特許 6861760 仕切りバルブ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6861760

(24)【登録日】2021年4月1日

(45)【発行日】2021年4月21日

(54)【発明の名称】仕切りバルブ

(51)【国際特許分類】

   F16K 3/06 20060101AFI20210412BHJP

   F16K 3/10 20060101ALI20210412BHJP

   F16K 3/16 20060101ALI20210412BHJP

   F16K 51/02 20060101ALN20210412BHJP

【ＦＩ】

   F16K3/06 B

   F16K3/10

   F16K3/16

   !F16K51/02 B

【請求項の数】7

【全頁数】93

(21)【出願番号】特願2019-114915(P2019-114915)

(22)【出願日】2019年6月20日

(65)【公開番号】特開2021-1640(P2021-1640A)

(43)【公開日】2021年1月7日

【審査請求日】2020年1月14日

(73)【特許権者】

【識別番号】000231464

【氏名又は名称】株式会社アルバック

(74)【代理人】

【識別番号】100141139

【弁理士】

【氏名又は名称】及川 周

(74)【代理人】

【識別番号】100134359

【弁理士】

【氏名又は名称】勝俣 智夫

(74)【代理人】

【識別番号】100192773

【弁理士】

【氏名又は名称】土屋 亮

(72)【発明者】

【氏名】石田 智也

(72)【発明者】

【氏名】井上 英晃

(72)【発明者】

【氏名】和田 慎一

(72)【発明者】

【氏名】迫田 聖也

(72)【発明者】

【氏名】徳平 真之介

(72)【発明者】

【氏名】猿渡 治郎

(72)【発明者】

【氏名】鐸木 幹也

(72)【発明者】

【氏名】照井 敬晶

(72)【発明者】

【氏名】和出 拓也

(72)【発明者】

【氏名】都留 俊介

【審査官】 加藤 昌人

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００５−２１４３２７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−２２９７５３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特許第６３５８７２７（ＪＰ，Ｂ１）

【文献】 特開平１０−２２０４１７（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｆ１６Ｋ ３／００−３／３６

Ｆ１６Ｋ ５１／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ノーマルクローズ動作可能な仕切りバルブであって、
中空部と、
前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部及び第２開口部とを有する弁箱と、
前記流路を開放および閉塞可能な弁体と、
前記弁体を前記中空部内における退避位置と弁開口遮蔽位置との間で回転可能に支持するとともに流路方向に延在する軸線を有する回転軸と、
前記回転軸を回転して前記弁体を回転駆動可能な回転駆動モータを有する回転軸駆動部と、
前記流路方向における位置を変更可能として前記弁体に設けられる可動弁部と、
前記弁箱に設けられて前記弁開口遮蔽位置の前記可動弁部を前記流路方向に移動してクローズする弁箱付勢部と、
前記弁箱付勢部に作動油圧を供給して駆動する油圧駆動部と、
前記油圧駆動部において油圧を発生させる油圧発生部と、
前記油圧発生部を駆動する油圧モータおよび油圧付勢部材を有する駆動部と、
前記回転軸駆動部および前記駆動部に給電する電源と、
電断時に前記回転駆動モータの動作を規制する無励磁作動ブレーキと、
電断時に前記油圧モータの動作を規制する無励磁作動ブレーキと、
前記無励磁作動ブレーキの作動を解除するブレーキ動作解除部と、
を具備する
ことを特徴とする仕切りバルブ。

【請求項2】

前記ブレーキ動作解除部が、
前記回転駆動モータの動作を規制する無励磁作動ブレーキと、
前記油圧モータの動作を規制する無励磁作動ブレーキと、
を独立に作動を解除可能とする
ことを特徴とする請求項１記載の仕切りバルブ。

【請求項3】

前記ブレーキ動作解除部が、
前記回転駆動モータの動作を規制する無励磁作動ブレーキの作動を解除し、
その後、前記油圧モータの動作を規制する無励磁作動ブレーキの作動を解除する
ことを特徴とする請求項１記載の仕切りバルブ。

【請求項4】

前記ブレーキ動作解除部が、
前記流路内の情報に基づいて解除指示信号を出力可能な解除制御部に接続される
ことを特徴とする請求項１から３のいずれか記載の仕切りバルブ。

【請求項5】

前記解除制御部が、前記流路内の情報に基づいて、解除指示信号を出力するか否かを判断する
ことを特徴とする請求項４記載の仕切りバルブ。

【請求項6】

前記ブレーキ動作解除部が、
前記油圧モータの動作を規制する無励磁作動ブレーキの作動を解除し、
油圧ダンパが動作可能とした後、
前記回転駆動モータの動作を規制する無励磁作動ブレーキの作動を解除する
ことを特徴とする請求項１記載の仕切りバルブ。

【請求項7】

前記ブレーキ動作解除部が、
手動動作可能とされる
ことを特徴とする請求項１から３のいずれか記載の仕切りバルブ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は仕切りバルブに関し、特に、ノーマスクローズ機構を備えた振り子バルブに用いて好適な技術に関する。

【背景技術】

【0002】

真空装置等においては、チャンバ、配管、ポンプなどの間で、異なる真空度の２つの空間の間の流路を仕切り、また、仕切られた２つの空間をつなげる仕切りバルブが設けられている。このような仕切りバルブとしては、様々な形態の弁が知られている。

【0003】

このようなバルブとして、バルブの密閉時に、バルブを閉塞する弁体を、流路を遮るように回動し、さらに、弁体を弁箱開口に押しつける付勢部として、油圧駆動型の伸縮アクチュエータを有する振り子式仕切りバルブが知られている。
本発明者らは、このような仕切りバルブに関する出願をおこなっている（特許文献１）。

【0004】

ここで、バルブを開閉する弁体の回転動作は、モータ等の駆動によっておこなわれている。
また、伸縮アクチュエータにおける油圧の発生は電源から給電されたモータが担っている。
なお、この例の伸縮アクチュエータにおける伸縮駆動は、油圧での駆動と、逆向きのバネ等を用いるスプリングバックと、でおこなう構成である。

【0005】

仕切りバルブとしては、大断面での仕切り動作における高信頼性に加えて、電源供給の消失時に、流路を閉じるノーマルクローズを可能とすることが求められてきた。
このノーマルクローズとは、弁仕切り動作をおこなう際に弁体等を駆動させる供給電力等の動力源が作用していない状態などでは、流路を閉じる動作を可能とすること、および、流路を閉じた状態を維持することを意味している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特許第６３５８７２７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

しかし、振り子型仕切りバルブにおけるノーマルクローズとは、停電等、緊急時の動作である。したがって、この停電など緊急事態は予期されていない時に発生する。
このため、停電などの緊急事態が発生した際に、弁体の動作位置となる流路においては、弁体の動作に支障を来す状況である可能性がある。

【0008】

たとえば、停電と同時にノーマルクローズ動作する際には、閉回転動作する振り子である弁体が、流路中に位置する異物等に勢いよく衝突する可能性がある。この場合、弁体、あるいは、弁箱などの部品に、かなりの強い衝撃が発生する可能性がある。

【0009】

あるいは、停電と同時にノーマルクローズ動作する際には、いきなり弁体を回転させた場合、流路の連通したチャンバにおける他の構成に悪影響を与える可能性もある。

【0010】

さらに、弁体の回転動作と、弁体の回転軸方向におけるシール位置までの油圧動作とが、別々の付勢部でおこなわれる場合には、ノーマルクローズ動作において、弁体の弁開口遮蔽位置までの閉回転動作が終了した後に、弁体のシール位置までの閉塞動作をおこなう必要がある。
これら閉回転動作と閉塞動作との時間順設定が乱れた場合には、弁が閉状態とならない、あるいは、弁体付近での故障などの不具合が発生する場合がある。

【0011】

また、安全性を鑑みてノーマルクローズを実現するために、油圧駆動部分においては、モータによって発生させた油圧による通常駆動と、通常の給電時に加えて非常時である停電時におけるスプリングバックによる緊急動作と、を両立する必要がある。
しかし、停電時にスプリングバックを可能とした場合、給電の消失した油圧発生用のモータに対して、スプリングによる緊急動作をおこなうと、次のような問題がある。

【0012】

まず、停電時におけるスプリングによる油圧の逆流は、弁箱付勢部において、同時にモータの回転軸を逆転させる。すると、給電消失状態で逆転したモータでは慣性により、大きな逆転のエネルギーが発生する。

【0013】

ここで、大断面での仕切り動作可能な仕切りバルブでは、弁体を押し付けてシールする力も比較的大きくする必要がある。したがって、弁体を駆動させるためにモータの定格電流が極めて大きいものとされている。このため、上記の慣性による逆転（逆方向角速度と慣性モーメントの積で表される運動エネルギー）が極めて大きくなる。これにより、スプリングバックの終端においてその運動エネルギーが衝撃荷重として開放されることに付随して、油圧発生部におけるシリンダが過収縮し、想定以上の油圧が発生してしまう場合がある。

【0014】

さらに、緊急時の閉塞動作における不具合の発生を防止したいという要求があった。

【0015】

これらの問題を解決するために、緊急事態である電源喪失直後には弁体の位置を保持するとともに、流路等における状況確認後に、電源喪失状態のままでもバルブのノーマルクローズ動作を可能とし、仕切りバルブにおけるノーマルクローズの動作確実性を向上したいという要求があった。

【0016】

本発明は、上記の事情に鑑みてなされたもので、以下の目的を達成しようとするものである。
１．緊急時にバルブ状態を保持し、その後、ノーマルクローズ動作を可能とすること。
２．バルブの動作確実性を向上すること。
３．バルブとしての省スペース化・小型化・軽量化を図ること。
４．緊急遮断時の弁閉動作による影響の低減を図ること。
５．仕切りバルブに関連した装置における故障等の発生を防止すること。

【課題を解決するための手段】

【0017】

本発明の仕切りバルブは、ノーマルクローズ動作可能な仕切りバルブであって、
中空部と、
前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部及び第２開口部とを有する弁箱と、
前記流路を開放および閉塞可能な弁体と、
前記弁体を前記中空部内における退避位置と弁開口遮蔽位置との間で回転可能に支持するとともに流路方向に延在する軸線を有する回転軸と、
前記回転軸を回転して前記弁体を回転駆動可能な回転駆動モータを有する回転軸駆動部と、
前記流路方向における位置を変更可能として前記弁体に設けられる可動弁部と、
前記弁箱に設けられて前記弁開口遮蔽位置の前記可動弁部を前記流路方向に移動してクローズする弁箱付勢部と、
前記弁箱付勢部に作動油圧を供給して駆動する油圧駆動部と、
前記油圧駆動部において油圧を発生させる油圧発生部と、
前記油圧発生部を駆動する油圧モータおよび油圧付勢部材を有する駆動部と、
前記回転軸駆動部および前記駆動部に給電する電源と、
電断時に前記回転駆動モータの動作を規制する無励磁作動ブレーキと、
電断時に前記油圧モータの動作を規制する無励磁作動ブレーキと、
前記無励磁作動ブレーキの作動を解除するブレーキ動作解除部と、
を具備することにより上記課題を解決した。
本発明の仕切りバルブは、前記ブレーキ動作解除部が、
前記回転駆動モータの動作を規制する無励磁作動ブレーキと、
前記油圧モータの動作を規制する無励磁作動ブレーキと、
を独立に作動を解除可能とすることができる。
本発明の仕切りバルブは、前記ブレーキ動作解除部が、
前記回転駆動モータの動作を規制する無励磁作動ブレーキの作動を解除し、
その後、前記油圧モータの動作を規制する無励磁作動ブレーキの作動を解除することが好ましい。
本発明の仕切りバルブには、前記ブレーキ動作解除部が、
前記流路内の情報に基づいて解除指示信号を出力可能な解除制御部に接続されることが可能である。
また、本発明において、前記解除制御部が、前記流路内の情報に基づいて、解除指示信号を出力するか否かを判断する手段を採用することもできる。
本発明は、前記ブレーキ動作解除部が、
前記油圧モータの動作を規制する無励磁作動ブレーキの作動を解除し、
油圧ダンパが動作可能とした後、
前記回転駆動モータの動作を規制する無励磁作動ブレーキの作動を解除することができる。
本発明は、前記ブレーキ動作解除部が、
手動動作可能とされることができる。

【0018】

本発明の仕切りバルブは、ノーマルクローズ動作可能な仕切りバルブであって、
中空部と、
前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部及び第２開口部とを有する弁箱と、
前記流路を開放および閉塞可能な弁体と、
前記弁体を前記中空部内における退避位置と弁開口遮蔽位置との間で回転可能に支持するとともに流路方向に延在する軸線を有する回転軸と、
前記回転軸を回転して前記弁体を回転駆動可能な回転駆動モータを有する回転軸駆動部と、
前記流路方向における位置を変更可能として前記弁体に設けられる可動弁部と、
前記弁箱に設けられて前記弁開口遮蔽位置の前記可動弁部を前記流路方向に移動してクローズする弁箱付勢部と、
前記弁箱付勢部に作動油圧を供給して駆動する油圧駆動部と、
前記油圧駆動部において油圧を発生させる油圧発生部と、
前記油圧発生部を駆動する油圧モータおよび油圧付勢部材を有する駆動部と、
前記回転軸駆動部および前記駆動部に給電する電源と、
電断時に前記回転駆動モータの動作を規制する無励磁作動ブレーキと、
電断時に前記油圧モータの動作を規制する無励磁作動ブレーキと、
前記無励磁作動ブレーキの作動を解除するブレーキ動作解除部と、
を具備する。
これにより、仕切りバルブの閉動作においては、通常の給電時には、回転軸駆動部の回転駆動モータにより回転軸を回転して弁体を回転駆動するとともに、油圧発生部の駆動部における油圧モータおよび油圧付勢部材により弁箱付勢部を駆動して、弁動作をおこなう。
また、電源からの給電喪失等の緊急時には、無励磁作動ブレーキが、回転駆動モータと油圧モータとの動作を規制することで、弁体の状態を現状維持することができる。
さらに、緊急時には、ブレーキ動作解除部によって無励磁作動ブレーキの作動を解除することで、無励磁作動ブレーキによって規制していた回転駆動モータと油圧モータとの動作を解除して、弁閉動作をおこなうことが可能となる。
これにより、給電喪失から所定時間は弁体の位置状態を維持した後、所定の条件が満たされた後に弁閉動作をおこなうことができる。このため、弁体の状態を現状維持として、流路内における状況を確認することが可能となり、さらに、その後、仕切りバルブの閉動作をおこなって、安全で確実なノーマルクローズ動作の可能な仕切りバルブを提供することができる。

【0019】

本発明の仕切りバルブは、前記ブレーキ動作解除部が、
前記回転駆動モータの動作を規制する無励磁作動ブレーキと、
前記油圧モータの動作を規制する無励磁作動ブレーキと、
を独立に作動を解除可能とする。
これにより、回転駆動モータの動作の規制を解除した後に、油圧モータの動作を規制する無励磁作動ブレーキの規制を解除することができる。これにより、給電喪失から所定時間は弁体の位置状態を維持した後、所定の条件が満たされた後に弁閉動作をおこなうことができる。
このとき、弁体が回転動作した後、クローズ動作することができる。

【0020】

本発明の仕切りバルブは、前記ブレーキ動作解除部が、
前記回転駆動モータの動作を規制する無励磁作動ブレーキの作動を解除し、
その後、前記油圧モータの動作を規制する無励磁作動ブレーキの作動を解除する。
これにより、回転駆動モータの動作の規制を解除した後に、油圧モータの動作を規制する無励磁作動ブレーキの規制を解除する動作を順におこなうことができる。これにより、給電喪失から所定時間は弁体の位置状態を維持した後、所定の条件が満たされた後に弁閉動作をおこなうことができる。

【0021】

本発明の仕切りバルブには、前記ブレーキ動作解除部が、
前記流路内の情報に基づいて解除指示信号を出力可能な解除制御部に接続される。
これにより、流路内における状況を確認して解除制御部が解除指示信号を出力し、この解除指示信号に基づいて、ブレーキ動作解除部が、回転駆動モータの動作の規制を解除した後に、油圧モータの動作を規制する無励磁作動ブレーキの規制を解除する動作を順におこなうことができる。これにより、給電喪失から所定時間は弁体の位置状態を維持した後、所定の条件が満たされた後に弁閉動作をおこなうことができる。
ここで、流路内の情報を得るために、センサ等を設けてブレーキ動作解除部に接続することができる。

【0022】

また、本発明において、前記解除制御部が、前記流路内の情報に基づいて、解除指示信号を出力するか否かを判断する。
これにより、流路内における状況を確認して解除制御部が解除指示信号を出力し、この解除指示信号に基づいて、ブレーキ動作解除部が、回転駆動モータの動作の規制を解除した後に、油圧モータの動作を規制する無励磁作動ブレーキの規制を解除する動作を順におこなうことができる。

【0023】

本発明は、前記ブレーキ動作解除部が、
前記油圧モータの動作を規制する無励磁作動ブレーキの作動を解除し、
油圧ダンパが動作可能とした後、
前記回転駆動モータの動作を規制する無励磁作動ブレーキの作動を解除する。
これにより、弁体の回転動作の終端で、衝撃を緩和する油圧ダンパ（切替弁（スプール弁））が動作可能として、衝撃を緩和するクローズ動作をおこなうことができる。

【0024】

本発明は、前記ブレーキ動作解除部が、
手動動作可能とされる。
これにより、作業員等が流路内における状況を確認して、その後、ブレーキ動作解除部を手動操作することで、回転駆動モータの動作の規制を解除した後に、油圧モータの動作を規制する無励磁作動ブレーキの規制を解除する動作を順におこなうことができる。

【発明の効果】

【0025】

本発明によれば、緊急時にバルブ状態を保持し、その後、弁体が回転動作した後クローズ動作することを可能として、ノーマルクローズ動作させることで、バルブの動作確実性を向上し、緊急遮断時の弁閉動作による影響の低減を図り、仕切りバルブに関連した装置における故障等の発生を防止することができるという効果を奏することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0026】

【図1】本発明に係る仕切りバルブの第１実施形態を示す流路方向に沿った模式断面図であり、弁体が退避位置（弁開放位置）に配置されている場合を示す図である。

【図2】本発明に係る仕切りバルブの第１実施形態における油圧駆動部を示す模式説明図である。

【図3】本発明に係る仕切りバルブの第１実施形態を示す流路に沿った模式断面図であり、弁体が弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）に配置されている場合を示す図である。

【図4】本発明に係る仕切りバルブの第１実施形態を示す流路に沿った模式断面図であり、弁体が弁閉塞位置に配置されている場合を示す図である。

【図5】本発明に係る仕切りバルブの第１実施形態におけるノーマルクローズ動作を示すフローチャートである。

【図6】本発明に係る仕切弁の第２実施形態における回転軸駆動部を説明するための回転軸方向の断面図である。

【図7】本発明に係る仕切りバルブの第２実施形態における油圧駆動部を示す模式説明図である。

【図8】本発明に係る仕切りバルブの第２実施形態における油圧駆動部を示す模式説明図である。

【図9】本発明に係る仕切りバルブの第２実施形態における弁箱付勢部を示す模式説明図である。

【図10】本発明に係る仕切りバルブの第２実施形態における弁箱付勢部を示す模式説明図である。

【図11】本発明に係る仕切りバルブの第３実施形態における流路と直交する断面図であり、弁体の退避位置と弁開口遮蔽位置とを示す。

【図12】本発明に係る仕切りバルブの第３実施形態における流路に沿った断面図であり、弁体の弁開口遮蔽位置を示す。

【図13】図１２における弁体の縁部を示す流路に沿った拡大断面図である。

【図14】本発明に係る仕切りバルブの第３実施形態における弁体を流路と直交する方向視した上面図である。

【図15】図１４における弁箱付勢部、弁枠付勢部および弁板付勢部を示す流路に沿った拡大断面図である。

【図16】本発明に係る仕切りバルブの第３実施形態における弁体の縁部を示す流路に沿った拡大断面図であり、可動弁枠による弁閉塞状態を示す。

【図17】図１６における弁箱付勢部、弁枠付勢部および弁板付勢部を示す流路に沿った拡大断面図である。

【図18】本発明に係る仕切りバルブの第３実施形態における弁体の縁部を示す流路に沿った拡大断面図であり、可動弁板部による逆圧キャンセルとなる弁閉塞状態を示す。

【図19】図１８における弁箱付勢部、弁枠付勢部および弁板付勢部を示す流路に沿った拡大断面図である。

【図20】本発明に係る仕切りバルブの第４実施形態を示す流路に沿った模式断面図であり、弁体が弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）に配置されている場合を示す図である。

【図21】本発明に係る仕切りバルブの第４実施形態の要部を示す平面図であり、スプール弁と弁体の回転軸との位置関係を示す図である。

【図22】本発明に係る仕切りバルブの第４実施形態における油圧駆動部を示す模式説明図である。

【図23】本発明に係る仕切りバルブの第４実施形態におけるノーマルクローズ動作を示すフローチャートである。プール弁の動作を示す模式図であり、スプール弁のロッドが第２ポジションにある弁開状態を示す図である。

【図24】本発明に係る仕切りバルブの第５実施形態における仕切りバルブおよびスプール弁の動作を示す模式図であり、スプール弁のロッドが第２ポジションにある弁開状態を示す図である。

【図25】本発明に係る仕切りバルブの第５実施形態における仕切りバルブおよびスプール弁の動作を示す模式図であり、スプール弁のロッドが第３ポジションにある弁閉状態を示す図である。

【図26】本発明に係る仕切りバルブの第５実施形態における仕切りバルブおよびスプール弁の動作を示す模式図であり、スプール弁のロッドが第１ポジションにある衝突待機状態を示す図である。

【図27】本発明に係る仕切りバルブの第５実施形態における仕切りバルブおよびスプール弁の動作を示す模式図であり、スプール弁のロッドが第１ポジションよりも第２ポジションに近接するように移動開始したダンピング状態を示す図である。

【図28】本発明に係る仕切りバルブの第５実施形態における仕切りバルブおよびスプール弁の動作を示す模式図であり、スプール弁のロッドがさらに第２ポジションに近接するように移動したダンピング状態を示す図である。

【図29】本発明に係る仕切りバルブの第５実施形態における仕切りバルブおよびスプール弁の動作を示す模式図であり、スプール弁のロッドが第３ポジションに到達した瞬間を示す図である。

【図30】本発明に係る仕切りバルブの第６実施形態におけるスプール弁の動作を示す模式図であり、スプール弁のロッドが第２ポジションにある弁開状態を示す図である。

【図31】本発明に係る仕切りバルブの第６実施形態におけるスプール弁の動作を示す模式図であり、スプール弁のロッドが第３ポジションにある弁閉状態を示す図である。

【図32】本発明に係る仕切りバルブの第６実施形態におけるスプール弁の動作を示す模式図であり、スプール弁のロッドが第１ポジションにある衝突待機状態を示す図である。

【図33】本発明に係る仕切りバルブの第６実施形態におけるスプール弁の動作を示す模式図であり、スプール弁のロッドが第１ポジションよりも第２ポジションに近接する方向に移動開始したダンピング状態を示す図である。

【図34】本発明に係る仕切りバルブの第６実施形態におけるスプール弁の動作を示す模式図であり、スプール弁のロッドがさらに第２ポジションに近接するように移動したダンピング状態を示す図である。

【図35】本発明に係る仕切りバルブの第６実施形態におけるスプール弁の動作を示す模式図であり、スプール弁のロッドが第３ポジションに到達した瞬間を示す図である。

【図36】本発明に係る仕切りバルブの第７実施形態における回転軸駆動部を説明するための回転軸方向の断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0027】

以下、本発明に係る仕切りバルブの第１実施形態を、図面に基づいて説明する。
図１は、本実施形態における仕切りバルブを示す流路方向に沿った模式断面図であり、弁体が退避位置（弁開放位置）に配置されている場合を示す図である。
図２は、本実施形態における仕切りバルブにおける油圧駆動部を示す模式説明図である。
図３は、本実施形態における仕切りバルブを示す流路に沿った模式断面図であり、弁体が弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）に配置されている場合を示す図である。
図４は、本実施形態における仕切りバルブを示す流路に沿った模式断面図であり、弁体が弁閉塞位置に配置されている場合を示す図である。
図において、符号１００は、仕切りバルブである。

【0028】

本実施形態に係る仕切りバルブ１００は、図１に示すように、スプリングバックによるノーマルクローズ動作可能な振り子型スライド弁である。本実施形態に係る仕切りバルブ１００は、図１〜図４に示すように、弁箱１０と、中空部１１と、弁体５と、回転軸２０と、回転軸駆動部２００と、油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００と、を備える。

【0029】

弁箱１０は、中空部１１と、中空部１１を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路Ｈとなる第１開口部１２ａおよび第２開口部１２ｂと、を有する。
流路Ｈは、第２開口部１２ｂから第１開口部１２ａに向かって設定されている。

【0030】

弁体５は、弁箱１０の中空部１１内に配置され流路Ｈを開放および閉塞可能である。
回転軸２０は、流路Ｈ方向に延在する軸線を有する。
回転軸２０は、弁体５を中空部１１内における退避位置（弁開放位置）と弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）との間で回転可能に支持する。

【0031】

退避位置（弁開放位置）では、弁体５が第１開口部１２ａから退避して流路Ｈを連通可能な開放状態（図１）とされる。弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）では、弁体５が第１開口部１２ａを遮蔽する閉塞可能状態（図３）にする。

【0032】

仕切りバルブ１００は、退避位置（弁開放位置）と弁閉塞位置（図４）との間で動作する。
回転軸駆動部２００は、回転軸２０を回転駆動可能である。
回転軸駆動部２００は、弁体５を往復回転動作させることが可能である。

【0033】

回転軸駆動部２００は、回転駆動モータ２２０を有する。
回転駆動モータ２２０は電源２２７に接続されて、回転軸２０を回転駆動するための電力を供給される。
回転軸駆動部２００は、電断時に弁体５を弁閉塞位置とするように回転軸２０を回転する電断付勢装置２３０を有している。

【0034】

電断付勢装置２３０は、付勢力を有するぜんまいバネを備えたバネリーン式とされてもよい。
電断付勢装置２３０は、通常の通電時に巻き締められたぜんまいバネを、電断時に解放する構成とされる。

【0035】

回転軸駆動部２００は、電断時に回転駆動モータ２２０の動作を規制する無励磁作動ブレーキ２２１を備えている。
無励磁作動ブレーキ２２１は、電源２２７からの給電がない状態で、回転駆動モータ２２０の回転軸の回転を停止する。

【0036】

回転軸駆動部２００は、無励磁作動ブレーキ２２１の作動を解除するブレーキ動作解除部２２５ｆを有する。
ブレーキ動作解除部２２５ｆは、無励磁作動ブレーキ２２１が回転駆動モータ２２０の動作を規制している際に、その動作を解除する。すなわち、電源２２７からの給電がない状態で、回転駆動モータ２２０の回転を可能にすることができる。

【0037】

回転軸駆動部２００では、電断時に無励磁作動ブレーキ２２１が回転駆動モータ２２０の回転動作を停止させる。
その後、ブレーキ動作解除部２２５ｆによって無励磁作動ブレーキ２２１の作動を解除すると、電断付勢装置２３０によって回転軸２０を回転して弁体５を弁閉塞位置とする。

【0038】

弁体５は、回転軸２０に接続される中立弁部３０、中立弁部３０に接続される弁枠部６３、および、弁枠部６３に接続される可動弁部（可動弁板部）５４から構成される。
中立弁部３０は、回転軸２０に固定される。
中立弁部３０は、中空部１１における流路Ｈ方向の中央位置を維持する。

【0039】

弁枠部６３は、可動弁部（可動弁板部）５４の周囲に位置する。弁枠部６３は、中立弁部３０に固定される。弁枠部６３は、中立弁部３０とともに、退避位置（弁開放位置）と弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）と弁閉塞位置とにおいて、中空部１１の中央位置を維持する。

【0040】

可動弁部（可動弁板部）５４は、弁枠部６３に対して流路Ｈ方向に摺動可能とされる。
可動弁部（可動弁板部）５４は、弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）と弁閉塞位置とにおいて、弁枠部６３に対して流路Ｈ方向における位置を変更可能である。

【0041】

可動弁部（可動弁板部）５４は、退避位置（弁開放位置）および退避位置（弁開放位置）と弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）との間において、中空部１１の中央位置を維持する。
可動弁部（可動弁板部）５４には、第１開口部１２ａの周囲に位置する弁箱１０の内面に密着される弁板シールパッキンが設けられる。

【0042】

弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は弁箱１０に埋め込んで設けられる。弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、可動弁部（可動弁板部）５４の周方向に沿って複数配置される。

【0043】

弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、図１，図２に示すように、伸縮ロッド（可動部）７２と、付勢部材（押しつけバネ）７３と、固定部７１と、を有する。
弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０の可動部（伸縮ロッド）７２は、真空雰囲気とされたチャンバＣｈ内に向けて伸縮可能とされる。

【0044】

弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、付勢部材（押しつけバネ）７３が可動弁部（可動弁板部）５４から離間する方向に可動部（伸縮ロッド）７２を付勢可能として配置される。
弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０においては、図1に示すように、付勢部材（押しつけバネ）７３の付勢力によって縮退した可動部（伸縮ロッド）７２が、可動弁部（可動弁板部）５４から離間して、固定部７１に収納される。

【0045】

弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０の駆動は、油圧駆動部７００から供給された油圧（非圧縮性流体）によっておこなわれる。

【0046】

油圧駆動部７００は、油圧発生部７０１と、油圧管７０２と、を有する。油圧発生部７０１は、固定部７１に油圧を供給する油圧を発生させる。油圧管７０２は、油圧発生部７０１と弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０の固定部７１とに接続される。

【0047】

油圧駆動部７００は、ノーマルクローズが可能な構成とされている。
油圧発生部７０１は、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０へ供給する油圧を付勢力によって発生させる油圧付勢部材７２０を有する。
油圧発生部７０１は、可動部（伸縮ロッド）７２を縮退動作する際に、油圧付勢部材７２０の付勢力によって動作方向となる油圧を弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０に供給する。油圧発生部７０１は、また、この動作終了時に、油圧状態を維持して可動部（伸縮ロッド）７２を伸縮した状態を維持可能とされている。また、押圧力等、対象物への可動部（伸縮ロッド）７２の当接状態を適切に制御可能となっている。

【0048】

油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００は、図２に示すように、駆動部７０５を有する。
駆動部７０５は、可動部（伸縮ロッド）７２を伸長縮動作する際に、油圧付勢部材７２０の付勢力に打ち勝って弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０から油圧を油圧発生部７０１へ流すように油圧発生部７０１を駆動する油圧モータ７０５ｍを有する。

【0049】

駆動部７０５は、電断時に油圧モータ７０５ｍの動作を規制する無励磁作動ブレーキ７０５ｂを備えている。
無励磁作動ブレーキ７０５ｂは、電源７０７からの給電がない状態で、油圧モータ７０５ｍの回転軸の回転を停止する。

【0050】

駆動部７０５は、無励磁作動ブレーキ７０５ｂの作動を解除するブレーキ動作解除部７０５ｆを有する。
ブレーキ動作解除部７０５ｆは、無励磁作動ブレーキ７０５ｂが油圧モータ７０５ｍの動作を規制している際に、その動作を解除する。すなわち、電源７０７からの給電がない状態で、油圧モータ７０５ｍの回転軸の回転を可能にすることができる。

【0051】

駆動部７０５は、制御部（コントローラ）７０６に接続されて制御される。
駆動部７０５は電源７０７に接続されて、駆動部７０５を駆動するための電力を供給される。

【0052】

弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、油圧駆動部７００から供給された作動油圧により付勢部材（押しつけバネ）７３の付勢力に打ち勝って可動部（伸縮ロッド）７２を駆動するものとされる。
弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、油圧駆動部７００によりスプリングバック可能とされる。
スプリングバックとは、油圧発生部７０１の油圧付勢部材７２０の付勢力によって油圧発生部７０１から弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０へと作動油を流して、油圧モータ７０５ｍによる動作方向と逆向きに可動部（伸縮ロッド）７２を駆動するものである。

【0053】

本実施形態においては、通常の給電時には、油圧駆動部７００によって供給された油圧により弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０を駆動して、可動部（伸縮ロッド）７２を縮退させることで、可動弁部（可動弁板部）５４への押圧を解除する。
また、油圧駆動システムにおいては、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０における油圧発生部７０１の油圧付勢部材７２０の付勢力によって可動部（伸縮ロッド）７２を伸長させて、可動弁部（可動弁板部）５４を押圧する。
これを油圧発生部７０１の油圧付勢部材７２０によるスプリングバックと称する。

【0054】

油圧駆動部７００では、電断時に無励磁作動ブレーキ７０５ｂが油圧モータ７０５ｍの回転動作を停止させる。
その後、ブレーキ動作解除部７０５ｆによって無励磁作動ブレーキ７０５ｂの作動を解除する。
すると、油圧付勢部材７２０によって油圧発生部７０１から弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０へと作動油が流れる。これにより、可動部（伸縮ロッド）７２を伸長させて、可動弁部（可動弁板部）５４を押圧する。

【0055】

弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０において、伸縮ロッド（可動部）７２が伸張する真空側となるチャンバＣｈは、流路Ｈと連通する中空部１１である。

【0056】

弁箱１０に内蔵された弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、大気側に設けられる油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００に接続されており油圧によって駆動される。
油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００は、複数の弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０に、非圧縮性流体（圧油）を同時に供給および排出する。つまり、油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００は、複数の弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０を同時に駆動する。

【0057】

弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）と弁閉塞位置とにおいて、可動弁部（可動弁板部）５４を流路Ｈ方向における第１開口部１２ａに向けて付勢する。弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、弁板シールパッキンを第１開口部１２ａの周囲に位置する弁箱１０の内面に密着可能とする機能を有する。
弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）にある可動弁部（可動弁板部）５４の周囲を流路Ｈ方向に押圧する。弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、移動した可動弁部（可動弁板部）５４により流路Ｈをクローズ（閉塞）する。

【0058】

さらに、弁枠部６３または可動弁部（可動弁板部）５４には、図示していないが、可動弁部（可動弁板部）５４を弁枠部６３に対して流路Ｈ方向における中空部１１の中央位置に向けて付勢する付勢部（中立付勢部）を備える。

【0059】

また、本実施形態に係る仕切りバルブ１００は、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０が動作していない場合には、弁箱１０の内部において、可動弁部（可動弁板部）５４が中空部１１の中央位置に維持する機構を有する。弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０と弁枠部６３の付勢部（中立付勢部）とによって、弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）と弁閉塞位置との間で、弁枠部６３と可動弁部（可動弁板部）５４との流路Ｈ方向における厚み寸法が調整可能である。

【0060】

回転軸２０が流路Ｈの方向に交差する方向に回転すると、この回転に従って、回転軸２０に固定されている中立弁部３０も一体として回動する。また、可動弁部（可動弁板部）５４は中立弁部３０に厚さ方向のみ摺動可能とされているため、可動弁部（可動弁板部）５４は、中立弁部３０と一体に回転する。

【0061】

中立弁部３０を回転軸駆動部２００によって回転することにより、流路Ｈが設けられていない中空部１１とされる退避位置（弁開放位置）から、第１開口部１２ａに対応する位置とされる流路Ｈを遮蔽する弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）に、可動弁部（可動弁板部）５４が振り子運動で移動する。

【0062】

本実施形態において、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０の固定部７１は弁箱１０に内蔵される。弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、付勢部材（押しつけバネ）７３が可動弁部（可動弁板部）５４から離間する方向に可動部（伸縮ロッド）７２を付勢可能として配置される。
弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０においては、図１，図３に示すように、付勢部材（押しつけバネ）７３によって縮退した可動部（伸縮ロッド）７２が、可動弁部（可動弁板部）５４から離間して、弁箱１０に内蔵された固定部７１に収納される。

【0063】

ここで、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０においては、縮退した収納状態から、油圧発生部７０１の油圧付勢部材７２０によって油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００から油圧を供給されて（スプリングバック）、可動部（伸縮ロッド）７２を伸長する。
この際、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、可動部（伸縮ロッド）７２によって、可動弁部（可動弁板部）５４を第１開口部１２ａに向けて移動させて、可動弁部（可動弁板部）５４を弁箱１０の内面に接触させる。さらに、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、可動弁部（可動弁板部）５４を弁箱１０の内面に押圧して閉塞状態とし、流路Ｈを閉鎖する（閉弁動作）。

【0064】

この可動部（伸縮ロッド）７２の伸長状態から、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、駆動部７０５の油圧モータ７０５ｍの駆動によって油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００から供給される油圧の解除によって、可動部（伸縮ロッド）７２の先端部を縮退させる。この際、付勢部（中立付勢部）は、可動弁部（可動弁板部）５４を第１開口部１２ａから離間させる。
これにより、可動弁部（可動弁板部）５４が弁箱１０の内面から引き離されて退避される。可動弁部（可動弁板部）５４を流路Ｈ方向における中空部１１の中央位置とすることにより、流路Ｈを開放する（解除動作）。

【0065】

このように、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０における機械的な当接動作と機械的な分離動作とによって、閉弁動作と解除動作が可能となる。ここで、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０における機械的な当接動作とは、弁箱１０の内面に対して可動弁部（可動弁板部）５４を当接させる動作である。弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０における機械的な分離動作とは、付勢部（中立付勢部）によって、弁箱１０の内面から可動弁部（可動弁板部）５４を引き離す動作である。

【0066】

この解除動作の後に、回転軸２０が回転軸駆動部２００によって回転駆動される（退避動作）と、この回転に従って中立弁部３０および可動弁部（可動弁板部）５４も一体として回動する。
仕切りバルブ１００は、この解除動作と退避動作とにより、可動弁部（可動弁板部）５４が弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）から退避位置（弁開放位置）に退避して弁開状態とする弁開動作が行われる。回転軸駆動部２００は、ノーマルクローズが可能な構成とされている。

【0067】

弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０の駆動は、油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００から供給された油圧（非圧縮性流体）によっておこなわれる。

【0068】

油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００は、さらに、回転軸２０の回転が弁閉塞位置および弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）となっていることを検出して油圧供給を切り替え可能な切替センサ８０２を備えることもできる。
油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００は、油圧発生部７０１の油圧付勢部材７２０によってスプリングバックによるノーマルクローズが可能な構成とされている。

【0069】

油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００は、可動部（伸縮ロッド）７２を縮退動作する際に、駆動部７０５の油圧モータ７０５ｍによって作動油を弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０から油圧発生部７０１へと移動する。
油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００は、可動部（伸縮ロッド）７２を伸長動作する際に、油圧発生部７０１の油圧付勢部材７２０による油圧を弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０に逆流させる。
油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００は、動作終了時に、可動部（伸縮ロッド）７２を伸縮した油圧状態を維持可能とされている。
油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００は、可動弁部（可動弁板部）５４への可動部（伸縮ロッド）７２の当接状態を適切に制御可能となっている。

【0070】

本実施形態における通常の通電時に、仕切りバルブ１００においては、図１に示すように、可動弁部（可動弁板部）５４が退避位置（弁開放位置）にあって、流路Ｈが全開して流通可能な状態とされる。

【0071】

また、可動弁部（可動弁板部）５４が、回転軸駆動部２００によって、図１に示す退避位置（弁開放位置）から、図３に示す弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）にまで閉回転動作する間は、流路Ｈが部分的に可動弁部（可動弁板部）５４によって覆われており、流路Ｈが一部流通可能である。

【0072】

さらに、可動弁部（可動弁板部）５４が、図３に示す弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）に到達した直後は、流路Ｈが可動弁部（可動弁板部）５４によって遮蔽されているが、密閉はされておらず、流路Ｈが可動弁部（可動弁板部）５４の周縁部付近で一部流通可能である。

【0073】

また、油圧発生部７０１の油圧付勢部材７２０によってスプリングバックした際に、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０では、可動部（伸縮ロッド）７２が伸長駆動される。これにより、可動弁部（可動弁板部）５４が流路Ｈ方向における位置を変更する密閉動作をおこなう。これにより、可動弁部（可動弁板部）５４が、図３に示す弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）から、図４に示す弁閉塞位置にまで摺動して、流路Ｈが閉塞される。

【0074】

次に、油圧駆動部７００における駆動部７０５の油圧モータ７０５ｍが駆動された際に、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０における可動部（伸縮ロッド）７２の縮退駆動により、可動弁部（可動弁板部）５４が流路Ｈ方向における位置を変更する開放動作をおこなう。これにより、可動弁部（可動弁板部）５４が、図４に示す弁閉塞位置から、図３に示す弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）にまで摺動する。この際には、流路Ｈが部分的に可動弁部（可動弁板部）５４で覆われており、流路Ｈが一部流通可能である。

【0075】

さらに、可動弁部（可動弁板部）５４が、図４に示す弁閉塞位置から密閉解除動作（離間動作）を開始した直後には、流路Ｈの密閉が解除され、流路Ｈが可動弁部（可動弁板部）５４の周縁部付近で一部流通可能になる。同時に、流路Ｈが可動弁部（可動弁板部）５４によって遮蔽されているが、密閉はされていない状態となる。

【0076】

さらに、可動弁部（可動弁板部）５４が、図３に示す弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）から図１に示す退避位置（弁開放位置）にまで開回転動作する間は、流路Ｈが部分的に可動弁部（可動弁板部）５４によって覆われており、流路Ｈが一部流通可能である。
なお、可動弁部（可動弁板部）５４の回転動作中において、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０では、可動部（伸縮ロッド）７２の縮退状態を維持し、可動部（伸縮ロッド）７２の伸長駆動はおこなわない。

【0077】

次に、電断時における仕切りバルブ１００の動作について説明する。

【0078】

図５は、本実施形態における仕切りバルブにおけるノーマルクローズ動作を示すフローチャートである。
本実施形態における仕切りバルブ１００が、電断時に、図３に示す弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）であった場合には、この弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）の状態を維持する。

【0079】

ここで仕切りバルブ１００における弁体５が、図３に示す弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）から図１に示す退避位置（弁開放位置）までの間であった場合、これらを、バルブ流通状態とする。
本実施形態の仕切りバルブ１００における電断時の動作として、まず、図５に示すステップＳ００として、バルブ流通状態であった場合を考える。

【0080】

本実施形態の仕切りバルブ１００における電断時の動作は、図５に示すステップＳ０１として停電が発生する。このステップＳ０１では、電源２２７から回転駆動モータ２２０への給電が停止する。同時に、ステップＳ０１では、電源７０７から油圧モータ７０５ｍへの給電が停止する。
すると、図５に示すステップＳ０２として、無励磁作動ブレーキ２２１および無励磁作動ブレーキ７０５ｂが作動する。

【0081】

これにより、無励磁作動ブレーキ２２１の作動によって、図５に示すステップＳ０３ａとして、回転駆動モータ２２０の動作が規制される。
同時に、無励磁作動ブレーキ７０５ｂの作動によって、図５に示すステップＳ０３ｂとして、油圧モータ７０５ｍの動作が規制される。
これにより、弁体５の状態を現状維持とする。つまり、弁体５を、図３に示す弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）から図１に示す退避位置（弁開放位置）までの間のいずれかの位置に維持する。

【0082】

これらステップＳ０３ａとステップＳ０３ｂとは、緊急動作であり、ステップＳ０２と同時になされる。

【0083】

次に、図５に示すステップＳ０４として、流路Ｈ内における状況を確認する。ここで、流路Ｈ内における状況確認とは、緊急に停止した仕切りバルブ１００において、流路Ｈを閉鎖する（閉弁動作）に対する支障がないかどうかを確認する。

【0084】

具体的には、弁体５を退避位置（弁開放位置）から弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）に振り子運動で移動させる回転動作範囲に、弁体５の動作に対して障害となるものの有無を確認する。
あるいは、可動弁部（可動弁板部）５４を弁箱１０の内面に押圧して流路Ｈを閉鎖する（閉弁動作）をおこなった場合に、可動弁部（可動弁板部）５４と弁箱１０の内面との間に、可動弁部（可動弁板部）５４の動作に対する障害となるものの有無を確認する。

【0085】

さらに、流路Ｈを閉鎖した際に、弁体５の両側、つまり、流路Ｈにおける上流と下流とで発生する障害の有無を確認する。

【0086】

本実施形態においては、このステップＳ０４における流路Ｈ内の状況確認は、作業員がおこなうことができる。

【0087】

次に、図５に示すステップＳ０５として、ブレーキ動作解除部２２５ｆを作動させる。すると、図５に示すステップＳ０６として、ブレーキ動作解除部２２５ｆが無励磁作動ブレーキ２２１の動作を解除する。
これにより、回転駆動モータ２２０の回転が可能になる。

【0088】

同時に、ブレーキ動作解除部２２５ｆの作動により、図５に示すステップＳ０７として、電断付勢装置２３０が作動する。
これにより、電断付勢装置２３０が、通常の通電時に巻き締められたぜんまいバネを解放する。

【0089】

ぜんまいバネの付勢力により、電断付勢装置２３０が、電断時であっても、弁体５を弁閉塞位置とするように回転軸２０を回転する。
これにより、図５に示すステップＳ０８として、弁体５が弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）に振り子運動で移動される。

【0090】

弁体５が弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）に位置した後、図５に示すステップＳ１０として、ブレーキ動作解除部７０５ｆを作動させる。すると、図５に示すステップＳ１１として、ブレーキ動作解除部７０５ｆが無励磁作動ブレーキ７０５ｂの動作を解除する。
これにより、油圧モータ７０５ｍの回転が可能になる。

【0091】

すると、図５に示すステップＳ１２として、油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００が作動する。具体的には、ステップＳ１３として、油圧発生部７０１の油圧付勢部材７２０の付勢力によって油圧発生部７０１から弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０へと作動油が流れる。これにより、油圧モータ７０５ｍによる動作方向と逆向きに可動部（伸縮ロッド）７２が伸長される。

【0092】

すると、図５に示すステップＳ１４として、可動部（伸縮ロッド）７２により、可動弁部（可動弁板部）５４が弁箱１０の内面に押圧されて、流路Ｈが閉鎖される（閉弁動作）。

【0093】

上記により、本実施形態の仕切りバルブ１００は、電源７０７，２２７からの給電喪失等の緊急時におけるスプリングバック動作を完了する。

【0094】

本実施形態において、ステップＳ０６におけるブレーキ動作解除部２２５ｆの無励磁作動ブレーキ２２１の動作解除と、ステップＳ１１におけるブレーキ動作解除部７０５ｆの無励磁作動ブレーキ７０５ｂの動作解除とは、独立におこなわれる。

【0095】

なお、これらのステップＳ１１と、ステップＳ０６とは作業員が手動でおこなうことも可能である。
つまり、ブレーキ動作解除部２２５ｆの無励磁作動ブレーキ２２１の動作解除と、ブレーキ動作解除部７０５ｆの無励磁作動ブレーキ７０５ｂの動作解除とは、手動動作可能である。

【0096】

ここで、ステップＳ０４における流路Ｈ内の状況確認は、ステップＳ１０におけるブレーキ動作解除部７０５ｆの作動前におこなうこともできる。

【0097】

本実施形態の仕切りバルブ１００は、回転駆動モータ２２０の動作の規制を解除した後に、油圧モータ７０５ｍの動作の規制を解除することができる。これにより、ステップＳ０１における給電喪失から所定時間は弁体５の位置状態を維持した後、所定の条件が満たされた後に弁閉動作をおこなうことが可能となる。
しかも、ステップＳ０４として、流路Ｈ内における状況を確認することにより、緊急時におけるさらなる不具合の発生を防止することができる。

【0098】

以下、本発明に係る仕切りバルブの第２実施形態を、図面に基づいて説明する。

【0099】

図６は、本実施形態における油仕切りバルブの回転軸駆動部を説明するための回転軸方向の断面図である。
本実施形態において上述した第１実施形態と異なるのは回転軸駆動部、油圧発生部および弁箱付勢部に関する点であり、これ以外の対応する構成要素に関しては、同一の符号を付してその説明を省略する。

【0100】

本実施形態における回転軸駆動部２００は、上述した第１実施形態における回転軸駆動部２００と同等の機能を有する構成とされる。

【0101】

回転軸２０を回転させるための回転軸駆動部２００は、電動アクチュエータとされる。
回転軸駆動部２００は、図６に示すように、回転軸２０に連結された遊星ギアクラッチ２１０と、遊星ギアクラッチ２１０に接続された駆動源である回転駆動モータ２２０と、遊星ギアクラッチ２１０に接続された電断付勢装置２３０、回転切替装置２４０、および、復帰装置と、を有している。

【0102】

回転軸駆動部２００は、電断時（駆動電力の供給が遮断された時）に中立弁体（弁体）５を弁閉塞位置とする。
回転軸駆動部２００は、回転軸２０の回転動作と弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０の閉塞動作とを順次動作可能な構成となっている。

【0103】

電断付勢装置２３０は、付勢力を有するぜんまいバネ２３１を備えたバネリーン式とされる。
電断付勢装置２３０は、通常の通電時に巻き締められたぜんまいバネ２３１を、電断時に解放する構成とされる。
このとき、電断付勢装置２３０は、ぜんまいバネ２３１の付勢力により中立弁体５を弁閉塞位置とするように回転軸２０を回転する。

【0104】

回転切替装置２４０は、通電時と電断時とにおいて、回転軸２０を回転駆動する駆動源に対する接続状態を切り替え可能な構成とされる。
具体的には、通常の通電時（駆動電力が供給された時）には、回転駆動モータ２２０によって回転軸２０を回転駆動する。
また、通常ではない電断時（駆動電力の供給が遮断された時）には、電断付勢装置２３０によって回転軸２０を回転駆動する。

【0105】

復帰装置は、電断時に付勢力が開放された電断付勢装置２３０を、電断状態から通電の回復した状態となる電断回復時において、トルクが貯蔵された復帰状態にする機能を有する。

【0106】

なお、これら電断付勢装置２３０と回転切替装置２４０と復帰装置とは、互いに共通する構成を有していてもよい。
具体的には、回転軸駆動部２００として、遊星ギアクラッチ（遊星歯車式クラッチ）２１０を有する。

【0107】

遊星ギアクラッチ２１０は、駆動ギア２１１と、太陽ギア２１２と、複数の遊星ギア２１３と、内歯ギア２１４と、フランジ部２１５と、これらを収納するケーシング２０１と、を有する構成とされる。

【0108】

駆動ギア２１１は、回転駆動モータ２２０の駆動により回転する。
駆動ギア２１１は、回転軸２０の外周に回転自在に取り付けられる。
太陽ギア２１２は、駆動ギア２１１と一体に形成される。太陽ギア２１２は、回転軸２０の外周に回転自在に取り付けられる。

【0109】

遊星ギア２１３は、太陽ギア２１２に対して回転軸２０の径方向の外側に位置する。
遊星ギア２１３は、回転軸２０の周方向に複数個が設けられる。
複数の遊星ギア２１３は、いずれも太陽ギア２１２に噛みあうように配置される。

【0110】

内歯ギア２１４は、回転軸２０の外周に回転自在に取り付けられる。
内歯ギア２１４は、回転軸２０の径方向の内側を向いた内周歯２１４ａを有する。
内歯ギア２１４は、内周歯２１４ａにより、各遊星ギア２１３に噛みあう。
内歯ギア２１４の内周歯２１４ａは、各遊星ギア２１３に対して回転軸２０の径方向外側に位置する。

【0111】

フランジ部２１５は、回転軸２０の外周向きに張り出すように接続される。
フランジ部２１５は、回転軸２０と一体として回転する。
フランジ部２１５には、各遊星ギア２１３を貫通する支軸２１３ｃの一端が回転自在に取り付けられる。

【0112】

回転軸２０は、遊星ギアクラッチ２１０における出力軸とされている。
回転軸２０を通すスリーブ２１１ａにより太陽ギア２１２と駆動ギア２１１とが連結される。

【0113】

内歯ギア２１４の外周には、外周歯２１４ｂが設けられる。
内歯ギア２１４は、外周歯２１４ｂで内中継ギア２３３と噛み合うように連結される。

【0114】

内中継ギア２３３は、ぜんまい軸２３１ｃの外周に回転自在に取り付けられる。
ぜんまい軸２３１ｃは、回転軸２０と平行な位置に配置される。
内中継ギア２３３は、ぜんまい軸２３１ｃと同軸の外中継ギア２３４と一体とされる。

【0115】

外中継ギア２３４は、ぜんまい軸２３１ｃの外周に回転自在に取り付けられる。
外中継ギア２３４には、小中継ギア２４３が噛み合わされる。
小中継ギア２４３は、ブレーキ軸２４１ｃの外周に回転自在に取り付けられる。
ブレーキ軸２４１ｃは、回転軸２０、および、ぜんまい軸２３１ｃと平行な位置に配置される。

【0116】

小中継ギア２４３は、ブレーキ軸２４１ｃと同軸の大中継ギア２４４と一体とされる。
大中継ギア２４４は、ぜんまいギア２３５が噛み合わされる。
小ぜんまいギア２３５は、ぜんまい軸２３１ｃと同軸の大ぜんまいギア２３６と一体とされる。

【0117】

小ぜんまいギア２３５と大ぜんまいギア２３６とは、ぜんまい軸２３１ｃと一体として回転する。
大ぜんまいギア２３６には、ブレーキギア２４５が噛み合わされる。
ブレーキギア２４５は、ブレーキ軸２４１ｃと一体として回転する。

【0118】

ぜんまい軸２３１ｃには、ぜんまいバネ２３１が接続される。
ぜんまい軸２３１ｃは、付勢力を開放したぜんまいバネ２３１によって駆動可能とされる。

【0119】

ぜんまい軸２３１ｃには、ぜんまいバネ２３１を巻き上げる際に、一定の状態で巻き上げが停止するように、巻き上げ停止部２３１ｄが設けられる。
ぜんまい軸２３１ｃには、ぜんまいバネ２３１が充分巻き締められたことを検知するセンサ２５０が設けられる。
センサ２５０は、励磁作動式ブレーキ２４１に検出信号を出力可能に接続される。
ブレーキ軸２４１ｃには、巻き締められたぜんまいバネ２３１を電断時に解放する回転切替装置２４０としての励磁作動式ブレーキ２４１が接続されている。

【0120】

ぜんまいバネ２３１は、トルク貯蔵ユニットとされる。
ぜんまいバネ２３１は、付勢力の解放時に、中継ギア部を介して回転軸２０を回転させる。これにより、回転軸駆動部２００は、弁体５を弁閉塞位置とするように構成される。

【0121】

励磁作動式ブレーキ２４１は、通電時に、ぜんまいバネ２３１に対するブレーキ機能を発揮する。これにより、通電時に、ぜんまい軸２３１ｃの回転が停止される。
励磁作動式ブレーキ２４１は、電断時に、ぜんまいバネ２３１に対するブレーキ機能を解除して、ぜんまいバネ２３１の付勢力を解放する。これにより、電断時に、ぜんまい軸２３１ｃが回転自在とされる。

【0122】

回転駆動モータ２２０には、無励磁作動ブレーキ２２１が接続されている。
無励磁作動ブレーキ２２１は、電断時に、ブレーキ機能を発揮して、回転駆動モータ２２０の回転を停止する。
無励磁作動ブレーキ２２１は、通電時に、ブレーキ機能を解除して、回転駆動モータ２２０を回転駆動可能とする。無励磁作動ブレーキ２２１は、ブレーキ動作解除部２２５ｆに接続される。
なお、回転駆動モータ２２０には、上記の構成以外にも、トルク・回転数を調整するギアユニットおよび制御用のモータユニットが付随していてもよい。

【0123】

また、回転軸２０には、回動位置を規制するストッパ２１が設けられる。
ストッパ２１は、回転軸２０が弁閉塞位置と弁開放位置との間で回動可能に規制する。

【0124】

ストッパ２１には、中立弁体５が弁閉塞位置となったことを検知する切替弁７０４が接続されている。この切替弁７０４がＯＮになると、後述するように、固定部７１において、接続された油圧駆動部７００から供給された油圧が減少することで、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０の可動部（伸縮ロッド）７２を伸長する閉塞方向に駆動可能とされている。

【0125】

回転軸駆動部２００は、通常の通電時（駆動電力が供給されている状態）において、励磁作動式ブレーキ２４１は、ブレーキ機能を発揮してこの状態を維持している。
また、ぜんまいバネ２３１は、巻き締められた状態を維持している。

【0126】

同時に、通常の通電時に、無励磁作動ブレーキ２２１は、ブレーキ機能が機能していない。したがって、回転駆動モータ２２０の駆動力は、遊星ギアクラッチ２１０を介して回転軸２０を回動可能となっている。

【0127】

具体的には、回転軸駆動部２００において、励磁作動式ブレーキ２４１は、ブレーキ軸２４１ｃの回転が停止された状態を維持する。
この状態では、ブレーキ軸２４１ｃと一体とされたブレーキギア２４５の回転が停止された状態を維持する。
このため、ブレーキギア２４５と噛み合う大ぜんまいギア２３６、大ぜんまいギア２３６と小ぜんまいギア２３５と一体のぜんまい軸２３１ｃは、いずれも、回転が停止された状態を維持する。

【0128】

同時に、小ぜんまいギア２３５と噛み合う大中継ギア２４４、大中継ギア２４４と一体の小中継ギア２４３、小中継ギア２４３と噛み合う外中継ギア２３４、外中継ギア２３４と一体の内中継ギア２３３は、いずれも、回転が停止された状態を維持する。
また、同様に、内中継ギア２３３と外周歯２１４ｂで噛み合う内歯ギア２１４は、回転が停止された状態を維持する。

【0129】

この状態で、回転駆動モータ２２０を駆動させると、遊星ギアクラッチ２１０では、駆動ギア２１１が回転駆動される。
すると、駆動ギア２１１と一体の太陽ギア２１２が回転する。
また、太陽ギア２１２に噛み合う遊星ギア２１３が回転する。
このとき、遊星ギア２１３は、支軸２１３ｃの軸周りに回転する。

【0130】

遊星ギア２１３が回転した際に、内歯ギア２１４は回転が停止されている。このとき、遊星ギア２１３は、内周歯２１４ａで内歯ギア２１４と噛み合っているため、遊星ギア２１３は、内歯ギア２１４の周方向に回転移動する。
この内歯ギア２１４の周方向に移動する遊星ギア２１３に追従して、フランジ部２１５が回転する。
これにより、フランジ部２１５と一体とされた回転軸２０が回動する。

【0131】

また、電断時（駆動電力の供給が遮断された時）には、ブレーキ動作解除部２２５ｆが作動した状態において、励磁作動式ブレーキ２４１は、ブレーキ軸２４１ｃの回転が停止された状態を維持する。
この状態では、ブレーキ軸２４１ｃと一体とされたブレーキギア２４５の回転が停止された状態を維持する。
このため、ブレーキギア２４５と噛み合う大ぜんまいギア２３６、大ぜんまいギア２３６と小ぜんまいギア２３５と一体のぜんまい軸２３１ｃは、いずれも、回転が停止された状態を維持する。

【0132】

電断時（駆動電力の供給が遮断された時）には、ブレーキ動作解除部２２５ｆの作動は解除された状態で、回転軸駆動部２００において、無励磁作動ブレーキ２２１は、ブレーキ機能が機能する。これにより、回転駆動モータ２２０が駆動しない状態となる。
これにより、駆動ギア２１１は回転が停止した状態となる。同時に、駆動ギア２１１と一体とされた太陽ギア２１２は回転が停止した状態となる。

【0133】

また、電断時（駆動電力の供給が遮断された時）には、ブレーキ動作解除部２２５ｆの作動が解除された状態で、励磁作動式ブレーキ２４１は、ブレーキ機能が機能しなくなる。
これにより、ブレーキ軸２４１ｃは、回転可能な状態となる。
すると、ブレーキ軸２４１ｃと一体とされたブレーキギア２４５は、回転可能な状態となる。

【0134】

このため、ブレーキギア２４５と噛み合う大ぜんまいギア２３６は、回転可能な状態となる。また、大ぜんまいギア２３６と一体とされた小ぜんまいギア２３５およびぜんまい軸２３１ｃは、回転可能な状態となる。
すると、巻き締められたぜんまいバネ２３１の付勢力が解放されて、ぜんまい軸２３１ｃが回転する。

【0135】

ぜんまい軸２３１ｃの回転にともなって、ぜんまい軸２３１ｃと一体とされた小ぜんまいギア２３５が回転する。
小ぜんまいギア２３５の回転にともなって、小ぜんまいギア２３５と噛み合う大中継ギア２４４、大中継ギア２４４と一体の小中継ギア２４３は、いずれも、回転する。
さらに、小中継ギア２４３と噛み合う外中継ギア２３４、外中継ギア２３４と一体の内中継ギア２３３は、いずれも、回転する。

【0136】

これにより、内中継ギア２３３と外周歯２１４ｂで噛み合う内歯ギア２１４は、回転する。
内歯ギア２１４の回転により、内歯ギア２１４と内周歯２１４ａで噛み合っている遊星ギア２１３は、支軸２１３ｃの軸周りに回転する。

【0137】

このとき、太陽ギア２１２は回転が停止されている。このため、太陽ギア２１２と噛み合う遊星ギア２１３は、太陽ギア２１２の周方向に移動する。
この太陽ギア２１２の周方向に移動する遊星ギア２１３に追従して、フランジ部２１５が回転する。
これにより、フランジ部２１５と一体とされた回転軸２０が回動する。

【0138】

このように、電断時には、回転軸駆動部２００において、ブレーキ動作解除部２２５ｆが作動した状態で、巻き締められたぜんまいバネ２３１が解放されることで、回転軸２０が弁閉塞位置まで回動する。

【0139】

回転軸２０の回動に追従して、回転軸２０と一体とされたストッパ２１が弁閉塞位置まで回動する。
回転軸２０およびストッパ２１が弁閉塞位置になると、ストッパ２１は後述する切替弁７０４に当接する。すると、後述する切替弁７０４がＯＮになり、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０の可動部７２が伸長する閉塞方向に駆動されて弁閉塞状態となる。

【0140】

電断状態から復帰する際には通電可能な状態となっている。
このため、無励磁作動ブレーキ２２１は、ブレーキ機能が機能しない状態とされる。
したがって、回転駆動モータ２２０の駆動力は、遊星ギアクラッチ２１０を介して回転軸２０を回動可能となっている。

【0141】

電断状態から通常の通電状態へ復帰する電断回復時には、回転軸駆動部２００において、まず、ブレーキ動作解除部２２５ｆが作動した状態で、励磁作動式ブレーキ２４１は、ブレーキ機能が機能しない状態を維持する。
これにより、ブレーキ軸２４１ｃが回転可能な状態を維持する。

【0142】

すると、ブレーキ軸２４１ｃと一体とされたブレーキギア２４５は、回転可能な状態を維持する。
このため、ブレーキギア２４５と噛み合う大ぜんまいギア２３６は、回転可能な状態となる。

【0143】

また、大ぜんまいギア２３６と一体とされた小ぜんまいギア２３５およびぜんまい軸２３１ｃは、回転可能な状態となる。
ぜんまい軸２３１ｃと一体とされた小ぜんまいギア２３５が回転可能な状態となる。
小ぜんまいギア２３５と噛み合う大中継ギア２４４、大中継ギア２４４と一体の小中継ギア２４３は、いずれも、回転可能な状態となる。

【0144】

さらに、小中継ギア２４３と噛み合う外中継ギア２３４、外中継ギア２３４と一体の内中継ギア２３３は、いずれも、回転可能な状態となる。
内中継ギア２３３と外周歯２１４ｂで噛み合う内歯ギア２１４は、回転可能な状態となる。

【0145】

この状態で、回転駆動モータ２２０を駆動させると、遊星ギアクラッチ２１０では、駆動ギア２１１が回転駆動される。
すると、駆動ギア２１１と一体の太陽ギア２１２が回転する。
また、太陽ギア２１２に噛み合う遊星ギア２１３が回転する。
このとき、遊星ギア２１３は、支軸２１３ｃの軸周りに回転する。

【0146】

この状態で、弁体５の重量により、フランジ部２１５および回転軸２０は、回動しない。したがって、駆動ギア２１１の回転により、太陽ギア２１２、遊星ギア２１３を介して内歯ギア２１４が回動する。

【0147】

すると、内歯ギア２１４と外周歯２１４ｂで噛み合う内中継ギア２３３は、回転する。
内中継ギア２３３の回転にともなって、内中継ギア２３３と一体の外中継ギア２３４は回転する。

【0148】

さらに、外中継ギア２３４と噛み合う小中継ギア２４３、小中継ギア２４３と一体の大中継ギア２４４、大中継ギア２４４と噛み合う小ぜんまいギア２３５は、いずれも回転する。
小ぜんまいギア２３５の回転にともなって、小ぜんまいギア２３５と一体とされたぜんまい軸２３１ｃが回転する。

【0149】

ぜんまい軸２３１ｃが回転することで、連結されたぜんまいバネ２３１が巻き締められる。
同時に、小ぜんまいギア２３５の回転にともなって、小ぜんまいギア２３５と一体とされた大ぜんまいギア２３６が回転する。大ぜんまいギア２３６の回転にともなって、ブレーキ軸２４１ｃが回転する。

【0150】

ぜんまいバネ２３１が充分巻き締められて、電断時に中立弁体５を弁閉塞位置とするのに充分な状態となった場合、これをセンサ２５０で検知して励磁作動式ブレーキ２４１は、ブレーキ機能を機能させる。
励磁作動式ブレーキ２４１のブレーキ機能により、ブレーキ軸２４１ｃの回転が停止される。

【0151】

これにより、ブレーキ軸２４１ｃと一体とされたブレーキギア２４５、ブレーキギア２４５と噛み合う大ぜんまいギア２３６、大ぜんまいギア２３６と一体のぜんまい軸２３１ｃは、いずれも、回転が停止された状態となる。
これにより、ぜんまいバネ２３１は、充分巻き締められた状態を維持されて、電断発生に対する待機状態となる。

【0152】

さらに、大ぜんまいギア２３６と一体とされる小ぜんまいギア２３５は、回転が停止された状態となる。
これにより、小ぜんまいギア２３５と噛み合う大中継ギア２４４、大中継ギア２４４と一体の小中継ギア２４３、小中継ギア２４３と噛み合う外中継ギア２３４、外中継ギア２３４と一体の内中継ギア２３３は、いずれも、回転が停止された状態となる。

【0153】

また、同様に、内中継ギア２３３と外周歯２１４ｂで噛み合う内歯ギア２１４は、回転が停止された状態となる。
この状態で、回転駆動モータ２２０を駆動させると、回転駆動モータ２２０の駆動力が回転軸２０に伝達して、中立弁体５を回動させることが可能となる。

【0154】

この通電開始時（電断回復時）に、励磁作動式ブレーキ２４１を機能させずに回転駆動モータ２２０の駆動によって、ぜんまいバネ２３１を巻き締める動作可能な構成が復帰装置とされている。

【0155】

図７は、本実施形態における仕切りバルブの油圧駆動部における加圧状態の油圧発生部を示す模式説明図である。
図８は、本実施形態における仕切りバルブの油圧駆動部減圧状態の油圧発生部を示す模式説明図である。
本実施形態における油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００は、上述した第１実施形態における油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００と同等の構成とされる。

【0156】

油圧発生部７０１は、図７〜図８に示すように、油圧シリンダ７１０と、油圧付勢部材７２０と、シリンダ駆動部７３０と、ケーシング７５０と、を備えている。
油圧シリンダ７１０は、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０に非圧縮性流体である圧油を加圧して供給する。油圧付勢部材７２０は、油圧シリンダ７１０を付勢して、スプリングバック動作を可能とする。

【0157】

シリンダ駆動部７３０は、油圧付勢部材７２０に抗して油圧シリンダ７１０を駆動可能である。ケーシング７５０は、これら油圧シリンダ７１０、油圧付勢部材７２０、シリンダ駆動部７３０を収納する。

【0158】

油圧シリンダ７１０は、有底筒状のシリンダ本体７１１と、シリンダ本体７１１の内部で軸線方向に相対的に移動可能なピストン７１２とを有する。ピストン７１２は、その軸線に沿って内部を貫通する油圧流路７１３を有し、油圧流路７１３が油圧管７０２に接続されている。油圧流路７１３は、非圧縮性流体である圧油（駆動流体）を油圧管７０２に対して流入可能または流出可能である。

【0159】

ピストン７１２は、油圧管７０２に接続される油圧流路７１３がケーシング７５０を貫通する。ピストン７１２の端部７１２ａは、Ｏリングおよびシール材によってシールされる。ピストン７１２の端部７１２ａは、ケーシング７５０に取り付け固定される。
ピストン７１２の端部７１２ａと反対の位置となる端部７１２ｂは、シリンダ本体７１１の内部に同軸状態に位置する。

【0160】

シリンダ本体７１１の端部７１１ａは開口されている。シリンダ本体７１１の端部７１１ａには、内部にピストン７１２の端部７１２ｂが挿入される。
シリンダ本体７１１はピストン７１２に対して軸線方向に相対的に移動可能である。シリンダ本体７１１はケーシング７５０に対して軸線方向に相対的に移動可能である。

【0161】

シリンダ本体７１１の端部７１１ｂは閉塞される。シリンダ本体７１１の端部７１１ｂに近接した内面と、ピストン７１２の端部７１２ｂの端面とで油圧空間７１４が形成される。油圧空間７１４には、非圧縮性流体である圧油（駆動流体）が充填される。

【0162】

油圧空間７１４は、シリンダ本体７１１がピストン７１２に対して軸線方向に相対的に移動した場合に容積が増減する。この油圧空間７１４の容積増減にともない、油圧空間７１４に充填された圧油が、油圧流路７１３を介して油圧管７０２に流入または流出する。シリンダ本体７１１の端部７１１ａには、フランジ部７１１ｃが外周位置に設けられる。フランジ部７１１ｃは、端部７１１ａから径方向外側に張り出して周設される。

【0163】

フランジ部７１１ｃの端部７１１ｂに向かう面には、油圧付勢部材７２０となる内バネ７２１の端部７２１ａおよび外バネ７２２の端部７２２ａが当接している。
フランジ部７１１ｃの端部７１１ｂに向かう面には、シリンダ本体７１１の外周面に近接して周溝７１１ｄが周設される。

【0164】

周溝７１１ｄには、油圧付勢部材７２０となる内バネ７２１の端部７２１ａが当接している。周溝７１１ｄの外周位置となるフランジ部７１１ｃの端部７１１ｂに向かう面には、外バネ７２２の端部７２２ａが当接している。

【0165】

油圧付勢部材７２０は、内バネ７２１および外バネ７２２を有する。内バネ７２１および外バネ７２２は、コイルバネとされる。内バネ７２１および外バネ７２２は、シリンダ本体７１１およびピストン７１２と同軸状に配置される。内バネ７２１は、シリンダ本体７１１の外周面の径寸法よりもやや大きい内径寸法を有する。

【0166】

外バネ７２２は、内バネ７２１の外径寸法よりもやや大きい内径寸法を有する。外バネ７２２は、内バネ７２１よりも大きな線径とされる。外バネ７２２は、内バネ７２１よりも大きな付勢力を有する。

【0167】

内バネ７２１および外バネ７２２は、伸縮方向への付勢力をシリンダ本体７１１に伝達可能とされている。内バネ７２１および外バネ７２２は、いずれもシリンダ本体７１１のフランジ部７１１ｃを、ピストン７１２の端部７１２ａに向けて押圧するように付勢されている。

【0168】

内バネ７２１の端部７２１ｂおよび外バネ７２２の端部７２２ｂは、ケーシング７５０に当接している。これにより、油圧付勢部材７２０は、シリンダ本体７１１をケーシング７５０に対して付勢する。
なお、油圧付勢部材７２０は、シリンダ本体７１１を付勢することが可能であれば、この構成に限るものではない。

【0169】

シリンダ本体７１１の内周面には、端部７１１ａに近接する位置に、ブシュ７１１ｅ、Ｙ形パッキン７１１ｆ，７１１ｇが設けられる。シリンダ本体７１１の内周面とピストン７１２の外周面とは摺動可能に密閉される。シリンダ本体７１１の端部７１１ｂには、シリンダ駆動部７３０の駆動軸７３１の端部７３１ａが同軸状として接続される。

【0170】

シリンダ駆動部７３０は、シリンダ本体７１１をピストン７１２に対して軸線方向に相対的に移動させる駆動軸７３１と、モータ等の駆動部７０５によって駆動軸７３１を駆動する駆動伝達部と、を有する。

【0171】

駆動軸７３１は、シリンダ本体７１１およびピストン７１２と同軸状態としてケーシング７５０内に配置される。駆動軸７３１は軸方向に移動可能とされる。駆動軸７３１はピストン７１２およびケーシング７５０に対して軸線方向に相対的に移動可能である。

【0172】

駆動軸７３１の外周面には端部７３１ａに近接する位置に、ボールネジ７３１ｃが形成される。駆動軸７３１の軸方向におけるボールネジ７３１ｃの長さは、シリンダ本体７１１が軸方向に移動する際、その全範囲に対して、後述する内側螺面７３２ｃが螺合状態を維持可能なように設定される。

【0173】

駆動軸７３１の径方向外側には、ボールネジ７３１ｃの外周位置に、ネジ駆動ギア７３２が同軸状に配置される。駆動軸７３１は、ネジ駆動ギア７３２によってケーシング７５０に対して支持される。

【0174】

駆動軸７３１の端部７３１ａと反対位置となる端部７３１ｂには、後述する回り止め７３１ｈが径方向に突出して設けられる。回り止め７３１ｈは、ケーシング７５０に設けられたすべり溝７５７の内部に位置して、駆動軸７３１が回転しないで軸方向に移動可能なように移動方向を規制している。

【0175】

ネジ駆動ギア７３２は筒状とされる。ネジ駆動ギア７３２は、ケーシング７５０に対して回転可能に支持される。ネジ駆動ギア７３２の外周にはボールベアリング７３２ｆ，７３２ｇが設けられる。ボールベアリング７３２ｆ，７３２ｇは、ケーシング７５０に対して駆動軸７３１と同軸に回転可能としてネジ駆動ギア７３２を支持する。

【0176】

なお、ネジ駆動ギア７３２は、ケーシング７５０に対して軸方向には移動しない。ネジ駆動ギア７３２の内周には内側螺面７３２ｃが形成される。内側螺面７３２ｃは、駆動軸７３１のボールネジ７３１ｃと螺合する。

【0177】

ネジ駆動ギア７３２が回転した場合、内側螺面７３２ｃと螺合しているボールネジ７３１ｃにより、駆動軸７３１に回転力が作用する。駆動軸７３１は、回り止め７３１ｈおよびすべり溝７５７によって回転が規制されている。したがって、駆動軸７３１は、すべり溝７５７に規制された方向、すなわち、駆動軸７３１の軸方向に移動する。

【0178】

ネジ駆動ギア７３２の外周には外側ギア７３２ｄが形成される。外側ギア７３２ｄは、ネジ駆動ギア７３２の軸方向において、ボールベアリング７３２ｆおよびボールベアリング７３２ｇの間に挟まれた位置に形成される。ネジ駆動ギア７３２において、外側ギア７３２ｄは、径方向の最外側に位置する。

【0179】

なお、ネジ駆動ギア７３２は、内側螺面７３２ｃの形成された内ネジ駆動ギア７３２ａと、外側ギア７３２ｄの形成された外ネジ駆動ギア７３２ｂと、が一体として接続されていることができる。

【0180】

外側ギア７３２ｄは、駆動ギア７３３ｄと噛合する。駆動ギア７３３ｄは、駆動軸７３１の軸線と平行な回転軸線を有する。駆動ギア７３３ｄは、駆動軸７３１の軸線と平行な回転軸７３４に回転自在に支持される。回転軸７３４は、駆動軸７３１の径方向における外側に離間した位置としてケーシング７５０に支持される。駆動ギア７３３ｄは、同軸の駆動ギア７３３ｅと一体に形成される。駆動ギア７３３ｅは、駆動ギア７３３ｄよりも大きな径寸法を有する。駆動ギア７３３ｅは、駆動ギア７３３ｄと一体に回転する。

【0181】

駆動ギア７３３ｅは、駆動ギア７３５と噛合する。駆動ギア７３５は、駆動軸７３１の軸線と平行な回転軸線を有する。駆動ギア７３５は、駆動軸７３１の軸線と平行な回転軸７３６に回転自在に支持される。回転軸７３６は、駆動軸７３１の径方向における外側位置で、回転軸７３４よりもさらに離間した位置としてケーシング７５０に支持される。

【0182】

駆動ギア７３５は、駆動ギア７３７と噛合する。駆動ギア７３７は、駆動軸７３１の軸線と平行な回転軸線を有する。駆動ギア７３７は、駆動軸７３１の軸線と平行なモータ等の駆動部７０５の回転駆動軸７０５ａに固定される。回転駆動軸７０５ａは、駆動軸７３１の径方向における外側位置で、回転軸７３６よりもさらに離間した位置とされる。回転駆動軸７０５ａは、ケーシング７５０に貫通状態として回転可能に取り付けられる。

【0183】

ネジ駆動ギア７３２、ボールベアリング７３２ｆ，７３２ｇ、内側螺面７３２ｃ、外側ギア７３２ｄ、駆動ギア７３３ｄ、駆動ギア７３３ｅ、回転軸７３４、駆動ギア７３５、回転軸７３６、駆動ギア７３７は、駆動伝達部（油圧発生部７０１の駆動系）を構成する。

【0184】

ケーシング７５０は、ケーシング筒７５１と、ケーシング蓋７５２と、後ケーシング７５３と、リング７５４と、蓋部７５８と、からなる。ケーシング筒７５１は、筒状とされる。ケーシング蓋７５２は、ケーシング筒７５１の一端を閉塞する。

【0185】

後ケーシング７５３は、ケーシング筒７５１の他端を閉塞する。リング７５４は、ケーシング筒７５１と後ケーシング７５３との間に設けられる。蓋部７５８は、後ケーシング７５３の他端を閉塞する。

【0186】

ケーシング筒７５１は、シリンダ本体７１１、ピストン７１２、駆動軸７３１と同軸状に延在する内部形状を有する。ケーシング筒７５１の内部は収納空間７５５を形成している。
収納空間７５５の内部には、シリンダ本体７１１と、ピストン７１２と、油圧付勢部材７２０となる内バネ７２１および外バネ７２２と、駆動軸７３１の端部７５１ａと、が収納される。収納空間７５５は、ピストン７１２に近接する端部位置が開口しており、ケーシング蓋７５２によって閉塞されている。

【0187】

ケーシング蓋７５２にはピストン７１２が接続固定されている。ケーシング蓋７５２にはピストン７１２の端部７１２ａが貫通している。収納空間７５５は、駆動軸７３１に近接する端部位置が開口しており、後ケーシング７５３によって閉塞されている。後ケーシング７５３には、駆動軸７３１が貫通している。収納空間７５５は、後ケーシング７５３に近接する位置に、リング７５４が設けられる。

【0188】

リング７５４は、駆動軸７３１と同軸として駆動軸７３１の周囲に配置される。リング７５４の内周と駆動軸７３１の外周とは離間している。リング７５４は、フランジ部７１１ｃの内周、すなわち、シリンダ本体７１１の外周面の径寸法と等しい内径を有する。また、リング７５４は、フランジ部７１１ｃの外径寸法と等しい外径を有する。

【0189】

リング７５４のケーシング蓋７５２に対向する面には、油圧付勢部材７２０となる内バネ７２１の端部７２１ｂおよび外バネ７２２の端部７２２ｂが当接している。リング７５４のケーシング蓋７５２に対向する面には、周溝７１１ｄに対応するように周溝７５４ｄが周設される。周溝７５４ｄには、油圧付勢部材７２０となる内バネ７２１の端部７２１ｂが当接している。周溝７５４ｄの外周位置となるリング７５４のケーシング蓋７５２に向かう面には、外バネ７２２の端部７２２ｂが当接している。

【0190】

ケーシング筒７５１と後ケーシング７５３との間には、収納空間７５５よりも駆動軸７３１の径方向外側に向けて延在する駆動系支持部７５１ｋ，７５３ｋが設けられる。駆動系支持部７５１ｋ，７５３ｋは、ケーシング筒７５１および後ケーシング７５３に対して周方向の一部分をなすフランジ状に形成される。

【0191】

駆動系支持部７５１ｋと駆動系支持部７５３ｋとは、互いに接触している。駆動系支持部７５１ｋと駆動系支持部７５３ｋとの間には、ネジ駆動ギア７３２、ボールベアリング７３２ｆ，７３２ｇ、内側螺面７３２ｃ、外側ギア７３２ｄ、駆動ギア７３３ｄ、駆動ギア７３３ｅ、回転軸７３４、駆動ギア７３５、回転軸７３６、駆動ギア７３７が挟持される。

【0192】

駆動系支持部７５１ｋと駆動系支持部７５３ｋとの対向する面には、ネジ駆動ギア７３２、ボールベアリング７３２ｆ，７３２ｇ、外側ギア７３２ｄ、駆動ギア７３３ｄ、駆動ギア７３３ｅ、回転軸７３４、駆動ギア７３５、回転軸７３６、駆動ギア７３７に対応する凹凸が形成される。

【0193】

駆動系支持部７５１ｋと駆動系支持部７５３ｋとは、ネジ駆動ギア７３２、ボールベアリング７３２ｆ，７３２ｇ、駆動ギア７３３ｄ、駆動ギア７３３ｅ、回転軸７３４、駆動ギア７３５、回転軸７３６、駆動ギア７３７を、対向する面の間で支持している。
また、駆動系支持部７５１ｋには、回転駆動軸７０５ａが貫通している。駆動系支持部７５１ｋには、油圧モータ７０５ｍを有する駆動部７０５が取り付けられている。

【0194】

ケーシング筒７５１とネジ駆動ギア７３２との間にはボールベアリング７３２ｆが設けられる。ボールベアリング７３２ｆは、ケーシング筒７５１に対してネジ駆動ギア７３２を回転可能に支持する。後ケーシング７５３とネジ駆動ギア７３２との間にはボールベアリング７３２ｇが設けられる。ボールベアリング７３２ｇは、後ケーシング７５３に対してネジ駆動ギア７３２を回転可能に支持する。

【0195】

後ケーシング７５３には、駆動軸７３１が軸方向に移動した際に、駆動軸７３１の端部７３１ｂの逃げとなる後空間７５６が形成される。後空間７５６と収納空間７５５との境界となる位置には、ネジ駆動ギア７３２が配置される。つまり、後空間７５６と収納空間７５５との境界となる位置には、駆動軸７３１が軸方向に移動可能として配置されている。

【0196】

後空間７５６には、拡径するようにすべり溝７５７が形成される。すべり溝７５７は、駆動軸７３１の径方向外側に位置する。すべり溝７５７は、回り止め７３１ｈが内部を摺動することで、駆動軸７３１の回転を規制するとともに、駆動軸７３１の軸方向の移動を可能とする。後空間７５６の端部は、蓋部７５８によって閉塞されている。

【0197】

後空間７５６の蓋部７５８に近接する位置には、駆動軸７３１が近接したことを検出可能な検出スイッチ（検出手段）７６０が設けられる。検出スイッチ（検出手段）７６０は、制御部７０６に接続される。検出スイッチ（検出手段）７６０は、すべり溝７５７に位置していてもよい。

【0198】

後空間７５６のネジ駆動ギア７３２に近接した位置には、駆動軸７３１がピストン７１２に近接したことを検出可能な検出スイッチ（検出手段）７６１が設けられる。検出スイッチ（検出手段）７６１は、制御部７０６に接続される。検出スイッチ（検出手段）７６１は、すべり溝７５７に位置していてもよい。

【0199】

検出スイッチ（検出手段）７６０と検出スイッチ（検出手段）７６１とは、駆動軸７３１の軸方向位置を検出する。検出スイッチ（検出手段）７６０と検出スイッチ（検出手段）７６１とは、接触式、あるいは、非接触の磁気式とすることが可能である。
たとえば、検出スイッチ（検出手段）７６０は、駆動軸７３１の一部が当接した際に検出可能なリミッタスイッチか、駆動軸７３１の一部に設けられた磁気素子を検出可能な磁気スイッチとすることもできる。

【0200】

検出スイッチ（検出手段）７６０は、駆動軸７３１が収納空間７５５から後空間７５６に向けて移動した場合に、駆動軸７３１が軸方向に検出スイッチ（検出手段）７６０で規定された位置に到達したことを検知する。また、検出スイッチ（検出手段）７６１は、駆動軸７３１が後空間７５６から収納空間７５５に向けて移動した場合に、駆動軸７３１が軸方向に検出スイッチ（検出手段）７６１で規定された位置に到達したことを検知する。

【0201】

ここで、検出スイッチ（検出手段）７６０が、駆動軸７３１が軸方向における所定の位置に到達したことを制御部７０６に出力した場合、信号を受け取った制御部７０６は、駆動部７０５の駆動を停止する信号を出力する。これにより、駆動部７０５は駆動を停止する。したがって、検出スイッチ（検出手段）７６０の設置された位置によって、駆動軸７３１の移動位置が規制される。

【0202】

ここで、駆動部７０５における駆動停止は、電源７０７からの給電停止により油圧モータ７０５ｍの駆動を停止してもよい。
また、駆動部７０５における駆動停止は、無励磁作動ブレーキ７０５ｂによって油圧モータ７０５ｍの回転駆動軸７０５ａの回転を停止してもよい。

【0203】

あるいは、検出スイッチ（検出手段）７６１が、駆動軸７３１が軸方向における所定の位置に到達したことを制御部７０６に出力した場合、信号を受け取った制御部７０６は、駆動部７０５の駆動を開始する信号を出力する。これにより、駆動部７０５は駆動を開始する。したがって、検出スイッチ（検出手段）７６１の設置された位置によって、駆動軸７３１の移動位置が規制される。

【0204】

ここで、駆動部７０５における駆動開始は、電源７０７からの給電開始により油圧モータ７０５ｍを駆動開始してもよい。
また、駆動部７０５における駆動開始は、無励磁作動ブレーキ７０５ｂによる油圧モータ７０５ｍの回転駆動軸７０５ａの回転停止を解除してもよい。

【0205】

このように、油圧発生部７０１は、制御部７０６の信号によって、駆動部７０５における駆動状態の切り替えを可能とされる。
制御部７０６が駆動信号を出力すると、駆動部７０５が駆動する。駆動部７０５の駆動によって回転駆動軸７０５ａが回転する。回転駆動軸７０５ａの回転により、回転駆動軸７０５ａに取り付けられた駆動ギア７３７が回転する。駆動ギア７３７の回転は、噛合する駆動ギア７３５に伝達される。駆動ギア７３５の回転は、噛合する駆動ギア７３３ｅに伝達される。

【0206】

駆動ギア７３３ｅの回転は、一体として形成された駆動ギア７３３ｄに伝達される。駆動ギア７３３ｄの回転は、噛合する外側ギア７３２ｄに伝達されて、ネジ駆動ギア７３２が回転する。外側ギア７３２ｄの回転は、一体として形成されたネジ駆動ギア７３２の内側螺面７３２ｃに伝達される。

【0207】

ネジ駆動ギア７３２の内側螺面７３２ｃの回転は、噛合する駆動軸７３１のボールネジ７３１ｃに伝達されて、駆動軸７３１が回転する。ネジ駆動ギア７３２は、ボールベアリング７３２ｆ，７３２ｇによって支持されているので、回転しても、軸方向に移動しない。

【0208】

駆動軸７３１は、内側螺面７３２ｃによって支持されるとともに、回り止め７３１ｈがすべり溝７５７の内部に位置して、駆動軸７３１の移動方向が規制されている。このため、駆動軸７３１は、回転した場合に軸方向に移動する。このように、駆動伝達部によって、駆動部７０５の回転駆動力が駆動軸７３１に伝達され、駆動軸７３１が軸方向に移動する。

【0209】

駆動軸７３１が軸方向に移動すると、一体として接続されたシリンダ本体７１１も、同様にして軸方向に移動する。このとき、ピストン７１２は、ケーシング蓋７５２に固定されているので移動しない。これにより、シリンダ本体７１１とピストン７１２とが軸線方向に相対的に移動する。

【0210】

ここで、シリンダ本体７１１とピストン７１２とが相対的に移動することで、シリンダ本体７１１内部の油圧空間７１４の容積が変化する。油圧空間７１４の容積変化に応じて、油圧空間７１４に充填された非圧縮性流体である圧油（駆動流体）が油圧流路７１３に流入または流出する。

【0211】

シリンダ本体７１１には、フランジ部７１１ｃに当接する油圧付勢部材７２０となる内バネ７２１および外バネ７２２が付勢力を付与している。

【0212】

本実施形態においては、ノーマルプッシュ、つまり、駆動部７０５において、無励磁作動ブレーキ７０５ｂが作動しておらず、油圧モータ７０５ｍが駆動していない際に、可動部（伸縮ロッド）７２を伸長可能とする。このため、油圧シリンダ７１０において、油圧付勢部材７２０からの付勢力は、内バネ７２１および外バネ７２２が伸長する方向となる。つまり、油圧付勢部材７２０からシリンダ本体７１１へ付与された付勢力は、シリンダ本体７１１がネジ駆動ギア７３２から離間する方向となる。
したがって、油圧付勢部材７２０の付勢力は、シリンダ本体７１１における油圧空間７１４の容積が減少するように付与されている。

【0213】

また、本実施形態においては、ノーマルプッシュ、つまり、駆動部７０５において、無励磁作動ブレーキ７０５ｂが作動しておらず、油圧モータ７０５ｍが駆動された際に、可動部（伸縮ロッド）７２を縮退可能とする。このため、油圧シリンダ７１０において、駆動部７０５の駆動により、駆動軸７３１が移動する方向は油圧付勢部材７２０の付勢力と反対向きとなる。つまり、駆動部７０５の駆動により、駆動軸７３１はピストン７１２から離間する方向に移動する。
したがって、駆動部７０５の駆動により、シリンダ本体７１１における油圧空間７１４の容積は増大するように駆動軸７３１が移動する。

【0214】

油圧発生部７０１は、駆動部７０５において、無励磁作動ブレーキ７０５ｂが作動するか、油圧モータ７０５ｍが駆動停止された場合、図７に示すように、油圧付勢部材７２０の付勢力によって油圧空間７１４の容積が減少する。これにより、油圧空間７１４積が加圧される。これにより、非圧縮性流体である圧油（駆動流体）が、油圧空間７１４から油圧流路７１３を介して油圧管７０２に対して流入する。このとき、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０では油圧が作用して、可動部（伸縮ロッド）７２の先端部７２ａが伸長する。

【0215】

また、油圧発生部７０１は、駆動部７０５を駆動した場合、図８に示すように、駆動部７０５の駆動力によって油圧空間７１４の容積が増大する。これにより、油圧空間７１４積が減圧される。非圧縮性流体である圧油（駆動流体）が油圧流路７１３を介して油圧管７０２から油圧空間７１４に対して流入する。このとき、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０では油圧が作用して、可動部（伸縮ロッド）７２の先端部７２ａが縮退する。

【0216】

また、油圧発生部７０１では、何らかの原因により、シリンダ本体７１１がケーシング蓋７５２に近接するようにオーバーランした場合でも、フランジ部７１１ｃがケーシング蓋７５２に当接して、シリンダ本体７１１の移動を停止する。これにより、油圧空間７１４の減少を所定範囲に制限する。したがって、油圧発生部７０１は、過剰な圧油（駆動流体）を弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０へ流入させないことができる。

【0217】

図９は、本実施形態における仕切りバルブにおける弁箱付勢部を説明するための軸方向断面図である。図１０は、本実施形態における油圧駆動システム、仕切りバルブにおける弁箱付勢部を説明するための図９とは直交する軸方向断面図である。図１０は、弁箱付勢部における伸長状態を示す軸方向断面図である。

【0218】

本実施形態に係る弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、図９〜図１０に示すように、ガイドロッド７７１と、シリンダ部７７２と、伸縮ロッド（可動部）７２と、フランジ部７７３と、付勢部材（押しつけバネ）７３と、ケーシング７７４と、を有する。

【0219】

弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、図９〜図１０に示すように、略円柱状のケーシング７７４の一端から、このケーシング７７４よりも細径の伸縮ロッド７２が伸出可能および縮退可能な構成とされている。弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、油圧管７０２を介して油圧発生部７０１に接続される。

【0220】

油圧発生部７０１は、伸縮ロッド７２を伸縮動作する際に、正圧または負圧となる油圧を弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０に供給するとともに、動作終了時に、油圧状態を維持可能とされている。また、伸縮ロッド７２の対象物への当接状態を適切に制御可能となっている。

【0221】

ガイドロッド７７１は、図９〜図１０に示すように、略円柱状とされ、油圧駆動部７００から作動油圧を一端面７７１ａに向けて供給可能な貫通孔７７１ｃを軸方向に有する。ガイドロッド７７１は、ケーシング７７４の蓋部７７４ｂからケーシング７７４の内部に向けて立設される。

【0222】

ガイドロッド７７１は、蓋部７７４ｂと一体とされてもよい。本実施形態において、ガイドロッド７７１には、蓋部７７４ｂに設けられた凹部７７４ｇの中心位置に突出する凸部７７４ｈにパイプ状の外ガイドロッド７７１ｇが螺合されている。これにより、蓋部７７４ｂに対する外ガイドロッド７７１ｇの中心出しがおこなわれる。貫通孔７７１ｃは、蓋部７７４ｂ、凸部７７４ｈおよび外ガイドロッド７７１ｇの内部に連続して形成される。

【0223】

シリンダ部７７２は、他端が開口した有底円筒状とされる。シリンダ部７７２は、ガイドロッド７７１と同軸状とされる。シリンダ部７７２は、ガイドロッド７７１の一端面７７１ａを摺動可能に覆うように配置されている。ガイドロッド７７１の一端面７７１ａと、シリンダ部７７２の内面とは、その内部に駆動空間７７７を形成する。

【0224】

駆動空間７７７には、貫通孔７７１ｃが連通している。貫通孔７７１ｃには、図９に示すように、油圧管７０２が接続される。駆動空間７７７には、油圧管７０２を介して油圧発生部７０１に接続される。
駆動空間７７７には、油圧管７０２を介して油圧発生部７０１から作動油が供給されて、駆動空間７７７が加圧される。あるいは、駆動空間７７７には、油圧管７０２を介して油圧発生部７０１へと作動油が戻されて、駆動空間７７７が減圧される。

【0225】

シリンダ部７７２の一端部７７２ａには、図における上面となる位置に伸縮ロッド７２が設けられる。伸縮ロッド７２は、シリンダ部７７２の軸方向の外向きに延在する円柱状とされる。伸縮ロッド７２は、円筒状のシリンダ部７７２と同軸状とされる。伸縮ロッド７２は、円柱状のガイドロッド７７１と同軸状とされる。

【0226】

伸縮ロッド７２は、シリンダ部７７２と一体とされ、ガイドロッド７７１に対するシリンダ部７７２の摺動に付随して、軸方向に伸縮自在として移動可能とされる。伸縮ロッド７２の径寸法は、シリンダ部７７２の径寸法よりも小さく設定される。

【0227】

伸縮ロッド７２の径寸法は、ガイドロッド７７１の径寸法よりも小さく設定される。伸縮ロッド７２は、シリンダ部７７２と一体とされてもよい。本実施形態の伸縮ロッド７２は、シリンダ部７７２の軸中心位置に突出する凸部７７２ｈに伸縮ロッド７２が螺合されている。これにより、蓋部７７４ｂに対する伸縮ロッド７２の中心出しがおこなわれる。

【0228】

シリンダ部７７２の他端部７７２ｂには、外周位置にフランジ部７７３が周設される。フランジ部７７３は、シリンダ部７７２の他端部７７２ｂに径方向外側に延在する。フランジ部７７３は、所定の厚さを有する。

【0229】

フランジ部７７３は、シリンダ部７７２と一体として形成される。
フランジ部７７３には、伸縮ロッド７２に近接する押圧面７７３ａに付勢部材（押しつけバネ）７３の他端が当接する。

【0230】

付勢部材（押しつけバネ）７３は、螺旋状とされ、フランジ部７７３を伸縮ロッド７２の縮退方向に付勢する。
付勢部材（押しつけバネ）７３は、シリンダ部７７２と同軸状にシリンダ部７７２の外周に位置している。付勢部材（押しつけバネ）７３の一端は、ケーシング７７４に当接する。

【0231】

ケーシング７７４は、円筒状の円筒部７７４ｃと、円筒部７７４ｃの他端部を閉塞する蓋部７７４ｂと、円筒部７７４ｃの一端に設けられた貫通孔７７４ｍを閉塞する真空側蓋部７７４ａと、を有する。

【0232】

蓋部７７４ｂの中心位置には、ガイドロッド７７１がケーシング７７４の内部に向かって立設される。真空側蓋部７７４ａは、その中央に伸縮ロッド７２の貫通する貫通孔７７５を有し、真空側へと面している。円筒部７７４ｃの他端は、蓋部７７４ｂに設けられた凹部７７４ｇに勘合される。

【0233】

円筒部７７４ｃと蓋部７７４ｂと真空側蓋部７７４ａとの内部には、緩衝空間７７６が形成される。
緩衝空間７７６には、シリンダ部７７２と付勢部材（押しつけバネ）７３とが収納される。緩衝空間７７６では、シリンダ部７７２が往復移動可能とされている。緩衝空間７７６は、駆動空間７７７から作動油圧が漏れた際に、真空側となる外部（チャンバ）Ｃｈへ漏出する前に緩衝する空間とされる。

【0234】

緩衝空間７７６となる円筒部７７４ｃの内面には、段差７７４ｄが形成されている。円筒部７７４ｃの内面は、蓋部７７４ｂに近接する位置が真空側蓋部７７４ａに近接する位置に比べて拡径されている。
段差７７４ｄは、フランジ部７７３の押圧面７７３ａの外縁部分が当接する。段差７７４ｄは、シリンダ部７７２の移動範囲における伸長した際の位置を規制する規制部とされている。

【0235】

緩衝空間７７６となる円筒部７７４ｃの内面には、フランジ部７７３の外周面は接していない。蓋部７７４ｂに設けられた凹部７７４ｇには、シリンダ部７７２他端部７７２ｂとなるフランジ部７７３が当接する。凹部７７４ｇは、シリンダ部７７２の移動範囲における縮退する方向の位置を規制する規制部とされている。

【0236】

円筒部７７４ｃと真空側蓋部７７４ａとは接続固定されている。円筒部７７４ｃの真空側蓋部７７４ａに近接する位置には、段差７７４ｅが形成されている。円筒部７７４ｃの段差７７４ｅよりも真空側蓋部７７４ａに近接する位置は、さらに縮径されてシリンダ部７７２の外形寸法と等しい内径寸法を有する大気側緩衝空間７７８が形成されている。
段差７７４ｅには、付勢部材（押しつけバネ）７３の一端が当接している。

【0237】

大気側緩衝空間７７８内周面には、シリンダ部７７２の外周面（摺動面）７７２ｍが摺動可能に接している。大気側緩衝空間７７８には、図９に示すように、外部に連通する貫通孔７７８ｓが円筒部７７４ｃの径方向に形成されている。大気側緩衝空間７７８は、貫通孔７７８ｓにより大気側と連通している。

【0238】

貫通孔７７５は、大気側緩衝空間７７８よりも小さな径寸法を有する。貫通孔７７５は、伸縮ロッド７２の外径と略等しい径寸法とされる。
ケーシング７７４とガイドロッド７７１とは、固定部７１を構成する。

【0239】

弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０には、油圧駆動時に、作動流体である油が真空側であるチャンバＣｈに漏れないように、多段のシール手段として密閉部材が設けられている。具体的には、油圧が供給されるシリンダ部７７２内部の駆動空間７７７から、伸縮ロッド７２の伸張する真空側であるチャンバＣｈの内部である外部まで、四段の密閉部材７７ａ１〜７７ｅが設けられる。

【0240】

シリンダ部７７２の内面と摺動するガイドロッド７７１外周の摺動面７７１ｆには、二段の密閉部材７７ａ１〜７７ｅが設けられる。
ガイドロッド７７１外周の摺動面７７１ｆには、駆動空間７７７から外部へ向かって密閉可能に、Ｏリング（密閉部材）７７ａ１、ウエアリング（密閉部材）７７ａ２が同一の溝に周設されている。

【0241】

ウエアリング（密閉部材）７７ａ２は、Ｏリング（密閉部材）７７ａ１の径方向外側に周設されている。
ウエアリング（密閉部材）７７ａ２は、シリンダ部７７２の内面と接しており、シリンダ部７７２の内周の摺動面７７２ｆと摺動する。

【0242】

さらに、ガイドロッド７７１外周の摺動面７７１ｆには、ウエアリング（密閉部材）７７ａ２よりも駆動空間７７７から離間した位置に、摺動面７７１ｆと面一となるようにウエアリング（密閉部材）７７ｂが周設されている。

【0243】

Ｏリング（密閉部材）７７ａ１、ウエアリング（密閉部材）７７ａ２、ウエアリング（密閉部材）７７ｂは、一段目の密閉部材を形成している。ウエアリング（密閉部材）７７ｂは、バックアップリングである。

【0244】

さらに、ガイドロッド７７１外周の摺動面７７１ｆには、ウエアリング（密閉部材）７７ｂよりも駆動空間７７７から離間した位置に、摺動面７７１ｆと面一となるようにＹパッキン（密閉部材）７７ｃ１、シールシング（密閉部材）７７ｃ２が同一の溝に周設されている。

【0245】

Ｙパッキン（密閉部材）７７ｃ１とシールシング（密閉部材）７７ｃ２とは、いずれもシリンダ部７７２の内面と接している。Ｙパッキン（密閉部材）７７ｃ１とシールシング（密閉部材）７７ｃ２とは、シリンダ部７７２の内周の摺動面７７２ｆと摺動する。
シールシング（密閉部材）７７ｃ２は、Ｙパッキン（密閉部材）７７ｃ１よりも駆動空間７７７から離間した位置に配置される。

【0246】

さらに、ガイドロッド７７１外周の摺動面７７１ｆには、シールシング（密閉部材）７７ｃ２よりも駆動空間７７７から離間した位置に、摺動面７７１ｆと面一となるようにウエアリング（密閉部材）７７ｄが周設されている。
Ｙパッキン（密閉部材）７７ｃ１、シールシング（密閉部材）７７ｃ２、ウエアリング（密閉部材）７７ｄは、二段目の密閉部材を形成している。ウエアリング（密閉部材）７７ｄは、バックアップリングである。

【0247】

ケーシング７７４の円筒部７７４ｃにおける真空側蓋部７７４ａに近接する位置に設けられた貫通孔７７４ｍには、その内周面にＹパッキン（密閉部材）７７ｅが周設される。
Ｙパッキン（密閉部材）７７ｅは、シリンダ部７７２の一端面７７１ａに近接する位置となる外周の摺動面７７２ｍと摺動する。Ｙパッキン（密閉部材）７７ｅは、三段目の密閉部材とされる。

【0248】

ケーシング７７４の真空側蓋部７７４ａにおける貫通孔７７５には、その内周面にＯリング（密閉部材）７７ｆが周設される。
Ｏリング（密閉部材）７７ｆは、伸縮ロッド７２の外周面（摺動面）７２ｍと摺動する。Ｙパッキン（密閉部材）７７ｅは、四段目の密閉部材とされる。

【0249】

さらに、密閉部材７７ａ１〜７７ｅに加えて、ケーシング７７４の凸部７７４ｈと外ガイドロッド７７１ｇとの螺合位置には、Ｏリング（密閉部材）７７ｐが配置される。
ケーシング７７４の円筒部７７４ｃと蓋部７７４ｂに設けられた凹部７７４ｇとの間には、Ｏリング（密閉部材）７７ｑが配置される。
真空側蓋部７７４ａにおける貫通孔７７５の周囲には、真空側となるチャンバＣｈとの間のシール用に、Ｏリング（密閉部材）７７ｒが配置される。

【0250】

本実施形態における弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０では、密閉部材７７ａ１〜７７ｒとして、次のような材質からなるものとすることができる。
ウエアリング（密閉部材）７７ａ２は、フッ化樹脂からなる。ウエアリング（密閉部材）７７ｂは、ＨＮＢＲ（水素化ニトリルゴム）からなる。Ｙパッキン（密閉部材）７７ｃ１は、ＨＮＢＲ（水素化ニトリルゴム）からなる。シールシング（密閉部材）７７ｃ２は、フッ化樹脂からなる。ウエアリング（密閉部材）７７ｄは、フッ化樹脂からなる。Ｙパッキン（密閉部材）７７ｅは、ＨＮＢＲ（水素化ニトリルゴム）からなる。Ｏリング（密閉部材）７７ｆは、ＨＮＢＲ（水素化ニトリルゴム）からなる。Ｏリング（密閉部材）７７ｐ、Ｏリング（密閉部材）７７ｑ、Ｏリング（密閉部材）７７ｒは、いずれもＨＮＢＲ（水素化ニトリルゴム）からなる。

【0251】

また、伸縮ロッド７２は、ステンレス鋼からなる。ガイドロッド７７１は、ステンレス鋼からなる。シリンダ部７７２は、ステンレス鋼からなる。ケーシング７７４の円筒部７７４ｃと蓋部７７４ｂと真空側蓋部７７４ａとは、いずれもアルミニウムからなる。なお、これらの構成における材質は、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０の用途に応じて、適宜変更することが可能である。

【0252】

また、ステンレス鋼からなるガイドロッド７７１外周の摺動面７７１ｆ、シリンダ部７７２の内周の摺動面７７２ｆ、シリンダ部７７２の一端面７７１ａに近接する位置となる外周の摺動面７７２ｍ、伸縮ロッド７２外周の摺動面は、いずれも、クロムメッキ等の表面処理が施される。

【0253】

本実施形態における弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０においては、ノーマルプル、つまり、動作しない状態では、伸縮ロッド７２が縮退している。この状態では、付勢部材（押しつけバネ）７３によってフランジ部７７３が、伸縮ロッド７２の縮退方向に付勢されている。

【0254】

次に、油圧駆動部７００において駆動部７０５の駆動によって油圧発生部７０１から供給された作動油が、油圧管７０２を介して駆動空間７７７に流入する。すると、駆動空間７７７が加圧されて、付勢部材（押しつけバネ）７３の付勢力に打ち勝ってシリンダ部７７２が貫通孔７７５に向けて移動する。このとき、シリンダ部７７２は、緩衝空間７７６の内部で移動する。

【0255】

フランジ部７７３の押圧面７７３ａの外縁部分が段差７７４ｄに当接して、シリンダ部７７２の移動が終了する。これにより、図１０に示すように、伸縮ロッド７２が伸張して、真空側となるチャンバＣｈに向けて伸縮ロッド７２が進出する。伸張した伸縮ロッド７２が対象物を押圧する。この状態で、油圧発生部７０１から駆動空間７７７に供給する油圧を維持することで、伸縮ロッド７２が伸長した状態を維持することができる。

【0256】

伸縮ロッド７２が伸長状態から縮退状態とするには、油圧発生部７０１から駆動空間７７７に供給する油圧を減圧する。あるいは、油圧管７０２を介して駆動空間７７７から油圧発生部７０１へと作動油を戻す。すると、付勢部材（押しつけバネ）７３からフランジ部７７３に作用する付勢力によって、シリンダ部７７２が蓋部７７４ｂに向けて移動する。これにより、図９に示すように、伸縮ロッド７２が縮退した状態となる。

【0257】

さらに、本実施形態の弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０においては、駆動空間７７７から油圧管７０２を介して油圧空間７１４までの間で油が漏れた場合に、これを検出することができる。具体的には、駆動空間７７７において収容される油量が減少した場合には、油圧付勢部材７２０の付勢力によって油圧空間７１４の容積が減少する。これにより、軸方向における駆動軸７３１の往復動作範囲が、想定した位置からピストン７１２に近接する方向に移動することになる。
したがって、想定した位置に比べて、駆動軸７３１の軸方向移動における早い段階で検出スイッチ（検出手段）７６１から検出信号が出力されることになる。このため、駆動空間７７７において収容される油量が減少したことを検出可能である。

【0258】

本実施形態においては、上述した実施形態と同様の効果を奏することができる。

【0259】

以下、本発明に係る仕切りバルブの第３実施形態を、図面に基づいて説明する。
本実施形態において上述した第１および第２実施形態と異なるのは仕切りバルブの振り子弁体に関する点であり、これ以外の対応する構成要素に関しては、同一の符号を付してその説明を省略する。

【0260】

図１１は、本実施形態における仕切りバルブを示す流路と直交する断面図である。
図１２は、本実施形態における仕切りバルブを示す流路に沿った断面図である。
図１３は、本実施形態における仕切りバルブの周縁部を示す流路に沿った拡大断面図である。
図において、符号１００は、仕切りバルブである。

【0261】

本実施形態に係る仕切りバルブ１００は、図１１，図１２に示すように、弁箱１０と、中空部１１と、弁体５と、回転軸２０と、回転軸駆動部２００と、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０と、弁板付勢部（保持バネ）８０と、弁枠付勢部９０と、油圧駆動部７００と、を備える。

【0262】

第１開口部１２ａと第２開口部１２ｂとは、略同一輪郭を有する。第１開口部１２ａは、円形輪郭を有する。第２開口部１２ｂは、円形輪郭を有する。

【0263】

中空部１１内には、弁体５が配置される。
弁体５は、弁閉塞位置において第１空間と第２空間とを遮断可能とされる。
回転軸２０は、流路Ｈ方向とほぼ平行に延在する軸線を有する。回転軸２０は、弁箱１０を貫通する。回転軸２０は、回転軸駆動部２００により回転駆動可能である。
回転軸２０には、接続部材（不図示）を介して弁体５が固定される。あるいは、回転軸２０には、接続部材（不図示）を介さずに弁体５が直接接続されてもよい。
回転軸２０は、弁体５の位置切り替え部として機能する。

【0264】

図１４は、本実施形態における仕切りバルブの弁体を示す流路と直交する方向視した上面図である。
弁体５は、第１開口部１２ａおよび／または第２開口部１２ｂを閉塞可能である。
弁体５は、弁閉塞位置と弁開口遮蔽位置と弁開放位置（退避位置）との間で動作する。
弁体５は、退避位置と弁開口遮蔽位置との間で回転可能である。

【0265】

弁閉塞位置において、弁体５は、第１開口部１２ａおよび／または第２開口部１２ｂに対して閉塞状態（図１６〜図１９）になる。
弁開放位置（退避位置）において、弁体５は、第１開口部１２ａおよび／または第２開口部１２ｂから退避した開放状態（図１１に破線で示す）になる。

【0266】

弁体５は、中立弁部３０、および、可動弁部４０から構成されている。
中立弁部３０は、回転軸２０の軸線に対して直交する方向に延在する。中立弁部３０は、回転軸２０の軸線に対して直交する方向に平行な面に含まれるように配置される。

【0267】

中立弁部３０は、図１１〜図１３に示すように、円形部３０ａと回転部３０ｂとを有する。
円形部３０ａは、第１開口部１２ａおよび／または第２開口部１２ｂの輪郭よりやや大きなリング状とされる。円形部３０ａの径方向内側となる位置には、可動弁部４０が配置される。円形部３０ａの内周は、流路Ｈ方向視して、第１開口部１２ａおよび／または第２開口部１２ｂとほぼ重なるように配置される。

【0268】

回転部３０ｂは、回転軸２０と円形部３０ａとの間に位置する。回転部３０ｂは、回転軸２０の回転に伴って円形部３０ａを回転させる。回転部３０ｂは、回転軸２０から円形部３０ａに向けて拡径するように延在する平板形状で形成されている。回転部３０ｂは、回転軸２０から円形部３０ａに向けて複数本の腕が延びたアーム形状とされてもよい。
これら回転軸２０および中立弁部３０は、弁箱１０に対して回動はするが、流路Ｈ方向には位置変動しない。

【0269】

円形部３０ａと回転部３０ｂとは、一体とされてもよい。
この場合、平板状の中立弁部３０に可動弁部４０の嵌合される貫通孔が形成されて円形部３０ａとされる。円形部３０ａの周方向の一部分が、径方向外向きに延長された部分が回転部３０ｂとされる。

【0270】

円形部３０ａにおける流路Ｈ方向の厚み寸法は、回転部３０ｂの流路Ｈ方向の厚み寸法とほぼ等しくなるように形成される。円形部３０ａにおける中立弁部３０の径方向内側には、円フランジ部３０ｃが周設される。

【0271】

円フランジ部３０ｃにおける流路Ｈ方向の厚み寸法は、円形部３０ａの流路Ｈ方向の厚み寸法よりも小さくなるように形成される。円フランジ部３０ｃは、円形部３０ａの内周面において、流路Ｈ方向で第１開口部１２ａに近接する位置に周設される。

【0272】

流路Ｈ方向において、円フランジ部３０ｃよりも第２開口部１２ｂに近接する位置には、後述する可動弁枠部６０の外枠板６０ｅが位置する。円フランジ部３０ｃは、後述する可動弁枠部６０の外枠板６０ｅと接続される。円フランジ部３０ｃと外枠板６０ｅとは、外周クランク部６０ｃの径方向外側に位置する。

【0273】

円フランジ部３０ｃにおける中立弁部３０の径方向となる幅寸法は、外周クランク部６０ｃにおける可動弁枠部６０の径方向となる幅寸法とほぼ等しく設定される。円形部３０ａおよび円フランジ部３０ｃは、外周クランク部６０ｃに対して可動弁枠部６０の径方向外側となる位置に周設される。
なお、円形部３０ａと回転部３０ｂとは、流路Ｈ方向の厚み寸法が等しくなるように形成することもできる。

【0274】

可動弁部４０は略円板状とされる。
可動弁部４０は、中立弁部３０に対して流路Ｈ方向の位置が変更可能に接続される。つまり、可動弁部４０は、中立弁部３０に対して厚さ方向のみ摺動可能として接続される。
可動弁部４０は、流路Ｈ方向に互いに移動可能な２つの部分からなる。可動弁部４０は、可動弁枠部６０（スライド弁枠）と可動弁板部５０（カウンター板）とを備える。

【0275】

可動弁枠部６０は、円形部３０ａと略同心状の略円環状とされる。可動弁枠部６０は、円形部３０ａにおける径方向内側に位置する。可動弁枠部６０は、円形部３０ａに嵌合される。

【0276】

可動弁枠部６０は、中立弁部３０に対して流路Ｈ方向に摺動可能とされる。可動弁枠部６０は、中立弁部３０に対して流路Ｈ方向に位置移動可能とされる。可動弁枠部６０は、中立弁部３０に対して、振り子動作可能な位置と、第１開口部１２ａに接触可能な位置との間で移動可能とされる。

【0277】

可動弁枠部６０は、外周クランク部６０ｃと、内枠板６０ｄと、外枠板６０ｅと、を有する。
可動弁枠部６０は、内枠板６０ｄと外周クランク部６０ｃと外枠板６０ｅとが接続されて、径方向におけるリング状の断面形状が、略Ｚ字形状とされている。

【0278】

外周クランク部６０ｃは、第１開口部１２ａおよび／または第２開口部１２ｂの輪郭よりやや大きな輪郭を有するリング状または円筒状に形成される。外周クランク部６０ｃは、可動弁枠部６０の外縁における全周に形成される。外周クランク部６０ｃは、流路Ｈ方向における中立弁部３０の厚さ寸法とほぼ等しい流路Ｈ方向の厚さ寸法を有する。

【0279】

外周クランク部６０ｃは、摺動面６０ｂを有する。
摺動面６０ｂは、流路Ｈ方向と平行な軸線を有する円筒面である。摺動面６０ｂは、外周クランク部６０ｃの内周面において周方向の全長に設けられる。摺動面６０ｂは、後述する可動弁板部５０の内周クランク部５０ｃの摺動面５０ｂと互いに摺動可能として対向状態に位置する。
外周クランク部６０ｃには、内周クランク部５０ｃが嵌合している。

【0280】

内枠板６０ｄは、外周クランク部６０ｃにおける可動弁枠部６０の径方向内側となる位置に周設される。内枠板６０ｄは、外周クランク部６０ｃの流路Ｈ方向における第１開口部１２ａに近接する端部に周設される。内枠板６０ｄは、弁板５０ｄと平行なフランジ状に形成される。

【0281】

内枠板６０ｄは、流路Ｈ方向における外周クランク部６０ｃの厚さ寸法よりも小さな流路Ｈ方向の厚さ寸法を有する。内枠板６０ｄよりも流路Ｈ方向における第２開口部１２ｂに近接する位置には、後述する内周クランク部５０ｃが位置する。内枠板６０ｄにおける可動弁枠部６０の径方向となる幅寸法は、内周クランク部５０ｃにおける可動弁枠部６０の径方向となる幅寸法とほぼ等しく設定される。

【0282】

外枠板６０ｅは、外周クランク部６０ｃにおける可動弁枠部６０の径方向外側となる位置に周設される。外枠板６０ｅは、外周クランク部６０ｃの流路Ｈ方向における第２開口部１２ｂに近接する端部に周設される。外枠板６０ｅは、外周クランク部６０ｃにおける可動弁枠部６０の径方向外側に周設される。

【0283】

外枠板６０ｅは、外周クランク部６０ｃよりも流路Ｈ方向寸法の小さい突条とされる。外枠板６０ｅよりも流路Ｈ方向における第１開口部１２ａに近接する位置には、円フランジ部３０ｃが位置する。外枠板６０ｅには、後述するように、複数の弁枠付勢部９０が配置される。外枠板６０ｅには、弁枠付勢部９０を内蔵する付勢部穴６８が複数配置される。

【0284】

可動弁枠部６０と中立弁部３０との間には、弁枠付勢部（補助バネ）９０が配置される。
可動弁枠部６０は、弁枠付勢部（補助バネ）９０によって、中立弁部３０に対して流路Ｈ方向における位置が変更可能に接続される。可動弁枠部６０と円形部３０ａとは、同心状の二重円環とされる。

【0285】

可動弁枠部６０には、弁箱内面１０Ａに対向（当接）する表面に、弁枠シールパッキン６１が周設される。弁枠シールパッキン６１は、円形となる外周クランク部６０ｃと内枠板６０ｄとの境界位置に配置される。弁枠シールパッキン６１は、外周クランク部６０ｃの第１開口部１２ａに対向する端面に設けられる。

【0286】

弁枠シールパッキン６１は、第１開口部１２ａの形状に対応して円環状に形成される。弁枠シールパッキン６１は、例えば、Ｏリング等からなるシール部とされる。弁枠シールパッキン６１は、第１開口部１２ａの周囲に位置する弁箱内面１０Ａに密着可能である。弁枠シールパッキン６１は、可動弁枠部６０に同心状として配置される。

【0287】

弁枠シールパッキン６１は、外周クランク部６０ｃにおける最外周に近接する位置に設けられる。弁枠シールパッキン６１は、閉弁時に第１開口部１２ａの周縁となる弁箱内面１０Ａに接触して、可動弁枠部６０および弁箱内面１０Ａによって押圧される。これにより、第１空間と第２空間とが仕切り状態となる。

【0288】

可動弁板部５０は、円形部３０ａと略同心状の円形輪郭を有する板体とされる。
可動弁板部５０は、可動弁枠部６０における外周クランク部６０ｃの径方向内側に嵌合される。可動弁板部５０の径方向外側となる位置には、可動弁板部５０の周囲を囲むように可動弁枠部６０が配置される。

【0289】

可動弁板部５０の内周クランク部５０ｃと可動弁枠部６０とは、同心状の二重円環とされる。可動弁板部５０は、可動弁枠部６０に対して流路Ｈ方向に摺動可能とされる。可動弁板部５０は、可動弁枠部６０に対して流路Ｈ方向に位置移動可能とされる。

【0290】

ここで、可動弁板部５０は、次の３つの位置の間で移動可能とされる。
第１の位置は、振り子動作可能な位置にある可動弁枠部６０と中立弁部３０とに対して同様に可動弁板部５０が振り子動作可能な位置である。

【0291】

第２の位置は、可動弁枠部６０が第１開口部１２ａに接触可能な位置にある場合に、第１の位置における可動弁枠部６０に対する可動弁板部５０と同じ位置である。
第３の位置は、第２の位置における可動弁枠部６０に対して、可動弁板部５０が第２開口部１２ｂに接触可能な位置である。

【0292】

可動弁板部５０は、内周クランク部５０ｃと、弁板５０ｄと、を有する。
可動弁板部５０は、弁板５０ｄにおける第１開口部１２ａに対向する面の周縁位置に内周クランク部５０ｃが周設されて、直径を通る断面形状が、略Ｕ字形状とされている。弁板５０ｄは、内周クランク部５０ｃの径方向内側を密閉するように設けられる。弁板５０ｄは、流路Ｈ方向と略直交する方向に配置された平板状とされる。

【0293】

内周クランク部５０ｃは、リング状または軸方向寸法が径方向寸法に比べて短い円筒状に形成される。内周クランク部５０ｃは、可動弁板部５０の外縁における全周に形成される。内周クランク部５０ｃは、第１開口部１２ａおよび／または第２開口部１２ｂの輪郭よりやや大きな外周輪郭を有する。内周クランク部５０ｃは、第１開口部１２ａおよび／または第２開口部１２ｂの輪郭よりやや小さな内周輪郭を有する。

【0294】

内周クランク部５０ｃは、外周クランク部６０ｃよりも小さな厚さ寸法、つまり、流路Ｈ方向の寸法を有する。内周クランク部５０ｃは、弁板５０ｄよりも大きな厚さ寸法、つまり、流路Ｈ方向の寸法を有する。

【0295】

内周クランク部５０ｃは、摺動面５０ｂを有する。摺動面５０ｂは、流路Ｈ方向と平行な軸線を有する円筒面である。摺動面５０ｂは、内周クランク部５０ｃの外周面において周方向の全長に設けられる。内周クランク部５０ｃと外周クランク部６０ｃとは、摺動面５０ｂと摺動面６０ｂとが接触した状態で嵌合している。摺動面５０ｂと可動弁枠部６０の摺動面６０ｂとは、互いに摺動可能として対向状態に位置する。

【0296】

内周クランク部５０ｃには、弁板付勢部（保持バネ）８０が収容される付勢部穴５８と周溝５９とが可動弁板部５０の周方向に交互に配置される。弁板付勢部（保持バネ）８０は、可動弁板部５０の周方向に互いに離間した等間隔として複数設けられる。複数の弁板付勢部（保持バネ）８０を設ける箇所は、３箇所以上が好ましい。

【0297】

本実施形態では、互いに離間する弁板付勢部（保持バネ）８０の配置として、弁板５０ｄの中心Ｏから見て、４個の弁板付勢部（保持バネ）８０が同じ角度位置（９０度）で離間するように配置された構成例を示す。
弁板５０ｄの中心Ｏから見て、弁板付勢部（保持バネ）８０の角度位置は、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０と弁枠付勢部９０との角度位置と重なるように構成される。

【0298】

付勢部穴５８は、上記のような弁板付勢部（保持バネ）８０の配置に対応して、内周クランク部５０ｃの周方向に等間隔に４箇所設けられる。
周溝５９は、隣接する付勢部穴５８の間を結ぶように内周クランク部５０ｃの周方向に周設される。

【0299】

付勢部穴５８および周溝５９は、流路Ｈ方向における内周クランク部５０ｃの第１開口部１２ａに対向する面に開口を有する。
内周クランク部５０ｃには、周溝５９によって、周溝５９を挟んで流路Ｈ方向に立設された内周壁５９ａと、外周壁５９ｂと、内周壁５９ａおよび外周壁５９ｂの間の底部５９ｃとが形成される。

【0300】

内周壁５９ａと外周壁５９ｂとは、流路Ｈ方向に延在する。底部５９ｃは、弁板５０ｄと略平行な流路Ｈ方向と直交する方向に延在する。内周壁５９ａは、可動弁板部５０の径方向において、周溝５９よりも内側に周設される。

【0301】

周溝５９には、底部５９ｃの表面（底面）と内周壁５９ａの表面（側面）との間を湾曲して接続する湾曲部５９ｄが設けられる。周溝５９には、底部５９ｃの表面（底面）と外周壁５９ｂの表面（側面）との間を湾曲して接続する湾曲部５９ｅが設けられる。

【0302】

周溝５９の底部５９ｃは、付勢部穴５８の底部５８ｃよりも流路Ｈ方向において、第１開口部１２ａに近接した位置とされる。周溝５９の底部５９ｃは、付勢部穴５８の底部５８ｃよりも厚く形成されている。
付勢部穴５８は、後述する弁板付勢部８０を収納可能として、略円筒状に形成される。付勢部穴５８の底部５８ｃは平面状とされており、湾曲部５９ｄ，５９ｅと同程度の曲率半形を有する湾曲部は設けないことができる。

【0303】

内周壁５９ａには、可動弁板部５０の径方向内側に弁板５０ｄが接続される。
可動弁板部５０において、内周クランク部５０ｃの内周壁５９ａと、弁板５０ｄの周縁部分とが、周溝５９の底部５９ｃよりも周溝５９の開口に近接した位置で接続される。
さらに、内周壁５９ａの径方向内側には、流路Ｈ方向となる可動弁板部５０の厚さ方向において、内周クランク部５０ｃの中心位置よりも第１開口部１２ａに近接する位置に弁板５０ｄが接続されることが好ましい。

【0304】

なお、内周壁５９ａと弁板５０ｄとが接続される位置としては、流路Ｈ方向において、第１開口部１２ａに近接した位置となる内周壁５９ａの端部位置から、内周クランク部５０ｃの中心位置までの間で適宜設定することができる。
内周壁５９ａと弁板５０ｄとが接続される位置として、流路Ｈ方向において、内周クランク部５０ｃの中心位置よりも、第１開口部１２ａに近接した位置となる内周壁５９ａの端部に近接した位置に設定することができる。

【0305】

外周壁５９ｂには、可動弁板部５０の径方向外側に、摺動面５０ｂが周設される。外周壁５９ｂには、可動弁板部５０の径方向外側に、板摺動シール部としてＯリング等からなる摺動シールパッキン（摺動シール部材）５２が配される。外周壁５９ｂには、摺動シールパッキン（摺動シール部材）５２を収容するための溝５２ｍが周設される。

【0306】

摺動シールパッキン（摺動シール部材）５２は、外周溝５６よりも周溝５９の開口に近接した位置、つまり、流路Ｈ方向における外周壁５９ｂの端部に近接する位置に設けられる。
溝５２ｍは、外周溝５６よりも周溝５９の開口に近接した位置、つまり、流路Ｈ方向における外周壁５９ｂの端部に近接した位置に設けられる。溝５２ｍは、流路Ｈ方向となる可動弁板部５０の厚さ方向において、外周壁５９ｂの第１開口部１２ａに近接した位置に配される。

【0307】

外周壁５９ｂには、可動弁板部５０の径方向外側となる位置に、溝５１ｍの設けられた突条が周設される。溝５１ｍの設けられた突条は、流路Ｈ方向となる可動弁板部５０の厚さ方向において、外周壁５９ｂの第２開口部１２ｂに近接して位置する。
溝５１ｍは、可動弁板部５０の径方向において、外周壁５９ｂよりも外側に位置する。溝５１ｍは、後述するカウンタークッション（シール部材）５１を収容する。溝５１ｍは、突条における第２開口部１２ｂに近接した位置となる端面に設けられる。

【0308】

可動弁板部５０の径方向において、外周壁５９ｂの外周面には、外周溝５６が設けられる。
外周溝５６は、流路Ｈ方向における溝５２ｍと溝５１ｍとの間に位置する。外周溝５６は、摺動シールパッキン（摺動シール部材）５２に接しないように配置される。

【0309】

摺動シールパッキン（摺動シール部材）５２は、内周クランク部５０ｃと外周クランク部６０ｃとの間に配される。摺動シールパッキン５２により、摺動時における摺動面５０ｂと摺動面６０ｂとのシール状態を維持する。

【0310】

摺動面５０ｂ、摺動シールパッキン（摺動シール部材）５２、摺動面６０ｂは、板摺動シール部を構成する。

【0311】

可動弁板部５０と可動弁枠部６０とは、弁板付勢部８０（保持バネ）によって接続される。

【0312】

可動弁板部５０と可動弁枠部６０とは、図１２に符号Ｂ１，Ｂ２で示された往復方向に、互いに相対的な摺動が可能である。往復方向Ｂ１，Ｂ２とは、可動弁板部５０および可動弁枠部６０の面に垂直な方向である。往復方向Ｂ１，Ｂ２とは、回転軸２０の軸方向に平行な流路Ｈ方向である。

【0313】

可動弁板部５０には、弁箱内面１０Ｂに対向（当接）する表面に、カウンタークッション（シール部材）５１が周設される。
カウンタークッション（シール部材）５１は、第２開口部１２ｂの形状に対応して円環状に形成される。カウンタークッション（シール部材）５１は、弾性体である。カウンタークッション（シール部材）５１は、閉弁時に第２開口部１２ｂの周縁となる弁箱内面１０Ｂに密着可能である。

【0314】

カウンタークッション（シール部材）５１は、Ｏリング等からなるシール部とされる。カウンタークッション（シール部材）５１は、内周クランク部５０ｃの第２開口部１２ｂに対向する端面に設けられる。カウンタークッション（シール部材）５１は、内周クランク部５０ｃにおける最外周位置に設けられる。

【0315】

カウンタークッション（シール部材）５１は、閉弁時に第２開口部１２ｂの周縁となる弁箱内面１０Ｂに接触して、可動弁板部５０および弁箱内面１０Ｂによって押圧される。これにより、第１空間と第２空間とが仕切り状態となる。

【0316】

カウンタークッション（シール部材）５１は、可動弁板部５０と弁箱内面１０Ｂとの衝突時に、弾性変形する。カウンタークッション（シール部材）５１は、可動弁板部５０が弁箱内面１０Ｂに衝突する際の衝撃を緩和する。これにより、ゴミの発生を防ぐことが可能となる。

【0317】

カウンタークッション（シール部材）５１と摺動シールパッキン（摺動シール部材）５２と弁枠シールパッキン６１とは、ほぼ同一円筒面上に配置される。カウンタークッション（シール部材）５１と摺動シールパッキン（摺動シール部材）５２と弁枠シールパッキン６１とが、流路Ｈ方向視して、互いに重なるように配置される。このため、約１００％の逆圧キャンセル率が得られる。

【0318】

可動弁板部５０には気抜き穴５３が設けられる。
気抜き穴５３は、外周溝５６の内部と、カウンタークッション５１よりも中心Ｏに近接する位置で内周クランク部５０ｃの第２開口部１２ｂに対向する面とを連通する。
可動弁板部５０と弁箱内面１０Ｂとが衝突した際に、可動弁板部５０と弁箱内面１０Ｂとカウンタークッション５１とによって密閉空間が形成される。気抜き穴５３は、この密閉空間から気体を除去する。

【0319】

弁板付勢部（保持バネ）８０は、可動弁板部５０の付勢部穴５８に内蔵される。
弁板付勢部８０は、流路Ｈ方向視して可動弁枠部６０と可動弁板部５０とが重なる領域、つまり、可動弁枠部６０の内枠板６０ｄと可動弁板部５０の内周クランク部５０ｃとに配置される。

【0320】

弁板付勢部（保持バネ）８０は、可動弁板部５０の周方向に互いに離間した等間隔として複数設けられる。弁板付勢部８０を設ける箇所は、３箇所以上が好ましい。複数の弁板付勢部８０は、２個を一組（セット）として配置される。一組の弁板付勢部８０は、それぞれ可動弁板部５０の中心Ｏを通る直径の両端となる位置に配置される。

【0321】

複数の弁板付勢部８０は、組（セット）ごとに、可動弁板部５０の周方向に互いに離間して設けられる。
具体的な複数の弁板付勢部８０の配置としては、図１４に示すように、弁板５０ｄの中心Ｏから見て、４個の弁板付勢部８０が同じ角度位置（９０°）に配された構成を示すことができる。

【0322】

弁板付勢部８０は、可動弁板部５０の動きを流路Ｈ方向に誘導（規制）する。弁板付勢部８０は、可動弁枠部６０と可動弁板部５０との流路Ｈ方向となる厚み寸法を変更可能である。弁板付勢部８０は、可動弁枠部６０の動く往復方向Ｂ１，Ｂ２へ可動弁板部５０を連動させる。

【0323】

図１５は、本実施形態における仕切りバルブの弁箱付勢部、弁枠付勢部および弁板付勢部を示す流路に沿った拡大断面図である。
弁板付勢部８０は、可動弁枠部６０の内枠板６０ｄと、可動弁板部５０の内周クランク部５０ｃとを接続する。

【0324】

弁板付勢部８０は、板ガイドピン８１と、コイルバネ８２と、受圧部８３と、蓋部５８ｆと、規制筒８５と、を有する。
板ガイドピン８１は、太さ寸法が略均一の棒状体で構成されている。板ガイドピン８１は、ボルト状とされる。板ガイドピン８１は、弁板付勢部８０内を貫通する。板ガイドピン８１は、流路Ｈ方向に立設される。板ガイドピン８１の基部８１ｂは、可動弁枠部６０の内枠板６０ｄに固設される。板ガイドピン８１の基部８１ｂは、内枠板６０ｄを貫通する。板ガイドピン８１の長軸部は、内枠板６０ｄから付勢部穴５８に向けて立設される。

【0325】

板ガイドピン８１は、内周クランク部５０ｃの付勢部穴５８と同軸に配置される。板ガイドピン８１の先端８１ａは、付勢部穴５８の内部に位置する。板ガイドピン８１の先端８１ａには、板ガイドピン８１の長軸部よりも径寸法を拡径した受圧部８３が設けられる。
受圧部８３は、付勢部穴５８の底部５８ｃと当接可能であるか、底部５８ｃと当接しない程度の位置に配置される。受圧部８３は、板ガイドピン８１の先端８１ａにフランジ状に周設される。受圧部８３は、板ガイドピン８１から径方向外側に向いて突出する。

【0326】

板ガイドピン８１の長軸部には、径方向外側に規制筒８５が摺動可能に位置する。
規制筒８５は、板ガイドピン８１の長軸部と同軸の筒状とされる。規制筒８５は、板ガイドピン８１の摺動位置および摺動方向を規制する。規制筒８５は、一方の端部が、付勢部穴５８を塞ぐ蓋部５８ｆに接続される。規制筒８５の軸方向寸法は、板ガイドピン８１の軸方向寸法よりも小さい。規制筒８５の径方向内側には、板ガイドピン８１と接触するブシュ８５ａが配置される。

【0327】

蓋部５８ｆは、付勢部穴５８の開口を塞ぐように配置される。蓋部５８ｆは、付勢部穴５８の開口位置に固定される。蓋部５８ｆには貫通孔として孔部５８ｇが設けられる。
孔部５８ｇは、規制筒８５と同軸かつ同径とされる。孔部５８ｇおよび規制筒８５には、板ガイドピン８１が嵌合している。

【0328】

蓋部５８ｆの内枠板６０ｄに近接する位置には、さらに、固定蓋５８ｆ１が蓋部５８ｆと接触するように設けられる。固定蓋５８ｆ１は、付勢部穴５８の開口に対する蓋部５８ｆの固定を補強する。固定蓋５８ｆ１には、孔部５８ｇよりも大きな貫通孔が同心状に設けられる。

【0329】

コイルバネ（保持バネ）８２は、例えばらせん状のスプリングなどの弾性部材とされる。コイルバネ（保持バネ）８２は、付勢部穴５８の軸線と平行な付勢軸を有する配置とされている。コイルバネ（保持バネ）８２は、可動弁板部５０の付勢部穴５８に内蔵される。コイルバネ（保持バネ）８２は、二重螺旋とされて、径寸法の異なる内コイルバネ８２ａと、外コイルバネ８２ｂとを有する。

【0330】

内コイルバネ８２ａと、外コイルバネ８２ｂとは、いずれも板ガイドピン８１と同軸に配置される。
コイルバネ（保持バネ）８２は、二重に設けて付勢力を強化したが、一重とすることもできる。

【0331】

コイルバネ（保持バネ）８２は、一端が蓋部５８ｆに当接し、他端が受圧部８３に当接している。コイルバネ（保持バネ）８２は、これら蓋部５８ｆと受圧部８３とを押圧するように付勢されている。

【0332】

蓋部５８ｆおよび固定蓋５８ｆ１には、付勢部穴５８の内部で底部５８ｃ付近と、蓋部５８ｆよりも内枠板６０ｄに近接する位置となる空間と、を連通する気抜き穴８５ｂが設けられる。
板ガイドピン８１の基部８１ｂおよび内枠板６０ｄには、蓋部５８ｆよりも内枠板６０ｄに近接する位置となる空間と、内枠板６０ｄよりも弁箱内面１０Ａに近接する中空部１１と、を連通する気抜き穴８５ｃが設けられる。

【0333】

規制筒８５のブシュ８５ａよりも蓋部５８ｆに近接する位置には、Ｏリング等のシール部材８５ｄが周設されてもよい。

【0334】

板ガイドピン８１と規制筒８５とが、互いに軸方向に摺動することにより、板ガイドピン８１と規制筒８５との軸方向角度が変化せずに、板ガイドピン８１と規制筒８５との流路Ｈ方向の位置が変化する。これにより、板ガイドピン８１の基部８１ｂの固定された内枠板６０ｄと、規制筒８５の一端が固定された蓋部５８ｆとが、流路Ｈ方向に互いに移動する。これにより、可動弁枠部６０と可動弁板部５０との位置規制を誘導する。

【0335】

コイルバネ（保持バネ）８２は、互いに離間する方向に蓋部５８ｆと受圧部８３とを押圧する。
受圧部８３、板ガイドピン８１の先端８１ａ、板ガイドピン８１の基部８１ｂ、内枠板６０ｄは、互いに固定されているため、互いの位置関係が変化しない。このため、コイルバネ（保持バネ）８２は、蓋部５８ｆと内枠板６０ｄとが流路Ｈ方向に近接する向きに、蓋部５８ｆと受圧部８３とを常時付勢する。

【0336】

ここで、内枠板６０ｄと蓋部５８ｆとが離間するように流路Ｈ方向に移動した場合には、蓋部５８ｆと受圧部８３との距離が減少する。これにより、コイルバネ（保持バネ）８２が収縮する。この場合でも、受圧部８３、板ガイドピン８１の先端８１ａ、板ガイドピン８１の基部８１ｂ、内枠板６０ｄは、互いに固定されているため、位置関係が変化しない。

【0337】

このため、収縮したコイルバネ（保持バネ）８２は、蓋部５８ｆと内枠板６０ｄとが流路Ｈ方向に近接する向きに、蓋部５８ｆと受圧部８３とをさらに付勢する。これにより、蓋部５８ｆと板ガイドピン８１の拡径した受圧部８３とが離間する方向に、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが互いに移動することになる。

【0338】

弁板付勢部８０においては、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが互いに摺動する際に、孔部５８ｇを貫通した板ガイドピン８１が、規制筒８５（ブシュ８５ａ）によって軸方向の向きを規制された状態で、蓋部５８ｆおよび規制筒８５に対して板ガイドピン８１の軸方向に移動する。すると、コイルバネ（保持バネ）８２が板ガイドピン８１の軸方向に収縮する。収縮したコイルバネ（保持バネ）８２によって、付勢部穴５８を塞ぐ蓋部５８ｆが、可動弁枠部６０の内枠板６０ｄに対して近接する方向に付勢される。

【0339】

これにより、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とは、流路Ｈ方向の厚み寸法が縮小する方向に、弁板付勢部８０の付勢力を受けることになる。

【0340】

弁板付勢部８０により、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが互いに摺動する際に、摺動方向が、往復方向Ｂ１，Ｂ２からずれないように規制できる。
また、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが摺動した際にも、可動弁板部５０および可動弁枠部６０の姿勢が変化せずに平行移動を行うことができる。

【0341】

弁板付勢部８０（保持バネ）と弁枠付勢部（補助バネ）９０とは、互いに逆方向となる流路Ｈ方向に付勢可能な付勢力を有するように設けられる。

【0342】

弁枠付勢部（補助バネ）９０は、中立弁部３０の円フランジ部３０ｃと、流路Ｈ方向視して円フランジ部３０ｃと重なる可動弁枠部６０の位置規制部となる外枠板６０ｅと、の間に配置される。弁枠付勢部（補助バネ）９０は、中立弁部３０に対して、可動弁枠部６０を流路Ｈ方向における中央位置に向けて付勢する。

【0343】

弁枠付勢部（補助バネ）９０は、外枠板６０ｅの付勢部穴６８に内蔵される。弁枠付勢部（補助バネ）９０は、流路Ｈ方向視して中立弁部３０と可動弁枠部６０とが重なる領域、つまり、中立弁部３０の円フランジ部３０ｃと可動弁枠部６０の外枠板６０ｅとに配置される。

【0344】

複数の弁枠付勢部（補助バネ）９０は、円フランジ部３０ｃの周方向に互いに離間した等間隔として複数設けられる。弁枠付勢部（補助バネ）９０を設ける箇所は、弁板付勢部８０に対応して３箇所以上が好い。複数の弁枠付勢部（補助バネ）９０は、２個を一組（セット）として配置される。一組の弁枠付勢部（補助バネ）９０は、それぞれ可動弁枠部６０の中心Ｏを通る直径の両端となる位置に配置される。

【0345】

複数の弁枠付勢部（補助バネ）９０は、組（セット）ごとに、可動弁枠部６０の周方向に互いに離間して設けられる。具体的な複数の弁枠付勢部（補助バネ）９０の配置としては、図１４には、可動弁枠部６０の中心Ｏから見て、４個の弁枠付勢部（補助バネ）９０が同じ角度位置（９０°）に配された構成を示すことができる。

【0346】

弁板５０ｄの中心Ｏから見て、円フランジ部３０ｃの周方向における弁枠付勢部（補助バネ）９０の角度位置は、可動弁板部５０の周方向における弁板付勢部（保持バネ）８０の角度位置と重なるように構成される。弁枠付勢部（補助バネ）９０と弁板付勢部（保持バネ）８０とは、弁板５０ｄの中心Ｏを通る同一の直線上に配置される。弁枠付勢部（補助バネ）９０は、中心Ｏを通る直線上で、弁板付勢部（保持バネ）８０よりも弁板５０ｄの中心Ｏから離間した位置に配置される。

【0347】

弁枠付勢部（補助バネ）９０は、中立弁部３０と可動弁枠部６０との動きを流路Ｈ方向に誘導（規制）する。弁枠付勢部（補助バネ）９０は、中立弁部３０と可動弁枠部６０との流路Ｈ方向となる厚み寸法を変更可能である。弁枠付勢部（補助バネ）９０は、円フランジ部３０ｃに対して往復方向Ｂ１，Ｂ２へ可動弁枠部６０を往復動させる。

【0348】

弁枠付勢部（補助バネ）９０は、中立弁部３０の円フランジ部３０ｃと可動弁枠部６０の外枠板６０ｅとを接続する。付勢部穴６８は、可動弁枠部６０の外枠板６０ｅに設けられる。付勢部穴６８は、流路Ｈ方向に軸線を有する円筒状に形成される。付勢部穴６８は、可動弁枠部６０の外枠板６０ｅを貫通するように設けられる。

【0349】

付勢部穴６８において、外枠板６０ｅにおける第２開口部１２ｂに対向する面の開口は、後述するように受圧部９３によって閉塞される。付勢部穴６８において、流路Ｈ方向において、第１開口部１２ａに近接する位置の開口は閉塞されない。つまり、付勢部穴６８は、可動弁板部５０の付勢部穴５８と同じ向きに開口する。付勢部穴６８は、外枠板６０ｅでの可動弁枠部６０の径方向において、径方向内側寄りとなる外周クランク部６０ｃに近接した位置に設けられる。

【0350】

弁枠付勢部（補助バネ）９０は、枠ガイドピン９１と、枠コイルバネ９２と、規制筒９５と、を有する。
枠ガイドピン９１は、太さ寸法が略均一の棒状体で構成されている。枠ガイドピン９１は、弁枠付勢部（補助バネ）９０内を貫通する。枠ガイドピン９１は、流路Ｈ方向に立設される。枠ガイドピン９１は、可動弁枠部６０の外枠板６０ｅに固設される。枠ガイドピン９１は、外枠板６０ｅの付勢部穴６８と同軸に配置される。枠ガイドピン９１の基部９１ｂには、枠ガイドピン９１の長軸部よりも径寸法を拡径した受圧部９３が設けられる。

【0351】

受圧部９３は、付勢部穴６８における流路Ｈ方向での第２開口部１２ｂに対向する位置に固定される。受圧部９３は、付勢部穴６８における流路Ｈ方向での第２開口部１２ｂに向かう開口を閉塞している。受圧部９３は、付勢部穴６８の底部を形成している。つまり、枠ガイドピン９１の基部９１ｂは、受圧部９３として付勢部穴６８の底部を形成している。受圧部９３は、付勢部穴６８の開口に螺合可能としてもよい。この場合、枠ガイドピン９１はボルト状とされることができる。

【0352】

受圧部９３は、可動弁枠部６０において、後述する弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０に対向する面に露出している。枠ガイドピン９１の基部９１ｂは、可動弁枠部６０の外枠板６０ｅに固定される。

【0353】

枠ガイドピン９１の長軸部は、外枠板６０ｅの付勢部穴６８から円フランジ部３０ｃに向けて立設される。円フランジ部３０ｃには第１開口部１２ａに対向する面に凹部３０ｃｍが設けられる。
凹部３０ｃｍの中央位置には、流路Ｈ方向に円フランジ部３０ｃを貫通する貫通孔３０ｇが設けられる。
貫通孔３０ｇには、枠ガイドピン９１の先端９１ａに近接する位置が摺動可能として貫通している。

【0354】

したがって、枠ガイドピン９１の先端９１ａは、円フランジ部３０ｃを貫通する。枠ガイドピン９１の先端９１ａは、円フランジ部３０ｃに設けられた凹部３０ｃｍに位置することが可能である。枠ガイドピン９１の先端９１ａは、流路Ｈ方向において、弁枠シールパッキン６１よりも弁箱内面１０Ａに近接しないように軸方向長さが設定される。
枠ガイドピン９１の先端９１ａの周囲に中立スペーサ９４が設けられる。

【0355】

中立スペーサ９４は、Ｃリング９４ａによって、枠ガイドピン９１の先端９１ａ位置に取り付けられている。中立スペーサ９４は、Ｃリング９４ａは、凹部３０ｃｍの内部に位置することが可能である。

【0356】

枠ガイドピン９１の軸方向中央に位置する長軸部には、枠ガイドピン９１に対して摺動可能な規制筒９５が径方向外側に位置する。
規制筒９５は、枠ガイドピン９１の長軸部と同軸の筒状とされる。規制筒９５は、枠ガイドピン９１の摺動位置および摺動方向を規制する。規制筒９５の軸方向寸法は、枠ガイドピン９１の軸方向寸法よりも小さい。規制筒９５の径方向内側には、枠ガイドピン９１と接触するブシュ９５ａが配置される。

【0357】

規制筒９５における一方の端部には、フランジ部９５ｆが周設される。
フランジ部９５ｆは、円フランジ部３０ｃにおける凹部３０ｃｍの裏面となる位置に固定接続される。規制筒９５は、フランジ部９５ｆによって、円フランジ部３０ｃにおける外枠板６０ｅに対向する面に固定される。

【0358】

フランジ部９５ｆおよび規制筒９５には、流路Ｈ方向に延在する貫通孔９５ｇを有する。貫通孔９５ｇは、フランジ部９５ｆおよび規制筒９５において連通している。貫通孔９５ｇは、貫通孔３０ｇと同軸位置とされる。貫通孔９５ｇには、貫通孔３０ｇと同様に枠ガイドピン９１の先端９１ａに近接する位置が摺動可能として貫通している。

【0359】

枠コイルバネ９２は、補助バネとして弁枠付勢部９０を構成する。枠コイルバネ９２は、付勢部穴６８の内部に収納されている。枠コイルバネ９２は、枠ガイドピン９１の周囲となる位置に、同軸状態に配置される。
枠コイルバネ９２は、例えばスプリングなどの弾性部材とされて、付勢部穴６８の軸線と平行な付勢軸を有する配置とされている。

【0360】

枠コイルバネ９２の一端は、枠ガイドピン９１における基部９１ｂの周囲である受圧部９３に当接している。枠コイルバネ９２の他端は、貫通孔９５ｇの周囲となるフランジ部９５ｆに当接している。枠コイルバネ９２は、枠ガイドピン９１の基部９１ｂの周囲と、貫通孔９５ｇの周囲のフランジ部９５ｆとを、流路Ｈ方向にそれぞれ逆向きに付勢する。枠コイルバネ９２は、たとえば、二重のコイルバネからなる構成として、付勢力を強化することもできる。

【0361】

弁枠付勢部（補助バネ）９０においては、可動弁枠部６０が中立弁部３０に対して移動する際に、円フランジ部３０ｃに固定された規制筒９５の貫通孔９５ｇの軸方向に、枠ガイドピン９１が軸方向に移動する。この際、枠ガイドピン９１は、ブシュ９５ａに対して摺動する。すると、枠ガイドピン９１の先端９１ａは、凹部３０ｃｍから弁箱内面１０Ａに向けて突出する。

【0362】

これにより、規制筒９５のフランジ部９５ｆと、付勢部穴６８の底部である受圧部９３とが、流路Ｈ方向に近接する。この際、枠コイルバネ９２が収縮する。収縮した枠コイルバネ９２の付勢力によって、受圧部９３とフランジ部９５ｆとが、互いに離間する方向に押圧される。

【0363】

つまり、付勢部穴６８の底部の受圧部９３と円フランジ部３０ｃの裏面のフランジ部９５ｆとが、流路Ｈ方向に互いに離間するように位置移動する。これにより、可動弁枠部６０が中立弁部３０に対して位置移動することになる。

【0364】

このように、弁枠付勢部（補助バネ）９０によって、中立弁部３０と可動弁枠部６０との流路Ｈ方向における厚み寸法を変更可能となる。弁枠付勢部（補助バネ）９０は、流路Ｈ方向には位置移動しない中立弁部３０に対して、可動弁枠部６０を往復方向Ｂ１，Ｂ２へ位置移動させる。

【0365】

このとき、弁枠付勢部（補助バネ）９０では、規制筒９５が枠ガイドピンの軸方向が傾かない。弁枠付勢部（補助バネ）９０により、可動弁枠部６０が中立弁部３０に対して流路Ｈ方向に位置移動する際に、可動弁枠部６０の移動方向が、往復方向Ｂ１，Ｂ２からずれないように規制する。したがって、可動弁枠部６０が中立弁部３０に対する姿勢が変化せずに平行移動する。

【0366】

同時に、可動弁枠部６０が中立弁部３０に対して流路Ｈ方向以外に移動しないように規制することができる。具体的には、円形部３０ａに嵌合されている可動弁枠部６０が、周方向に移動してしまうことを防止できる。これにより、弁体５の振り子動作において、中立弁部３０に対する可動弁枠部６０の保持状態を安定させて、仕切りバルブ１００の動作安定性を向上することができる。

【0367】

さらに、可動弁枠部６０が中立弁部３０に対して流路Ｈ方向に位置移動した際にも、枠ガイドピン９１と板ガイドピン８１とが平行なことにより、弁板付勢部８０により可動弁板部５０が追従して往復方向Ｂ１，Ｂ２へ位置移動する。なお、弁板５０ｄに流路Ｈ方向の差圧が印加されている場合には、この限りではない。

【0368】

ここで、流路Ｈ方向における可動弁枠部６０の位置移動に関して、弁板付勢部（保持バネ）８０および弁枠付勢部（補助バネ）９０により、中立弁部３０と可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが互いに摺動する際に、これらの摺動方向が、往復方向Ｂ１，Ｂ２からずれないように規制できる。また、中立弁部３０と可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが摺動した際にも、中立弁部３０と可動弁板部５０と可動弁枠部６０との互いの姿勢が変化せずに、相対的に平行移動を行うことができる。

【0369】

弁箱１０には、複数の弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０が内蔵されている。
弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、可動弁枠部６０をシール面に向く方向に押圧する昇降機構を構成している。弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、可動弁枠部６０を流路Ｈ方向において第１開口部１２ａに近接する方向に付勢可能な位置、つまり、第２開口部１２ｂの周囲となる位置に配置される。
弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、第１〜第２実施形態における弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０とされる。

【0370】

本実施形態における弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０において、伸縮ロッド（可動部）７２は、流路Ｈ方向に沿って固定部７１から第１開口部１２ａに近接する方向に伸長自在とされる。
弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０には、油圧駆動時に、作動流体である油が、真空側となる中空部１１に漏れないように、多段のシール手段が設けられる。
伸縮ロッド（可動部）７２の周囲には、例えば、可動弁枠部６０に近接する位置にリング状のシール部材（Ｏリング）７７ｆが設けられる。伸縮ロッド（可動部）７２は、固定部７１と真空側となる中空部１１とにおける境界をシールした状態で伸縮自在とされる。

【0371】

弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、可動弁枠部６０を第１開口部１２ａに向けて移動させる機能を有する。弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、可動弁枠部６０を弁箱内面１０Ａに当接させ、可動弁枠部６０を弁箱内面１０Ａに押圧して、流路Ｈを閉鎖する（閉弁動作）。

【0372】

弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、可動弁枠部６０の姿勢を変化させずに押圧可能な位置として弁箱１０に配される。具体的には、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、伸縮ロッド（可動部）７２の軸線が、弁枠付勢部（補助バネ）９０の枠ガイドピン９１の軸線と一致するように配置される。

【0373】

伸縮ロッド（可動部）７２の先端部７２ａが、弁枠付勢部（補助バネ）９０を押圧する場所は、枠ガイドピン９１の基部９１ｂとなるように配置される。つまり、伸縮ロッド（可動部）７２の先端部７２ａが、弁枠付勢部（補助バネ）９０を押圧する場所は、枠ガイドピン９１の受圧部９３となるように配置される。

【0374】

複数の弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、第２開口部１２ｂの輪郭の周囲に沿って互いに離間して設けられる。複数の弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、第２開口部１２ｂの輪郭の周方向に互いに離間した等間隔として複数設けられる。

【0375】

弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０を設ける箇所は、弁枠付勢部（補助バネ）９０に対応して３箇所以上が好い。複数の弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、２個を一組（セット）として配置される。一組の弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、それぞれ第２開口部１２ｂの中心Ｏを通る直径（直線）における両端の径方向外側となる位置に配置される。一組の弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、弁枠付勢部（補助バネ）９０と同様に、それぞれ可動弁枠部６０の中心Ｏを通る直径の両端となる位置に配置される。

【0376】

複数の弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、組（セット）ごとに、第２開口部１２ｂの輪郭の周方向に互いに離間して設けられる。具体的な複数の弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０の配置としては、図１４には、第２開口部１２ｂの中心Ｏから見て、４個の弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０が同じ角度位置（９０°）に配された構成を示すことができる。

【0377】

第２開口部１２ｂの中心Ｏから見て、円フランジ部３０ｃの周方向における弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０の角度位置は、可動弁板部５０の周方向における弁板付勢部（保持バネ）８０および弁枠付勢部（補助バネ）９０の角度位置と重なるように構成される。

【0378】

弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０と弁枠付勢部（補助バネ）９０と弁板付勢部（保持バネ）８０とは、弁板５０ｄの中心Ｏを通る同一の直線上に配置される。弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、弁枠付勢部（補助バネ）９０と同様に、中心Ｏを通る直線上で、弁板付勢部（保持バネ）８０よりも弁板５０ｄの中心Ｏから離間した位置に配置される。

【0379】

弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）における流路連通状態（図１３，図１５）から閉弁状態（図１６〜図１９）とする場合に、油圧によって伸縮ロッド（可動部）７２を伸張させる。

【0380】

このとき、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、先端部７２ａの当接した可動弁枠部６０を付勢する。これにより、可動弁枠部６０が流路Ｈ方向に第１開口部１２ａに向けて移動する。弁枠シールパッキン６１が第１開口部１２ａの周囲の弁箱内面１０Ａに密着する。

【0381】

複数の弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０においては、伸縮ロッド（可動部）７２の伸長動作がいずれもほぼ同時に動作可能とされる。

【0382】

ここで、伸縮ロッド（可動部）７２の先端部７２ａは、伸縮ロッド（可動部）７２の軸線を延長した位置にある受圧部９３に当接する。受圧部９３は、付勢部穴６８の底部位置に固定されているため、伸縮ロッド（可動部）７２の押圧力は、受圧部９３および外枠板６０ｅを介して、外周クランク部６０ｃに伝達される。

【0383】

この際、可動弁枠部６０の中立弁部３０に対する位置規制は、枠ガイドピン９１と規制筒９５とによっておこなわれる。この枠ガイドピン９１の軸線と伸縮ロッド（可動部）７２との軸線が一致していることにより、可動弁枠部６０は、中立弁部３０に対する流路Ｈ方向への移動において、移動方向に対して、この移動方向への押圧力が一致する位置・方向に作用する。

【0384】

以下、本実施形態に係る仕切りバルブ１００の動作を詳細に説明する。

【0385】

まず、本実施形態に係る仕切りバルブ１００において、弁体５が、図１１に破線で示すように、流路Ｈが設けられていない中空部１１とされる退避位置にある状態を考える。このとき、可動弁部４０は、弁箱内面１０Ａおよび弁箱内面１０Ｂのいずれにも接していない。

【0386】

この状態で、回転軸駆動部２００によって回転軸２０を符号Ｒ０１で示された方向（流路Ｈの方向に交差する方向）に回転させる。すると、中立弁部３０および可動弁部４０が方向Ｒ０１に沿って振り子運動で回転移動する。この回転によって、弁体５は、退避位置から、図１１に実線で示すように、第１開口部１２ａに対向する位置とされる弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）に移動する。

【0387】

弁体５が弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）にある状態において、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０が、流路Ｈ方向における第１開口部１２ａに近接する方向に、伸縮ロッド（可動部）７２を伸長する。伸縮ロッド（可動部）７２は、可動弁枠部６０に当接して、可動弁枠部６０を押圧する。可動弁枠部６０は、第１開口部１２ａに近接する方向に移動する。
弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０によって、可動弁枠部６０が弁箱内面１０Ａに当接する。このとき、弁枠シールパッキン６１が第１開口部１２ａの周囲に位置する弁箱内面１０Ａに密着する。これにより、図１６〜図１９に示すように、流路Ｈが閉鎖される（閉弁動作）。

【0388】

逆に、流路Ｈが閉鎖された状態において、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、伸縮ロッド（可動部）７２を縮退させる。これにより、伸縮ロッド（可動部）７２から可動弁枠部６０への付勢力が減少する。すると、弁枠付勢部９０の付勢力によって、弁箱１０の内面から可動弁枠部６０が引き離される。可動弁枠部６０と弁箱内面１０Ａとは、密閉状態が解除される。

【0389】

これにより、図１２〜図１５に示すように、流路Ｈを開放する（解除動作）。
可動弁部４０における閉弁動作および解除動作は、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０による機械的な当接動作と、弁枠付勢部９０による機械的な分離動作と、によっておこなわれる。

【0390】

解除動作の後に、回転軸駆動部２００によって回転軸２０を符号Ｒ０２で示された向きに回転させる。すると、可動弁部４０が、弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）から退避位置に移動する（退避動作）。
この解除動作と退避動作とにより、可動弁部４０を弁開状態とする弁開動作が行われる。
一連の動作（閉弁動作、解除動作、退避動作）において、弁板付勢部８０は、可動弁枠部６０と可動弁板部５０とを連動させる。

【0391】

［弁体が退避動作可能位置（ＦＲＥＥ）の状態］
図１２〜図１４には、弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）におる可動弁部４０（可動弁枠部６０、可動弁板部５０）が、弁箱１０の何れの弁箱内面１０Ａ、１０Ｂとも接していない状態を示す。この状態を、弁体がＦＲＥＥな状態と称する。

【0392】

弁体がＦＲＥＥな状態において、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０の伸縮ロッド（可動部）７２は、縮退した状態にある。このとき、伸縮ロッド（可動部）７２は、弁箱内面１０Ｂから突出せず、弁箱内面１０Ａよりも固定部７１に近接した位置に埋没した状態にある。つまり、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、弁体５と接していない。また、枠ガイドピン９１は、凹部３０ｃｍから突出していない。

【0393】

図１６は、本実施形態における仕切りバルブの周縁部を示す流路に沿った拡大断面図である。図１７は、本実施形態における仕切りバルブの弁箱付勢部、弁枠付勢部および弁板付勢部を示す流路に沿った拡大断面図である。
次に、弁体がＦＲＥＥな状態から、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０を駆動する。すると、伸縮ロッド（可動部）７２の先端部７２ａが、図１６，図１７に矢印Ｆ１で示すように、可動弁枠部６０の下面６０ｓｂに当接する。このとき、伸縮ロッド（可動部）７２の先端部７２ａは、受圧部９３に当接する。

【0394】

これにより、可動弁枠部６０は、弁箱内面１０Ａに向けて移動する。さらに可動弁枠部６０が移動して、弁枠シールパッキン６１が弁箱内面１０Ａに接した状態が、閉弁位置の状態（閉弁状態）である。また、枠ガイドピン９１は、凹部３０ｃｍから突出する。

【0395】

このとき、可動弁板部５０は、弁板付勢部（保持バネ）８０によって、可動弁枠部６０と同じ方向へ移動する。同時に、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とは、摺動シールパッキン５２を介して摺動シール状態を維持する。
弁体がＦＲＥＥな状態において、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０が可動弁枠部６０を弁箱１０の弁箱内面１０Ａに接触させて流路Ｈを閉鎖する（閉弁動作）。

【0396】

［弁体が弁閉位置（正圧ｏｒ差圧無）の状態］
図１６，図１７には、上記の閉弁動作により流路Ｈが閉鎖された状態を表す。
この状態を、正圧／差圧無の弁閉状態と称する。正圧／差圧無の弁閉状態とは、弁体５が弁箱１０の一方の内面と接した状態であり、他方の内面とは接していない状態である。つまり、正圧／差圧無の弁閉状態では、弁体５の可動弁枠部６０が第１開口部１２ａの周囲の弁箱内面１０Ａと接する。同時に、弁体５が第２開口部１２ｂの周囲に位置する弁箱内面１０Ｂとは接していない。

【0397】

正圧／差圧無の弁閉状態では、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０において、伸縮ロッド（可動部）７２が可動弁枠部６０に向く方向へ伸延した状態を維持する。つまり、先端部７２ａを可動弁枠部６０の下面６０ｓｂに当接させた状態を維持する。また、弁枠シールパッキン６１が弁箱１０の第１開口部１２ａの周囲の弁箱内面１０Ａと接した状態を維持する。また、枠ガイドピン９１は、凹部３０ｃｍから突出した状態を維持する。

【0398】

［弁体が逆圧位置の弁閉状態］
図１８は、本実施形態における仕切りバルブの周縁部を示す流路に沿った拡大断面図である。図１９は、本実施形態における仕切りバルブの弁箱付勢部、弁枠付勢部および弁板付勢部を示す流路に沿った拡大断面図である。
図１８，図１９には、逆圧状態で流路Ｈが閉鎖された状態を表す。
この状態を、逆圧の弁閉状態と称する。逆圧の弁閉状態とは、弁体５が、流路Ｈ方向における両方の弁箱内面１０Ａ，１０Ｂと接した状態である。つまり、逆圧の弁閉状態では、弁体５の可動弁枠部６０が第１開口部１２ａの周囲の弁箱内面１０Ａと接した状態を保ちながら、弁体５の可動弁板部５０が第２開口部１２ｂの周囲に位置する弁箱内面１０Ｂにも接した状態である。ここで、逆圧とは、閉弁状態から開弁状態の方向へ弁体に対して圧力が加わることである。

【0399】

伸縮ロッド（可動部）７２が伸長した状態で、弁体５が逆圧を受けた場合、弁板付勢部８０により、可動弁板部５０は可動弁枠部６０に対して往復方向Ｂ２（図１８，図１９）に摺動しながら移動する。可動弁枠部６０と可動弁板部５０の間は、摺動シールパッキン５２を介してシール状態が維持される。
これにより、可動弁板部５０は、第２開口部１２ｂの周囲の弁箱内面１０Ｂに衝突する。このとき、カウンタークッション５１が、可動弁板部５０における衝突による衝撃を緩和する。弁体５の受けた力を弁箱１０の弁箱内面１０Ｂ（裏側のボディ）で受けさせる機構が、逆圧キャンセル機構である。

【0400】

さらに、逆圧の弁閉状態から正圧／差圧無とする。この状態において、弁枠付勢部９０の枠コイルバネ９２の付勢力により、可動弁枠部６０を弁箱１０の内面から引き離し、可動弁枠部６０を退避させることによって、流路Ｈを開放する（解除動作）。

【0401】

本実施形態の仕切りバルブ１００においては、中立弁部３０と可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが互いに摺動する際に、相互の位置規制をそれぞれ正確におこなうことが可能となる。つまり、中立弁部３０と可動弁枠部６０とにおける位置規制を正確におこなうことが可能となる。同時に、可動弁枠部６０と可動弁板部５０とにおける位置規制を正確におこなうことが可能となる。
特に、中立弁部３０と可動弁板部５０と可動弁枠部６０との摺動方向を、いずれも往復方向Ｂ１，Ｂ２からずれないように規制できる。

【0402】

また、中立弁部３０と可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが摺動した際にも、中立弁部３０と可動弁板部５０と可動弁枠部６０との互いの姿勢が変化せずに、相対的に平行移動を行うことができる。

【0403】

さらに、弁体５が振り子動作する際にも、中立弁部３０と可動弁板部５０と可動弁枠部６０との互いの姿勢が変化せずに、互いに一体的な位置関係を維持したまま振り子動作を行うことができる。

【0404】

本実施形態の仕切りバルブ１００においては、伸縮ロッド（可動部）７２が可動弁枠部６０を押圧した際に、可動弁枠部６０の中立弁部３０に対する位置規制は、枠ガイドピン９１と規制筒９５とによっておこなわれる。
弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０と弁板付勢部（保持バネ）８０と弁枠付勢部（補助バネ）９０とが上記の構成とされたことにより、可動弁枠部６０は、中立弁部３０に対する流路Ｈ方向への移動において、移動方向に対して、この移動方向への押圧力が一致する位置・方向に作用する。

【0405】

したがって、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０による可動弁枠部６０の中立弁部３０に対する移動において、可動弁枠部６０の中立弁部３０に対する姿勢を非常に安定させることができる。

【0406】

同時に、伸縮ロッド（可動部）７２に押圧された可動弁枠部６０が中立弁部３０に対して流路Ｈ方向へ移動する際、この可動弁枠部６０の移動方向と、伸縮ロッド（可動部）７２からの押圧力の作用方向とが一致する。また、可動弁枠部６０の移動方向に対して、伸縮ロッド（可動部）７２からの押圧力が同一直線上となる位置で可動弁枠部６０に作用する。
これにより、可動弁枠部６０にモーメントが発生してしまうことを抑制できる。したがって、可動弁枠部６０における変形発生を抑制することができる。
これらにより、可動弁枠部６０におけるシール性を向上して、可動弁枠部６０の動作確実性を向上することが可能となる。

【0407】

本実施形態においては、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０と弁板付勢部（保持バネ）８０と弁枠付勢部（補助バネ）９０とが二組で４個ずつ設けられた構成としたが、これ以外の構成としてもよい。具体的には、三組で６個ずつ、あるいは、四組で８個ずつなど、仕切りバルブ１００の口径にあわせて、他の設置組数とすることも可能である。
また、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０および弁枠付勢部（補助バネ）９０と、弁板付勢部（保持バネ）８０とが、それぞれ異なる組数として配置されることもできる。この場合でも、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０および弁枠付勢部（補助バネ）９０は同じ組数とすることが好ましい。

【0408】

本実施形態においては、上記の各実施形態と同様の効果を奏することができる。

【0409】

以下、本発明に係る仕切りバルブの第４実施形態を、図面に基づいて説明する。
本実施形態において上述した第１から第３実施形態と異なるのは仕切りバルブの解除制御部および切替弁（スプール弁）に関する点であり、これ以外の対応する構成要素に関しては、同一の符号を付してその説明を省略する。

【0410】

図２０は、本実施形態における仕切りバルブを示す流路に沿った模式断面図であり、弁体が弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）に配置されている場合を示す図である。
図２１は、 本実施形態における仕切りバルブの要部を示す平面図であり、スプール弁と弁体の回転軸との位置関係を示す図である。
図２２は、本実施形態における仕切りバルブにおける油圧駆動部を示す模式説明図である。
図２３は、本実施形態における仕切りバルブにおけるノーマルクローズ動作を示すフローチャートである。

【0411】

本実施形態の仕切りバルブ１００においては、ブレーキ動作解除部２２５ｆと無励磁作動ブレーキ７０５ｂとが、解除制御部１０１に接続される。
解除制御部１０１は、流路Ｈ内の情報に基づいて、ブレーキ動作解除部２２５ｆと無励磁作動ブレーキ７０５ｂとに解除指示信号を出力可能である。解除制御部１０１には、流路Ｈ内の情報を取得するセンサが接続されてもよい。

【0412】

解除制御部１０１には、無停電電源装置（ＵＰＳ；Uninterruptible Power Supply）１０２が接続される。解除制御部１０１は、電断時にも、無停電電源装置１０２から電力を供給されて動作可能である。

【0413】

本実施形態の仕切りバルブ１００においては、解除制御部１０１が、流路Ｈ内における状況を確認して、解除指示信号を出力する。
解除制御部１０１が出力した解除指示信号に基づいて、ブレーキ動作解除部７０５ｆが無励磁作動ブレーキ７０５ｂの規制を解除する。その後、解除制御部１０１が出力した解除指示信号に基づいて、ブレーキ動作解除部２２５ｆが、無励磁作動ブレーキ２２１の動作を解除する。これらの動作を順におこなう。

【0414】

このとき、ブレーキ動作解除部７０５ｆによる油圧モータ７０５ｍの動作規制解除により、切替弁（スプール弁）８００を動作可能とすることができる。
切替弁（スプール弁）８００は、弁体５の閉塞回転動作の終端で、衝撃を緩和する油圧ダンパとして構成される。
切替弁（スプール弁）８００は、油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００の油圧管７０２に設けられて、油圧供給を切り替え可能である。

【0415】

本実施形態の仕切りバルブ１００において、回転軸２０には、弁体５の回転にしたがって回動するキッカー２５が一体に設けられる。キッカー２５は、弁箱１０の外部位置、つまり、大気雰囲気となる位置に配置される。キッカー２５は、後述するように、切替弁（スプール弁）８００に閉位置検出動作を切替可能とする。キッカー２５は、衝突動作する衝突物とみなせる。

【0416】

切替弁（スプール弁）８００は、油圧管７０２に設けられて回転軸２０の回転が弁閉塞位置および弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）となっていることを検出して油圧供給を切り替え可能である。

【0417】

図２３は、本実施形態における仕切りバルブにおけるノーマルクローズ動作を示すフローチャートである。

【0418】

ここで仕切りバルブ１００における弁体５が、弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）から退避位置（弁開放位置）までの間であった場合、これらを、バルブ流通状態とする。
本実施形態の仕切りバルブ１００における電断時の動作として、まず、図２３に示すステップＳ００として、バルブ流通状態であった場合を考える。

【0419】

本実施形態の仕切りバルブ１００における電断時の動作は、図２３に示すステップＳ０１として停電が発生する。このステップＳ０１では、電源２２７から回転駆動モータ２２０への給電が停止する。同時に、ステップＳ０１では、電源７０７から油圧モータ７０５ｍへの給電が停止する。
すると、図２３に示すステップＳ０２として、無励磁作動ブレーキ２２１および無励磁作動ブレーキ７０５ｂが作動する。

【0420】

これにより、無励磁作動ブレーキ２２１の作動によって、図２３に示すステップＳ０３ａとして、回転駆動モータ２２０の動作が規制される。
同時に、無励磁作動ブレーキ７０５ｂの作動によって、図２３に示すステップＳ０３ｂとして、油圧モータ７０５ｍの動作が規制される。
これにより、弁体５の状態を現状維持とする。つまり、弁体５を、弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）から退避位置（弁開放位置）までの間のいずれかの位置に維持する。

【0421】

これらステップＳ０３ａとステップＳ０３ｂとは、緊急動作であり、ステップＳ０２と同時になされる。

【0422】

次に、図２３に示すステップＳ２０として、流路Ｈ内における状況を確認する。ここで、流路Ｈ内における状況確認とは、緊急に停止した仕切りバルブ１００において、流路Ｈを閉鎖する（閉弁動作）に対する支障がないかどうかを確認する。

【0423】

具体的には、弁体５を退避位置（弁開放位置）から弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）に振り子運動で移動させる回転動作範囲に、弁体５の動作に対して障害となるものの有無を確認する。
あるいは、可動弁部（可動弁板部）５４を弁箱１０の内面に押圧して流路Ｈを閉鎖する（閉弁動作）をおこなった場合に、可動弁部（可動弁板部）５４と弁箱１０の内面との間に、可動弁部（可動弁板部）５４の動作に対する障害となるものの有無を確認する。

【0424】

さらに、流路Ｈを閉鎖した際に、弁体５の両側、つまり、流路Ｈにおける上流と下流とで発生する障害の有無を確認する。

【0425】

本実施形態においては、このステップＳ２０における流路Ｈ内の状況確認は、流路Ｈの内部に設けられたセンサ等の出力により、解除制御部１０１がおこなうことができる。
ステップＳ２１における閉弁動作に対する支障の有無により、次のステップＳ２１として、解除制御部１０１が解除指示信号の出力が可能か否かを判断する。

【0426】

次に、図２３に示すステップＳ２１として、解除制御部１０１が解除指示信号を出力する。
解除制御部１０１が出力した解除指示信号に基づいて、ブレーキ動作解除部７０５ｆが作動する。
すると、図２３に示すステップＳ２２として、ブレーキ動作解除部７０５ｆが無励磁作動ブレーキ７０５ｂの動作を解除する。
これにより、油圧モータ７０５ｍの回転が可能になる。

【0427】

すると、図２３に示すステップＳ２３として、油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００が作動する。
具体的には、ステップＳ２４として、油圧発生部７０１の油圧付勢部材７２０の付勢力によって、油圧発生部７０１から弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０に向かう油圧が発生する。これにより、油圧管７０２に設けられた切替弁（スプール弁）８００に作動油圧が到達（流入）する。

【0428】

すると、図２３に示すステップＳ２５として、後述するように、切替弁（スプール弁）８００が衝撃緩和機能を呈する状態となる。これにより、キッカー２５の衝突動作による衝撃を緩和する油圧ダンパとしての機能を呈する状態となる。

【0429】

次に、図２３に示すステップＳ２６として、解除制御部１０１が解除指示信号を出力する。解除制御部１０１が出力した解除指示信号に基づいて、ブレーキ動作解除部２２５ｆを作動させる。すると、図２３に示すステップＳ２７として、ブレーキ動作解除部２２５ｆが無励磁作動ブレーキ２２１の動作を解除する。
これにより、回転駆動モータ２２０の回転が可能になる。

【0430】

同時に、ブレーキ動作解除部２２５ｆの作動により、図２３に示すステップＳ２８として、電断付勢装置２３０が作動する。
これにより、電断付勢装置２３０が、通常の通電時に巻き締められたぜんまいバネを解放する。

【0431】

ぜんまいバネの付勢力により、電断付勢装置２３０が、電断時であっても、弁体５を弁閉塞位置に向けて回転軸２０を回転する。
回転軸２０の回転に付随して、キッカー２５が一体として回転する。

【0432】

すると、図２３に示すステップＳ２９として、キッカー２５が切替弁（スプール弁）８００に衝突する。この際、切替弁（スプール弁）８００の油圧ダンパとしての機能により、衝撃緩和がおこなわれる。
同時に、図２３に示すステップＳ３０として、弁体５が弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）に到達する。
すると、切替弁（スプール弁）８００の切替機能により、油圧供給が切り替えられる。
これにより、油圧発生部７０１の油圧付勢部材７２０の付勢力によって、油圧発生部７０１から弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０に向かって作動油が流れる。これにより、油圧モータ７０５ｍによる動作方向と逆向きに可動部（伸縮ロッド）７２が伸長される。

【0433】

すると、図２３に示すステップＳ３１として、可動部（伸縮ロッド）７２により、可動弁部（可動弁板部）５４が弁箱１０の内面に押圧されて、流路Ｈが閉鎖される（閉弁動作）。

【0434】

上記により、本実施形態の仕切りバルブ１００は、電源７０７，２２７からの給電喪失等の緊急時におけるスプリングバック動作を完了する。
ここで、ステップＳ２１と、ステップＳ２５と、ステップＳ２６と、ステップＳ２９とを、この順番でおこなう。これにより、切替弁（スプール弁）８００において油圧ダンパとしての衝撃緩和機能と、切替機能と、を呈することが可能となる。

【0435】

以下、本発明に係る仕切りバルブの第５実施形態を、図面に基づいて説明する。
本実施形態において上述した第４実施形態と異なるのは切替弁（スプール弁）に関する点であり、これ以外の対応する構成要素に関しては、同一の符号を付してその説明を省略する。

【0436】

図２４〜図２９は、本実施形態における仕切りバルブおよびスプール弁の動作を示す模式図である。

【0437】

図２４は、スプール弁のロッドが第２ポジションにある弁開状態を示す図である。図２５は、スプール弁のロッドが第３ポジションにある弁閉状態を示す図である。図２６は、スプール弁のロッドが第１ポジションにある衝突待機状態を示す図である。

【0438】

図２７は、スプール弁のロッドが第１ポジションよりも第２ポジションに近接するように移動開始したダンピング状態を示す図である。図２８は、スプール弁のロッドがさらに第２ポジションに近接するように移動したダンピング状態を示す図である。図２９は、スプール弁のロッドが第３ポジションに到達した瞬間を示す図である。

【0439】

切替弁（スプール弁）８００は、油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０と弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０との間で、油圧（非圧縮性流体）の流通を可能とするスプール流路８０１を有する。
切替弁（スプール弁）８００は、可動弁部（可動弁板部）５４が弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）と弁閉塞位置とである場合に、スプール流路８０１の開放・遮断を切り替え可能とされる。

【0440】

スプール流路８０１は、油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０に連通するメインシリンダポート７０２ａと、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０に連通する押しつけシリンダポート７０２ｂと、に接続されている。

【0441】

切替弁（スプール弁）８００は、ロッド（切替センサ）８０２を有する。
ロッド８０２の一端部は、キッカー２５に当接可能である。キッカー２５は、回転軸２０の回転にしたがって弁体５と一体に回動する。
ロッド８０２は、軸方向に往復移動可能とされる。
ロッド８０２の他端部に近接する位置には、ダンピング室８０３が形成されている。
ダンピング室８０３は、油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０と連通するメインシリンダポート７０２ａに接続されている。

【0442】

ロッド８０２には、一端部から他端部に向かう方向に付勢する付勢部材（スプールバネ）８０４を有する。
付勢部材（スプールバネ）８０４は、後述するように、ロッド８０２における一端部から他端部に向かう方向の移動距離（軸方向位置）に応じて、ロッド８０２に対する付勢を解除するように構成される。

【0443】

ロッド８０２は、当接あるいは衝突したキッカー２５により、ダンピング室８０３の容積が縮小する向きに移動可能である。
ロッド８０２は、付勢部材（スプールバネ）８０４の付勢力により、ダンピング室８０３の容積が縮小する向きに所定範囲で移動可能である。
ロッド８０２は、メインシリンダポート７０２ａからダンピング室８０３に供給された油圧により、ダンピング室８０３の容積が増大する向きに移動可能である。

【0444】

切替弁（スプール弁）８００には、ダンピング室８０３とメインシリンダポート７０２ａとを連通可能とするダンピング逆止弁８０５が設けられる。
ダンピング逆止弁８０５は、ダンピング室８０３からメインシリンダポート７０２ａに向けて遮断するとともに、メインシリンダポート７０２ａからダンピング室８０３に向けて連通可能とする。

【0445】

切替弁（スプール弁）８００には、逆止弁（スプール逆止弁）８０６が、スプール流路８０１と並列に設けられる。
逆止弁（スプール逆止弁）８０６は、メインシリンダポート７０２ａから押しつけシリンダポート７０２ｂに向かって遮断するとともに、押しつけシリンダポート７０２ｂからメインシリンダポート７０２ａに向かって連通可能とする。

【0446】

ダンピング室８０３には、メインシリンダポート７０２ａと連通可能とされるオリフィス部８０７が設けられる。オリフィス部８０７は、ダンピング逆止弁８０５と並列に設けられる。

【0447】

オリフィス部８０７は、ロッド８０２における一端部から他端部に向かう方向の移動距離（軸方向位置）に応じて、メインシリンダポート７０２ａとの連通状態が可変、つまり、流量可変とされている。
なお、オリフィス部８０７は、ロッド８０２の移動に対応してダンピング室８０３に露出する位置として、ロッド８０２の軸方向に複数箇所設けられることができる。

【0448】

切替弁（スプール弁）８００は、後述するように、ロッド８０２における一端部から他端部に向かう方向の移動距離（軸方向位置）に応じて、その一部分のみスプール流路８０１が開放可能とされる。

【0449】

切替弁（スプール弁）８００は、後述するように、ロッド８０２における一端部から他端部に向かう方向の移動距離（軸方向位置）に応じて、その一部分のみオリフィス部８０７がメインシリンダポート７０２ａと連通可能とされる。

【0450】

次に、本実施形態における切替弁（スプール弁）８００の動作についで説明する。

【0451】

本実施形態における切替弁（スプール弁）８００は、３つのポジションを有する３ポジション弁とされる。３つのポジションは、それぞれロッド８０２の軸方向における伸縮状態に対応している。
第１ポジションは、図２６に示すように、ロッド８０２が軸方向において、キッカー２５が当接あるいは衝突する端部である一端に向けて移動可能な最大距離だけ伸張した位置とされる。

【0452】

第３ジションは、図２５，図２９に示すように、ロッド８０２が軸方向において、他端に向けて移動可能な最大距離だけ縮退した位置とされる。
なお、図２５、図２９において、第３ポジションとして縮退したロッド８０２は図示されていない。
第２ポジションは、図２４に示すように、ロッド８０２が軸方向において、第１ポジションと第３ポジションとの間の位置とされる。第２ポジションは、ロッド８０２が軸方向において、第３ポジションに近接した位置とされる。

【0453】

次に、これらロッド８０２の各ポジションに対して、ロッド８０２がそれぞれの構成との間でおこなう動作・作用を説明する。

【0454】

スプール流路８０１は、ロッド８０２が第３ポジションに位置したときのみに開状態、つまり、メインシリンダポート７０２ａと押しつけシリンダポート７０２ｂとを連通状態とする。スプール流路８０１は、ロッド８０２が第３ポジションよりも第２ポジションに近接する向きに移動した場合には、閉状態、つまり、メインシリンダポート７０２ａと押しつけシリンダポート７０２ｂとを遮断状態とする。

【0455】

また、スプール流路８０１は、ロッド８０２が第２ポジションから第１ポジションまでのいずれかの位置にある場合には、閉状態、つまり、メインシリンダポート７０２ａと押しつけシリンダポート７０２ｂとを遮断状態とする。
スプール流路８０１は、ロッド８０２が第３ポジションと第１ポジションとの間で移動することで、開閉を切り替え可能になる。

【0456】

ダンピング室８０３は、ロッド８０２が第３ポジションに位置したときに、容積が最小となる。ダンピング室８０３は、ロッド８０２が第１ポジションに位置したときに、容積が最大となる。また、ダンピング室８０３の容積は、ロッド８０２が第３ポジションと第１ポジションとの間で位置する距離の変化に応じて、比例または対応して変化する。

【0457】

付勢部材（スプールバネ）８０４は、ロッド８０２が第１ポジションに位置したときに、付勢力が最大となる。付勢部材（スプールバネ）８０４は、ロッド８０２が第１ポジションと第２ポジションとの間で、ロッド８０２が縮退する方向に付勢する。

【0458】

付勢部材（スプールバネ）８０４は、ロッド８０２が第２ポジションに位置したときに、付勢力がロッド８０２に印加しないよう設定されている。付勢部材（スプールバネ）８０４は、ロッド８０２が第２ポジションと第３ポジションとの間で、付勢力がロッド８０２に印加しないよう設定されている。

【0459】

ダンピング逆止弁８０５は、ロッド８０２の各ポジションに関係なく、整流作用を奏する。
逆止弁（スプール逆止弁）８０６は、ロッド８０２の各ポジションに関係なく、整流作用を奏する。

【0460】

オリフィス部８０７は、ロッド８０２が第１ポジションと第２ポジションとの間に位置する際に、ダンピング室８０３から流出する油圧を緩和する。特に、オリフィス部８０７は、ロッド８０２が第１ポジションから第２ポジションへと移動する際に、ダンピング室８０３から流出する油圧の緩和程度が増大するように設定される。
また、オリフィス部８０７は、ロッド８０２が第２ポジションと第３ポジションとの間に位置する際には、ダンピング室８０３からオリフィス部８０７を介して流出する油圧が遮断される。

【0461】

キッカー２５は、ロッド８０２が第１ポジションと第２ポジションとの間に位置する際に、ロッド８０２の端部に当接あるいは衝突することができる。
キッカー２５は、ロッド８０２が第１ポジションから第２ポジションへと移動する際に、ロッド８０２の端部を押圧することができる。

【0462】

キッカー２５は、ロッド８０２が第２ポジションから第３ポジションへと移動する際に、ロッド８０２の端部を押圧することができる。ロッド８０２の第２ポジションから第３ポジションへの移動は、キッカー２５の押圧による。
キッカー２５は、ロッド８０２が第３ポジションから第２ポジションへと移動する際に、ロッド８０２の端部に接触することができる。ロッド８０２の第３ポジションから第２ポジションへの移動は、キッカー２５からの押圧が解除されて開始される。
なお、キッカー２５は、回転軸２０、弁体５、弁枠部６３と一体として回転動作するため、図２４〜図２９ではその図示を省略している。

【0463】

本実施形態における仕切りバルブ１００においては、シリンダ駆動部７３０の駆動部７０５の油圧モータ７０５ｍが通電（給電）されて、通常の弁開閉動作が制御可能な状態と、停電等によりシリンダ駆動部７３０の駆動部７０５の油圧モータ７０５ｍに対する無給電状態とで、それぞれ異なる動作をする。

【0464】

なお、いずれの給電状態・無給電状態でも、可動弁部（可動弁板部）５４が弁開口遮蔽位置および弁閉塞位置にある場合のみ、切替弁（スプール弁）８００は、スプール流路８０１が開放可能とされる。

【0465】

まず、通常の給電状態では、切替弁（スプール弁）８００は、第２ポジションと第３ポジションとの間で動作する。

【0466】

具体的には、駆動部７０５の油圧モータ７０５ｍが通電されて、かつ、弁開放状態における切替弁（スプール弁）８００は、ロッド８０２が第２ポジションに位置する。
つまり、可動弁部（可動弁板部）５４が退避位置（弁開放位置）にあって、流路Ｈが全開して流通可能とされる。
この状態では、図２４に示すように、ロッド８０２が第２ポジションに位置する。

【0467】

また、可動弁部（可動弁板部）５４が、退避位置（弁開放位置）から、弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）にまで閉回転動作する間は、流路Ｈが部分的に可動弁部（可動弁板部）５４によって覆われており、流路Ｈが一部流通可能である。
この状態では、ロッド８０２が第２ポジションに位置する。

【0468】

さらに、可動弁部（可動弁板部）５４が、弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）に到達した直後は、流路Ｈが可動弁部（可動弁板部）５４によって遮蔽されているが、密閉はされておらず、流路Ｈが可動弁部（可動弁板部）５４の周縁部付近で一部流通可能である。
この状態では、ロッド８０２が第２ポジションから第３ポジションに移動した直後である。

【0469】

また、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０の駆動により、可動弁部（可動弁板部）５４が流路Ｈ方向における位置を変更する密閉動作して、可動弁部（可動弁板部）５４が、弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）から、弁閉塞位置にまで摺動して、流路Ｈが閉塞される。
この状態では、図２５に示すように、ロッド８０２が第３ポジションに位置する。

【0470】

次に、可動弁部（可動弁板部）５４が流路Ｈ方向における位置を変更する開放動作して、可動弁部（可動弁板部）５４が、弁閉塞位置から、弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）にまで摺動する。この際には、流路Ｈが部分的に可動弁部（可動弁板部）５４で覆われており、流路Ｈが一部流通可能である。
この状態では、ロッド８０２が第３ポジションに位置する。

【0471】

さらに、可動弁部（可動弁板部）５４が、弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）から閉回転動作を開始した直後には、流路Ｈの密閉が解除され、流路Ｈが可動弁部（可動弁板部）５４の周縁部付近で一部流通可能になる。同時に、流路Ｈが可動弁部（可動弁板部）５４によって遮蔽されているが、密閉はされていない状態となる。
この状態では、ロッド８０２が第３ポジションから第２ポジションに移動する。

【0472】

さらに、可動弁部（可動弁板部）５４が、弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）から退避位置（弁開放位置）にまで開回転動作する間は、流路Ｈが部分的に可動弁部（可動弁板部）５４によって覆われており、流路Ｈが一部流通可能である。
この状態では、図２４に示すように、ロッド８０２が第２ポジションに位置する。

【0473】

次に、停電等、緊急事態の発生時など、無給電状態では、切替弁（スプール弁）８００は、第２ポジションから第１ポジション、および、第１ポジションから第３ポジション、さらに、第２ポジションと第３ポジションとの間で動作する。

【0474】

本実施形態における仕切りバルブ１００においては、ノーマルクローズが可能な構成とされている。
したがって、仕切りバルブ１００が弁閉塞状態で、かつ、駆動部７０５の油圧モータ７０５ｍへの通電があった状態から、停電等が発生して無給電状態となった場合には、切替弁（スプール弁）８００において、図２５に示すように、ロッド８０２は第３ポジションに位置する。このとき、ロッド８０２は第３ポジションから移動しない。

【0475】

これに対して、仕切りバルブ１００が弁開放状態であって、かつ、駆動部７０５の油圧モータ７０５ｍの通電があった状態から、停電等が発生して無給電状態となった場合には、安全性の観点から、ノーマルクローズが可能なように切替弁（スプール弁）８００が動作する。

【0476】

具体的には、まず、駆動部７０５の油圧モータ７０５ｍが通電されて、かつ、弁開放状態における切替弁（スプール弁）８００は、ロッド８０２が第２ポジションに位置している。
つまり、可動弁部（可動弁板部）５４が退避位置（弁開放位置）にあって、流路Ｈが全開して流通可能な状態では、ロッド８０２が第２ポジションに位置する。

【0477】

次に、例えば、停電が発生して、駆動部７０５の油圧モータ７０５ｍへの給電が消失した場合には、その瞬間には、弁開放状態と、切替弁（スプール弁）８００において、ロッド８０２が第２ポジションに位置している状態とを維持している。

【0478】

つまり、可動弁部（可動弁板部）５４が退避位置（弁開放位置）にあって、流路Ｈが全開して流通可能な状態では、図２４に示すように、ロッド８０２が第２ポジションに位置する。

【0479】

そして、停電が発生して、駆動部７０５の油圧モータ７０５ｍへの給電が消失した直後には、可動弁部（可動弁板部）５４が、弁開放状態である退避位置（弁開放位置）から弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）へと閉回転動作することになる。その際、閉回転動作終端において、弁体５に連動したキッカー２５が衝突する際に、油圧ダンパーとしての衝撃緩和機能を可能とするために、切替弁（スプール弁）８００のロッド８０２が第２ポジションから第１ポジションへと伸張する。

【0480】

つまり、図２６に示すように、可動弁部（可動弁板部）５４が退避位置（弁開放位置）から閉回転動作する前に、ロッド８０２が第１ポジションへと伸長しキッカー２５の衝突を待ち受ける待ち受け状態となる。
切替弁（スプール弁）８００では、ロッド８０２が第１ポジションとなると、衝撃緩和状態が開始する。

【0481】

衝撃緩和時には、退避位置（弁開放位置）から弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）へ閉回転動作する可動弁部（可動弁板部）５４は、閉回転動作終端において、キッカー２５が第１ポジションに位置するロッド８０２の一端に当接して、第１ポジションから第２ポジションへと移動する。

【0482】

つまり、図２７，図２８に示すように、可動弁部（可動弁板部）５４が退避位置（弁開放位置）から閉回転動作する間に、ロッド８０２が第１ポジションから第２ポジションへと移動する。この間、オリフィス部８０７が、ダンピング室８０３からメインシリンダポート７０２ａとの連通可能、かつ、流量可変とされている。

【0483】

なお、オリフィス部８０７における、ダンピング室８０３からメインシリンダポート７０２ａへの流量は、ロッド８０２が第１ポジションから第２ポジションへと移動するにしたがって、減少するように設定されている。

【0484】

切替弁（スプール弁）８００では、第１ポジションから移動してきたロッド８０２が第２ポジションに到達すると、衝撃緩和状態が終了する。
衝撃緩和の終了時には、可動弁部（可動弁板部）５４の閉回転動作終端において、キッカー２５が第２ポジションに到達したロッド８０２の一端を押圧して、ロッド８０２が第２ポジションから第３ポジションへと移動する。

【0485】

つまり、図２９に示すように、可動弁部（可動弁板部）５４が弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）へ到達した瞬間には、同時に、ロッド８０２が第３ポジションに到達する。
ロッド８０２が第３ポジションに到達した瞬間には、同時に、遮断されていたスプール流路８０１が開放される。

【0486】

したがって、可動弁部（可動弁板部）５４が弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）へ到達した後に、スプール流路８０１が開放される。スプール流路８０１が開放されると、メインシリンダポート７０２ａと押しつけシリンダポート７０２ｂとが連通する。

【0487】

これにより、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０と油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０とが連通する。すると、油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０から弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０に油圧（非圧縮性流体）が供給される。これにより、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０が動作して、可動弁部（可動弁板部）５４が弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）から弁閉塞位置へと移動し、弁閉動作が終了する。

【0488】

次に、本実施形態における切替弁（スプール弁）８００の衝撃緩和作用を含む動作についで説明する。

【0489】

まず、始状態として、駆動部７０５の油圧モータ７０５ｍが通電された弁開放状態について説明する。

【0490】

この状態では、図２４に示すように、可動弁部（可動弁板部）５４が退避位置（弁開放位置）にある。
切替弁（スプール弁）８００は、ロッド８０２が第２ポジションに位置する。スプール流路８０１が閉塞される。メインシリンダポート７０２ａと押しつけシリンダポート７０２ｂとは、遮断されている。

【0491】

付勢部材（スプールバネ）８０４は、ロッド８０２を付勢していない。
ダンピング室８０３の容積は縮小されており、ダンピング室８０３はオリフィス部８０７に連通していない。

【0492】

弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、付勢部材（押しつけバネ）７３によって可動部７２の先端部が縮退している。
油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０は、駆動部７０５の油圧モータ７０５ｍが油圧付勢部材（メインバネ）７２０の付勢力に抗して、シリンダ容積が増大されている。
弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０から油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０へは、逆止弁（スプール逆止弁）８０６によって連通可能とされる。

【0493】

したがって、付勢部材（押しつけバネ）７３によって付勢された弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０には、油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０よりも高く、逆止弁（スプール逆止弁）８０６によって規定された差圧が発生している。
ダンピング室８０３の内部は、ダンピング逆止弁８０５によって油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０と同圧状態とされている。

【0494】

次に、例えば、停電が発生して、駆動部７０５の油圧モータ７０５ｍへの給電が消失した場合について説明する。

【0495】

この状態では、当初、図２３に示すステップＳ００として可動弁部（可動弁板部）５４が退避位置（弁開放位置）にある。
図２３に示すステップＳ０１として停電が発生した後に、図２３に示すステップＳ０２〜ステップＳ２１として、回転駆動モータ２２０の動作が規制され、油圧モータ７０５ｍの動作が規制解除される。
次に、図２３に示すステップＳ２３として、油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０は、油圧付勢部材（メインバネ）７２０の付勢力により、シリンダ容積が縮小し始める。これにより、図２３に示すステップＳ２４として、油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０は、油圧付勢部材（メインバネ）７２０の付勢力により、圧力が上昇する。

【0496】

ダンピング室８０３の内部は、ダンピング逆止弁８０５によって油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０と同圧状態のため、ダンピング室８０３の圧力が上昇する。
ダンピング室８０３の圧力が上昇すると、ロッド８０２が押圧されて移動し、付勢部材（スプールバネ）８０４の付勢力に抗して、ダンピング室８０３の容積が拡大する。これにともなって、ロッド８０２が、図２４に示す第２ポジションから、図２６に示す第１ポジションへと伸長する。

【0497】

切替弁（スプール弁）８００は、ロッド８０２が第１ポジションに位置する。
これにより、図２３に示すステップＳ２５として、第１ポジションへと伸長したロッド８０２が、キッカー２５の衝突を待ち受ける待ち受け状態となる。
スプール流路８０１は、閉塞状態を維持する。メインシリンダポート７０２ａと押しつけシリンダポート７０２ｂとは、遮断されている。

【0498】

付勢部材（スプールバネ）８０４は、ロッド８０２を付勢している。
ダンピング室８０３の容積は拡大されており、ダンピング室８０３はオリフィス部８０７に連通している。

【0499】

圧力の上昇した油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０から弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０に向かっては、逆止弁（スプール逆止弁）８０６によって遮断されている。

【0500】

これにより、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０の圧力は、変動しない。
したがって、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、付勢部材（押しつけバネ）７３によって可動部７２の先端部が縮退した状態を維持する。

【0501】

この状態で、図２３に示すステップＳ２６〜ステップＳ２８として、回転駆動モータ２２０の動作が規制解除され、電断付勢装置２３０により回転軸２０を回転する。
これによって、可動弁部（可動弁板部）５４が、退避位置（弁開放位置）から弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）に向けて閉回転動作を開始する。

【0502】

この状態では、回転軸駆動部２００において回転軸２０の回転動作が制御されていない。このため、可動弁部（可動弁板部）５４の退避位置（弁開放位置）から弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）に向けて閉回転動作は、極めて急速におこなわれる。

【0503】

図２３に示すステップＳ２９として、この閉回転動作によって、キッカー２５が、図２７に示すように、第１ポジションに位置するロッド８０２の端部に当接あるいは衝突する。続けて、キッカー２５は、ロッド８０２の端部を押圧することで、ロッド８０２を第１ポジションから第２ポジションへと移動させる。

【0504】

この状態では、キッカー２５に衝突されたロッド８０２の動作により、ダンピング室８０３は、その容積が瞬間的に縮小しようとする。このとき、ダンピング室８０３は、瞬間的に高圧になる。ここで、ダンピング室８０３に連通しているオリフィス部８０７によって、ダンピング室８０３の上昇圧力が緩和される。

【0505】

このとき、オリフィス部８０７を介してダンピング室８０３から油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０に高圧が逃がされる。
油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０においては、油圧付勢部材（メインバネ）７２０の変形により、圧力変動が吸収される。

【0506】

瞬間的に高圧になったダンピング室８０３の上昇圧力は、ダンピング逆止弁８０５によって、メインシリンダポート７０２ａに向けて遮断されている。これにより、メインシリンダポート７０２ａ、および、メインシリンダポート７０２ａに連通している部分への高圧の衝撃が伝達されることを防止する。

【0507】

スプール流路８０１は、閉塞状態を維持する。メインシリンダポート７０２ａと押しつけシリンダポート７０２ｂとは、遮断されている。付勢部材（スプールバネ）８０４は、ロッド８０２を付勢している。
圧力の上昇した油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０から弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０に向かっては、逆止弁（スプール逆止弁）８０６によって遮断されている。

【0508】

これにより、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０の圧力は、変動しない。
したがって、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、付勢部材（押しつけバネ）７３によって可動部７２の先端部が縮退した状態を維持する。

【0509】

さらに、閉回転動作によって、可動弁部（可動弁板部）５４の退避位置（弁開放位置）から弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）に向けて回転動作を続け、可動弁部（可動弁板部）５４は弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）に近接する。

【0510】

この状態では、キッカー２５が、ロッド８０２の端部に当接した状態で押圧することで、ロッド８０２を第２ポジションへ向けて移動させ、図２８に示すように、ロッド８０２が第２ポジションに近接する。

【0511】

ここで、キッカー２５に押圧されたロッド８０２の動作により、ダンピング室８０３は、その容積が連続的に縮小しようとする。このとき、ダンピング室８０３は、次第に低くなるものの高圧状態を維持する。ここで、ダンピング室８０３に連通しているオリフィス部８０７によって、ダンピング室８０３の圧力は引き続き緩和される。

【0512】

このとき、オリフィス部８０７を介してダンピング室８０３から油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０に高圧が逃がされる。
油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０においては、油圧付勢部材（メインバネ）７２０の変形により、圧力変動が吸収される。

【0513】

高圧になったダンピング室８０３の圧力は、ダンピング逆止弁８０５によって、メインシリンダポート７０２ａに向けて遮断されている。これにより、メインシリンダポート７０２ａ、および、メインシリンダポート７０２ａに連通している部分への高圧が伝達されることを防止する。

【0514】

スプール流路８０１は、閉塞状態を維持する。メインシリンダポート７０２ａと押しつけシリンダポート７０２ｂとは、遮断されている。付勢部材（スプールバネ）８０４は、ロッド８０２を付勢している。

【0515】

圧力の上昇した油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０から弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０に向かっては、逆止弁（スプール逆止弁）８０６によって遮断されている。
これにより、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０の圧力は、変動しない。
したがって、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、付勢部材（押しつけバネ）７３によって可動部７２の先端部が縮退した状態を維持する。

【0516】

さらに、閉回転動作によって、キッカー２５が、ロッド８０２の端部に当接した状態で押圧することで、ロッド８０２が第２ポジションへと到達する。

【0517】

この状態で、ロッド８０２の移動によりオリフィス部８０７が閉塞されて、ダンピング室８０３は、油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０から遮断される。
これにより、圧力緩和が終了する。このとき、油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０における油圧付勢部材（メインバネ）７２０の変形により、圧力変動が吸収されて、ダンピング室８０３の圧力は、充分低下されている。

【0518】

スプール流路８０１は、閉塞状態を維持する。メインシリンダポート７０２ａと押しつけシリンダポート７０２ｂとは、遮断されている。付勢部材（スプールバネ）８０４は、ロッド８０２の付勢を解除する。

【0519】

油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０から弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０に向かっては、逆止弁（スプール逆止弁）８０６によって遮断されている。
これにより、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０の圧力は、変動しない。
したがって、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、付勢部材（押しつけバネ）７３によって可動部７２の先端部が縮退した状態を維持する。

【0520】

さらに、閉回転動作によって、図２９に示すように、可動弁部（可動弁板部）５４が弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）に到達する。

【0521】

この状態では、キッカー２５が、ロッド８０２の端部に当接した状態で押圧することで、ロッド８０２が第２ポジションを通過して第３ポジションへと到達する。
ここで、可動弁部（可動弁板部）５４が弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）に到達した瞬間と同時に、ロッド８０２が第３ポジションへと到達する。
ロッド８０２が第３ポジションへと到達すると、ロッド８０２の移動により、スプール流路８０１が、はじめて連通状態となる。

【0522】

メインシリンダポート７０２ａと押しつけシリンダポート７０２ｂとは、連通される。付勢部材（スプールバネ）８０４は、ロッド８０２を付勢していない。
油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０から弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０に向かっては、逆止弁（スプール逆止弁）８０６によって遮断されているが、スプール流路８０１によって連通される。

【0523】

これにより、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０の圧力が上昇する。
したがって、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、付勢部材（押しつけバネ）７３の付勢力に打ち勝って可動部７２の先端部が伸長した状態となる。

【0524】

このとき、可動部７２の先端部に押圧されて、可動弁部（可動弁板部）５４が流路Ｈ方向における位置を変更する密閉動作する。これにより、図２３に示すステップＳ３１として、可動弁部（可動弁板部）５４が、弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）から、弁閉塞位置にまで摺動して、流路Ｈが閉塞される。

【0525】

これにより、停電等の緊急時におけるノーマルクローズとしての弁閉塞動作を完了する。

【0526】

本実施形態においては、仕切りバルブ１００が、解除制御部１０１、ブレーキ動作解除部７０５ｆ、ブレーキ動作解除部２２５ｆ、無励磁作動ブレーキ７０５ｂ、無励磁作動ブレーキ２２１、切替弁（スプール弁）８００を有することで、非圧縮性流体供給切替と衝撃緩和とを同時に呈するノーマルクローズを実現することが可能となる。

【0527】

ロッド８０２が、キッカー２５のロッド８０２への押圧状態によって第２ポジションと第３ポジションとの間で移動可能とされる。
これにより、停電等の無給電状態、および、通常の給電制御可能状態のいずれであっても、キッカー２５に押圧されたロッド８０２が第３ポジションとならない限り、スプール流路８０１が連通状態となることがない。

【0528】

つまり、弁体５が弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）および弁閉塞位置以外にあるときには、ロッド８０２が第１ポジションから第２ポジションまでの間に位置する。この際には、スプール流路８０１が閉塞されており、可動弁部（可動弁板部）５４がクローズ動作することがない。

【0529】

したがって、キッカー２５に押圧されたロッド８０２が第３ポジションとならない限り、油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０から弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０へは、油圧（非圧縮性流体）が供給されない。
つまり、キッカー２５に押圧されたロッド８０２が第３ポジションとならない限り、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、可動弁部（可動弁板部）５４に対するクローズ動作をおこなわない。

【0530】

これにより、弁体５が弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）および弁閉塞位置以外にあるときに弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０が可動弁部（可動弁板部）５４を付勢することがない。

【0531】

仕切りバルブ１００が通常の給電状態であっても無給電状態であっても、弁体５が弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）および弁閉塞位置である場合のみに、切替弁（スプール弁）８００が油圧（非圧縮性流体）を弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０に供給可能とすることができる。

【0532】

これにより、停電等の無給電状態、および、通常の給電制御可能状態のいずれであっても、可動弁部（可動弁板部）５４に対するスプリングバックのノーマルクローズ動作を規制するインターロック機能を維持することが可能である。
これにより、仕切りバルブ１００が、不適切なクローズ動作によって、弁閉塞状態とならないことを防止できる。また、仕切りバルブ１００が、不適切なクローズ動作によって破損・不具合が発生することを防止できる。

【0533】

また、本実施形態における仕切りバルブ１００の切替弁（スプール弁）８００では、ロッド８０２が第１ポジションから第２ポジションまでの間に位置する際に、ロッド８０２の他端部に形成されたダンピング室８０３によって衝撃緩和可能である。
これにより、切替弁（スプール弁）８００における３ポジションを実現し、ロッド８０２の第１ポジションとして、弁体５の衝突に対応する待ち受け状態とする。
また、ロッド８０２の第１ポジションから第２ポジションの間としてダンピング機能を呈し、キッカー２５のロッド８０２への衝突による衝撃を緩和する。

【0534】

さらに、本実施形態において、弁体５が弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）にあるときには、ロッド８０２の第３ポジションとして、スプール流路８０１を連通させて、油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０から弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０への油圧（非圧縮性流体）の供給を可能とする。これにより、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０を駆動し、可動弁部（可動弁板部）５４を弁閉塞位置へと移動させる。
切替弁（スプール弁）８００においては、ロッド８０２のポジションで、これらの機能を切り替えることが可能となる。

【0535】

また、ダンピング逆止弁８０５によって、停電などの無給電状態となった際に、油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０に貯留された油圧（非圧縮性流体）をダンピング室８０３に供給可能とする。同時に、弁体５の衝突を待ち受ける待ち受け状態である第１ポジションまでロッド８０２が伸長した後に、キッカー２５がロッド８０２に衝突しても、ダンピング室８０３からメインシリンダポート７０２ａに向けては遮断される。

【0536】

このため、キッカー２５の衝突によってダンピング室８０３で生じる高圧状態が、メインシリンダポート７０２ａに伝達されることがない。これにより、第１ポジションで拡大したダンピング室８０３内に発生した高圧によって仕切りバルブ１００が破損することなくダンピング機能を呈することが可能となる。

【0537】

オリフィス部８０７によって、待ち受け状態である第１ポジションまでロッド８０２が伸長した後に、キッカー２５がロッド８０２に衝突した際に、ダンピング室８０３に貯留された油圧（非圧縮性流体）を、オリフィス部８０７を介して、流量が抑制された状態で油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０に移動する。このため、キッカー２５の衝突によるロッド８０２の縮退は、ゆっくりと緩和された状態でおこなわれる。

【0538】

したがって、キッカー２５とロッド８０２との衝突によって発生した高圧状態が穏やかに下降する。これにより、キッカー２５とロッド８０２との衝突によって発生した衝撃が吸収される。

【0539】

このとき、スプール流路８０１は閉塞されている。また、ダンピング室８０３から油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０へのダンピング逆止弁８０５は閉塞方向である。したがって、キッカー２５とロッド８０２との衝突によって発生した高圧状態が、油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０および弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０に直接伝達されることはない。

【0540】

さらに、第２ポジションまでロッド８０２が縮退すると、オリフィス部８０７がロッド８０２によって閉塞される。このため、ダンピング室８０３はダンピング能、つまり、衝撃緩和機能を維持しなくなる。したがって、ダンピング能は、第１ポジションから第２ポジションまでロッド８０２が移動する間に呈することとなる。

【0541】

弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０が油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０に比べて高圧状態となった場合には、逆止弁（スプール逆止弁）８０６により、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０から油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０に向けて連通可能である。
これは、スプール流路８０１の開閉状態にかかわらず、逆止弁（スプール逆止弁）８０６が並列の流路となることにより、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０と油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０とが連通可能となるためである。

【0542】

同時に、油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０が弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０に比べて高圧状態となった場合には、逆止弁（スプール逆止弁）８０６は弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０から油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０に向けて閉塞されている。つまり、逆止弁（スプール逆止弁）８０６は、スプール流路８０１の開閉状態に依存して連通可能である。

【0543】

このため、ロッド８０２のポジションによって設定されるスプール流路８０１の開閉状態に依存して、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０の圧力状態を制御できる。つまり、スプール流路８０１が開の場合のみ、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０に負圧（非圧縮性流体）を供給して、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０がクローズ動作をおこなう。

【0544】

以下、本発明に係る仕切りバルブ、スプール弁の第６実施形態を、図面に基づいて説明する。
図３０〜図３５は、本実施形態における切替弁（スプール弁）を示す断面図である。

【0545】

本実施形態において、上述した第５実施形態と異なるのは、スプール弁の具体的構造に関する点であり、これ以外の対応する構成には同一の符号を付してその説明を省略する。

【0546】

図３０は、図２４に対応し、スプール弁のロッドが第２ポジションにある弁開状態を示す図である。図３１は、図２５に対応し、スプール弁のロッドが第３ポジションにある弁閉状態を示す図である。図３２は、図２６に対応し、スプール弁のロッドが第１ポジションにある衝突待機状態を示す図である。

【0547】

図３３は、図２７に対応し、スプール弁のロッドが第１ポジションよりも第２ポジションに向けて移動開始したダンピング状態を示す図である。図３４は、図２８に対応し、スプール弁のロッドがさらに第２ポジションに近接して移動したダンピング状態を示す図である。図３５は、図２９に対応し、スプール弁のロッドが第３ポジションに到達した瞬間を示す図である。

【0548】

本実施形態における切替弁（スプール弁）８００は、図３０〜図３５に示すように、ロッド８０２と、インナースプール８１１と、アウタースプール８１２と、ケーシング８１０と、Ｃ環（ストッパ）８１４と、付勢部材（スプールバネ）８０４と、を有する。

【0549】

ロッド８０２は、軸方向に伸縮可能な棒状である。
インナースプール８１１は、ロッド８０２に沿って往復移動可能な円筒状である。
アウタースプール８１２は、ロッド８０２に沿って往復移動可能な円筒状である。
ケーシング８１０は、ロッド８０２とインナースプール８１１とアウタースプール８１２とを収納する。
Ｃ環（ストッパ）８１４は、インナースプール８１１とアウタースプール８１２とに接するようにロッド８０２に周設される。
付勢部材（スプールバネ）８０４は、インナースプール８１１をロッド８０２の軸方向に付勢する。

【0550】

ロッド８０２は、断面円形の棒状とされ、ケーシング８１０の中心に配置される。
ケーシング８１０は、略円筒状の円筒部８１０ａを有する。円筒部８１０ａにおける軸方向の両端は、いずれも蓋部８１０ｂ，８１０ｃによって閉塞されている。
ロッド８０２は、円筒部８１０ａと同軸状に配置される。

【0551】

ケーシング８１０において、円筒部８１０ａの一端に位置する蓋部８１０ｂには、その中心位置に、貫通孔８１６が設けられる。貫通孔８１６には、ロッド８０２の一端部の先端８０２ａが貫通している。ロッド８０２の先端８０２ａは、貫通孔８１６からケーシング８１０の外部に突出可能とされている。

【0552】

ケーシング８１０の外面となる蓋部８１０ｂは、貫通孔８１６の周縁部が円筒部８１０ａの軸線と略直交する平面８１０ｂ１とされている。円筒部８１０ａの一端も、平面８１０ｂ１と面一に形成される。
平面８１０ｂ１は、キッカー２５が当接した際に、回転軸２０の閉回転動作における閉回転動作終端位置を規制する終端位置規制部とされている。

【0553】

貫通孔８１６には、シール部材８１６ａ，８１６ｂが設けられ、ロッド８０２の一端部が摺動可能とされている。さらに、貫通孔８１６においてケーシング８１０の内部となる位置には、ストッパ８１６ｃが設けられ、ロッド８０２が貫通孔８１６から抜けないように規制している。
ストッパ８１６ｃの蓋部８１０ｃに対向する位置には、付勢部材（スプールバネ）８０４の一端部が接している。
付勢部材（スプールバネ）８０４は、ロッド８０２の蓋部８１０ｃに近接する位置となる外周を取り囲んで、螺旋状に周回するように配置される。

【0554】

ロッド８０２の他端部は、ダンピング室８０３における一端部に位置する。ロッド８０２の他端部には、フランジ部８０２ｂが周設される。フランジ部８０２ｂは、ロッド８０２の径方向外側向きに設けられる。フランジ部８０２ｂの径方向外側面は、全周で円筒部８１０ａの内周面に摺動可能に接触している。
円筒部８１０ａの他端における蓋部８１０ｃは、ケーシング８１０の他端を閉塞している。
円筒部８１０ａの内周面と蓋部８１０ｃとロッド８０２のフランジ部８０２ｂにおける端面８０２ｂ１とは、密閉されたダンピング室８０３を形成している。

【0555】

蓋部８１０ｃの中心には、ロッド８０２および円筒部８１０ａと同軸状のガイドロッド（軸方向規制部）８１０ｄが円筒部８１０ａの内部に突出している。
ガイドロッド（軸方向規制部）８１０ｄは、ロッド８０２の他端部に設けられた規制穴８０２ｄに挿入された状態とされる。軸方向規制部８１０ｄとロッド８０２の規制穴８０２ｄとは、互いに摺動可能である。
ガイドロッド（軸方向規制部）８１０ｄとロッド８０２の規制穴８０２ｄとの間には、シール部材８１０ｅが設けられる。ロッド８０２のフランジ部８０２ｂの径方向外側と円筒部８１０ａの内面との間には、シール部材８１０ｆが設けられる。

【0556】

ガイドロッド（軸方向規制部）８１０ｄの中心には、軸方向に貫通孔８１０ｄ１が形成される。
貫通孔８１０ｄ１は、ロッド８０２の規制穴８０２ｄの内部に位置するロッド内部空間８０３ｃを外部と連通している。ロッド８０２の規制穴８０２ｄのロッド内部空間８０３ｃは、貫通孔８１０ｄ１によって、外部と同じ大気圧雰囲気に維持される。

【0557】

ガイドロッド（軸方向規制部）８１０ｄの径寸法φ８１０と、ロッドの先端８０２ａにおける径寸法φ８０２ａと、は次のような条件を満たす関係にある。
・第２ポジションの状態を実現するために、付勢部材（スプールバネ）８０４の付勢力より弱い範囲で、ロッド８０２を右方向に付勢する。このための力を、ロッドの先端８０２ａの径寸法φ８０２ａとガイドロッド（軸方向規制部）８１０ｄの径寸法φ８１０とで規定される面積差による油圧の力によって担う。

【0558】

・第１ポジションの状態を実現するために、油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０からの圧力が導入された際には、付勢部材（スプールバネ）８０４の付勢力より強い力でロッド８０２を先端８０２ａに向かう方向に付勢する。このための力を、ロッドの先端８０２ａの径寸法φ８０２ａとガイドロッド（軸方向規制部）８１０ｄの径寸法φ８１０とで規定される面積差による油圧の力によって担う。

【0559】

なお、圧力容器であるケーシング８１０の内部に位置する各部品のそれぞれ面に作用する力は、次のように設定される。
すなわち、ケーシング８１０の外部へ露出している面積であるロッドの先端８０２ａの径寸法φ８０２ａとガイドロッド（軸方向規制部）８１０ｄの径寸法φ８１０とで規定される面積差分の力（面積差×内部圧力）が、ケーシング８１０の内部の可動アセンブリに作用するように設定される。

【0560】

ロッド８０２の外周には、Ｃ環（ストッパ）８１４が周設される。Ｃ環（ストッパ）８１４は、ロッド８０２の外周に固定される。Ｃ環（ストッパ）８１４は、ロッド８０２と一体とされて、ロッド８０２に対して移動しない。

【0561】

ロッド８０２の外周には、同軸状態とされるインナースプール８１１が配置される。
インナースプール８１１は略円筒状の円筒部８１１ａと、円筒部８１１ａの蓋部８１０ｃに近接する端部で径方向内側向きに突出するフランジ部８１１ｂと、円筒部８１１ａの蓋部８１０ｂに近接する端部で径方向外側向きに突出するフランジ部８１１ｃと、を有する。

【0562】

円筒部８１１ａは、ロッド８０２と同軸に配置される。円筒部８１１ａの内周面は、ロッド８０２の外周面と離間している。
円筒部８１１ａの内周面の径寸法は、ロッド８０２の外周面の径寸法よりも大きく設定される。

【0563】

円筒部８１１ａの内周面とロッド８０２の外周面との間には、付勢部材（スプールバネ）８０４が配置される。
円筒部８１１ａは、螺旋状の付勢部材（スプールバネ）８０４の外周位置に配置される。

【0564】

フランジ部８１１ｂの内周面は、ロッド８０２の外周面に接している。フランジ部８１１ｂの内周面は、ロッド８０２に対して軸方向に摺動可能とされる。
フランジ部８１１ｂの蓋部８１０ｂに対向する面８１１ｂ２には、付勢部材（スプールバネ）８０４の他端部が接している。

【0565】

フランジ部８１１ｂは、蓋部８１０ｂから蓋部８１０ｃに向かう方向に付勢部材（スプールバネ）８０４によって付勢可能とされる。
フランジ部８１１ｂの蓋部８１０ｃに対向する端面８１１ｂ１は、ロッド８０２に周設されたＣ環（ストッパ）８１４の蓋部８１０ｂに対向する位置と接触可能とされる。

【0566】

フランジ部８１１ｃの外周面は、全周でケーシング８１０の円筒部８１０ａの内周面に摺動可能に接触している。
ケーシング８１０の円筒部８１０ａは、蓋部８１０ｂに近接する位置に比べて蓋部８１０ｃに近接する位置の径寸法が小さくなるように段差面８１０ａ２が形成されている。
フランジ部８１１ｃの蓋部８１０ｃに対向する面８１１ｃ１は、段差面８１０ａ２に接触可能とされている。
フランジ部８１１ｃよりも蓋部８１０ｂに近接する位置には、蓋部８１０ｂ、および、ケーシング８１０の円筒部８１０ａで囲まれたケーシング空間８０３ｂが形成される。
ケーシング空間８０３ｂの内部には、付勢部材（スプールバネ）８０４が配置される。ケーシング空間８０３ｂは、メインシリンダポート７０２ａと連通する。

【0567】

ロッド８０２の外周には、同軸状態とされるアウタースプール８１２が配置される。
アウタースプール８１２は略円筒状の円筒部８１２ａと、円筒部８１１ａの蓋部８１０ｃに近接する端部で径方向内側向きに突出するフランジ部８１２ｂと、を有する。

【0568】

円筒部８１２ａは、ロッド８０２と同軸に配置される。円筒部８１２ａの内周面は、インナースプール８１１の円筒部８１１ａの外周面と接触している。
円筒部８１２ａの内周面は、インナースプール８１１の円筒部８１１ａの外周面と摺動可能とされる。

【0569】

フランジ部８１２ｂの内周面は、ロッド８０２の外周面に接している。フランジ部８１２ｂの内周面は、ロッド８０２に対して軸方向に摺動可能とされる。
フランジ部８１２ｂの蓋部８１０ｂに対向する面８１２ｂ２は、ロッド８０２に周設されたＣ環（ストッパ）８１４の蓋部８１０ｃに対向する位置と接触可能とされる。
フランジ部８１２ｂの蓋部８１０ｃに対向する面８１２ｂ１は、ロッド８０２のフランジ部８０２ｂの端面８０２ｂ１と接触可能とされる。

【0570】

アウタースプール８１２の円筒部８１２ａにおける蓋部８１０ｂに対向する端面８１２ａ２と、インナースプール８１１のフランジ部８１１ｃにおける蓋部８１０ｃに対向する面８１１ｃ１と、インナースプール８１１の円筒部８１１ａの外周面と、ケーシング８１０の円筒部８１０ａの内周面と、で囲まれる空間は、スプール流路８０１を形成している。

【0571】

あるいは、アウタースプール８１２の円筒部８１２ａにおける蓋部８１０ｂに対向する端面８１２ａ２と、インナースプール８１１のフランジ部８１１ｃにおける蓋部８１０ｃに対向する面８１１ｃ１と、インナースプール８１１の円筒部８１１ａの外周面と、ケーシング８１０の円筒部８１０ａの内周面と、段差面８１０ａ２と、で囲まれる空間は、スプール流路８０１を形成している。

【0572】

ケーシング８１０の円筒部８１０ａには、スプール流路８０１に連通可能な位置にメインシリンダポート７０２ａと連通するメインシリンダポート開口８０１ａが径方向に形成される。
メインシリンダポート開口８０１ａは、アウタースプール８１２の円筒部８１２ａの外周面によって閉塞可能とされている。

【0573】

ケーシング８１０の円筒部８１０ａには、スプール流路８０１に連通可能な位置に押しつけシリンダポート７０２ｂと連通する押しつけシリンダポート開口８０１ｂが径方向に形成される。
押しつけシリンダポート開口８０１ｂは、アウタースプール８１２の円筒部８１２ａの外周面によって閉塞可能とされている。

【0574】

メインシリンダポート開口８０１ａは、押しつけシリンダポート開口８０１ｂよりも、ロッド８０２の軸方向位置において蓋部８１０ｂに近接する位置にある。
つまり、押しつけシリンダポート開口８０１ｂは、メインシリンダポート開口８０１ａよりも、ロッド８０２の軸方向位置において蓋部８１０ｃに近接する位置にある。

【0575】

したがって、ロッド８０２の軸方向位置に対応して、押しつけシリンダポート開口８０１ｂのみが、アウタースプール８１２の円筒部８１２ａの外周面によって閉塞された状態が可能である。
また、ロッド８０２の軸方向位置に対応して、メインシリンダポート開口８０１ａと押しつけシリンダポート開口８０１ｂとが、アウタースプール８１２の円筒部８１２ａの外周面によって閉塞された状態が可能である。

【0576】

また、ロッド８０２の軸方向位置に対応して、メインシリンダポート開口８０１ａと押しつけシリンダポート開口８０１ｂとが連通している状態が可能である。
メインシリンダポート開口８０１ａと押しつけシリンダポート開口８０１ｂとの閉塞・連通状態は、ロッド８０２およびアウタースプール８１２の軸方向位置に対応している。

【0577】

ケーシング８１０の円筒部８１０ａには、ダンピング室８０３に連通する位置として径方向に形成された流路に、メインシリンダポート７０２ａに連通するダンピング逆止弁８０５が接続される。

【0578】

ケーシング８１０の円筒部８１０ａには、ダンピング室８０３に連通可能な位置に複数のオリフィス部８０７が径方向に形成される。
オリフィス部８０７は、ロッド８０２の軸方向における移動位置に応じて、ダンピング室８０３に連通する流路数が増減可能なように、円筒部８１０ａにおける開口位置が設定される。

【0579】

オリフィス部８０７としては、例えば、ロッド８０２の軸方向位置において蓋部８１０ｂから蓋部８１０ｃに向けて、順に、オリフィス開口部８０７ａ，オリフィス開口部８０７ｂ，オリフィス開口部８０７ｃが配置される。
オリフィス開口部８０７ａ，オリフィス開口部８０７ｂ，オリフィス開口部８０７ｃは、円筒部８１０ａの外周に近接する位置に配置されるオリフィス流路８０７ｄによって互いに連通される。

【0580】

ロッド８０２のフランジ部８０２ｂにおける端面８０２ｂ１には、その外周位置に円筒部８１０ａの内周面等と接するように、切欠部８０２ｂ３が設けられる。
切欠部８０２ｂ３は、ロッド８０２の軸方向位置に対応して、オリフィス開口部８０７ａ，オリフィス開口部８０７ｂ，オリフィス開口部８０７ｃと、ダンピング室８０３との連通状態を変化することができる。

【0581】

また、ケーシング８１０には、余分な油（非圧縮性流体）を油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０に送るように、メインシリンダポート７０２ａに連通する流路が設けられていてもよい。

【0582】

次に、本実施形態における切替弁（スプール弁）８００の動作についで説明する。

【0583】

本実施形態における切替弁（スプール弁）８００は、第５実施形態と同様に、３つのポジションを有する３ポジション弁とされる。３つのポジションは、それぞれロッド８０２の軸方向における伸縮状態に対応している。

【0584】

ロッド８０２は、ガイドロッド（軸方向規制部）８１０ｄに対して規制穴８０２ｄの内面が摺動する。このとき、ロッド８０２の規制穴８０２ｄのロッド内部空間８０３ｃは、貫通孔８１０ｄ１によって、外部と同じ大気圧雰囲気に維持される。
また、ロッド８０２のフランジ部８０２ｂの径方向外側面は、全周で円筒部８１０ａの内周面に対して摺動する。

【0585】

つまり、ロッド８０２のフランジ部８０２ｂの径方向の内側・外側の両面において位置規制されている。
同時に、ロッド８０２は、一端部の先端８０２ａが貫通孔８１６内で摺動する。
これらにより、ロッド８０２の両端位置において、位置規制がおこなわれる。

【0586】

これにより、ロッド８０２が軸方向に沿って移動可能なように移動方向が規制されている。
したがって、キッカー２５が、図３３〜図３５に示すように、ロッド８０２の先端８０２ａに対して当接、衝突、あるいは、押圧する際に、ロッド８０２の移動方向が軸方向意外にぶれることなく、安定して、軸方向に移動する。

【0587】

第１ポジションは、図２６に対応する図３２に示すように、ロッド８０２が軸方向において、キッカー２５が当接あるいは衝突する端部である一端に向けて移動可能な最大距離だけ伸張した位置とされる。

【0588】

第３ジションは、図２５，図２９に対応する図３１，図３５に示すように、ロッド８０２が軸方向において、他端に向けて移動可能な最大距離だけ縮退した位置とされる。
第２ポジションは、図２４に対応する図３０に示すように、ロッド８０２が軸方向において、第１ポジションと第３ポジションとの間の位置とされる。第２ポジションは、ロッド８０２が軸方向において、第３ポジションに近接した位置とされる。

【0589】

次に、本実施形態における切替弁（スプール弁）８００において、仕切りバルブ１００のシリンダ駆動部７３０のモータ等の駆動部７０５が通電（給電）されて、通常の弁開閉動作が制御可能な状態と、停電等によりシリンダ駆動部７３０のモータ等の駆動部７０５に対する無給電状態との動作を詳細に示す。

【0590】

なお、いずれの給電状態・無給電状態でも、可動弁部（可動弁板部）５４が弁開口遮蔽位置および弁閉塞位置にある場合のみ、切替弁（スプール弁）８００は、スプール流路８０１が開放可能とされる。

【0591】

まず、通常の給電状態では、切替弁（スプール弁）８００は、第２ポジションと第３ポジションとの間で動作する。

【0592】

具体的には、駆動部７０５の油圧モータ７０５ｍが通電されて、かつ、弁開放状態における切替弁（スプール弁）８００は、ロッド８０２が第２ポジションに位置する。
つまり、可動弁部（可動弁板部）５４が退避位置（弁開放位置）にあって、流路Ｈが全開して流通可能な状態では、図３０に示すように、ロッド８０２が第２ポジションに位置する。

【0593】

このとき、ロッド８０２の先端８０２ａは、図３０に示すように、貫通孔８１６からケーシング８１０の平面８１０ｂ１よりも外部に突出している。
同時に、オリフィス部８０７においては、オリフィス開口部８０７ｃのみが、切欠部８０２ｂ３によってダンピング室８０３と連通している。

【0594】

また、メインシリンダポート開口８０１ａはスプール流路８０１に連通している。押しつけシリンダポート開口８０１ｂのみが、アウタースプール８１２の円筒部８１２ａの外周面によって閉塞されている。
したがって、スプール流路８０１は閉塞されている。

【0595】

インナースプール８１１のフランジ部８１１ｃの面８１１ｃ１は、段差面８１０ａ２に接触している。
フランジ部８１１ｂは、蓋部８１０ｂから蓋部８１０ｃに向かう方向に付勢部材（スプールバネ）８０４によって付勢されている。
フランジ部８１１ｂの端面８１１ｂ１は、ロッド８０２に周設されたＣ環（ストッパ）８１４と接触している。

【0596】

アウタースプール８１２のフランジ部８１２ｂの面８１２ｂ２は、ロッド８０２に周設されたＣ環（ストッパ）８１４と接触している。
フランジ部８１２ｂの面８１２ｂ１は、ロッド８０２のフランジ部８０２ｂの端面８０２ｂ１と接触している。

【0597】

この状態では、ロッド８０２のフランジ部８０２ｂにおける端面８０２ｂ１にかかる圧力が、アウタースプール８１２の円筒部８１２ａの端面８１２ａ２にかかる圧力よりも大きいため、ロッド８０２には、蓋部８１０ｃから蓋部８１０ｂに向かう方向に圧力が作用している。

【0598】

したがって、Ｃ環（ストッパ）８１４がインナースプール８１１のフランジ部８１１ｂの端面８１１ｂ１と当接しているため、ロッド８０２の軸方向位置が規制される。同時に、アウタースプール８１２のフランジ部８１２ｂの面８１２ｂ２がＣ環（ストッパ）８１４に当接しているため、アウタースプール８１２の軸方向位置が規制される。

【0599】

さらに、ロッド８０２のフランジ部８０２ｂの端面８０２ｂ１がアウタースプール８１２のフランジ部８１２ｂの面８１２ｂ１に当接しているため、ロッド８０２の軸方向位置が規制される。

【0600】

これにより、図３０に示すように、スプール流路８０１が閉塞状態とされ、ダンピング室８０３ではオリフィス開口部８０７ｃのみが連通可能な第２ポジションとなる。

【0601】

さらに、通常の給電状態では、可動弁部（可動弁板部）５４が、弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）に到達した後の状態では、図３１に示すように、ロッド８０２が第２ポジションから第３ポジションに移動した直後である。

【0602】

また、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０の駆動により、可動弁部（可動弁板部）５４が流路Ｈ方向における位置を変更する密閉動作して、可動弁部（可動弁板部）５４が、弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）から、弁閉塞位置にまで摺動して、流路Ｈが閉塞される。この状態では、図３１に示すように、ロッド８０２が第３ポジションに位置する。

【0603】

このとき、ロッド８０２の先端８０２ａは、図３１に示すように、キッカー２５によって貫通孔８１６内に押し込まれ、ケーシング８１０の平面８１０ｂ１と面一な位置、あるいは、貫通孔８１６内部に引っ込んだ位置とされている。
同時に、オリフィス部８０７においては、ダンピング室８０３と連通している開口はない。

【0604】

また、メインシリンダポート開口８０１ａおよび押しつけシリンダポート開口８０１ｂが、ともにスプール流路８０１に連通している。アウタースプール８１２の円筒部８１２ａの外周面は、メインシリンダポート開口８０１ａおよび押しつけシリンダポート開口８０１ｂのいずれも閉塞していない。
したがって、スプール流路８０１は連通状態とされている。

【0605】

インナースプール８１１のフランジ部８１１ｃの面８１１ｃ１は、段差面８１０ａ２に接触している。
フランジ部８１１ｂは、蓋部８１０ｂから蓋部８１０ｃに向かう方向に付勢部材（スプールバネ）８０４によって付勢されている。
このとき、フランジ部８１１ｂの端面８１１ｂ１は、ロッド８０２に周設されたＣ環（ストッパ）８１４と接触しておらず、離間している。

【0606】

アウタースプール８１２のフランジ部８１２ｂの面８１２ｂ２は、ロッド８０２に周設されたＣ環（ストッパ）８１４と接触している。
フランジ部８１２ｂの面８１２ｂ１は、ロッド８０２のフランジ部８０２ｂの端面８０２ｂ１と接触している。

【0607】

この状態では、キッカー２５にロッド８０２の先端８０２ａが当接しているため、ロッド８０２は、キッカー２５によって蓋部８１０ｂから蓋部８１０ｃに向かう方向に押圧されている。
この方向へのロッド８０２への押圧は、アウタースプール８１２の円筒部８１２ａの端面８１２ａ２にかかる圧力と、ロッド８０２のフランジ部８０２ｂにおける端面８０２ｂ１にかかる圧力との大小にかかわりなく作用する。

【0608】

したがって、ロッド８０２の軸方向位置が規制される。同時に、アウタースプール８１２のフランジ部８１２ｂの面８１２ｂ２がＣ環（ストッパ）８１４に当接しているため、アウタースプール８１２の軸方向位置が規制される。

【0609】

さらに、インナースプール８１１のフランジ部８１１ｃの面８１１ｃ１は、段差面８１０ａ２に接触しているため、インナースプール８１１の軸方向位置が規制される。

【0610】

これにより、図３１に示すように、ダンピング室８０３のオリフィス部８０７が閉塞し、スプール流路８０１が連通可能な第３ポジションとなる。

【0611】

次に、可動弁部（可動弁板部）５４が流路Ｈ方向における位置を変更する開放動作して、可動弁部（可動弁板部）５４が、弁閉塞位置から、弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）にまで摺動する際は、ロッド８０２が第３ポジションから第２ポジションに移動する。

【0612】

このとき、ロッド８０２のフランジ部８０２ｂにおける端面８０２ｂ１にかかる圧力が、アウタースプール８１２の円筒部８１２ａの端面８１２ａ２にかかる圧力よりも大きいため、ロッド８０２には、蓋部８１０ｃから蓋部８１０ｂに向かう方向に圧力が作用している。

【0613】

同時に、ロッド８０２の先端８０２ａからキッカー２５の当接が解除されるため、ロッド８０２には、蓋部８１０ｃから蓋部８１０ｂに向かう方向に移動する。ロッド８０２は、ロッド８０２に周設されたＣ環（ストッパ）８１４が、インナースプール８１１のフランジ部８１１ｂの端面８１１ｂ１と接触する位置まで移動する。

【0614】

これにより、図３０に示すように、スプール流路８０１が閉塞状態とされ、ダンピング室８０３ではオリフィス開口部８０７ｃのみが連通可能な第２ポジションとなる。

【0615】

次に、例えば、停電が発生して、駆動部７０５の油圧モータ７０５ｍへの給電が消失した場合について説明する。

【0616】

次に、停電等、緊急事態の発生時など、無給電状態における切替弁（スプール弁）８００は、第２ポジションから第１ポジション、および、第１ポジションから第３ポジション、さらに、第２ポジションと第３ポジションとの間で動作する。

【0617】

これに対して、仕切りバルブ１００が弁開放状態であって、かつ、駆動部７０５の油圧モータ７０５ｍの通電があった状態から、停電等が発生して無給電状態となった場合、その瞬間には、切替弁（スプール弁）８００において、図３０に示すように、ロッド８０２が第２ポジションに位置している状態を維持している。

【0618】

この状態では、図２３に示すステップＳ００として、可動弁部（可動弁板部）５４が退避位置（弁開放位置）にある。
図２３に示すステップＳ０１として停電が発生した際に、図２３に示すステップＳ０２〜ステップＳ２１として、回転駆動モータ２２０の動作が規制され、油圧モータ７０５ｍの動作が規制解除される。
次に、図２３に示すステップＳ２３として、油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０は、油圧付勢部材（メインバネ）７２０の付勢力により、シリンダ容積が縮小し始める。これにより、図２３に示すステップＳ２４として、油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０は、油圧付勢部材（メインバネ）７２０の付勢力により、圧力が上昇する。

【0619】

ダンピング室８０３の内部は、ダンピング逆止弁８０５によって油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０と同圧状態のため、ダンピング室８０３の圧力が上昇する。
ダンピング室８０３の圧力が上昇すると、ロッド８０２が押圧されて移動し、付勢部材（スプールバネ）８０４の付勢力に抗して、ダンピング室８０３の容積が拡大する。これにともなって、ロッド８０２が、図３０に示す第２ポジションから、図３２に示す第１ポジションへと伸長する。

【0620】

このとき、ロッド８０２の先端８０２ａは、図３２に示すように、貫通孔８１６からケーシング８１０の平面８１０ｂ１よりも最大となる距離だけ外部に突出している。
同時に、オリフィス部８０７においては、オリフィス開口部８０７ｃ，オリフィス開口部８０７ｂ，オリフィス開口部８０７ａの全てが、ダンピング室８０３と連通している。

【0621】

また、メインシリンダポート開口８０１ａは、アウタースプール８１２の円筒部８１２ａの外周面によってスプール流路８０１に対して閉塞されている。同様に、押しつけシリンダポート開口８０１ｂは、アウタースプール８１２の円筒部８１２ａの外周面によってスプール流路８０１に対して閉塞されている。
したがって、スプール流路８０１は閉塞されている。

【0622】

この状態では、油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０では、油圧付勢部材（メインバネ）７２０の付勢力により圧力が上昇し、油圧（非圧縮性流体）がメインシリンダポート７０２ａに供給される。
ここで、スプール流路８０１は閉塞されているが、スプール流路８０１と並列に接続されているダンピング逆止弁８０５によってメインシリンダポート７０２ａからダンピング室８０３へと流通可能である。

【0623】

このため、油圧（非圧縮性流体）がダンピング室８０３に供給される。
これにより、圧力上昇したダンピング室８０３では、ロッド８０２のフランジ部８０２ｂにおける端面８０２ｂ１に、蓋部８１０ｃから蓋部８１０ｂに向けて油圧が作用している。

【0624】

インナースプール８１１のフランジ部８１１ｃの面８１１ｃ１は、段差面８１０ａ２よりも蓋部８１０ｂに近接する位置にある。つまり、フランジ部８１１ｃの面８１１ｃ１は、段差面８１０ａ２と離間する位置にある。
フランジ部８１１ｂは、蓋部８１０ｂから蓋部８１０ｃに向かう方向に付勢部材（スプールバネ）８０４によって付勢されている。
フランジ部８１１ｂの端面８１１ｂ１は、ロッド８０２に周設されたＣ環（ストッパ）８１４と接触している。

【0625】

アウタースプール８１２のフランジ部８１２ｂの面８１２ｂ２は、ロッド８０２に周設されたＣ環（ストッパ）８１４と接触している。
フランジ部８１２ｂの面８１２ｂ１は、ロッド８０２のフランジ部８０２ｂの面８０２ｂ２と接触している。

【0626】

また、ロッド８０２に周設されたＣ環（ストッパ）８１４が、インナースプール８１１のフランジ部８１１ｂの端面８１１ｂ１に接している。インナースプール８１１のフランジ部８１１ｂは、蓋部８１０ｂから蓋部８１０ｃに向かう方向に付勢部材（スプールバネ）８０４によって付勢されている。

【0627】

ここで、ロッド８０２には、フランジ部８０２ｂにおける端面８０２ｂ１に、蓋部８１０ｃから蓋部８１０ｂに向かう方向に油圧が作用している。また、ロッド８０２にはインナースプール８１１のフランジ部８１１ｂ、Ｃ環（ストッパ）８１４を介して、油圧と逆向きとなる蓋部８１０ｂから蓋部８１０ｃに向かう方向に付勢部材（スプールバネ）８０４の付勢力が作用している。

【0628】

付勢部材（スプールバネ）８０４の付勢力に比べて、端面８０２ｂ１に作用する油圧のほうが大きい。
これにより、蓋部８１０ｃから蓋部８１０ｂに向かう方向にロッド８０２が移動して伸張する。

【0629】

したがって、Ｃ環（ストッパ）８１４がインナースプール８１１のフランジ部８１１ｂの端面８１１ｂ１と当接しているため、ロッド８０２の軸方向位置が規制される。同時に、アウタースプール８１２のフランジ部８１２ｂの面８１２ｂ２がＣ環（ストッパ）８１４に当接しているため、アウタースプール８１２の軸方向位置が規制される。

【0630】

さらに、ロッド８０２のフランジ部８０２ｂの端面８０２ｂ１がアウタースプール８１２のフランジ部８１２ｂの面８１２ｂ１に当接しているため、ロッド８０２の軸方向位置が規制される。

【0631】

これにより、図３２に示すように、スプール流路８０１が閉塞状態とされ、ダンピング室８０３ではオリフィス部８０７が連通可能な第１ポジションとなる。
これにより、図２３に示すステップＳ２５として、第１ポジションへと伸長したロッド８０２が、キッカー２５の衝突を待ち受ける待ち受け状態となる。

【0632】

圧力の上昇した油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０から弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０に向かっては、逆止弁（スプール逆止弁）８０６によって遮断されている。

【0633】

これにより、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０の圧力は、変動しない。
したがって、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、付勢部材（押しつけバネ）７３によって可動部７２の先端部が縮退した状態を維持する。

【0634】

この状態で、図２３に示すステップＳ２６〜ステップＳ２８として、回転駆動モータ２２０の動作が規制解除され、電断付勢装置２３０により回転軸２０を回転する。
これによって、可動弁部（可動弁板部）５４が、退避位置（弁開放位置）から弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）に向けて閉回転動作を開始する。

【0635】

この状態では、回転軸駆動部２００においても回転軸２０の回転動作が制御されていない。このため、可動弁部（可動弁板部）５４の退避位置（弁開放位置）から弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）に向けて閉回転動作は、極めて急速におこなわれる。

【0636】

図２３に示すステップＳ２９として、閉回転動作によって、キッカー２５が、図３３に示すように、第１ポジションに位置するロッド８０２の先端８０２ａに当接あるいは衝突する。続けて、キッカー２５は、ロッド８０２の端部を押圧することで、ロッド８０２を第１ポジションから第２ポジションへ向けてと移動させる。

【0637】

このとき、ロッド８０２の先端８０２ａは、貫通孔８１６からケーシング８１０の平面８１０ｂ１よりも外部に向けて突出しているが、第１ポジションよりも第２ポジションに近接して位置することになる。
同時に、オリフィス部８０７においては、図３３に示すように、オリフィス開口部８０７ｃ，オリフィス開口部８０７ｂは、ダンピング室８０３と連通しているが、最も蓋部８１０ｂに近接して位置するオリフィス開口部８０７ａは、ロッド８０２のフランジ部８０２ｂの外周面によって閉塞される。

【0638】

また、メインシリンダポート開口８０１ａは、アウタースプール８１２の円筒部８１２ａの外周面によってスプール流路８０１に対して閉塞されている。同様に、押しつけシリンダポート開口８０１ｂは、アウタースプール８１２の円筒部８１２ａの外周面によってスプール流路８０１に対して閉塞されている。
したがって、スプール流路８０１は閉塞されている。

【0639】

インナースプール８１１のフランジ部８１１ｃの面８１１ｃ１は、段差面８１０ａ２よりも蓋部８１０ｂに近接して位置している。つまり、フランジ部８１１ｃの面８１１ｃ１は、段差面８１０ａ２と離間する位置にある。
フランジ部８１１ｂは、蓋部８１０ｂから蓋部８１０ｃに向かう方向に付勢部材（スプールバネ）８０４によって付勢されている。
フランジ部８１１ｂの端面８１１ｂ１は、ロッド８０２に周設されたＣ環（ストッパ）８１４と接触している。

【0640】

アウタースプール８１２のフランジ部８１２ｂの面８１２ｂ２は、ロッド８０２に周設されたＣ環（ストッパ）８１４と接触している。
フランジ部８１２ｂの面８１２ｂ１は、ロッド８０２のフランジ部８０２ｂの面８０２ｂ２と接触している。

【0641】

この状態では、キッカー２５に衝突されたロッド８０２の動作により、ダンピング室８０３は、その容積が瞬間的に縮小しようとする。
この状態では、ロッド８０２の先端８０２ａは、先端８０２ａに当接あるいは衝突したキッカー２５の衝撃力、あるいは、押圧力によって、蓋部８１０ｂから蓋部８１０ｃに向かう方向の力が作用している。

【0642】

キッカー２５の押圧力、または、衝撃力は、ロッド８０２のフランジ部８０２ｂにおける端面８０２ｂ１からダンピング室８０３に伝達される。
これにより、ダンピング室８０３は、瞬間的に高圧になる。ここで、ダンピング室８０３に連通しているオリフィス部８０７によって、ダンピング室８０３の上昇圧力が緩和される。

【0643】

これにより、ロッド８０２が第１ポジションに近い位置にあるときには、オリフィス開口部８０７ｃ，オリフィス開口部８０７ｂ，オリフィス開口部８０７ａの全てが、ダンピング室８０３と連通している。このため、ダンピング室８０３の圧力上昇を油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０に逃がすことができる。

【0644】

ロッド８０２が第２ポジションに近接する方向に移動するにしたがって、オリフィス開口部８０７ａは、ロッド８０２のフランジ部８０２ｂの外周面によって閉塞される。
このとき、切欠部８０２ｂ３によって、ダンピング室８０３から油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０へ逃げる油圧の流量を緩和することができる。

【0645】

さらに、ロッド８０２が第２ポジションに近接するように移動するにしたがって、次に、オリフィス開口部８０７ｂが、ロッド８０２のフランジ部８０２ｂの外周面によって閉塞される。
このときも、切欠部８０２ｂ３によって、ダンピング室８０３から油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０へ逃げる油圧の流量を緩和することができる。

【0646】

キッカー２５の押圧力、または、衝撃力によって、ロッド８０２は、フランジ部８０２ｂにおける端面８０２ｂ１から反力を受ける。この反力により、キッカー２５の衝撃力、あるいは、押圧力に抗して、ロッド８０２の移動を緩和することができる。つまり、キッカー２５の移動を緩和することができる。すなわち、可動弁部（可動弁板部）５４の閉回転動作を緩和することができる。

【0647】

このとき、油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０においては、油圧付勢部材（メインバネ）７２０の変形により、圧力変動が吸収される。

【0648】

瞬間的に高圧になったダンピング室８０３の上昇圧力は、ダンピング逆止弁８０５によって、メインシリンダポート７０２ａに向けて遮断されている。これにより、メインシリンダポート７０２ａ、および、メインシリンダポート７０２ａに連通している部分への高圧の衝撃が伝達されることを防止する。

【0649】

また、ロッド８０２に周設されたＣ環（ストッパ）８１４が、インナースプール８１１のフランジ部８１１ｂの端面８１１ｂ１に接している。インナースプール８１１のフランジ部８１１ｂは、蓋部８１０ｂから蓋部８１０ｃに向かい方向に付勢部材（スプールバネ）８０４によって付勢されている。

【0650】

ここで、ロッド８０２にはキッカー２５の衝撃力が作用している。これに加えて、ロッド８０２には、インナースプール８１１のフランジ部８１１ｂ、Ｃ環（ストッパ）８１４を介して、蓋部８１０ｂから蓋部８１０ｃに向かう方向に付勢部材（スプールバネ）８０４の付勢力が作用している。

【0651】

したがって、Ｃ環（ストッパ）８１４がインナースプール８１１のフランジ部８１１ｂの端面８１１ｂ１と当接しているため、ロッド８０２の軸方向位置が規制される。同時に、アウタースプール８１２のフランジ部８１２ｂの面８１２ｂ２がＣ環（ストッパ）８１４に当接しているため、アウタースプール８１２の軸方向位置が規制される。

【0652】

さらに、ロッド８０２のフランジ部８０２ｂの端面８０２ｂ１がアウタースプール８１２のフランジ部８１２ｂの面８１２ｂ１に当接しているため、ロッド８０２の軸方向位置が規制される。

【0653】

スプール流路８０１は、閉塞状態を維持する。メインシリンダポート７０２ａと押しつけシリンダポート７０２ｂとは、遮断されている。付勢部材（スプールバネ）８０４は、ロッド８０２を付勢している。
圧力の上昇した油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０から弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０に向かっては、逆止弁（スプール逆止弁）８０６によって遮断されている。

【0654】

これにより、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０の圧力は、変動しない。
したがって、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、付勢部材（押しつけバネ）７３によって可動部７２の先端部が縮退した状態を維持する。

【0655】

さらに、閉回転動作によって、可動弁部（可動弁板部）５４の退避位置（弁開放位置）から弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）に向けて回転動作を続け、可動弁部（可動弁板部）５４は弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）に向けて近接する。

【0656】

この状態では、キッカー２５が、ロッド８０２の端部に当接した状態で押圧することで、ロッド８０２を第２ポジションへ向けて移動させ、図３４に示すように、ロッド８０２が第２ポジションに近接する。
このとき、ロッド８０２の先端８０２ａは、貫通孔８１６からケーシング８１０の平面８１０ｂ１よりも外部に位置するように突出しているが、第２ポジションに近接した位置となる。

【0657】

ここで、キッカー２５に連続して押圧されたロッド８０２の動作により、ダンピング室８０３は、その容積が連続的に縮小しようとする。このとき、ダンピング室８０３は、次第に低くなるものの高圧状態を維持する。ここで、ダンピング室８０３に連通しているオリフィス部８０７によって、ダンピング室８０３の圧力は引き続き緩和される。

【0658】

このとき、オリフィス部８０７を介してダンピング室８０３から油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０に高圧が引き続き逃がされる。
このとき、オリフィス部８０７において、図３４に示すように、最も蓋部８１０ｃに近接して位置するオリフィス開口部８０７ｃは、ダンピング室８０３と連通している。これに対し、蓋部８１０ｂに近接して位置するオリフィス開口部８０７ｂ，オリフィス開口部８０７ａは、ロッド８０２のフランジ部８０２ｂの外周面によって閉塞される。

【0659】

また、メインシリンダポート開口８０１ａは、アウタースプール８１２の円筒部８１２ａの外周面によって、スプール流路８０１に対して連通されている。これに対して、押しつけシリンダポート開口８０１ｂは、アウタースプール８１２の円筒部８１２ａの外周面によってスプール流路８０１に対して閉塞されている。
したがって、スプール流路８０１は閉塞されている。

【0660】

インナースプール８１１のフランジ部８１１ｃの面８１１ｃ１は、段差面８１０ａ２よりも蓋部８１０ｂに近接して位置している。つまり、フランジ部８１１ｃの面８１１ｃ１は、段差面８１０ａ２と離間する位置にある。
フランジ部８１１ｂは、蓋部８１０ｂから蓋部８１０ｃに向かう方向に付勢部材（スプールバネ）８０４によって付勢されている。
フランジ部８１１ｂの端面８１１ｂ１は、ロッド８０２に周設されたＣ環（ストッパ）８１４と接触している。

【0661】

アウタースプール８１２のフランジ部８１２ｂの面８１２ｂ２は、ロッド８０２に周設されたＣ環（ストッパ）８１４と接触している。
フランジ部８１２ｂの面８１２ｂ１は、ロッド８０２のフランジ部８０２ｂの面８０２ｂ２と接触している。

【0662】

この状態では、キッカー２５に押圧されたロッド８０２の動作により、ダンピング室８０３は、その容積が連続的に縮小しようとする。
この状態では、ロッド８０２の先端８０２ａは、先端８０２ａに当接あるいは衝突したキッカー２５の押圧力によって、蓋部８１０ｂから蓋部８１０ｃに向かう方向に力が作用している。

【0663】

キッカー２５の押圧力は、ロッド８０２のフランジ部８０２ｂにおける端面８０２ｂ１からダンピング室８０３に伝達される。
これにより、ダンピング室８０３は高圧状態を維持する。ここで、オリフィス部８０７によるダンピング室８０３の圧力緩和が継続される。

【0664】

これにより、ロッド８０２が第２ポジションに近接する位置まで移動するにしたがって、オリフィス開口部８０７ａに続いてオリフィス開口部８０７ｂが、ロッド８０２のフランジ部８０２ｂの外周面によって閉塞される。
このとき、切欠部８０２ｂ３によって、ダンピング室８０３から油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０へ逃げる油圧の流量を緩和することができる。

【0665】

さらに、ロッド８０２が第２ポジションに近接するように移動するにしたがって、切欠部８０２ｂ３によって、ダンピング室８０３から油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０へ逃げる油圧の流量を緩和することができる。

【0666】

ロッド８０２が移動して第２ポジションに近接するにしたがって、オリフィス部８０７の流量が減少して、より一層、ロッド８０２の移動速度を緩和することができる。
これにより、キッカー２５の移動、すなわち、可動弁部（可動弁板部）５４の閉回転動作の緩和を傾斜しておこなうことができる。

【0667】

油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０においては、油圧付勢部材（メインバネ）７２０の変形により、圧力変動が引き続き吸収される。

【0668】

高圧であるダンピング室８０３の圧力は、ダンピング逆止弁８０５によって、メインシリンダポート７０２ａに向けて遮断されている。これにより、メインシリンダポート７０２ａ、および、メインシリンダポート７０２ａに連通している部分への高圧の衝撃が伝達されることを防止する。

【0669】

また、ロッド８０２に周設されたＣ環（ストッパ）８１４が、インナースプール８１１のフランジ部８１１ｂの端面８１１ｂ１に接している。インナースプール８１１のフランジ部８１１ｂは、蓋部８１０ｂから蓋部８１０ｃに向かう方向に付勢部材（スプールバネ）８０４によって付勢されている。

【0670】

ここで、ロッド８０２にはキッカー２５の押圧力が作用している。これに加えて、ロッド８０２には、インナースプール８１１のフランジ部８１１ｂ、Ｃ環（ストッパ）８１４を介して、蓋部８１０ｂから蓋部８１０ｃに向かう方向に付勢部材（スプールバネ）８０４の付勢力が作用している。

【0671】

したがって、Ｃ環（ストッパ）８１４がインナースプール８１１のフランジ部８１１ｂの端面８１１ｂ１と当接しているため、ロッド８０２の軸方向位置が規制される。同時に、アウタースプール８１２のフランジ部８１２ｂの面８１２ｂ２がＣ環（ストッパ）８１４に当接しているため、アウタースプール８１２の軸方向位置が規制される。

【0672】

さらに、ロッド８０２のフランジ部８０２ｂの端面８０２ｂ１がアウタースプール８１２のフランジ部８１２ｂの面８１２ｂ１に当接しているため、ロッド８０２の軸方向位置が規制される。

【0673】

スプール流路８０１は、ロッド８０２が第２ポジションに到達するまで閉塞状態を維持する。メインシリンダポート７０２ａと押しつけシリンダポート７０２ｂとは、遮断されている。付勢部材（スプールバネ）８０４は、ロッド８０２を付勢している。
圧力の上昇した油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０から弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０に向かっては、逆止弁（スプール逆止弁）８０６によって遮断されている。

【0674】

これにより、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０の圧力は、変動しない。
したがって、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、付勢部材（押しつけバネ）７３によって可動部７２の先端部が縮退した状態を維持する。

【0675】

さらに、閉回転動作によって、キッカー２５が、ロッド８０２の端部に当接した状態で押圧することで、ロッド８０２が第２ポジションへと到達する。

【0676】

この状態で、ロッド８０２の移動によりオリフィス部８０７が閉塞されて、ダンピング室８０３は、油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０に対して遮断される。
このとき、オリフィス部８０７においては、図３０に示す状態と同様に、最も蓋部８１０ｃに近接して位置するオリフィス開口部８０７ｃは、切欠部８０２ｂ３によってダンピング室８０３と連通している。また、蓋部８１０ｂに近接して位置するオリフィス開口部８０７ｂ，オリフィス開口部８０７ａは、ロッド８０２のフランジ部８０２ｂの外周面によって閉塞される。

【0677】

これにより、圧力緩和が終了する。このとき、油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０における油圧付勢部材（メインバネ）７２０の変形により、圧力変動が吸収されて、ダンピング室８０３の圧力は、充分低下されている。

【0678】

また、メインシリンダポート開口８０１ａは、アウタースプール８１２の円筒部８１２ａの外周面によって、スプール流路８０１に対して連通されている。これに対して、押しつけシリンダポート開口８０１ｂは、アウタースプール８１２の円筒部８１２ａの外周面によって、スプール流路８０１に対して閉塞されている。
したがって、スプール流路８０１は閉塞されている。

【0679】

フランジ部８１１ｂは、蓋部８１０ｂから蓋部８１０ｃに向かう方向に付勢部材（スプールバネ）８０４によって付勢されている。
フランジ部８１１ｂの端面８１１ｂ１は、ロッド８０２に周設されたＣ環（ストッパ）８１４と接触している。
インナースプール８１１のフランジ部８１１ｃの面８１１ｃ１は、段差面８１０ａ２に接触している。
このため、付勢部材（スプールバネ）８０４は、ロッド８０２の付勢を解除した状態となる。

【0680】

アウタースプール８１２のフランジ部８１２ｂの面８１２ｂ２は、ロッド８０２に周設されたＣ環（ストッパ）８１４と接触している。
フランジ部８１２ｂの面８１２ｂ１は、ロッド８０２のフランジ部８０２ｂの面８０２ｂ２と接触している。

【0681】

この状態では、ロッド８０２の先端８０２ａは、先端８０２ａに当接したキッカー２５によって、蓋部８１０ｂから蓋部８１０ｃに向かう方向に押圧力が作用している。
キッカー２５の押圧力は、ロッド８０２のフランジ部８０２ｂにおける端面８０２ｂ１からダンピング室８０３に伝達される。

【0682】

油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０から弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０に向かっては、逆止弁（スプール逆止弁）８０６によって遮断されている。
これにより、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０の圧力は、変動しない。
したがって、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、付勢部材（押しつけバネ）７３によって可動部７２の先端部が縮退した状態を維持する。

【0683】

さらに、図２３に示すステップＳ３０として、閉回転動作によって、可動弁部（可動弁板部）５４が、図３５に示すように、弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）に到達する。

【0684】

この状態では、キッカー２５が、ロッド８０２の端部に当接した状態で押圧する。これにより、ロッド８０２が、第２ポジションを通過して第３ポジションへと到達する。
このとき、キッカー２５が、ケーシング８１０の蓋部８１０ｂの平面８１０ｂ１と接触する。これにより、キッカー２５が動作停止位置となり、キッカー２５の閉回転動作が終了する。平面８１０ｂ１は、キッカー２５の閉回転動作における閉回転動作終端位置を規制する。

【0685】

ここで、可動弁部（可動弁板部）５４が弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）に到達した瞬間と同時に、図３５に示すように、ロッド８０２が第３ポジションへと到達する。
ロッド８０２が第３ポジションへと到達すると、ロッド８０２の移動により、スプール流路８０１が、はじめて連通状態となる。

【0686】

このとき、ロッド８０２の先端８０２ａは、図３５に示すように、キッカー２５によって貫通孔８１６内に押し込まれ、ケーシング８１０の平面８１０ｂ１と面一な位置、あるいは、貫通孔８１６の内部に引っ込んだ位置とされている。
同時に、オリフィス部８０７においては、ダンピング室８０３と連通している開口はない。

【0687】

また、メインシリンダポート開口８０１ａおよび押しつけシリンダポート開口８０１ｂが、ともにスプール流路８０１に連通している。アウタースプール８１２の円筒部８１２ａの外周面は、メインシリンダポート開口８０１ａおよび押しつけシリンダポート開口８０１ｂのいずれも閉塞していない。
したがって、スプール流路８０１は連通状態とされている。

【0688】

インナースプール８１１のフランジ部８１１ｃの面８１１ｃ１は、段差面８１０ａ２に接触している。
フランジ部８１１ｂは、蓋部８１０ｂから蓋部８１０ｃに向かう方向に付勢部材（スプールバネ）８０４によって付勢されている。
このとき、フランジ部８１１ｂの端面８１１ｂ１は、ロッド８０２に周設されたＣ環（ストッパ）８１４と接触しておらず、離間している。
したがって、ロッド８０２は、付勢部材（スプールバネ）８０４によって付勢されていない。

【0689】

アウタースプール８１２のフランジ部８１２ｂの面８１２ｂ２は、ロッド８０２に周設されたＣ環（ストッパ）８１４と接触している。
フランジ部８１２ｂの面８１２ｂ１は、ロッド８０２のフランジ部８０２ｂの端面８０２ｂ１と接触している。

【0690】

この状態において、キッカー２５には、ロッド８０２の先端８０２ａが当接した状態とされる。この状態は、アウタースプール８１２の円筒部８１２ａの端面８１２ａ２にかかる圧力と、ロッド８０２のフランジ部８０２ｂにおける端面８０２ｂ１にかかる圧力と、の大小にかかわらず維持される。

【0691】

このように、キッカー２５にロッド８０２の先端８０２ａが当接している。このため、ロッド８０２は、キッカー２５によって蓋部８１０ｂから蓋部８１０ｃに向かう方向に押圧されている。

【0692】

したがって、ロッド８０２の軸方向位置が規制される。同時に、アウタースプール８１２のフランジ部８１２ｂの面８１２ｂ２が、Ｃ環（ストッパ）８１４に当接している。このため、アウタースプール８１２の軸方向位置が規制される。

【0693】

さらに、インナースプール８１１のフランジ部８１１ｃの面８１１ｃ１は、段差面８１０ａ２に接触している。このため、インナースプール８１１の軸方向位置が規制される。

【0694】

これにより、図３５に示すように、ダンピング室８０３のオリフィス部８０７が閉塞し、スプール流路８０１が連通可能な第３ポジションとなる。
すると、切替弁（スプール弁）８００の切替機能により、油圧供給が切り替えられる。

【0695】

つまり、油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０から弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０に向かっては、逆止弁（スプール逆止弁）８０６によって遮断されているが、スプール流路８０１によって連通される。

【0696】

これにより、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０の圧力が上昇する。
したがって、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、付勢部材（押しつけバネ）７３の付勢力に打ち勝って可動部７２の先端部が伸長した状態となる。

【0697】

このとき、可動部７２の先端部に押圧されて、図２３に示すステップＳ３１として、可動弁部（可動弁板部）５４が流路Ｈ方向における位置を変更する密閉動作する。
これにより、可動弁部（可動弁板部）５４が、弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）から、弁閉塞位置にまで摺動して、流路Ｈが閉塞される。

【0698】

これにより、停電等の緊急時におけるノーマルクローズとしてのスプリングバックによる弁閉塞動作を完了する。

【0699】

上記により、本実施形態の仕切りバルブ１００は、ステップＳ２１と、ステップＳ２５と、ステップＳ２６と、ステップＳ２９とを、この順番でおこなう。これにより、切替弁（スプール弁）８００において油圧ダンパとしての衝撃緩和機能と、油圧切替機能と、を呈することが可能となる。

【0700】

なお、ケーシング８１０の内部においては、ダンピング室８０３に高圧がかかったダンピング動作状態（圧力緩和状態）を除いて、ロッド内部空間８０３ｃ、スプール流路８０１は、同じ圧力状態となる。また、ロッド内部空間８０３ｃは、常に大気圧に維持されている。
逆にいうと、ケーシング８１０の内部は、ダンピング動作状態（圧力緩和状態）において、ダンピング逆止弁８０５によって、ダンピング室８０３のみが高圧となる。

【0701】

また、ステップＳ２６として、解除制御部１０１が解除指示信号を出力するタイミングは、ステップＳ２５として、ロッド８０２が第１ポジションへと伸長して、キッカー２５の衝突を待ち受ける待ち受け状態となったことを検知した後とされる。ここで、ロッド８０２の受け状態検知は、ロッド８０２に対する位置センサ等によっておこなうことができる。

【0702】

本実施形態においては、上述した第６実施形態と同様に、非圧縮性流体供給切替と衝撃緩和とを同時に呈するノーマルクローズを実現するという効果を奏することができる。

【0703】

以下、本発明に係る仕切りバルブの第７実施形態を、図面に基づいて説明する。
図３６は、本実施形態における油仕切りバルブの回転軸駆動部を説明するための回転軸方向の断面図である。
本実施形態において上述した第２実施形態と異なるのは回転軸駆動部の遊星ギアクラッチに関する点であり、これ以外の対応する構成要素に関しては、同一の符号を付してその説明を省略する。

【0704】

本実施形態における回転軸駆動部２００は、上述した第２実施形態における回転軸駆動部２００と同等の機能を有する構成とされる。

【0705】

本実施形態における回転軸駆動部２００も、上述した第２実施形態と同様に、回転軸２０を回転させるための電動アクチュエータとされる。
回転軸駆動部２００では、ぜんまい軸２３１ｃとブレーキ軸２４１ｃとが一本の合同軸２０５ｃである構成とされる。

【0706】

合同軸２０５ｃは、回転軸２０と平行に配置される。合同軸２０５ｃは、上述した実施形態におけるぜんまい軸２３１ｃに対応する配置とされる。
合同軸２０５ｃには、ぜんまいバネ２３１と励磁作動式ブレーキ２４１とが接続される。
ぜんまいバネ２３１と励磁作動式ブレーキ２４１とは、合同軸２０５ｃにおける軸線方向で異なる位置として、合同軸２０５ｃに接続される。

【0707】

また、回転駆動モータ２２０と駆動ギア２１１の間には、中継ギア２０９が配置される。
大中継ギア２４４および小中継ギア２４３は、回転軸２０に回転自在に取り付けられる。

【0708】

回転駆動モータ２２０には、無励磁作動ブレーキ２２１が接続されている。
無励磁作動ブレーキ２２１は、電断時に、ブレーキ機能を発揮して、回転駆動モータ２２０の回転を停止する。
無励磁作動ブレーキ２２１は、通電時に、ブレーキ機能を解除して、回転駆動モータ２２０を回転駆動可能とする。無励磁作動ブレーキ２２１は、ブレーキ動作解除部２２５ｆに接続される。
なお、回転駆動モータ２２０には、上記の構成以外にも、トルク・回転数を調整するギアユニットおよび制御用のモータユニットが付随していてもよい。

【0709】

回転軸２０に中立弁体５のカウンターウエイト（バランサー）ＣＷが設けられて、回転駆動モータ２２０およびぜんまいバネ２３１において必要なトルクを低減可能とされている。
カウンターウエイト（バランサー）ＣＷは、回転軸２０の中立弁体５と軸対象な位置に設けられる。さらに、このカウンターウエイトＣＷは、切替弁（スプール弁）８００の作動用スイッチ（ストッパ）２１として設けることもできる。
なお、図３６において、符号３２は、カウンターウエイト（バランサー）を取り付ける箇所を示している。

【0710】

本実施形態においては、上述した実施形態と同様に、非圧縮性流体供給切替と衝撃緩和とを同時に呈するノーマルクローズを実現するという効果を奏することができる。

【0711】

本発明において、上記の各実施形態における個々の構成を、適宜選択して組み合わせることも可能である。

【符号の説明】

【0712】

１０…弁箱
１１…中空部
２０…回転軸
２５…キッカー
３０…中立弁部
４０…可動弁部
５０…可動弁板部
５４…可動弁部（可動弁板部）
６３…弁枠部
７０…弁箱付勢部（押しつけシリンダ）
７１…固定部
７２…可動部（伸縮ロッド）
７３…付勢部材（押しつけバネ）
８０…弁板付勢部（保持バネ）
９０…弁枠付勢部（補助バネ）
１００…仕切りバルブ
１０１…解除制御部
１０２…無停電電源装置
２００…回転軸駆動部
２２０…回転駆動モータ
２２１…無励磁作動ブレーキ
２２５ｆ…ブレーキ動作解除部
２２７…電源
２３０…電断付勢装置
２３１…ぜんまいバネ
７００…油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）
７００…油圧駆動部
７０１…油圧発生部
７０２…油圧管
７０５…駆動部
７０５ｂ…無励磁作動ブレーキ
７０５ｆ…ブレーキ動作解除部
７０５ｍ…油圧モータ
７０７…電源
７１０…油圧シリンダ（メインシリンダ）
７２０…油圧付勢部材（メインバネ）
８００…切替弁（スプール弁）
８０２…ロッド（切替センサ）
Ｈ…流路

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】

【図23】

【図24】

【図25】

【図26】

【図27】

【図28】

【図29】

【図30】

【図31】

【図32】

【図33】

【図34】

【図35】

【図36】