから第１開口部１２ａに向かって設定されている。

【0093】

弁体５は、弁箱１０の中空部１１内に配置され流路Ｈを開放および閉塞可能である。
回転軸２０は、流路Ｈ方向に延在する軸線を有する。
回転軸２０は、弁体５を中空部１１内における退避位置（弁開放位置）と弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）との間で回転可能に支持する。

【0094】

退避位置（弁開放位置）では、弁体５が第１開口部１２ａから退避して流路Ｈを連通可能な開放状態（図３）とされる。弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）では、弁体５が第１開口部１２ａを遮蔽する閉塞可能状態（図４）にする。

【0095】

仕切りバルブ１００は、退避位置（弁開放位置）と弁閉塞位置（図５）との間で動作する。
回転駆動部２１は、回転軸２０を回転駆動可能である。
回転駆動部２１は、弁体５を往復回転動作させることが可能である。

【0096】

弁体５は、回転軸２０に接続される中立弁部３０、中立弁部３０に接続される弁枠部６３、および、弁枠部６３に接続される可動弁部（可動弁板部）５４から構成される。
中立弁部３０は、回転軸２０に固定される。
中立弁部３０は、中空部１１における流路Ｈ方向の中央位置を維持する。

【0097】

弁枠部６３は、可動弁部（可動弁板部）５４の周囲に位置する。弁枠部６３は、中立弁部３０に固定される。弁枠部６３は、中立弁部３０とともに、退避位置（弁開放位置）と弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）と弁閉塞位置とにおいて、中空部１１の中央位置を維持する。

【0098】

可動弁部（可動弁板部）５４は、弁枠部６３に対して流路Ｈ方向に摺動可能とされる。
可動弁部（可動弁板部）５４は、弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）と弁閉塞位置とにおいて、弁枠部６３に対して流路Ｈ方向における位置を変更可能である。

【0099】

可動弁部（可動弁板部）５４は、退避位置（弁開放位置）および退避位置（弁開放位置）と弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）との間において、中空部１１の中央位置を維持する。
可動弁部（可動弁板部）５４には、第１開口部１２ａの周囲に位置する弁箱１０の内面に密着される弁板シールパッキンが設けられる。

【0100】

付勢部（押しつけシリンダ）７０は弁箱１０に埋め込んで設けられる。付勢部（押しつけシリンダ）７０は、可動弁部（可動弁板部）５４の周方向に沿って複数配置される。
付勢部（押しつけシリンダ）７０は、上述した第1実施形態または第２実施形態における真空アクチュエータ７０とされる。

【0101】

なお、上述した第1実施形態または第２実施形態の真空アクチュエータ７０において、伸縮ロッド（可動部）７２が伸張する真空側となるチャンバＣｈは、流路Ｈと連通する中空部１１に対応する。

【0102】

弁箱１０に内蔵された付勢部（押しつけシリンダ）７０は、大気側に設けられる油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００に接続されており油圧によって駆動される。
油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００は、付勢部（押しつけシリンダ）７０に非圧縮性流体（圧油）を給排、つまり、供給および排出して、複数の付勢部（押しつけシリンダ）７０を同時に駆動する。

【0103】

付勢部（押しつけシリンダ）７０は、弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）と弁閉塞位置とにおいて、可動弁部（可動弁板部）５４を流路Ｈ方向における第１開口部１２ａに向けて付勢する。付勢部（押しつけシリンダ）７０は、弁板シールパッキンを第１開口部１２ａの周囲に位置する弁箱１０の内面に密着可能とする機能を有する。
付勢部（押しつけシリンダ）７０は、弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）にある可動弁部（可動弁板部）５４の周囲を流路Ｈ方向に押圧する。付勢部（押しつけシリンダ）７０は、移動した可動弁部（可動弁板部）５４により流路Ｈをクローズ（閉塞）する。

【0104】

また、本実施形態に係る仕切りバルブ１００は、弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）と弁閉塞位置とにおいて、可動弁部（可動弁板部）５４が弁枠部６３に対して流路Ｈ方向における位置が変更可能に接続される。
さらに、弁枠部６３または可動弁部（可動弁板部）５４には、図示していないが、可動弁部（可動弁板部）５４を弁枠部６３に対して流路Ｈ方向における中空部１１の中央位置に向けて付勢する付勢部（中立付勢部）を備える。

【0105】

これにより、仕切りバルブ１００は、付勢部（押しつけシリンダ）７０が動作していない場合には、弁箱１０の内部において、可動弁部（可動弁板部）５４が中空部１１の中央位置に維持するノーマルクローズ機構を有する。付勢部（押しつけシリンダ）７０と弁枠部６３の付勢部（中立付勢部）とによって、弁枠部６３と可動弁部（可動弁板部）５４との流路Ｈ方向における厚み寸法が調整可能である。

【0106】

回転軸２０が流路Ｈの方向に交差する方向に回転すると、この回転に従って、回転軸２０に固定されている中立弁部３０も一体として回動する。また、可動弁部（可動弁板部）５４は中立弁部３０に厚さ方向のみ摺動可能とされているため、可動弁部（可動弁板部）５４は、中立弁部３０と一体に回転する。

【0107】

中立弁部３０を回転することにより、流路Ｈが設けられていない中空部１１とされる退避位置（弁開放位置）から、第１開口部１２ａに対応する位置とされる流路Ｈを遮蔽する弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）に、可動弁部（可動弁板部）５４が振り子運動で移動する。

【0108】

本実施形態において、真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０の固定部７１は弁箱１０に内蔵される。真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０は、付勢部材（押しつけバネ）７３が可動弁部（可動弁板部）５４から離間する方向に可動部（伸縮ロッド）７２を付勢可能として配置される。
真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０においては、図２，図３に示すように、付勢部材（押しつけバネ）７３によって縮退した可動部（伸縮ロッド）７２が、可動弁部（可動弁板部）５４から離間して、弁箱１０に内蔵された固定部７１に収納される。

【0109】

ここで、真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０においては、縮退した収納状態から、油圧発生部７０１の油圧付勢部材７２０によって油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００から油圧を供給されて、スプリングバックにより可動部（伸縮ロッド）７２を伸長する。この際、真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０は、可動部（伸縮ロッド）７２によって、可動弁部（可動弁板部）５４を第１開口部１２ａに向けて移動させて、可動弁部（可動弁板部）５４を弁箱１０の内面に接触させる。さらに、真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０は、可動弁部（可動弁板部）５４を弁箱１０の内面に押圧して閉塞状態とし、流路Ｈを閉鎖する（閉弁動作）。

【0110】

この可動部（伸縮ロッド）７２の伸長状態から、真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０は、駆動部７０５のモータ７０５ｍの駆動によって油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００から供給される油圧の解除によって、可動部（伸縮ロッド）７２の先端部を縮退させる。この際、付勢部（中立付勢部）は、可動弁部（可動弁板部）５４を第１開口部１２ａから離間させる。
これにより、可動弁部（可動弁板部）５４が弁箱１０の内面から引き離されて退避される。可動弁部（可動弁板部）５４を流路Ｈ方向における中空部１１の中央位置とすることにより、流路Ｈを開放する（解除動作）。

【0111】

このように、真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０における機械的な当接動作と機械的な分離動作とによって、閉弁動作と解除動作が可能となる。ここで、真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０における機械的な当接動作とは、弁箱１０の内面に対して可動弁部（可動弁板部）５４を当接させる動作である。真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０における機械的な分離動作とは、付勢部（中立付勢部）によって、弁箱１０の内面から可動弁部（可動弁板部）５４を引き離す動作である。

【0112】

この解除動作の後に、回転軸２０が回転駆動部２１によって回転駆動される（退避動作）と、この回転に従って中立弁部３０および可動弁部（可動弁板部）５４も一体として回動する。
仕切りバルブ１００は、この解除動作と退避動作とにより、可動弁部（可動弁板部）５４が弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）から退避位置（弁開放位置）に退避して弁開状態とする弁開動作が行われる。回転駆動部２１は、ノーマルクローズが可能な構成とされている。

【0113】

真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０の駆動は、油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００から供給された油圧（非圧縮性流体）によっておこなわれる。

【0114】

油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００は、上述した第1実施形態または第２実施形態における油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００とされる。

【0115】

油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００は、さらに、回転軸２０の回転が弁閉塞位置および弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）となっていることを検出して油圧供給を切り替え可能な切替センサ８０２を備えることもできる。
油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００は、油圧発生部７０１の油圧付勢部材７２０によってスプリングバックによるノーマルクローズが可能な構成とされている。

【0116】

油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００は、可動部（伸縮ロッド）７２を縮退動作する際に、駆動部７０５のモータ７０５ｍによって作動油を真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０から油圧発生部７０１へと移動する。
油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００は、可動部（伸縮ロッド）７２を伸長動作する際に、油圧発生部７０１の油圧付勢部材７２０による油圧を真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０に逆流させる。
油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００は、動作終了時に、可動部（伸縮ロッド）７２を伸縮した油圧状態を維持可能とされている。
油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００は、可動弁部（可動弁板部）５４への可動部（伸縮ロッド）７２の当接状態を適切に制御可能となっている。

【0117】

油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００は、逆転対応部として、励磁ブレーキ７０５ｂと、回生電流処理部７０５ｃまたは励磁クラッチ７０５ｄとを有する。
油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００は、逆転対応部によって、逆回転したモータ７０５ｍに対応して、油圧駆動システムが破損、あるいは、真空アクチュエータ７０、可動弁部（可動弁板部）５４等で破損がおきるなどの不具合を防止することが可能となる。

【0118】

本実施形態における仕切りバルブ１００においては、図３に示すように、可動弁部（可動弁板部）５４が退避位置（弁開放位置）にあって、流路Ｈが全開して流通可能な状態とされる。

【0119】

また、可動弁部（可動弁板部）５４が、図３に示す退避位置（弁開放位置）から、図４に示す弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）にまで閉回転動作する間は、流路Ｈが部分的に可動弁部（可動弁板部）５４によって覆われており、流路Ｈが一部流通可能である。

【0120】

さらに、可動弁部（可動弁板部）５４が、図４に示す弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）に到達した直後は、流路Ｈが可動弁部（可動弁板部）５４によって遮蔽されているが、密閉はされておらず、流路Ｈが可動弁部（可動弁板部）５４の周縁部付近で一部流通可能である。

【0121】

また、油圧発生部７０１の油圧付勢部材７２０によってスプリングバックした際に、真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０における可動部（伸縮ロッド）７２が伸長駆動される。これにより、可動弁部（可動弁板部）５４が流路Ｈ方向における位置を変更する密閉動作をおこなう。これにより、可動弁部（可動弁板部）５４が、図４に示す弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）から、図５に示す弁閉塞位置にまで摺動して、流路Ｈが閉塞される。

【0122】

次に、駆動部７０５のモータ７０５ｍが駆動された際に、真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０における可動部（伸縮ロッド）７２の縮退駆動により、可動弁部（可動弁板部）５４が流路Ｈ方向における位置を変更する開放動作をおこなう。これにより、可動弁部（可動弁板部）５４が、図５に示す弁閉塞位置から、図４に示す弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）にまで摺動する。この際には、流路Ｈが部分的に可動弁部（可動弁板部）５４で覆われており、流路Ｈが一部流通可能である。

【0123】

さらに、可動弁部（可動弁板部）５４が、図５に示す弁閉塞位置からスプリングバックによる密閉解除動作（離間動作）を開始した直後には、流路Ｈの密閉が解除され、流路Ｈが可動弁部（可動弁板部）５４の周縁部付近で一部流通可能になる。同時に、流路Ｈが可動弁部（可動弁板部）５４によって遮蔽されているが、密閉はされていない状態となる。

【0124】

さらに、可動弁部（可動弁板部）５４が、図４に示す弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）から図３に示す退避位置（弁開放位置）にまで開回転動作する間は、流路Ｈが部分的に可動弁部（可動弁板部）５４によって覆われており、流路Ｈが一部流通可能である。
なお、可動弁部（可動弁板部）５４の回転動作中において、真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０では、可動部（伸縮ロッド）７２の縮退状態を維持し、可動部（伸縮ロッド）７２の伸長駆動はおこなわない。

【0125】

本実施形態においては、第１実施形態または第２実施形態と同様の効果を奏することができる。

【0126】

以下、本発明に係る油圧駆動システム、仕切りバルブの第４実施形態を、図面に基づいて説明する。
図６は、本実施形態における油圧駆動システム、仕切りバルブの油圧駆動部における加圧状態の油圧発生部を示す模式説明図である。図７は、本実施形態における油圧駆動システム、仕切りバルブの油圧駆動部における減圧状態の油圧発生部を示す模式説明図である。図８は、本実施形態における油圧駆動システム、仕切りバルブの油圧駆動部における過圧状態の油圧発生部を示す模式説明図である。

【0127】

図９は、本実施形態における油圧駆動システム、仕切りバルブにおける真空アクチュエータを説明するための軸方向断面図である。図１０は、本実施形態における油圧駆動システム、仕切りバルブにおける真空アクチュエータを説明するための図９とは直交する軸方向断面図である。図１１は、本実施形態における油圧駆動システム、仕切りバルブにおける真空アクチュエータを説明するための伸長状態を示す軸方向断面図である。
本実施形態において上述した第１実施形態または第２実施形態と異なるのは油圧発生部および真空アクチュエータに関する点であり、これ以外の対応する構成要素に関しては、同一の符号を付してその説明を省略する。

【0128】

本実施形態における油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００は、上述した第1実施形態または第２実施形態における油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００と同等の構成とされる。

【0129】

油圧発生部７０１は、図６〜図８に示すように、油圧シリンダ７１０と、油圧付勢部材７２０と、シリンダ駆動部７３０と、ケーシング７５０と、を備えている。
油圧シリンダ７１０は、真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０に非圧縮性流体である圧油を加圧して供給する。油圧付勢部材７２０は、油圧シリンダ７１０を付勢して、スプリングバック動作を可能とする。シリンダ駆動部７３０は、油圧付勢部材７２０に抗して油圧シリンダ７１０を駆動可能である。ケーシング７５０は、これら油圧シリンダ７１０、油圧付勢部材７２０、シリンダ駆動部７３０を収納する。

【0130】

油圧シリンダ７１０は、有底筒状のシリンダ本体７１１と、シリンダ本体７１１の内部で軸線方向に相対的に移動可能なピストン７１２とを有する。ピストン７１２は、その軸線に沿って内部を貫通する油圧流路７１３を有し、油圧流路７１３が油圧管７０２に接続されている。油圧流路７１３は、非圧縮性流体である圧油（駆動流体）を油圧管７０２に対して流入可能または流出可能である。

【0131】

ピストン７１２は、油圧管７０２に接続される油圧流路７１３がケーシング７５０を貫通する。ピストン７１２の端部７１２ａは、Ｏリングおよびシール材によってシールされる。ピストン７１２の端部７１２ａは、ケーシング７５０に取り付け固定される。
ピストン７１２の端部７１２ａと反対の位置となる端部７１２ｂは、シリンダ本体７１１の内部に同軸状態に位置する。

【0132】

シリンダ本体７１１の端部７１１ａは開口されている。シリンダ本体７１１の端部７１１ａには、内部にピストン７１２の端部７１２ｂが挿入される。
シリンダ本体７１１はピストン７１２に対して軸線方向に相対的に移動可能である。シリンダ本体７１１はケーシング７５０に対して軸線方向に相対的に移動可能である。

【0133】

シリンダ本体７１１の端部７１１ｂは閉塞される。シリンダ本体７１１の端部７１１ｂに近接した内面と、ピストン７１２の端部７１２ｂの端面とで油圧空間７１４が形成される。油圧空間７１４には、非圧縮性流体である圧油（駆動流体）が充填される。

【0134】

油圧空間７１４は、シリンダ本体７１１がピストン７１２に対して軸線方向に相対的に移動した場合に容積が増減する。この油圧空間７１４の容積増減にともない、油圧空間７１４に充填された圧油が、油圧流路７１３を介して油圧管７０２に流入または流出する。シリンダ本体７１１の端部７１１ａには、フランジ部７１１ｃが外周位置に設けられる。フランジ部７１１ｃは、端部７１１ａから径方向外側に張り出して周設される。

【0135】

フランジ部７１１ｃの端部７１１ｂに向かう面には、油圧付勢部材７２０となる内バネ７２１の端部７２１ａおよび外バネ７２２の端部７２２ａが当接している。
フランジ部７１１ｃの端部７１１ｂに向かう面には、シリンダ本体７１１の外周面に近接して周溝７１１ｄが周設される。

【0136】

周溝７１１ｄには、油圧付勢部材７２０となる内バネ７２１の端部７２１ａが当接している。周溝７１１ｄの外周位置となるフランジ部７１１ｃの端部７１１ｂに向かう面には、外バネ７２２の端部７２２ａが当接している。

【0137】

油圧付勢部材（メインバネ）７２０は、内バネ７２１および外バネ７２２を有する。内バネ７２１および外バネ７２２は、コイルバネとされる。内バネ７２１および外バネ７２２は、シリンダ本体７１１およびピストン７１２と同軸状に配置される。内バネ７２１は、シリンダ本体７１１の外周面の径寸法よりもやや大きい内径寸法を有する。

【0138】

外バネ７２２は、内バネ７２１の外径寸法よりもやや大きい内径寸法を有する。外バネ７２２は、内バネ７２１よりも大きな線径とされる。外バネ７２２は、内バネ７２１よりも大きな付勢力を有する。

【0139】

内バネ７２１および外バネ７２２は、伸縮方向への付勢力をシリンダ本体７１１に伝達可能とされている。内バネ７２１および外バネ７２２は、いずれもシリンダ本体７１１のフランジ部７１１ｃを、ピストン７１２の端部７１２ａに向けて押圧するように付勢されている。

【0140】

内バネ７２１の端部７２１ｂおよび外バネ７２２の端部７２２ｂは、ケーシング７５０に当接している。これにより、油圧付勢部材７２０は、シリンダ本体７１１をケーシング７５０に対して付勢する。
なお、油圧付勢部材７２０は、シリンダ本体７１１を付勢することが可能であれば、この構成に限るものではない。

【0141】

シリンダ本体７１１の内周面には、端部７１１ａに近接する位置に、ブシュ７１１ｅ、Ｙ形パッキン７１１ｆ，７１１ｇが設けられる。シリンダ本体７１１の内周面とピストン７１２の外周面とは摺動可能に密閉される。シリンダ本体７１１の端部７１１ｂには、シリンダ駆動部７３０の駆動軸７３１の端部７３１ａが同軸状として接続される。

【0142】

シリンダ駆動部７３０は、シリンダ本体７１１をピストン７１２に対して軸線方向に相対的に移動させる駆動軸７３１と、モータ等の駆動部７０５によって駆動軸７３１を駆動する駆動伝達部と、を有する。

【0143】

駆動軸７３１は、シリンダ本体７１１およびピストン７１２と同軸状態としてケーシング７５０内に配置される。駆動軸７３１は軸方向に移動可能とされる。駆動軸７３１はピストン７１２およびケーシング７５０に対して軸線方向に相対的に移動可能である。

【0144】

駆動軸７３１の外周面には端部７３１ａに近接する位置に、ボールネジ７３１ｃが形成される。駆動軸７３１の軸方向におけるボールネジ７３１ｃの長さは、シリンダ本体７１１が軸方向に移動する際、その全範囲に対して、後述する内側螺面７３２ｃが螺合状態を維持可能なように設定される。

【0145】

駆動軸７３１の径方向外側には、ボールネジ７３１ｃの外周位置に、ネジ駆動ギア７３２が同軸状に配置される。駆動軸７３１は、ネジ駆動ギア７３２によってケーシング７５０に対して支持される。

【0146】

駆動軸７３１の端部７３１ａと反対位置となる端部７３１ｂには、後述する回り止め７３１ｈが径方向に突出して設けられる。回り止め７３１ｈは、ケーシング７５０に設けられたすべり溝７５７の内部に位置して、駆動軸７３１が回転しないで軸方向に移動可能なように移動方向を規制している。

【0147】

ネジ駆動ギア７３２は筒状とされる。ネジ駆動ギア７３２は、ケーシング７５０に対して回転可能に支持される。ネジ駆動ギア７３２の外周にはボールベアリング７３２ｆ，７３２ｇが設けられる。ボールベアリング７３２ｆ，７３２ｇは、ケーシング７５０に対して駆動軸７３１と同軸に回転可能としてネジ駆動ギア７３２を支持する。

【0148】

なお、ネジ駆動ギア７３２は、ケーシング７５０に対して軸方向には移動しない。ネジ駆動ギア７３２の内周には内側螺面７３２ｃが形成される。内側螺面７３２ｃは、駆動軸７３１のボールネジ７３１ｃと螺合する。

【0149】

ネジ駆動ギア７３２が回転した場合、内側螺面７３２ｃと螺合しているボールネジ７３１ｃにより、駆動軸７３１に回転力が作用する。駆動軸７３１は、回り止め７３１ｈおよびすべり溝７５７によって回転が規制されている。したがって、駆動軸７３１は、すべり溝７５７に規制された方向、すなわち、駆動軸７３１の軸方向に移動する。

【0150】

ネジ駆動ギア７３２の外周には外側ギア７３２ｄが形成される。外側ギア７３２ｄは、ネジ駆動ギア７３２の軸方向において、ボールベアリング７３２ｆおよびボールベアリング７３２ｇの間に挟まれた位置に形成される。ネジ駆動ギア７３２において、外側ギア７３２ｄは、径方向の最外側に位置する。

【0151】

なお、ネジ駆動ギア７３２は、内側螺面７３２ｃの形成された内ネジ駆動ギア７３２ａと、外側ギア７３２ｄの形成された外ネジ駆動ギア７３２ｂと、が一体として接続されていることができる。

【0152】

外側ギア７３２ｄは、駆動ギア７３３ｄと噛合する。駆動ギア７３３ｄは、駆動軸７３１の軸線と平行な回転軸線を有する。駆動ギア７３３ｄは、駆動軸７３１の軸線と平行な回転軸７３４に回転自在に支持される。回転軸７３４は、駆動軸７３１の径方向における外側に離間した位置としてケーシング７５０に支持される。駆動ギア７３３ｄは、同軸の駆動ギア７３３ｅと一体に形成される。駆動ギア７３３ｅは、駆動ギア７３３ｄよりも大きな径寸法を有する。駆動ギア７３３ｅは、駆動ギア７３３ｄと一体に回転する。

【0153】

駆動ギア７３３ｅは、駆動ギア７３５と噛合する。駆動ギア７３５は、駆動軸７３１の軸線と平行な回転軸線を有する。駆動ギア７３５は、駆動軸７３１の軸線と平行な回転軸７３６に回転自在に支持される。回転軸７３６は、駆動軸７３１の径方向における外側位置で、回転軸７３４よりもさらに離間した位置としてケーシング７５０に支持される。

【0154】

駆動ギア７３５は、駆動ギア７３７と噛合する。駆動ギア７３７は、駆動軸７３１の軸線と平行な回転軸線を有する。駆動ギア７３７は、駆動軸７３１の軸線と平行なモータ等の駆動部７０５の回転駆動軸７０５ａに固定される。回転駆動軸７０５ａは、駆動軸７３１の径方向における外側位置で、回転軸７３６よりもさらに離間した位置とされる。回転駆動軸７０５ａは、ケーシング７５０に貫通状態として回転可能に取り付けられる。

【0155】

ネジ駆動ギア７３２、ボールベアリング７３２ｆ，７３２ｇ、内側螺面７３２ｃ、外側ギア７３２ｄ、駆動ギア７３３ｄ、駆動ギア７３３ｅ、回転軸７３４、駆動ギア７３５、回転軸７３６、駆動ギア７３７は、駆動伝達部（油圧発生部７０１の駆動系）を構成する。

【0156】

ケーシング７５０は、ケーシング筒７５１と、ケーシング蓋７５２と、後ケーシング７５３と、リング７５４と、蓋部７５８と、からなる。ケーシング筒７５１は、筒状とされる。ケーシング蓋７５２は、ケーシング筒７５１の一端を閉塞する。

【0157】

後ケーシング７５３は、ケーシング筒７５１の他端を閉塞する。リング７５４は、ケーシング筒７５１と後ケーシング７５３との間に設けられる。蓋部７５８は、後ケーシング７５３の他端を閉塞する。

【0158】

ケーシング筒７５１は、シリンダ本体７１１、ピストン７１２、駆動軸７３１と同軸状に延在する内部形状を有する。ケーシング筒７５１の内部は収納空間７５５を形成している。
収納空間７５５の内部には、シリンダ本体７１１と、ピストン７１２と、油圧付勢部材７２０となる内バネ７２１および外バネ７２２と、駆動軸７３１の端部７５１ａと、が収納される。収納空間７５５は、ピストン７１２に近接する端部位置が開口しており、ケーシング蓋７５２によって閉塞されている。

【0159】

ケーシング蓋７５２にはピストン７１２が接続固定されている。ケーシング蓋７５２にはピストン７１２の端部７１２ａが貫通している。収納空間７５５は、駆動軸７３１に近接する端部位置が開口しており、後ケーシング７５３によって閉塞されている。後ケーシング７５３には、駆動軸７３１が貫通している。収納空間７５５は、後ケーシング７５３に近接する位置に、リング７５４が設けられる。

【0160】

リング７５４は、駆動軸７３１と同軸として駆動軸７３１の周囲に配置される。リング７５４の内周と駆動軸７３１の外周とは離間している。リング７５４は、フランジ部７１１ｃの内周、すなわち、シリンダ本体７１１の外周面の径寸法と等しい内径を有する。また、リング７５４は、フランジ部７１１ｃの外径寸法と等しい外径を有する。

【0161】

リング７５４のケーシング蓋７５２に対向する面には、油圧付勢部材７２０となる内バネ７２１の端部７２１ｂおよび外バネ７２２の端部７２２ｂが当接している。リング７５４のケーシング蓋７５２に対向する面には、周溝７１１ｄに対応するように周溝７５４ｄが周設される。周溝７５４ｄには、油圧付勢部材７２０となる内バネ７２１の端部７２１ｂが当接している。周溝７５４ｄの外周位置となるリング７５４のケーシング蓋７５２に向かう面には、外バネ７２２の端部７２２ｂが当接している。

【0162】

ケーシング筒７５１と後ケーシング７５３との間には、収納空間７５５よりも駆動軸７３１の径方向外側に向けて延在する駆動系支持部７５１ｋ，７５３ｋが設けられる。駆動系支持部７５１ｋ，７５３ｋは、ケーシング筒７５１および後ケーシング７５３に対して周方向の一部分をなすフランジ状に形成される。

【0163】

駆動系支持部７５１ｋと駆動系支持部７５３ｋとは、互いに接触している。駆動系支持部７５１ｋと駆動系支持部７５３ｋとの間には、ネジ駆動ギア７３２、ボールベアリング７３２ｆ，７３２ｇ、内側螺面７３２ｃ、外側ギア７３２ｄ、駆動ギア７３３ｄ、駆動ギア７３３ｅ、回転軸７３４、駆動ギア７３５、回転軸７３６、駆動ギア７３７が挟持される。

【0164】

駆動系支持部７５１ｋと駆動系支持部７５３ｋとの対向する面には、ネジ駆動ギア７３２、ボールベアリング７３２ｆ，７３２ｇ、外側ギア７３２ｄ、駆動ギア７３３ｄ、駆動ギア７３３ｅ、回転軸７３４、駆動ギア７３５、回転軸７３６、駆動ギア７３７に対応する凹凸が形成される。

【0165】

駆動系支持部７５１ｋと駆動系支持部７５３ｋとは、ネジ駆動ギア７３２、ボールベアリング７３２ｆ，７３２ｇ、駆動ギア７３３ｄ、駆動ギア７３３ｅ、回転軸７３４、駆動ギア７３５、回転軸７３６、駆動ギア７３７を、対向する面の間で支持している。
また、駆動系支持部７５１ｋには、回転駆動軸７０５ａが貫通している。駆動系支持部７５１ｋには、モータ７０５ｍを有する駆動部７０５が取り付けられている。

【0166】

ケーシング筒７５１とネジ駆動ギア７３２との間にはボールベアリング７３２ｆが設けられる。ボールベアリング７３２ｆは、ケーシング筒７５１に対してネジ駆動ギア７３２を回転可能に支持する。後ケーシング７５３とネジ駆動ギア７３２との間にはボールベアリング７３２ｇが設けられる。ボールベアリング７３２ｇは、後ケーシング７５３に対してネジ駆動ギア７３２を回転可能に支持する。

【0167】

後ケーシング７５３には、駆動軸７３１が軸方向に移動した際に、駆動軸７３１の端部７３１ｂの逃げとなる後空間７５６が形成される。後空間７５６と収納空間７５５との境界となる位置には、ネジ駆動ギア７３２が配置される。つまり、後空間７５６と収納空間７５５との境界となる位置には、駆動軸７３１が軸方向に移動可能として配置されている。

【0168】

後空間７５６には、拡径するようにすべり溝７５７が形成される。すべり溝７５７は、駆動軸７３１の径方向外側に位置する。すべり溝７５７は、回り止め７３１ｈが内部を摺動することで、駆動軸７３１の回転を規制するとともに、駆動軸７３１の軸方向の移動を可能とする。後空間７５６の端部は、蓋部７５８によって閉塞されている。

【0169】

後空間７５６の蓋部７５８に近接する位置には、駆動軸７３１が近接したことを検出可能な検出スイッチ（検出手段）７６０が設けられる。検出スイッチ（検出手段）７６０は、制御部７０６に接続される。検出スイッチ（検出手段）７６０は、すべり溝７５７に位置していてもよい。

【0170】

後空間７５６のネジ駆動ギア７３２に近接した位置には、駆動軸７３１がピストン７１２に近接したことを検出可能な検出スイッチ（検出手段）７６１が設けられる。検出スイッチ（検出手段）７６１は、制御部７０６に接続される。検出スイッチ（検出手段）７６１は、すべり溝７５７に位置していてもよい。

【0171】

検出スイッチ（検出手段）７６０と検出スイッチ（検出手段）７６１とは、駆動軸７３１の軸方向位置を検出する。検出スイッチ（検出手段）７６０と検出スイッチ（検出手段）７６１とは、接触式、あるいは、非接触の磁気式とすることが可能である。
たとえば、検出スイッチ（検出手段）７６０は、駆動軸７３１の一部が当接した際に検出可能なリミッタスイッチか、駆動軸７３１の一部に設けられた磁気素子を検出可能な磁気スイッチとすることもできる。

【0172】

検出スイッチ（検出手段）７６０は、駆動軸７３１が収納空間７５５から後空間７５６に向けて移動した場合に、駆動軸７３１が軸方向に検出スイッチ（検出手段）７６０で規定された位置に到達したことを検知する。また、検出スイッチ（検出手段）７６１は、駆動軸７３１が後空間７５６から収納空間７５５に向けて移動した場合に、駆動軸７３１が軸方向に検出スイッチ（検出手段）７６１で規定された位置に到達したことを検知する。

【0173】

ここで、検出スイッチ（検出手段）７６０が、駆動軸７３１が軸方向における所定の位置に到達したことを制御部７０６に出力した場合、信号を受け取った制御部７０６は、駆動部７０５の駆動を停止する信号を出力する。これにより、駆動部７０５は駆動を停止する。したがって、検出スイッチ（検出手段）７６０の設置された位置によって、駆動軸７３１の移動位置が規制される。

【0174】

ここで、駆動部７０５における駆動停止は、電源７０７からの給電停止によりモータ７０５ｍの駆動を停止してもよい。
また、駆動部７０５における駆動停止は、励磁ブレーキ７０５ｂによってモータ７０５ｍの回転駆動軸７０５ａの回転を停止してもよい。
あるいは、駆動部７０５における駆動停止は、励磁クラッチ７０５ｄによって、モータ７０５ｍの回転駆動軸７０５ａの回転を遮断して、駆動軸７３１まで伝達しない状態としてもよい。

【0175】

あるいは、検出スイッチ（検出手段）７６１が、駆動軸７３１が軸方向における所定の位置に到達したことを制御部７０６に出力した場合、信号を受け取った制御部７０６は、駆動部７０５の駆動を開始する信号を出力する。これにより、駆動部７０５は駆動を開始する。したがって、検出スイッチ（検出手段）７６１の設置された位置によって、駆動軸７３１の移動位置が規制される。

【0176】

ここで、駆動部７０５における駆動開始は、電源７０７からの給電開始によりモータ７０５ｍを駆動開始してもよい。
また、駆動部７０５における駆動開始は、励磁ブレーキ７０５ｂによるモータ７０５ｍの回転駆動軸７０５ａの回転停止を解除してもよい。
また、駆動部７０５における駆動開始は、励磁クラッチ７０５ｄによってモータ７０５ｍの回転駆動軸７０５ａの回転を接続して、駆動軸７３１まで伝達する状態としてもよい。

【0177】

このように、油圧発生部７０１は、制御部７０６の信号によって、駆動部７０５における駆動状態の切り替えを可能とされる。
制御部７０６が駆動信号を出力すると、駆動部７０５が駆動する。駆動部７０５の駆動によって回転駆動軸７０５ａが回転する。回転駆動軸７０５ａの回転により、回転駆動軸７０５ａに取り付けられた駆動ギア７３７が回転する。駆動ギア７３７の回転は、噛合する駆動ギア７３５に伝達される。駆動ギア７３５の回転は、噛合する駆動ギア７３３ｅに伝達される。

【0178】

駆動ギア７３３ｅの回転は、一体として形成された駆動ギア７３３ｄに伝達される。駆動ギア７３３ｄの回転は、噛合する外側ギア７３２ｄに伝達されて、ネジ駆動ギア７３２が回転する。外側ギア７３２ｄの回転は、一体として形成されたネジ駆動ギア７３２の内側螺面７３２ｃに伝達される。

【0179】

ネジ駆動ギア７３２の内側螺面７３２ｃの回転は、噛合する駆動軸７３１のボールネジ７３１ｃに伝達されて、駆動軸７３１が回転する。ネジ駆動ギア７３２は、ボールベアリング７３２ｆ，７３２ｇによって支持されているので、回転しても、軸方向に移動しない。

【0180】

駆動軸７３１は、内側螺面７３２ｃによって支持されるとともに、回り止め７３１ｈがすべり溝７５７の内部に位置して、駆動軸７３１の移動方向が規制されている。このため、駆動軸７３１は、回転した場合に軸方向に移動する。このように、駆動伝達部によって、モータ等の駆動部７０５の回転駆動力が駆動軸７３１に伝達され、駆動軸７３１が軸方向に移動する。

【0181】

駆動軸７３１が軸方向に移動すると、一体として接続されたシリンダ本体７１１も、同様にして軸方向に移動する。このとき、ピストン７１２は、ケーシング蓋７５２に固定されているので移動しない。これにより、シリンダ本体７１１とピストン７１２とが軸線方向に相対的に移動する。

【0182】

ここで、シリンダ本体７１１とピストン７１２とが相対的に移動することで、シリンダ本体７１１内部の油圧空間７１４の容積が変化する。油圧空間７１４の容積変化に応じて、油圧空間７１４に充填された非圧縮性流体である圧油（駆動流体）が油圧流路７１３に流入または流出する。

【0183】

シリンダ本体７１１には、フランジ部７１１ｃに当接する油圧付勢部材７２０となる内バネ７２１および外バネ７２２が付勢力を付与している。

【0184】

本実施形態においては、ノーマルプッシュ、つまり、駆動部７０５が駆動していない際に、可動部（伸縮ロッド）７２を伸長可能とする。このため、油圧シリンダ７１０において、油圧付勢部材７２０からの付勢力は、内バネ７２１および外バネ７２２が伸長する方向となる。つまり、油圧付勢部材７２０からシリンダ本体７１１へ付与された付勢力は、シリンダ本体７１１がネジ駆動ギア７３２から離間する方向となる。
したがって、油圧付勢部材７２０の付勢力は、シリンダ本体７１１における油圧空間７１４の容積が減少するように付与されている。

【0185】

また、本実施形態においては、ノーマルプッシュ、つまり、駆動部７０５が駆動された際に、可動部（伸縮ロッド）７２を縮退可能とする。このため、油圧シリンダ７１０において、駆動部７０５の駆動により、駆動軸７３１が移動する方向は油圧付勢部材７２０の付勢力と反対向きとなる。つまり、駆動部７０５の駆動により、駆動軸７３１はピストン７１２から離間する方向に移動する。
したがって、駆動部７０５の駆動により、シリンダ本体７１１における油圧空間７１４の容積は増大するように駆動軸７３１が移動する。

【0186】

油圧発生部７０１は、駆動部７０５が駆動停止された場合、図６に示すように、油圧付勢部材７２０の付勢力によって油圧空間７１４の容積が減少する。これにより、油圧空間７１４積が加圧される。これにより、非圧縮性流体である圧油（駆動流体）が、油圧空間７１４から油圧流路７１３を介して油圧管７０２に対して流入する。このとき、真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０では油圧が作用して、可動部（伸縮ロッド）７２の先端部７２ａが伸長する。

【0187】

また、油圧発生部７０１は、駆動部７０５を駆動した場合、図７に示すように、駆動部７０５の駆動力によって油圧空間７１４の容積が増大する。これにより、油圧空間７１４積が減圧される。非圧縮性流体である圧油（駆動流体）が油圧流路７１３を介して油圧管７０２から油圧空間７１４に対して流入する。このとき、真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０では油圧が作用して、可動部（伸縮ロッド）７２の先端部７２ａが縮退する。

【0188】

また、油圧発生部７０１では、何らかの原因により、シリンダ本体７１１がケーシング蓋７５２に近接するようにオーバーランした場合でも、図８に示すように、フランジ部７１１ｃがケーシング蓋７５２に当接して、シリンダ本体７１１の移動を停止する。これにより、油圧空間７１４の減少を所定範囲に制限する。したがって、油圧発生部７０１は、過剰な圧油（駆動流体）を真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０へ流入させないことができる。
なお、図８において、検出スイッチ（検出手段）７６１の記載は省略している。

【0189】

本実施形態に係る真空アクチュエータ７０は、図９〜図１１に示すように、ガイドロッド７７１と、シリンダ部７７２と、伸縮ロッド（可動部）７２と、フランジ部７７３と、付勢部材（押しつけバネ）７３と、ケーシング７７４と、を有する。

【0190】

真空アクチュエータ７０は、図９〜図１１に示すように、略円柱状のケーシング７７４の一端から、このケーシング７７４よりも細径の伸縮ロッド７２が伸出可能および縮退可能な構成とされている。真空アクチュエータ７０は、油圧管７０２を介して油圧発生部７０１に接続される。

【0191】

油圧発生部７０１は、伸縮ロッド７２を伸縮動作する際に、正圧または負圧となる油圧を真空アクチュエータ７０に供給するとともに、動作終了時に、油圧状態を維持可能とされている。また、伸縮ロッド７２の対象物への当接状態を適切に制御可能となっている。

【0192】

ガイドロッド７７１は、図９〜図１１に示すように、略円柱状とされ、油圧駆動部７００から作動油圧を一端面７７１ａに向けて供給可能な貫通孔７７１ｃを軸方向に有する。ガイドロッド７７１は、ケーシング７７４の蓋部７７４ｂからケーシング７７４の内部に向けて立設される。

【0193】

ガイドロッド７７１は、蓋部７７４ｂと一体とされてもよい。本実施形態において、ガイドロッド７７１には、蓋部７７４ｂに設けられた凹部７７４ｇの中心位置に突出する凸部７７４ｈにパイプ状の外ガイドロッド７７１ｇが螺合されている。これにより、蓋部７７４ｂに対する外ガイドロッド７７１ｇの中心出しがおこなわれる。貫通孔７７１ｃは、蓋部７７４ｂ、凸部７７４ｈおよび外ガイドロッド７７１ｇの内部に連続して形成される。

【0194】

シリンダ部７７２は、他端が開口した有底円筒状とされる。シリンダ部７７２は、ガイドロッド７７１と同軸状とされる。シリンダ部７７２は、ガイドロッド７７１の一端面７７１ａを摺動可能に覆うように配置されている。ガイドロッド７７１の一端面７７１ａと、シリンダ部７７２の内面とは、その内部に駆動空間７７７を形成する。

【0195】

駆動空間７７７には、貫通孔７７１ｃが連通している。貫通孔７７１ｃには、図１０に示すように、油圧管７０２が接続される。駆動空間７７７には、油圧管７０２を介して油圧発生部７０１に接続される。
駆動空間７７７には、油圧管７０２を介して油圧発生部７０１から作動油が供給されて、駆動空間７７７が加圧される。あるいは、駆動空間７７７には、油圧管７０２を介して油圧発生部７０１へと作動油が戻されて、駆動空間７７７が減圧される。

【0196】

シリンダ部７７２の一端部７７２ａには、図における上面となる位置に伸縮ロッド７２が設けられる。伸縮ロッド７２は、シリンダ部７７２の軸方向の外向きに延在する円柱状とされる。伸縮ロッド７２は、円筒状のシリンダ部７７２と同軸状とされる。伸縮ロッド７２は、円柱状のガイドロッド７７１と同軸状とされる。

【0197】

伸縮ロッド７２は、シリンダ部７７２と一体とされ、ガイドロッド７７１に対するシリンダ部７７２の摺動に付随して、軸方向に伸縮自在として移動可能とされる。伸縮ロッド７２の径寸法は、シリンダ部７７２の径寸法よりも小さく設定される。

【0198】

伸縮ロッド７２の径寸法は、ガイドロッド７７１の径寸法よりも小さく設定される。伸縮ロッド７２は、シリンダ部７７２と一体とされてもよい。本実施形態の伸縮ロッド７２は、シリンダ部７７２の軸中心位置に突出する凸部７７２ｈに伸縮ロッド７２が螺合されている。これにより、蓋部７７４ｂに対する伸縮ロッド７２の中心出しがおこなわれる。

【0199】

シリンダ部７７２の他端部７７２ｂには、外周位置にフランジ部７７３が周設される。フランジ部７７３は、シリンダ部７７２の他端部７７２ｂに径方向外側に延在する。フランジ部７７３は、所定の厚さを有する。

【0200】

フランジ部７７３は、シリンダ部７７２と一体として形成される。
フランジ部７７３には、伸縮ロッド７２に近接する押圧面７７３ａに付勢部材（バネ）７３の他端が当接する。

【0201】

付勢部材（バネ）７３は、螺旋状とされ、フランジ部７７３を伸縮ロッド７２の縮退方向に付勢する。
付勢部材（バネ）７３は、シリンダ部７７２と同軸状にシリンダ部７７２の外周に位置している。付勢部材（バネ）７３の一端は、ケーシング７７４に当接する。

【0202】

ケーシング７７４は、円筒状の円筒部７７４ｃと、円筒部７７４ｃの他端部を閉塞する蓋部７７４ｂと、円筒部７７４ｃの一端に設けられた貫通孔７７４ｍを閉塞する真空側蓋部７７４ａと、を有する。

【0203】

蓋部７７４ｂの中心位置には、ガイドロッド７７１がケーシング７７４の内部に向かって立設される。真空側蓋部７７４ａは、その中央に伸縮ロッド７２の貫通する貫通孔７７５を有し、真空側へと面している。円筒部７７４ｃの他端は、蓋部７７４ｂに設けられた凹部７７４ｇに勘合される。

【0204】

円筒部７７４ｃと蓋部７７４ｂと真空側蓋部７７４ａとの内部には、緩衝空間７７６が形成される。
緩衝空間７７６には、シリンダ部７７２と付勢部材（バネ）７３とが収納される。緩衝空間７７６では、シリンダ部７７２が往復移動可能とされている。緩衝空間７７６は、駆動空間７７７から作動油圧が漏れた際に、真空側となる外部（チャンバ）Ｃｈへ漏出する前に緩衝する空間とされる。

【0205】

緩衝空間７７６となる円筒部７７４ｃの内面には、段差７７４ｄが形成されている。円筒部７７４ｃの内面は、蓋部７７４ｂに近接する位置が真空側蓋部７７４ａに近接する位置に比べて拡径されている。
段差７７４ｄは、フランジ部７７３の押圧面７７３ａの外縁部分が当接する。段差７７４ｄは、シリンダ部７７２の移動範囲における伸長した際の位置を規制する規制部とされている。

【0206】

緩衝空間７７６となる円筒部７７４ｃの内面には、フランジ部７７３の外周面は接していない。蓋部７７４ｂに設けられた凹部７７４ｇには、シリンダ部７７２他端部７７２ｂとなるフランジ部７７３が当接する。凹部７７４ｇは、シリンダ部７７２の移動範囲における縮退側の位置を規制する規制部とされている。

【0207】

円筒部７７４ｃと真空側蓋部７７４ａとは接続固定されている。円筒部７７４ｃの真空側蓋部７７４ａに近接する位置には、段差７７４ｅが形成されている。円筒部７７４ｃの段差７７４ｅよりも真空側蓋部７７４ａに近接する位置は、さらに縮径されてシリンダ部７７２の外形寸法と等しい内径寸法を有する大気側緩衝空間７７８が形成されている。
段差７７４ｅには、付勢部材（バネ）７３の一端が当接している。

【0208】

大気側緩衝空間７７８内周面には、シリンダ部７７２の外周面（摺動面）７７２ｍが摺動可能に接している。大気側緩衝空間７７８には、図１０に示すように、外部に連通する貫通孔７７８ｓが円筒部７７４ｃの径方向に形成されている。大気側緩衝空間７７８は、貫通孔７７８ｓにより大気側と連通している。

【0209】

貫通孔７７５は、大気側緩衝空間７７８よりも小さな径寸法を有する。貫通孔７７５は、伸縮ロッド７２の外径と略等しい径寸法とされる。
ケーシング７７４とガイドロッド７７１とは、固定部７１を構成する。

【0210】

真空アクチュエータ７０には、油圧駆動時に、作動流体である油が真空側であるチャンバＣｈに漏れないように、多段のシール手段として密閉部材が設けられている。具体的には、油圧が供給されるシリンダ部７７２内部の駆動空間７７７から、伸縮ロッド７２の伸張する真空側であるチャンバＣｈの内部である外部まで、四段の密閉部材７７ａ１〜７７ｅが設けられる。

【0211】

シリンダ部７７２の内面と摺動するガイドロッド７７１外周の摺動面７７１ｆには、二段の密閉部材７７ａ１〜７７ｅが設けられる。
ガイドロッド７７１外周の摺動面７７１ｆには、駆動空間７７７から外部へ向かって密閉可能に、Ｏリング（密閉部材）７７ａ１、ウエアリング（密閉部材）７７ａ２が同一の溝に周設されている。

【0212】

ウエアリング（密閉部材）７７ａ２は、Ｏリング（密閉部材）７７ａ１の径方向外側に周設されている。
ウエアリング（密閉部材）７７ａ２は、シリンダ部７７２の内面と接しており、シリンダ部７７２の内周の摺動面７７２ｆと摺動する。

【0213】

さらに、ガイドロッド７７１外周の摺動面７７１ｆには、ウエアリング（密閉部材）７７ａ２よりも駆動空間７７７から離間した位置に、摺動面７７１ｆと面一となるようにウエアリング（密閉部材）７７ｂが周設されている。

【0214】

Ｏリング（密閉部材）７７ａ１、ウエアリング（密閉部材）７７ａ２、ウエアリング（密閉部材）７７ｂは、一段目の密閉部材を形成している。ウエアリング（密閉部材）７７ｂは、バックアップリングである。

【0215】

さらに、ガイドロッド７７１外周の摺動面７７１ｆには、ウエアリング（密閉部材）７７ｂよりも駆動空間７７７から離間した位置に、摺動面７７１ｆと面一となるようにＹパッキン（密閉部材）７７ｃ１、シールシング（密閉部材）７７ｃ２が同一の溝に周設されている。

【0216】

Ｙパッキン（密閉部材）７７ｃ１とシールシング（密閉部材）７７ｃ２とは、いずれもシリンダ部７７２の内面と接している。Ｙパッキン（密閉部材）７７ｃ１とシールシング（密閉部材）７７ｃ２とは、シリンダ部７７２の内周の摺動面７７２ｆと摺動する。
シールシング（密閉部材）７７ｃ２は、Ｙパッキン（密閉部材）７７ｃ１よりも駆動空間７７７から離間した位置に配置される。

【0217】

さらに、ガイドロッド７７１外周の摺動面７７１ｆには、シールシング（密閉部材）７７ｃ２よりも駆動空間７７７から離間した位置に、摺動面７７１ｆと面一となるようにウエアリング（密閉部材）７７ｄが周設されている。
Ｙパッキン（密閉部材）７７ｃ１、シールシング（密閉部材）７７ｃ２、ウエアリング（密閉部材）７７ｄは、二段目の密閉部材を形成している。ウエアリング（密閉部材）７７ｄは、バックアップリングである。

【0218】

ケーシング７７４の円筒部７７４ｃにおける真空側蓋部７７４ａに近接する位置に設けられた貫通孔７７４ｍには、その内周面にＹパッキン（密閉部材）７７ｅが周設される。
Ｙパッキン（密閉部材）７７ｅは、シリンダ部７７２の一端面７７１ａに近接する位置となる外周の摺動面７７２ｍと摺動する。Ｙパッキン（密閉部材）７７ｅは、三段目の密閉部材とされる。

【0219】

ケーシング７７４の真空側蓋部７７４ａにおける貫通孔７７５には、その内周面にＯリング（密閉部材）７７ｆが周設される。
Ｏリング（密閉部材）７７ｆは、伸縮ロッド７２の外周面（摺動面）７２ｍと摺動する。Ｙパッキン（密閉部材）７７ｅは、四段目の密閉部材とされる。

【0220】

さらに、密閉部材７７ａ１〜７７ｅに加えて、ケーシング７７４の凸部７７４ｈと外ガイドロッド７７１ｇとの螺合位置には、Ｏリング（密閉部材）７７ｐが配置される。
ケーシング７７４の円筒部７７４ｃと蓋部７７４ｂに設けられた凹部７７４ｇとの間には、Ｏリング（密閉部材）７７ｑが配置される。
真空側蓋部７７４ａにおける貫通孔７７５の周囲には、真空側となるチャンバＣｈとの間のシール用に、Ｏリング（密閉部材）７７ｒが配置される。

【0221】

本実施形態における真空アクチュエータ７０では、密閉部材７７ａ１〜７７ｒとして、次のような材質からなるものとすることができる。
ウエアリング（密閉部材）７７ａ２は、フッ化樹脂からなる。ウエアリング（密閉部材）７７ｂは、ＨＮＢＲ（水素化ニトリルゴム）からなる。Ｙパッキン（密閉部材）７７ｃ１は、ＨＮＢＲ（水素化ニトリルゴム）からなる。シールシング（密閉部材）７７ｃ２は、フッ化樹脂からなる。ウエアリング（密閉部材）７７ｄは、フッ化樹脂からなる。Ｙパッキン（密閉部材）７７ｅは、ＨＮＢＲ（水素化ニトリルゴム）からなる。Ｏリング（密閉部材）７７ｆは、ＨＮＢＲ（水素化ニトリルゴム）からなる。Ｏリング（密閉部材）７７ｐ、Ｏリング（密閉部材）７７ｑ、Ｏリング（密閉部材）７７ｒは、いずれもＨＮＢＲ（水素化ニトリルゴム）からなる。

【0222】

また、伸縮ロッド７２は、ステンレス鋼からなる。ガイドロッド７７１は、ステンレス鋼からなる。シリンダ部７７２は、ステンレス鋼からなる。ケーシング７７４の円筒部７７４ｃと蓋部７７４ｂと真空側蓋部７７４ａとは、いずれもアルミニウムからなる。なお、これらの構成における材質は、真空アクチュエータ７０の用途に応じて、適宜変更することが可能である。

【0223】

また、ステンレス鋼からなるガイドロッド７７１外周の摺動面７７１ｆ、シリンダ部７７２の内周の摺動面７７２ｆ、シリンダ部７７２の一端面７７１ａに近接する位置となる外周の摺動面７７２ｍ、伸縮ロッド７２外周の摺動面は、いずれも、クロムメッキ等の表面処理が施される。

【0224】

本実施形態における真空アクチュエータ７０においては、ノーマルプル、つまり、動作しない状態では、伸縮ロッド７２が縮退している。この状態では、付勢部材（バネ）７３によってフランジ部７７３が、伸縮ロッド７２の縮退方向に付勢されている。

【0225】

次に、油圧駆動部７００において駆動部７０５の駆動によって油圧発生部７０１から供給された作動油が、油圧管７０２を介して駆動空間７７７に流入する。すると、駆動空間７７７が加圧されて、付勢部材（バネ）７３の付勢力に打ち勝ってシリンダ部７７２が貫通孔７７５に向けて移動する。このとき、シリンダ部７７２は、緩衝空間７７６の内部で移動する。

【0226】

フランジ部７７３の押圧面７７３ａの外縁部分が段差７７４ｄに当接して、シリンダ部７７２の移動が終了する。これにより、図１１に示すように、伸縮ロッド７２が伸張して、真空側となるチャンバＣｈに向けて伸縮ロッド７２が進出する。伸張した伸縮ロッド７２が対象物を押圧する。この状態で、油圧発生部７０１から駆動空間７７７に供給する油圧を維持することで、伸縮ロッド７２が伸長した状態を維持することができる。

【0227】

伸縮ロッド７２が伸長状態から縮退状態とするには、油圧発生部７０１から駆動空間７７７に供給する油圧を減圧する。あるいは、油圧管７０２を介して駆動空間７７７から油圧発生部７０１へと作動油を戻す。すると、付勢部材（バネ）７３からフランジ部７７３に作用する付勢力によって、シリンダ部７７２が蓋部７７４ｂに向けて移動する。これにより、図９，図１０に示すように、伸縮ロッド７２が縮退した状態となる。

【0228】

さらに、本実施形態の真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０においては、駆動空間７７７から油圧管７０２を介して油圧空間７１４までの間で油が漏れた場合に、これを検出することができる。具体的には、駆動空間７７７において収容される油量が減少した場合には、油圧付勢部材７２０の付勢力によって油圧空間７１４の容積が減少する。これにより、軸方向における駆動軸７３１の往復動作範囲が、想定した位置からピストン７１２に近接する方向に移動することになる。
したがって、想定した位置に比べて、駆動軸７３１の軸方向移動における早い段階で検出スイッチ（検出手段）７６１から検出信号が出力されることになる。このため、駆動空間７７７において収容される油量が減少したことを検出可能である。

【0229】

本実施形態においては、上述した実施形態と同様の効果を奏することができる。

【0230】

以下、本発明に係る油圧駆動システムの第５実施形態を、図面に基づいて説明する。
図１２は、本実施形態における油圧駆動システムを備える真空装置を示す模式説明図である。
本実施形態において上述した第１から第４実施形態と異なるのは油圧駆動システムの設けられた真空装置に関する点であり、これ以外の対応する構成要素に関しては、同一の符号を付してその説明を省略する。

【0231】

本実施形態における真空装置２００は、例えばサイドスパッタ式スパッタ等の真空処理をおこなう装置とされる。
本実施形態における真空装置（スパッタ装置）２００は、略矩形のガラス基板（被処理基板）Ｇを搬入／搬出するロード・アンロード室と、ガラス基板Ｇ上に例えばＺｎＯ系やＩｎ_２Ｏ_３系の透明導電膜などの被膜をスパッタ法により形成する耐圧の成膜室（チャンバ）２０１と、成膜室２０１とロード・アンロード室との間の搬送室と、を備えている。
なお、図１２には、成膜室２０１のみを示している。

【0232】

第１実施形態または第２実施形態におけるチャンバＣｈは、本実施形態において成膜室２０１とされる。
本実施形態における真空装置（スパッタ装置）２００において、成膜室（チャンバ）２０１の内部には、図１２に示すように、バッキングプレート（カソード電極）２０６と、電源２０６ａと、ガス導入手段２０７ａと、高真空排気手段２０７ｂと、が設けられている。

【0233】

バッキングプレート（カソード電極）２０６は、成膜材料を供給する手段として、立設されたターゲットを保持する。電源２０６ａは、バッキングプレート２０６に負電位のスパッタ電圧を印加する。ガス導入手段２０７ａは、成膜室（チャンバ）２０１内にガスを導入する。高真空排気手段２０７ｂは、成膜室２０１の内部を高真空引きするターボ分子ポンプ等とされる。

【0234】

バッキングプレート２０６は、成膜室２０１の内部において搬送室に連通する搬送口２０４ａから最遠となる位置に立設される。バッキングプレート２０６には、ガラス基板Ｇと略平行に対面する前面側にターゲットが固定される。
バッキングプレート（カソード電極）２０６は、ターゲットに対して負電位のスパッタリング電圧を印加する電極の役割を果たす。

【0235】

バッキングプレート２０６は、負電位のスパッタリング電圧を印加する電源２０６ａに接続されている。バッキングプレート（カソード電極）２０６の裏側には、ターゲット上に所定の磁場を形成するためのマグネトロン磁気回路が設置されている。

【0236】

成膜室２０１の内部は、図１２に示すように、成膜時にガラス基板Ｇの表面側となる前側空間２０１ａと、ガラス基板Ｇの裏面側となる裏側空間２０１ｂとからなる。成膜室２０１の前側空間２０１ａには、ターゲットが固定されたバッキングプレート（カソード電極）２０６が配置される。成膜室２０１の裏側空間２０１ｂには、前側空間２０１ａに向かって開口する成膜口２０４ｂが設けられている。成膜口２０４ｂの周囲には、防着板枠２０２が設けられる。

【0237】

裏側空間２０１ｂ内部には、成膜中にターゲットと対向するようにガラス基板Ｇを横方向揺動可能に保持する基板保持手段（保持手段）が設けられていてもよい。基板保持手段（保持手段）は、ガラス基板Ｇを裏面から保持する保持部２０３を有する。
保持部２０３は、回転駆動部による揺動軸の軸線周りの回動により、略水平方向位置とされた水平載置位置と、略鉛直方向位置に立ち上げた鉛直処理位置との間で回転動作可能とされる。

【0238】

水平載置位置とされた保持部２０３表面の延長位置には搬送口２０４ａが位置して、搬送室から搬送されたガラス基板Ｇを載置可能となる。鉛直処理位置とされた保持部２０３表面は、ほぼ成膜口２０４ｂを塞ぐように位置して、ガラス基板Ｇ表面がカソード電極２０６と対向して成膜可能となる。

【0239】

保持部２０３には、ガラス基板Ｇの搬入又は搬出の際に、水平載置位置とされた保持部２０３より上方に突出して、保持部２０３より上側にガラス基板Ｇを支持するリフトピンと、このリフトピンを上下動させるリフトピン移動部７０とが配置されている。

【0240】

本実施形態においては、例えば、リフトピン移動部７０が、第１実施形態または第２実施形態における真空アクチュエータ（リフトピン移動部）７０とされる。
また、リフトピンが、伸縮ロッド７２の先端に、同軸状に取り付けられる。
なお、図１２において、真空アクチュエータ（リフトピン移動部）７０は、矢印として示している。

【0241】

真空アクチュエータ（リフトピン移動部）７０は、チャンバ２０１の密閉を維持した状態で駆動可能とされる。この構成により、ガラス基板Ｇの搬入又は搬出の際に、保持部２０３と搬送装置のロボットハンドと間における、ガラス基板Ｇの受け渡しが自在に可能となる。

【0242】

保持部２０３の鉛直処理位置において、ガラス基板Ｇをマスク２０５に押圧する押圧部７０を有する。
本実施形態においては、例えば、押圧部７０が、第１実施形態または第２実施形態における真空アクチュエータ（押圧部）７０とされる。

【0243】

マスク２０５は、所定回数の成膜処理後に交換されるが、その際、交換後のマスク２０５を防着板枠２０２に対してアライメントするアライメント手段７０が成膜口２０４ｂの下側位置に設けられる。
本実施形態においては、例えば、アライメント手段７０が、第１実施形態における真空アクチュエータ（アライメント手段）７０とされる。この構成により、真空アクチュエータ（アライメント手段）７０は、伸縮ロッド７２の先端部７２ａを所定の対象物に当接して、これを押圧させ、移動、または、アライメントすることができる。

【0244】

本実施形態の真空アクチュエータ７０は、いずれも、他の駆動タイプに比べて小さな容積で大きな付勢力（押圧力）を真空雰囲気中で呈することができる。さらに、本実施形態の真空アクチュエータ７０は、固定値とされた押圧力のみならず、押圧力を変動させることが可能となる。
本実施形態においても、チャンバ２０１内に油漏れがおきる可能性を極めて低減した状態で、それぞれの真空アクチュエータ７０は、対象物を押圧することができる。

【0245】

本実施形態においては、上述した実施形態と同様の効果を奏することができる。

【0246】

以下、本発明に係る真空アクチュエータを備えた仕切りバルブの第６実施形態を、図面に基づいて説明する。
本実施形態において上述した第３および第４実施形態と異なるのは仕切りバルブの振り子弁体に関する点であり、これ以外の対応する構成要素に関しては、同一の符号を付してその説明を省略する。

【0247】

図１３は、本実施形態における仕切りバルブの構成を示す流路と直交する断面図である。
図１４〜図１６は、本実施形態における仕切りバルブの構成を示す流路に沿った断面図で、弁体が退避動作可能位置（ＦＲＥＥ）に配置されている場合を示す図である。図１４は、図１３における線分Ａ−Ｏ−Ｃに相当する。図１５は、図１３における線分Ａ−Ｏに沿う要部を示す拡大図である。図１６は、図１３における線分Ｂ−Ｏ−Ｃに沿う要部を示す拡大図である。図１７は、図１３における弁枠付勢部の要部を示す拡大図である。

【0248】

図１８〜図２１は、本実施形態における仕切りバルブの構成を示す流路に沿った断面図で、図１４〜図１７に対応し、弁体が弁閉位置（正圧ｏｒ差圧無）に配置されている場合を示す図である。

【0249】

図２２〜図２４は、本実施形態における仕切りバルブの構成を示す流路に沿った断面図で、図１４〜図１６に対応し、弁体が逆圧位置に配置されている場合を示す図である。
図２５，図２６は、図１４における弁箱での弁箱付勢部の配置を示す斜視図である。

【0250】

［振り子型仕切りバルブ］
本実施形態に係る仕切りバルブ１００は、図１３〜図２６に示すように、振り子型スライド弁である。

【0251】

仕切りバルブ１００は、第１空間と第２空間とをつなげている流路Ｈを仕切り、流路Ｈを閉鎖した状態と、この仕切り状態を開放して、第１空間と第２空間とをつなぐ状態と、を切り替える。
仕切りバルブ１００は、弁箱１０と中立弁体５と回転軸２０とを備える。弁箱１０の内部には中空部１１が形成される。弁箱１０は、中空部１１を有するフレームによって構成される。弁箱１０には、中空部１１を挟んで互いに対向するように第１開口部１２ａおよび第２開口部１２ｂが設けられる。

【0252】

第１開口部１２ａは、第１空間に露出されている。第２開口部１２ｂは、第２空間に露出されている。第１開口部１２ａから第２開口部１２ｂまでは中空部１１を介して連通される。第１開口部１２ａから第２開口部１２ｂに向かって流路Ｈが設定されている。仕切りバルブ１００は、第１空間と第２空間との間に挿入される。なお、流路Ｈに沿った方向は流路Ｈ方向と称する。

【0253】

弁箱１０の中空部１１内には、中立弁体５が配置される。中立弁部３０は、位置切り替え部としての回転軸２０に接続される。回転軸２０は、流路Ｈ方向とほぼ平行に延在する軸線を有する。回転軸２０は、弁箱１０を貫通する。回転軸２０は、不図示の駆動装置により回転可能である。回転軸２０の一端には、接続部材（不図示）を介して中立弁体５が固定される。回転軸２０は、中立弁体５の位置切り替え部として機能する。
あるいは、回転軸２０には、接続部材（不図示）を介さずに中立弁体５が直接接続されてもよい。

【0254】

中立弁体５は、第１開口部１２ａおよび／または第２開口部１２ｂを閉塞可能である。本実施形態においては、第１開口部１２ａを閉塞可能とする。中立弁体５は、弁閉塞位置と弁開放位置との間で動作する。弁閉塞位置において、中立弁体５は、第１開口部１２ａに対して閉塞状態（図１８）となる。弁開放位置において、中立弁体５は、第１開口部１２ａから退避した開放状態（図１４）となる。
中立弁体５は、中立弁部３０、および、可動弁部４０から構成されている。

【0255】

中立弁部３０は、回転軸２０の軸線に対して直交する方向に平行な面に含まれるように配置される。中立弁部３０は、図１３に示すように、円形部３０ａと回転部３０ｂとを有する。円形部３０ａは、流路Ｈ方向視して、可動弁部４０と重なるように配置される。回転部（アーム部）３０ｂは、回転軸２０から円形部３０ａに向けて、２本の腕が延びたアーム形状で形成される。回転部３０ｂは、回転軸２０の回転に伴って円形部３０ａを回転させる。これら回転軸２０、中立弁部３０は、弁箱１０に対して回動するが、流路Ｈ方向には位置変動しない。

【0256】

可動弁部４０は略円板状とされる。可動弁部４０は、中立弁部３０に対して厚さ方向（流路Ｈ方向）にのみ摺動可能として接続される。可動弁部４０は、２つの可動弁枠部６０（スライド弁板）と可動弁板部５０（カウンター板）とを備える。
可動弁枠部６０は、円形部３０ａと略同心状の略円環状とされる。可動弁枠部６０は、円形部３０ａに嵌合される。

【0257】

可動弁枠部６０は、中立弁部３０に対して流路Ｈ方向に摺動可能とされる。可動弁枠部６０と中立弁部３０との間には、弁枠付勢部９０（補助バネ）が配置される。可動弁枠部６０は、弁枠付勢部９０（補助バネ）によって、中立弁部３０に対して流路Ｈ方向における位置が変更可能に接続される。

【0258】

可動弁板部５０は、円形部３０ａと略同心状の円形輪郭を有する板体とされる。可動弁板部５０は、可動弁枠部６０に嵌合される。
可動弁枠部６０は、可動弁板部５０の周囲を囲むように配置される。可動弁板部５０と可動弁枠部６０とは、弁板付勢部８０（保持バネ）によって接続される。

【0259】

可動弁板部５０と可動弁枠部６０とは、図１４に符号Ｂ１，Ｂ２で示された往復方向に、互いに相対的な摺動が可能である。往復方向Ｂ１，Ｂ２とは、可動弁板部５０および可動弁枠部６０の面に垂直な方向である。往復方向Ｂ１，Ｂ２とは、回転軸２０の軸方向に平行な流路Ｈ方向である。
可動弁板部５０には、弁箱内面１０Ｂに対向（当接）する位置に、カウンタークッション５１が周設される。

【0260】

カウンタークッション５１は、円環状の弾性体であるＯリング等からなるシール部とされる。カウンタークッション５１は、閉弁時に第２開口部１２ｂの周縁となる弁箱内面１０Ｂに密着可能である。カウンタークッション５１は、可動弁板部５０および弁箱内面１０Ｂによって押圧される。これにより、第１空間と第２空間とが仕切り状態となる。カウンタークッション５１は、可動弁板部５０と弁箱内面１０Ｂとの衝突時に弾性変形して、衝撃を緩和する。
可動弁板部５０には気抜き穴５３が設けられる。可動弁板部５０と弁箱内面１０Ｂとが衝突した際に、可動弁板部５０と弁箱内面１０Ｂとカウンタークッション５１とによって密閉空間が形成される。気抜き穴５３は、この密閉空間から気体を除去する。

【0261】

可動弁板部５０の外周付近における全領域には、内周クランク部５０ｃが形成される。内周クランク部５０ｃは、流路Ｈ方向と平行な摺動面５０ｂを有する。可動弁枠部６０の内周付近における全領域には、外周クランク部６０ｃが形成される。外周クランク部６０ｃは、流路Ｈ方向と平行な摺動面６０ｂを有する。

【0262】

外周クランク部６０ｃおよび内周クランク部５０ｃは嵌合している。摺動面５０ｂと摺動面６０ｂとは、互いに摺動可能として対向状態に位置する。
外周クランク部６０ｃと内周クランク部５０ｃとの間には、Ｏリング等からなる摺動シールパッキン５２が配される。摺動シールパッキン５２により、摺動面５０ｂと摺動面６０ｂとのシール状態を摺動時に維持する。

【0263】

可動弁枠部６０には、弁箱１０の内面に対向（当接）する表面に、弁枠シールパッキン６１が周設される。弁枠シールパッキン６１は、円環状のＯリング等からなるシール部とされる。弁枠シールパッキン６１は、閉弁時に第１開口部１２ａの周縁となる弁箱内面１０Ａに接触して、可動弁枠部６０および弁箱内面１０Ａによって押圧される。これにより、第１空間と第２空間とが仕切り状態となる。

【0264】

弁枠シールパッキン６１と摺動シールパッキン５２とは、ほぼ同一円筒面上に配置される。弁枠シールパッキン６１と摺動シールパッキン５２とが、図１５〜図１６に示すラインＲに重なるように配置される。このため、約１００％の逆圧キャンセル率が得られる。

【0265】

弁枠付勢部９０は、中立弁部３０の円形部３０ａと、流路Ｈ方向視して円形部３０ａと重なる可動弁枠部６０の位置規制部６５と、の間に配置される。弁枠付勢部９０は、中立弁部３０に対して、可動弁枠部６０を流路Ｈ方向における中央位置に向けて付勢する。弁枠付勢部９０は、円形部３０ａの周方向に等間隔を有して複数配置される。弁枠付勢部９０は、弾性部材であり、板バネとされる。弁枠付勢部９０（板バネ）は、その長手方向が円形部３０ａの周方向に沿って配置される。

【0266】

弁枠付勢部９０（板バネ）の両端部分は、図１７に示すように、固定ピン９２と固定ピン９３とによって中立弁部３０の円形部３０ａに係止される。弁枠付勢部９０（板バネ）の両端部分は、それぞれ厚さ方向にリング状部材９２ａ、リング状部材９２ｂを挟んで円形部３０ａに係止される。弁枠付勢部９０（板バネ）の中央部分は、印圧ピン９１によって可動弁枠部６０の位置規制部６５に係止される。

【0267】

仕切りバルブ１００の開弁状態（図１４）においては、流路Ｈ方向における中立弁部３０（アーム）と可動弁枠部６０との離間距離が狭くなる。弁枠付勢部９０は、高さ方向（厚さ方向）の寸法が縮まる。これにより、弁枠付勢部９０には、厚さ方向に褶曲する曲部９０Ａが形成される（図１７）。

【0268】

これに対して、仕切りバルブ１００が閉弁状態（図１８）においては、流路Ｈ方向における中立弁部３０（アーム）と可動弁枠部６０との離間距離が広くなる。これにより、弁枠付勢部９０は、高さ方向（厚さ方向）の寸法が伸びる。すなわち、弁枠付勢部９０では、曲部９０Ａが解消する（図２１）。

【0269】

弁枠付勢部９０は、閉弁状態（図１８）から開弁状態（図１４）へ変化する場合に、弁箱１０の内面から可動弁枠部６０を引き離す機械的な分離動作を促す構造を有する。また、弁枠付勢部９０は、中立弁部３０（アーム）に対する可動弁枠部６０の径方向および周方向の位置を保持する機能も備える。

【0270】

弁枠付勢部９０は、可動弁枠部６０を中立弁部３０に対して流路方向における位置が変更可能に接続する機能、および、可動弁枠部６０を流路Ｈ方向における中央位置に向けて付勢する機能を有する。

【0271】

弁箱１０には、複数の弁箱付勢部７０が内蔵されている。弁箱付勢部７０は、前述した第１〜第４実施形態における真空アクチュエータ７０とされる。真空アクチュエータ（弁箱付勢部）７０は、可動弁枠部６０を流路Ｈ方向における第１開口部１２ａに近接する方向に付勢する。

【0272】

真空アクチュエータ（弁箱付勢部）７０は、可動弁枠部６０をシール面に向く方向に押圧する昇降機構を構成している。複数の真空アクチュエータ（弁箱付勢部）７０は、可動弁枠部６０の姿勢を変化させずに付勢可能な位置に配置される。複数の真空アクチュエータ（弁箱付勢部）７０は、第２開口部１２ｂの周囲に沿って等間隔に離間して設けられる。

【0273】

図２５，図２６には、互いに離間する弁箱付勢部７０の配置として、弁体の中心Ｏから見て、４個の弁箱付勢部７０が同じ角度位置（９０度）で離間するように配置された構成例を示す。中心Ｏから見て、真空アクチュエータ（弁箱付勢部）７０の角度位置は、弁板付勢部８０と弁枠付勢部９０との角度位置と重ならないように構成される。

【0274】

真空アクチュエータ（弁箱付勢部）７０は、油圧駆動部（固定部）７１と、伸縮ロッド（可動部）７２とを有する。油圧駆動部（固定部）７１は、中空部１１に対して弁箱内面１０Ｂよりも外側となるフレームの内部に埋め込まれた配置とされる。伸縮ロッド（可動部）７２は、流路Ｈ方向に沿って固定部７１から第１開口部１２ａに近接する方向に伸長自在な配置とされる。

【0275】

真空アクチュエータ（弁箱付勢部）７０は、油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００に接続されており油圧によって駆動される。油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００は、前述した第１〜第４実施形態における油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００とされる。

【0276】

開弁状態（図１４）から閉弁状態（図１８）とする場合に、真空アクチュエータ（弁箱付勢部）７０は、油圧によって伸縮ロッド（可動部）７２を伸張させる。このとき、真空アクチュエータ（弁箱付勢部）７０は、先端部７２ａの当接した可動弁枠部６０を付勢する。これにより、可動弁枠部６０が流路Ｈ方向に第１開口部１２ａに向けて移動する。弁枠シールパッキン６１が第１開口部１２ａの周囲の弁箱内面１０Ａに密着する。複数の真空アクチュエータ（弁箱付勢部）７０においては、伸縮ロッド（可動部）７２の伸長動作がいずれもほぼ同時に動作可能とされる。

【0277】

弁板付勢部８０（保持バネ）は、可動弁部４０に内蔵される。弁板付勢部８０は、可動弁枠部６０と可動弁板部５０との流路Ｈ方向における厚み寸法が小さくなる方向に互いを付勢している。弁板付勢部８０は、可動弁枠部６０の動く往復方向Ｂ１，Ｂ２へ可動弁板部５０を連動させる。

【0278】

弁板付勢部８０は、流路Ｈ方向視して可動弁枠部６０と可動弁板部５０とが重なる領域に複数配置される。複数の弁板付勢部８０は、可動弁枠部６０の周方向に等間隔を有する配置とされる。弁板付勢部８０を設ける箇所は、３箇所以上が好ましく、互いに離間して設けられる。

【0279】

弁板付勢部８０は、ボルト状のガイドピン８１の長軸部によって、可動弁板部５０の動きを誘導（規制）する。ガイドピン８１は、可動弁枠部６０に固定される。弁板付勢部８０を構成する保持バネは、例えば、スプリング、ゴム等とされる弾性部材で形成されている。

【0280】

ガイドピン８１は、太さ寸法が均一の棒状体で構成されている。ガイドピン８１は、弁板付勢部８０内を貫通する。ガイドピン８１は、流路Ｈ方向に立設されて可動弁枠部６０に固設される。ガイドピン８１は、可動弁板部５０に形成された孔部５０ｈに嵌合している。ガイドピン８１は、可動弁板部５０と可動弁枠部６０の位置規制を誘導する。

【0281】

弁板付勢部８０により、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが互いに摺動する際に、摺動方向（符号Ｑで示す軸）を往復方向Ｂ１，Ｂ２に維持する。また、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが摺動した際にも、可動弁板部５０および可動弁枠部６０の姿勢が変化せずに平行移動を行うことができる。

【0282】

以下、本実施形態に係る仕切りバルブ１００の動作を詳細に説明する。

【0283】

まず、本実施形態に係る仕切りバルブ１００において、可動弁部４０は、流路Ｈが設けられていない中空部１１とされる退避位置にある状態を考える。このとき、可動弁部４０は、弁箱内面１０Ａおよび弁箱内面１０Ｂに接していない。この状態で、回転軸２０を符号Ｒ１で示された方向（流路Ｈの方向に交差する方向）に回転させる。すると、中立弁部３０おおび可動弁部４０が方向Ｒ１に沿って振り子運動で回転移動する。この回転によって、可動弁部４０は、退避位置から、第１開口部１２ａに対向する位置とされる弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）に移動する。

【0284】

弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）において、真空アクチュエータ（弁箱付勢部）７０が、流路Ｈ方向における第１開口部１２ａに近接する方向に、伸縮ロッド（可動部）７２を伸長する。伸縮ロッド（可動部）７２は可動弁枠部６０に当接してこれを押圧する。可動弁枠部６０は、第１開口部１２ａに近接する方向に移動する。
真空アクチュエータ（弁箱付勢部）７０によって、可動弁枠部６０が弁箱内面１０Ａに当接する。このとき、弁枠シールパッキン６１が第１開口部１２ａの周囲に位置する弁箱内面１０Ａに密着する。これにより、流路Ｈが閉鎖される（閉弁動作）。

【0285】

逆に、真空アクチュエータ（弁箱付勢部）７０が、伸縮ロッド（可動部）７２を縮退させる。伸縮ロッド（可動部）７２から可動弁枠部６０への付勢力が減少する。すると、弁枠付勢部９０の付勢力によって、弁箱１０の内面から可動弁枠部６０が引き離される。可動弁枠部６０と弁箱内面１０Ａとは、密閉状態が解除される。これにより、前記流路Ｈを開放する（解除動作）。
可動弁部４０における閉弁動作および解除動作は、弁箱付勢部７０による機械的な当接動作と、弁枠付勢部９０による機械的な分離動作と、によっておこなわれる。

【0286】

解除動作の後に、回転軸２０を符号Ｒ２で示された向きに回転させる。すると、可動弁部４０が、弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）から退避位置に移動する（退避動作）。
この解除動作と退避動作とにより、可動弁部４０を弁開状態とする弁開動作が行われる。
一連の動作（閉弁動作、解除動作、退避動作）において、弁板付勢部８０は、可動弁枠部６０と可動弁板部５０とを連動させる。

【0287】

［弁体が退避動作可能位置（ＦＲＥＥ）の状態］
図１４〜図１６には、弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）におる可動弁部４０（可動弁枠部６０、可動弁板部５０）が、弁箱１０の何れの弁箱内面１０Ａ、１０Ｂとも接していない状態を示す。この状態を、弁体がＦＲＥＥな状態と称する。弁体がＦＲＥＥな状態において、真空アクチュエータ（弁箱付勢部）７０の伸縮ロッド（可動部）７２は、弁箱内面１０Ｂから突出せず、弁箱１０の内側に縮退した状態にある。つまり、真空アクチュエータ（弁箱付勢部）７０は、中立弁体５と接していない。

【0288】

次に、弁体がＦＲＥＥな状態から、真空アクチュエータ（弁箱付勢部）７０を駆動する。すると、伸縮ロッド（可動部）７２の先端部７２ａが、図１５に矢印Ｆ１で示すように、可動弁枠部６０の下面６０ｓｂに当接する。これにより、図１５に矢印Ｆ２で示すように、可動弁枠部６０は、弁箱内面１０Ａに向けて移動する。

【0289】

さらに可動弁枠部６０が移動して、弁枠シールパッキン６１が弁箱内面１０Ａに接した状態が、閉弁位置の状態（閉弁状態）である。このとき、可動弁板部５０は、弁板付勢部（保持バネ）８０によって、可動弁枠部６０と同じ方向へ移動する。同時に、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とは、摺動シールパッキン５２を介して摺動シール状態を維持する。

【0290】

弁体がＦＲＥＥな状態において、真空アクチュエータ（弁箱付勢部）７０が可動弁枠部６０を弁箱１０の弁箱内面１０Ａに接触させて流路Ｈを閉鎖する（閉弁動作）。

【0291】

［弁体が弁閉位置（正圧ｏｒ差圧無）の状態］
図１８〜図２０には、上記の閉弁動作により流路Ｈが閉鎖された状態を表す。
この状態を、正圧／差圧無の弁閉状態と称する。正圧／差圧無の弁閉状態とは、中立弁体５が弁箱１０の一方の内面と接した状態であり、他方の内面とは接していない状態である。つまり、正圧／差圧無の弁閉状態では、中立弁体５が第１開口部１２ａの周囲の弁箱内面１０Ａと接する。同時に、中立弁体５が第２開口部１２ｂの周囲に位置する弁箱内面１０Ｂとは接していない。

【0292】

正圧／差圧無の弁閉状態では、真空アクチュエータ（弁箱付勢部）７０において、伸縮ロッド（可動部）７２が可動弁枠部６０に向く方向へ伸延した状態を維持する。つまり、先端部７２ａを可動弁枠部６０の下面６０ｓｂに当接させた状態を維持する。また、弁枠シールパッキン６１が弁箱１０の第１開口部１２ａの周囲の弁箱内面１０Ａ）と接した状態を維持する。

【0293】

［弁体が逆圧位置の弁閉状態］
図２２〜図２４には、逆圧状態で流路Ｈが閉鎖された状態を表す。
この状態を、逆圧の弁閉状態と称する。逆圧の弁閉状態とは、中立弁体５が、流路Ｈ方向における両方の弁箱内面１０Ａ，１０Ｂと接した状態である。つまり、逆圧の弁閉状態では、中立弁体５が第１開口部１２ａの周囲の弁箱内面１０Ａと接した状態を保ちながら、第２開口部１２ｂの周囲に位置する弁箱内面１０Ｂにも接した状態である。ここで、逆圧とは、閉弁状態から開弁状態の方向へ弁体に対して圧力が加わることである。

【0294】

中立弁体５が逆圧を受けた場合、弁板付勢部８０により、可動弁板部５０は可動弁枠部６０に対して往復方向Ｂ２（図２２）に摺動しながら移動する。可動弁枠部６０と可動弁板部５０の間は、摺動シールパッキン５２を介してシール状態が維持される。
これにより、可動弁板部５０は、第２開口部１２ｂの周囲の弁箱内面１０Ｂに衝突する。このとき、カウンタークッション５１が、可動弁板部５０における衝突による衝撃を緩和する。中立弁体５の受けた力を弁箱１０の弁箱内面１０Ｂ（裏側のボディ）で受けさせる機構が、逆圧キャンセル機構である。

【0295】

さらに、正圧／差圧無とし、この状態において、弁枠付勢部９０により、可動弁枠部６０を弁箱１０の内面から引き離し、可動弁枠部６０を退避させることによって、流路Ｈを開放する（解除動作）。

【0296】

このように、本実施形態の仕切りバルブ１００においては、スプリングバック機能を有し、ノーマルクローズが可能である。弁体の部品点数を削減できる。約１００％の逆圧キャンセル率が得られる。弁体の駆動力を抑制できる。確実な閉塞動作が可能となる。動作上の安全性を向上することもできる。高い信頼性の仕切り動作が可能である。

【0297】

なお、上述した各実施形態において、それぞれの構成を組み合わせた構成とすることも可能である。

【実施例】

【0298】

以下、本発明にかかる実施例を説明する。

【0299】

ここで、本発明における油圧駆動システムの具体例として、性能検討について説明する。

【0300】

＜組み合わせ例＞
まず、モータ７０５ｍの種類と、これに対して必要な逆転対応部の構成、および、その際必要な電力、組み合わせた構成における寿命について検討した。

【0301】

ここで、モータ７０５ｍとしては、ＤＣブラシ付きモータ、ＤＣコアレスブラシレスモータ、ステッピングモータについて検討した。また、これらのモータにおけるコギングトルク対策が必要かどうかを検討した。
逆転対応部の構成としては、油圧逆流時の駆動系逆転を防止するためのソレノイドバルブ、励磁クラッチ７０５ｄ、励磁ブレーキ７０５ｂについて検討した。また、回生電流処理部７０５ｃが必要かどうかについて検討した。

【0302】

さらに、駆動に必要な電力と、組み合わせた構成における寿命とについて検討した。
なお、電力は、ＤＣブラシ付きモータにおける大きさを１として比較した。また、寿命についても、同様に、ＤＣブラシ付きモータにおけるメンテナンスフリーとなる長さ（駆動回数）を１として比較した。
これらの検討結果を表１に示す。

【0303】

【表1】

【0304】

表１に示す結果から、本発明におけるＤＣコアレスブラシレスモータを採用し、励磁ブレーキ７０５ｂと回生電流処理部７０５ｃとを設けた場合、電力は１．３程度となるが、寿命が５倍まで伸びることがわかる。
表１に示す結果から、本発明におけるＤＣブラシ付きモータを採用し、励磁ブレーキ７０５ｂと励磁クラッチ７０５ｄを設けた場合、寿命が１倍程度となるが、電力は１倍となることがわかる。

【産業上の利用可能性】

【0305】

本発明の活用例として、真空装置等における油圧駆動をおこなう機構に適応できる。特に、真空度や温度あるいはガス雰囲気等性質の異なる２つの空間を、連結している流路を仕切る状態と、この仕切り状態を開放した状態と、を切り替える用途の仕切りバルブに広く適用できる。

【符号の説明】

【0306】

７０…真空アクチュエータ（押しつけシリンダ，弁箱付勢部，リフトピン移動部，アライメント手段，押圧部，弁箱付勢部）
７１…油圧駆動部（固定部）
７２…可動部（伸縮ロッド）
７３…付勢部材（押しつけバネ、バネ）
７００…油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）
７０１…油圧発生部
７０２…油圧管
７０５…駆動部
７０５ａ…回転駆動軸
７０５ｂ…励磁ブレーキ
７０５ｃ…回生電流処理部
７０５ｄ…励磁クラッチ
７０５ｍ…モータ
７０６…制御部（コントローラ）
７０７…電源
７２０…油圧付勢部材
５…弁体，中立弁体
１０…弁箱
１１…中空部
２０…回転軸
３０…中立弁部
４０…可動弁部
５０…可動弁板部
５４…可動弁部（可動弁板部）
６０…可動弁枠部
６３…弁枠部
８０…弁板付勢部（保持バネ）
９０…弁枠付勢部
１００…仕切りバルブ
２００…真空装置（スパッタ装置）
２０１…成膜室（チャンバ）
Ｈ…流路

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】

【図23】

【図24】

【図25】

【図26】