特許6863220片面研磨装置へのウェーハ貼付装置、および片面研磨装置へのウェーハ貼付方法

発明の名称　片面研磨装置へのウェーハ貼付装置、および片面研磨装置へのウェーハ貼付方法

出願人　株式会社ＳＵＭＣＯ　（識別番号 302006854）

　　　　特許公開件数ランキング 673 位（35件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 357 位（70件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6863220

公報発行日　2021年4月21

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6863220

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