特許 6867068 塗布装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B1)

(11)【特許番号】6867068

(24)【登録日】2021年4月12日

(45)【発行日】2021年4月28日

(54)【発明の名称】塗布装置

(51)【国際特許分類】

   B05C 11/10 20060101AFI20210419BHJP

   B05C 5/00 20060101ALI20210419BHJP

   B05D 1/26 20060101ALI20210419BHJP

   B05D 3/00 20060101ALI20210419BHJP

【ＦＩ】

   B05C11/10

   B05C5/00 101

   B05D1/26 Z

   B05D3/00 D

【請求項の数】5

【全頁数】28

(21)【出願番号】特願2020-195604(P2020-195604)

(22)【出願日】2020年11月26日

(62)【分割の表示】特願2020-2158(P2020-2158)の分割

【原出願日】2020年1月9日

【審査請求日】2020年12月18日

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】316011226

【氏名又は名称】ＡＩメカテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001807

【氏名又は名称】特許業務法人磯野国際特許商標事務所

(72)【発明者】

【氏名】白石 崇

(72)【発明者】

【氏名】川隅 幸宏

(72)【発明者】

【氏名】大平 直樹

(72)【発明者】

【氏名】村井 敏信

【審査官】 塩屋 雅弘

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１０−１４２７８９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−２０６７２９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００８−１９１４４８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−１１８６２０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１７−７４７２３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−２６８９９５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平２−２７９３４４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２００８／０８７９７０（ＷＯ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ０５Ｃ５／００−２１／００

Ｂ０５Ｄ１／００−７／２６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板を保持する保持テーブルと、
当該保持テーブルに保持されている前記基板に塗布材を塗布する塗布部と、
前記基板と前記塗布部とを相対的に移動することにより前記基板の所定領域に前記塗布材を塗布するように制御する制御部と、を備え、
前記塗布部には、前記基板に前記塗布材を塗布するための複数の塗布ヘッドが着脱自在に取り付けられ、
前記各塗布ヘッドは、当該各塗布ヘッドの固有情報が記憶される第１記憶領域と、当該各塗布ヘッドの来歴情報として少なくとも前記各塗布ヘッドの駆動電圧が記憶される第２記憶領域と、を含む記憶部を有し、
前記制御部は、前記各塗布ヘッドに設けられた前記記憶部の前記第１記憶領域および第２記憶領域に記憶された前記固有情報及び前記来歴情報を読み取り、前記固有情報に基づいて特定された前記塗布ヘッドを当該塗布ヘッドの来歴情報に基づいて当該塗布ヘッドの動作状態を補正することを特徴とする塗布装置。

【請求項2】

請求項１に記載の塗布装置において、
前記塗布ヘッドの来歴情報として更に当該塗布ヘッドに内蔵されたヒータの温度が記憶されることを特徴とする塗布装置。

【請求項3】

請求項１又は請求項２に記載の塗布装置において、
前記塗布ヘッドの動作状態を補正した情報は来歴情報として当該塗布ヘッドの第２記憶領域に格納することを特徴とする塗布装置。

【請求項4】

請求項１又は請求項２に記載の塗布装置において、
前記来歴情報は、前記塗布ヘッドを駆動する駆動電圧の傾きを表す駆動電圧傾き情報を含み、
前記制御部は、前記駆動電圧の傾き情報に基づいて前記駆動電圧を補正することを特徴とする塗布装置。

【請求項5】

請求項１又は請求項２に記載の塗布装置において、
前記来歴情報は、動作経過情報として各塗布ヘッドの連続使用時間を含み、
前記制御部は、総射出時間情報により各塗布ヘッドの射出使用時間情報を参照して、各塗布ヘッドの交換を使用者に指示することを特徴とする塗布装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、塗布装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来より、例えば液晶材料等の塗布材を基板に塗布する塗布装置が普及している（例えば、特許文献１参照）。塗布装置は、基板を保持する保持テーブルと、保持テーブルに保持されている基板に塗布材を塗布する塗布部（塗布ヘッドユニット）と、を有している。塗布装置は、基板と塗布部とを相対的に移動することにより基板の所定領域に塗布材を塗布する。塗布部には、基板に塗布材を塗布するための塗布ヘッドが着脱自在に取り付けられている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特許第５６７１４１４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載された従来の塗布装置は、以下に説明するように、塗布ヘッドの状態を好適に管理することが望まれていた。

【0005】

塗布ヘッドは、洗浄を行うために定期的に塗布装置から取り外され、洗浄後に、塗布装置に再度取り付けられる。このとき、塗布装置に元々取り付けられていたものとは違う塗布ヘッドが塗布装置に取り付けられることがある。塗布ヘッドは、製造公差等により個体毎に駆動条件（例えば、塗布ヘッドの駆動電圧やヒータの温度等）が異なっている。また、塗布ヘッドは、使用後に長時間放置されると、内部に付着した塗布材が固化するため、特性が変化する。そのため、従来の塗布装置は、塗布ヘッドの状態を好適に管理することが望まれていた。

【0006】

本発明は、前記した課題を解決するためになされたものであり、塗布ヘッドの状態を好適に管理する塗布装置を提供することを主な目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

前記目的を達成するため、本発明は、塗布装置であって、基板を保持する保持テーブルと、当該保持テーブルに保持されている前記基板に塗布材を塗布する塗布部と、前記基板と前記塗布部とを相対的に移動することにより前記基板の所定領域に前記塗布材を塗布するように制御する制御部と、を備え、前記塗布部には、前記基板に前記塗布材を塗布するための複数の塗布ヘッドが着脱自在に取り付けられ、前記各塗布ヘッドは、当該各塗布ヘッドの固有情報が記憶される第１記憶領域と、当該各塗布ヘッドの来歴情報として少なくとも前記各塗布ヘッドの駆動電圧が記憶される第２記憶領域と、を含む記憶部を有し、前記制御部は、前記各塗布ヘッドに設けられた前記記憶部の前記第１記憶領域および第２記憶領域に記憶された前記固有情報及び前記来歴情報を読み取り、前記固有情報に基づいて特定された前記塗布ヘッドを当該塗布ヘッドの来歴情報に基づいて当該塗布ヘッドの動作状態を補正する構成とする。
その他の手段は、後記する。

【発明の効果】

【0008】

本発明によれば、塗布ヘッドの状態を好適に管理することができる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】実施形態に係る塗布装置の外観図である。

【図2】実施形態に係る塗布装置における塗布ヘッドユニット（塗布部）の要部概略図である。

【図3】実施形態に係る塗布装置における塗布ヘッドユニット（塗布部）の分離構造の説明図である。

【図4】実施形態に係る塗布装置を含む塗布ヘッド管理システムの概略構成図である。

【図5】塗布ヘッドに設けられた記憶部の格納情報の説明図である。

【図6】製品の一例としての液晶画像表示装置の断面構造図である。

【図7】塗布ヘッド管理システムの動作を示すフローチャートである。

【図8】塗布装置の動作を示すフローチャートである。

【図9】飛滴検査機構の概略構成図である。

【図10】飛滴検査において良好な場合の一例を概略的に示す説明図である。

【図11A】飛滴検査において不適切な場合の一例を概略的に示す説明図（１）である。

【図11B】飛滴検査において不適切な場合の一例を概略的に示す説明図（２）である。

【図12】飛滴検査において良好な場合の一例を詳細に示す説明図である。

【図13A】飛滴検査において不適切な場合の一例を詳細に示す説明図（１）である。

【図13B】飛滴検査において不適切な場合の一例を詳細に示す説明図（２）である。

【図13C】飛滴検査において不適切な場合の一例を詳細に示す説明図（３）である。

【図13D】飛滴検査において不適切な場合の一例を詳細に示す説明図（４）である。

【図13E】飛滴検査において不適切な場合の一例を詳細に示す説明図（５）である。

【図14】計量検査機構の概略構成図である。

【図15】各塗布ヘッドの駆動電圧と塗布材の射出量との関係の違いを示すグラフ図である。

【図16A】塗布材の滴下数と塗布材の総射出量との関係を示すグラフ図である。

【図16B】塗布ヘッドの駆動電圧と塗布材の総射出量との関係を示すグラフ図である。

【図17】塗布ヘッドの駆動電圧の傾きの違いを示すグラフ図である。

【図18A】塗布ヘッドの駆動電圧の傾きの違いによる補正の違いを示す説明図（１）である。

【図18B】塗布ヘッドの駆動電圧の傾きの違いによる補正の違いを示す説明図（２）である。

【図18C】塗布ヘッドの駆動電圧の傾きの違いによる補正の違いを示す説明図（３）である。

【図19】ドット検査機構の説明図（１）である。

【図20】ドット検査機構の説明図（２）である。

【図21】塗布抜け検査において不適切な場合の一例を示す説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下、図面を参照して、本発明の実施の形態（以下、「本実施形態」と称する）について詳細に説明する。なお、各図は、本発明を十分に理解できる程度に、概略的に示しているに過ぎない。よって、本発明は、図示例のみに限定されるものではない。また、各図において、共通する構成要素や同様な構成要素については、同一の符号を付し、それらの重複する説明を省略する。

【0011】

なお、従来の塗布装置には、前記した課題（塗布ヘッドの状態を好適に管理することが望まれているという課題）に加え、以下のような課題があった。本実施形態は、前記した課題に加え、以下のような課題を解決することができる塗布装置を提供することも意図している。

【0012】

（１）塗布装置は、基板が搬送されるラインが複数ある上に、塗布部（塗布ヘッドユニット）が複数あり、１つの塗布部（塗布ヘッドユニット）が複数のラインを受け持つことがある。つまり、ある塗布部が１ラインしか受け持たないときに、別の塗布部が２ライン受け持つことがある。これにより、各塗布部の使用頻度（使用実績）に、バラツキが発生する。また、塗布装置は、塗布材料の異なる何百もの品種を製造する。そのため、塗布装置は、複数の塗布部（特に各塗布部に取り付けられている塗布ヘッド）を同じような状態に調整することが困難であった。

【0013】

（２）また、複数の塗布ヘッドの中には、状態が良い塗布ヘッドと、状態が悪い塗布ヘッドとが存在する。状態が良い塗布ヘッドは長時間使用され、状態が悪い塗布ヘッドは予め用意された保管部で保管されたまま使用されない（放置される）傾向がある。これにより、各塗布部の使用頻度（使用実績）に、バラツキが発生する。したがって、各塗布ヘッドは、基板の処理量が異なっており、負荷が異なっている。しかも、状態が良い塗布ヘッドは、寿命が早く尽き易くなる。また、状態が悪い塗布ヘッドは、長時間放置されることで、内部に付着した塗布材が固化する等の現象が発生し、状態が益々悪化し易くなる。そのため、このような要因によっても、塗布装置は、複数の塗布ヘッドを同じような状態に調整することが困難であった。

【0014】

（３）また、塗布ヘッドの調整は、非常に繊細なものである。そのため、機械的な調整では、塗布ヘッドの調整を短時間で行うことが困難であった。

【0015】

＜塗布装置とその塗布装置を含む塗布ヘッド管理システムの構成＞
以下、図１乃至図４を参照して、本実施形態に係る塗布装置１１とその塗布装置１１を含む塗布ヘッド管理システム１０の構成について説明する。図１は、本実施形態に係る塗布装置１１の外観図である。図２は、塗布装置１１における塗布ヘッドユニット２２（塗布部）の要部概略図である。図３は、塗布装置１１における塗布ヘッドユニット２２（塗布部）の分離構造の説明図である。図４は、塗布装置１１を含む塗布ヘッド管理システム１０の概略構成図である。

【0016】

図１に示すように、本実施形態に係る塗布装置１１は、制御装置１２と、保持テーブル２１と、塗布ヘッドユニット２２と、ガントリ２４と、を備えている。

【0017】

制御装置１２は、塗布装置１１の全体の動作を制御する構成要素である。制御装置１２は、図４に示すように、制御部５０の一部を構成している。
保持テーブル２１は、基板７０を保持する構成要素である。保持テーブル２１は、水平に配置されている。

【0018】

塗布ヘッドユニット２２は、保持テーブル２１に保持されている基板７０に塗布材を塗布する塗布部である。塗布装置１１は、複数（図示例では、４つ）の塗布ヘッド３１を搭載している。本実施形態では、塗布ヘッドユニット２２がインクジェット方式で液状の塗布材を射出する構成になっているものとして説明する。塗布ヘッドユニット２２の下端部には、基板７０に塗布材を塗布するための塗布ヘッド３１が着脱自在に取り付けられている。塗布ヘッド３１は、平坦な下面を有しており、その下面には塗布材を射出するための複数のノズル３２（図９参照）の射出口が等間隔に設けられている。

【0019】

ガントリ２４は、塗布ヘッドユニット２２を支持する門型の構造物である。塗布ヘッドユニット２２は、支持部２７によってガントリ２４に取り付けられている。塗布ヘッドユニット２２は、ガントリ２４に対して着脱自在な構成になっている。図１に示す例では、４つの塗布ヘッドユニット２２がガントリ２４に取り付けられている。

【0020】

塗布装置１１は、リニアモータ用マグネット２６上を走行するリニアモータ用コイル２５の上方にガントリ２４を配置した構成となっている。

【0021】

リニアモータ用コイル２５及びリニアモータ用マグネット２６は、ガントリ２４を水平方向（白抜き矢印参照）に移動させる移動手段である。なお、本実施形態では、塗布装置１１は、リニアモータ用コイル２５及びリニアモータ用マグネット２６によってガントリ２４を水平方向に移動させる構造になっている。しかしながら、塗布装置１１は、リニアモータ用コイル２５及びリニアモータ用マグネット２６に加え（又は、リニアモータ用コイル２５及びリニアモータ用マグネット２６の代わりに）、基板７０を水平方向に移動させるための図示せぬ移動手段を有する構成であってもよい。また、塗布装置１１は、ガントリ２４を水平方向に移動させるための移動手段として、リニアモータ用コイル２５及びリニアモータ用マグネット２６とは別の手段（例えば、レールとレールの上を走行する車輪等）を有する構成であってもよい。

【0022】

塗布装置１１は、基板７０と塗布ヘッドユニット２２とを相対的に移動させながら、所定のタイミングで基板７０に向けて塗布ヘッド３１から塗布材を射出することにより、基板７０の所定領域に塗布材を塗布する。

【0023】

なお、塗布装置１１は、飛滴検査機構１４（図９参照）と、ドット検査機構１６（図１９及び図２０参照）と、を備えている。これらの構成要素については、後記する。

【0024】

図２に示すように、塗布ヘッドユニット２２は、塗布材タンク２３と、塗布ヘッド３１と、パイプ３４ａ，３４ｂ，３４ｃ，３４ｄと、バルブ３５ａ，３５ｂ，３５ｃ，３５ｄと、リークバルブ３６と、レギュレータ３７と、圧力計３８と、を有している。

【0025】

塗布材タンク２３は、液状の塗布材を貯留する塗布材貯留部である。バルブ３５ａ，３５ｂ，３５ｃ，３５ｄとリークバルブ３６は、電磁弁によって構成され、対応するパイプの経路を開閉する。レギュレータ３７は、塗布材タンク２３に供給する負圧の調節器である。圧力計３８は、塗布材タンク２３に供給する負圧を計測する。

【0026】

パイプ３４ａとバルブ３５ａとは、外部から塗布材タンク２３に大気又は任意の気体を供給する気体供給部を構成している。
パイプ３４ｂとバルブ３５ｂとリークバルブ３６とレギュレータ３７とは、塗布材タンク２３に負圧を供給する負圧供給部を構成している。
パイプ３４ｃとバルブ３５ｃとは、外部から塗布材タンク２３に塗布材を供給する塗布材供給部を構成している。
パイプ３４ｄとバルブ３５ｄとは、塗布材タンク２３から塗布ヘッド３１に塗布材を供給する塗布材供給部を構成している。

【0027】

塗布ヘッド３１は、記憶部３３と、ヒータ４０と、を有している。本実施形態では、記憶部３３とヒータ４０とが塗布ヘッド３１に内蔵されているものとして説明する。

【0028】

記憶部３３は、塗布ヘッド３１に関する各種の情報を記憶する構成要素である。記憶部３３は、半導体メモリによって構成されている。記憶部３３は、塗布ヘッド３１の固有情報Ｄ１０が記憶される第１記憶領域３３ａと、塗布ヘッド３１の来歴情報Ｄ２０が記憶される第２記憶領域３３ｂと、を含んでいる（図５参照）。
ヒータ４０は、塗布ヘッド３１を加熱して塗布材を射出し易くするための構成要素である。

【0029】

図３に示すように、塗布装置１１は、支持部２７から塗布ヘッドユニット２２を取り外すことができる。また、塗布装置１１は、塗布ヘッドユニット２２から塗布ヘッド３１を取り外すことができる。取り外された塗布ヘッドユニット２２や塗布ヘッド３１は、予め用意された所定の保管部１８（図４参照）で保管される。

【0030】

図４に示すように、塗布装置１１は、塗布ヘッドユニット２２の内部に、熱電対４１を有するとともに、制御装置１２の内部に、ソリッド・ステート・リレー４２と、温調器４３と、メインＰＣ５１と、モータコントローラ５２と、アンプ５３と、インクジェットコントローラ５４と、を有している。

【0031】

熱電対４１は、ヒータ４０の温度を検知する構成要素である。
ソリッド・ステート・リレー４２は、機械的な動きで信号を伝える構成要素である。
温調器４３は、温度を調節する構成要素である。

【0032】

メインＰＣ５１は、塗布装置１１全体の動作を制御する構成要素である。
モータコントローラ５２は、リニアモータ用コイル２５及びリニアモータ用マグネット２６等の移動手段の動作を制御する構成要素である。
アンプ５３は、信号を増幅する構成要素である。
インクジェットコントローラ５４は、塗布ヘッド３１の動作を制御する構成要素である。

【0033】

図４に示すように、塗布装置１１は、塗布ヘッド管理システム１０の一部を構成している。図４に示す例では、塗布ヘッド管理システム１０は、塗布装置１１と、計量検査機構１３と、保管部１８と、塗布ヘッド管理装置１９と、を備えている。ただし、計量検査機構１３と塗布ヘッド管理装置１９は、塗布装置１１に組み込むことができる。

【0034】

計量検査機構１３は、塗布材の量を計量する機構である。計量検査機構１３は、塗布材の量を計量するための電子天秤１３ａを有している。電子天秤１３ａは、制御装置１２に接続されており、制御装置１２からの指示に基づいて塗布材の量を計測する。計量検査機構１３の詳細については、後記する。
保管部１８は、塗布装置１１から取り外された塗布ヘッドユニット２２等を保管する構成要素である。
塗布ヘッド管理装置１９は、塗布ヘッドユニット２２や塗布ヘッド３１を管理する装置である。塗布ヘッド管理装置１９は、パーソナルコンピュータ（ＰＣ）によって構成されている。なお、塗布ヘッド管理装置１９は、制御装置１２のメインＰＣ５１と統合（一体化）することができる。

【0035】

制御装置１２は、制御部５０の一部を構成している。図４に示す例では、制御部５０は、メインＰＣ５１とモータコントローラ５２とアンプ５３とインクジェットコントローラ５４と塗布ヘッド管理装置１９とを含む構成になっている。
制御部５０は、任意のタイミングで格納情報Ｄｓｔ（図５参照）を記憶部３３に格納する。

【0036】

＜格納情報の一例＞
以下、図５を参照して、塗布ヘッド３１に設けられた記憶部３３の格納情報Ｄｓｔの一例について説明する。図５は、塗布ヘッド３１に設けられた記憶部３３の格納情報Ｄｓｔの説明図である。

【0037】

図５に示すように、本実施形態では、格納情報Ｄｓｔは、塗布ヘッド３１に関する情報として、塗布ヘッド３１に固有な固有情報Ｄ１０と、塗布ヘッド３１の来歴を表す来歴情報Ｄ２０と、を含む構成になっている。

【0038】

固有情報Ｄ１０は、記憶部３３の第１記憶領域３３ａに記憶され、来歴情報Ｄ２０は、記憶部３３の第２記憶領域３３ｂに記憶される。制御部５０は、記憶部３３の第１記憶領域３３ａから固有情報Ｄ１０を読み取ると共に、塗布ヘッド３１の塗布動作に応じて来歴情報Ｄ２０を記憶部３３の第２記憶領域３３ｂに格納する。

【0039】

塗布装置１１は、固有情報Ｄ１０と来歴情報Ｄ２０とを塗布ヘッド３１の記憶部３３に記憶する。これにより、塗布装置１１は、塗布ヘッド３１の駆動条件（例えば、塗布ヘッド３１の駆動電圧やヒータ４０の温度等）、塗布材の塗布条件、環境条件、材料条件等の運転条件、並びに、製品の生産に使用した時間、塗布材の滴下数、塗布材の累積塗布量等の来歴情報Ｄ２０（使用実績情報）を塗布ヘッド３１毎に管理することができる。

【0040】

図５に示す例では、固有情報Ｄ１０は、シリアルナンバー情報Ｄ１ａと、メーカ検査日情報Ｄ１ｂと、検査時基準電圧情報Ｄ１ｃと、を含む構成になっている。これらの情報は、主にヘッドメーカによって記憶部３３に記憶される。

【0041】

シリアルナンバー情報Ｄ１ａは、塗布ヘッド３１に付された固有の番号（符号を含む）を表している。シリアルナンバー情報Ｄ１ａを書き込むタイミングは、製造時である。シリアルナンバー情報Ｄ１ａの使用目的は、機種の特定である。

【0042】

メーカ検査日情報Ｄ１ｂは、塗布ヘッド３１のメーカ検査日を表している。メーカ検査日情報Ｄ１ｂを書き込むタイミングは、メーカ検査時である。メーカ検査日情報Ｄ１ｂの使用目的は、メーカ検査日の特定である。

【0043】

検査時基準電圧情報Ｄ１ｃは、メーカ検査時の基準電圧（値）を表している。検査時基準電圧情報Ｄ１ｃを書き込むタイミングは、メーカ検査時である。検査時基準電圧情報Ｄ１ｃの使用目的は、メーカ検査時の基準電圧の特定である。

【0044】

なお、図５に示す例では、固有情報Ｄ１０と来歴情報Ｄ２０とに加え、現地での初通電日情報ＤＡが記憶部３３に記憶されている。現地での初通電日情報ＤＡは、現地で初めて通電された日を表している。図５に示す例では、現地での初通電日情報ＤＡは、「年」と「月日」とに分割されて格納されている。現地での初通電日情報ＤＡを書き込むタイミングは、塗布ヘッドユニット２２への塗布ヘッド３１の取り付け時である。現地での初通電日情報ＤＡの使用目的は、使用開始日の特定である。なお、現地での初通電日情報ＤＡは、来歴情報Ｄ２０の一種として取り扱うようにしてもよい。この場合、現地での初通電日情報ＤＡは、記憶部３３の第２記憶領域３３ｂに格納される。

【0045】

また、図５に示す例では、来歴情報Ｄ２０は、塗布ヘッド３１の動作経過に関する動作経過情報Ｄ２１と、塗布ヘッド３１の駆動に関する駆動情報Ｄ２２と、エラーに関するエラー情報Ｄ２３と、に大別されている。

【0046】

動作経過情報Ｄ２１は、総通電時間情報Ｄ２ａと、総射出時間情報Ｄ２ｂと、連続使用時間情報Ｄ２ｃと、最終ヘッド取付日時情報Ｄ２ｄと、最終搭載機ナンバー情報Ｄ２ｅと、最終搭載ラインナンバー情報Ｄ２ｆと、最終搭載ヘッドナンバー情報Ｄ２ｇと、を含む構成になっている。

【0047】

駆動情報Ｄ２２は、レシピナンバー情報Ｄ２ｈと、内部ヒータ温度情報Ｄ２ｉと、駆動電圧情報Ｄ２ｊと、駆動電圧傾き情報Ｄ２ｋと、を含む構成になっている。

【0048】

エラー情報Ｄ２３は、計量エラー回数情報Ｄ２ｌと、射出抜けエラー回数情報Ｄ２ｍと、通信エラー回数情報Ｄ２ｎと、を含む構成になっている。

【0049】

総通電時間情報Ｄ２ａは、塗布ヘッド３１の総通電時間を表している。総通電時間情報Ｄ２ａを書き込むタイミングは、塗布ヘッド３１の取り外し時である。総通電時間情報Ｄ２ａの使用目的は、塗布ヘッド３１の使用期間の把握である。

【0050】

総射出時間情報Ｄ２ｂは、塗布ヘッド３１の総射出時間を表している。総射出時間情報Ｄ２ｂを書き込むタイミングは、塗布ヘッド３１の射出終了時である。総射出時間情報Ｄ２ｂの使用目的は、塗布ヘッド３１の射出使用時間の把握である。

【0051】

連続使用時間情報Ｄ２ｃは、塗布ヘッド３１の連続使用時間を表している。連続使用時間情報Ｄ２ｃを書き込むタイミングは、塗布ヘッド３１の取り外し時である。連続使用時間情報Ｄ２ｃの使用目的は、塗布ヘッド３１の使用期間の把握である。

【0052】

最終ヘッド取付日時情報Ｄ２ｄは、最終的に塗布ヘッド３１を取り付けた日時を表している。図５に示す例では、最終ヘッド取付日時情報Ｄ２ｄは、「年」と「月日」と「時分」とに分割されて格納されている。最終ヘッド取付日時情報Ｄ２ｄを書き込むタイミングは、塗布ヘッド３１の取り外し時である。最終ヘッド取付日時情報Ｄ２ｄの使用目的は、塗布ヘッド３１の未使用期間の把握である。

【0053】

最終搭載機ナンバー情報Ｄ２ｅは、最終的に塗布ヘッド３１を搭載した号機のナンバーを表している。最終搭載機ナンバー情報Ｄ２ｅを書き込むタイミングは、塗布ヘッド３１の取り外し時である。最終搭載機ナンバー情報Ｄ２ｅの使用目的は、塗布ヘッド３１を使用していた搭載ヘッド（塗布ヘッドユニット）の把握である。

【0054】

最終搭載ラインナンバー情報Ｄ２ｆは、最終的に塗布ヘッド３１を搭載したラインのナンバーを表している。最終搭載ラインナンバー情報Ｄ２ｆを書き込むタイミングは、塗布ヘッド３１の取り外し時である。最終搭載ラインナンバー情報Ｄ２ｆの使用目的は、塗布ヘッド３１を使用していた搭載ヘッド（塗布ヘッドユニット）の把握である。

【0055】

最終搭載ヘッドナンバー情報Ｄ２ｇは、最終的に塗布ヘッド３１を搭載した塗布ヘッドユニットのナンバーを表している。最終搭載ヘッドナンバー情報Ｄ２ｇを書き込むタイミングは、塗布ヘッド３１の取り外し時である。最終搭載ヘッドナンバー情報Ｄ２ｇの使用目的は、塗布ヘッド３１を使用していた搭載ヘッド（塗布ヘッドユニット）の把握である。

【0056】

レシピナンバー情報Ｄ２ｈは、レシピナンバー（材料の型式）を表している。レシピナンバー情報Ｄ２ｈを書き込むタイミングは、塗布ヘッド３１の取り外し時である。レシピナンバー情報Ｄ２ｈの使用目的は、塗布ヘッド３１での使用材料の把握である。

【0057】

内部ヒータ温度情報Ｄ２ｉは、ヒータ４０の制御温度を表している。内部ヒータ温度情報Ｄ２ｉを書き込むタイミングは、塗布ヘッド３１の取り外し時である。内部ヒータ温度情報Ｄ２ｉの使用目的は、塗布ヘッド３１の射出条件の引き継ぎである。

【0058】

駆動電圧情報Ｄ２ｊは、塗布ヘッド３１の駆動電圧（値）を表している。駆動電圧情報Ｄ２ｊを書き込むタイミングは、塗布ヘッド３１の取り外し時である。駆動電圧情報Ｄ２ｊの使用目的は、塗布ヘッド３１の射出条件の引き継ぎである。

【0059】

駆動電圧傾き情報Ｄ２ｋは、塗布ヘッド３１の駆動電圧（値）の傾きの程度を表している。ここで、「駆動電圧の傾きの程度」とは、例えば図１７に示すように、塗布ヘッド３１の駆動電圧（Ｖ）の変化量に対する塗布材の射出量（ｍｇ）の変化量の特性を表す線の傾きが理想的な線の傾きに対してどの程度相違しているのかを意味している。駆動電圧傾き情報Ｄ２ｋを書き込むタイミングは、塗布材の計量検査の終了時である。駆動電圧傾き情報Ｄ２ｋの使用目的は、検量線（駆動電圧の傾きを表す線）の補正である。

【0060】

計量エラー回数情報Ｄ２ｌは、計量エラーの発生回数を表している。計量エラー回数情報Ｄ２ｌを書き込むタイミングは、塗布材の計量検査の終了時である。計量エラー回数情報Ｄ２ｌの使用目的は、計量エラーの発生回数の把握である。

【0061】

射出抜けエラー回数情報Ｄ２ｍは、射出抜けエラーの発生回数を表している。射出抜けエラー回数情報Ｄ２ｍを書き込むタイミングは、塗布ヘッド３１の塗布抜け検査終了時である。射出抜けエラー回数情報Ｄ２ｍの使用目的は、射出抜けエラーの発生回数の把握である。

【0062】

通信エラー回数情報Ｄ２ｎは、制御装置１２の内部及び制御装置１２と他の装置との間での通信エラーの発生回数を表している。通信エラー回数情報Ｄ２ｎを書き込むタイミングは、通信エラーの発生時である。通信エラー回数情報Ｄ２ｎの使用目的は、通信エラーの発生回数の把握である。

【0063】

このような格納情報Ｄｓｔに対し、塗布装置１１の制御部５０は、塗布装置１１の稼働中に運転条件並びに来歴情報Ｄ２０（使用実績情報）を自動的に書き込む。塗布ヘッド３１は、洗浄を行うために、定期的に塗布装置１１から取り外される。塗布装置１１は、洗浄された塗布ヘッド３１が再度取り付けられたときに、取り付けられた塗布ヘッド３１の来歴情報Ｄ２０（使用実績情報）を塗布ヘッド３１の記憶部３３から自動的に取得することができる。

【0064】

また、このような格納情報Ｄｓｔに対し、塗布ヘッド管理装置１９は、各塗布ヘッド３１の来歴情報Ｄ２０（使用実績情報）を参照して、稼働実績の少ない塗布ヘッド３１が使用頻度の高いヘッドポジションに取り付けられるように、塗布ヘッド３１の交換を使用者に指示することができる。この指示は、例えば、塗布ヘッド３１の交換を指示するための画面を塗布ヘッド管理装置１９の図示せぬ表示部に表示することで行われる。これにより、塗布ヘッド管理装置１９は、複数の塗布ヘッド３１に対し、全体で状態の最適化を行うことができる。

【0065】

＜製品の一例＞
以下、図６を参照して、塗布装置１１によって生産される製品の一例について説明する。図６は、製品の一例としての液晶画像表示装置６０の断面構造図である。ここでは、液晶画像表示装置６０が高精細フラットパネルディスプレイである場合を想定して説明する。また、ここでは、塗布装置１１は、液晶画像表示装置６０の一部分を構成する基板７０に、塗布材として液晶材料を塗布するものとして説明する。

【0066】

図６に示すように、液晶画像表示装置６０は、使用者の視認側（表面側）から順に、偏光フィルタ６１、ガラス基板６２、カラーフィルタ６３、透明電極６４、配光膜６５、液晶層６６、配光膜６７、透明電極６８、及びガラス基板６９が積層された構成になっている。図６に示す例では、偏光フィルタ６１、ガラス基板６２、カラーフィルタ６３、透明電極６４、配光膜６５、及び液晶層６６によって基板７０が構成されている。塗布装置１１は、基板７０に、塗布材９９として、液中に液晶体が混入された液晶材料を塗布することで、液晶画像表示装置６０の部品を製造する。

【0067】

＜塗布ヘッド管理システムの動作＞
以下、図７を参照して、塗布ヘッド管理システム１０（図４参照）の動作について説明する。図７は、塗布ヘッド管理システム１０の動作を示すフローチャートである。

【0068】

塗布ヘッド管理システム１０（図４参照）は、例えば、使用者によって塗布ヘッド３１の状態監視の指示を受けることで、動作を開始する。塗布ヘッド管理システム１０（図４参照）の動作は、主に制御部５０（特に塗布ヘッド管理装置１９）によって実現される。

【0069】

図７に示すように、塗布ヘッド管理システム１０は、各塗布ヘッド３１の記憶部３３から固有情報Ｄ１０と来歴情報Ｄ２０とを取得して図示せぬ記憶部に登録する（ステップＳ１０５）。ここでいう「各塗布ヘッド３１」とは、塗布装置１１に搭載された塗布ヘッドユニット２２に取り付けられている塗布ヘッド３１と、保管部１８（図４参照）に保管されている塗布ヘッドユニット２２に取り付けられている塗布ヘッド３１と、保管部１８（図４参照）に単体で保管されている塗布ヘッド３１等を意味している。なお、保管部１８（図４参照）に保管されている塗布ヘッド３１としては、塗布ヘッドユニット２２から取り外されたものもあれば、未使用のものもある。

【0070】

塗布ヘッド管理システム１０は、各塗布ヘッド３１の固有情報Ｄ１０と来歴情報Ｄ２０とに基づいて、各塗布ヘッド３１の動作状態の監視を開始する（ステップＳ１１０）。

【0071】

塗布ヘッド管理システム１０は、好ましくない状態の塗布ヘッド３１があるか否かを判定する（ステップＳ１１５）。ここで、「好ましくない状態の塗布ヘッド３１」とは、他のものよりも比較的長期間に亘って塗布装置１１に取り付けられている塗布ヘッド３１や、他のものよりも比較的長期間に亘って保管部１８（図４参照）に保管されている塗布ヘッド３１等がある。他のものよりも比較的長期間に亘って塗布装置１１に取り付けられている塗布ヘッド３１は、他のものよりも劣化している可能性がある。また、他のものよりも比較的長期間に亘って保管部１８（図４参照）に保管されている塗布ヘッド３１は、内部に付着した塗布材が固化している可能性がある。これらの塗布ヘッド３１は、塗布材を射出するための駆動電圧の特性が初期時（メーカ検査時）から比較的大きく変化している可能性がある。

【0072】

ステップＳ１１５の判定で、好ましくない状態の塗布ヘッド３１がないと判定された場合（“Ｎｏ”の場合）に、処理はステップＳ１３５に進む。一方、ステップＳ１１５の判定で、好ましくない状態の塗布ヘッド３１があると判定された場合（“Ｙｅｓ”の場合）に、塗布ヘッド管理システム１０は、塗布ヘッド３１（又は、塗布ヘッド３１が取り付けられている塗布ヘッドユニット２２）の交換を使用者に指示する（ステップＳ１２０）。

【0073】

ステップＳ１２０の後、使用者が塗布ヘッド３１（又は、塗布ヘッド３１が取り付けられている塗布ヘッドユニット２２）を交換すると、塗布ヘッド管理システム１０は、図示せぬセンサで塗布ヘッド３１の交換を検知する（ステップＳ１２５）。

【0074】

ステップＳ１２５の後、塗布ヘッド管理システム１０は、交換された塗布ヘッド３１の記憶部３３から固有情報Ｄ１０と来歴情報Ｄ２０とを取得して図示せぬ記憶部に更新登録する（ステップＳ１３０）。

【0075】

ステップＳ１１５の判定で好ましくない状態の塗布ヘッド３１がないと判定された場合（“Ｎｏ”の場合）、又は、ステップＳ１３０の後に、塗布ヘッド管理システム１０は、塗布ヘッド３１の状態監視の終了指示があったか否かを判定する（ステップＳ１３５）。

【0076】

ステップＳ１３５の判定で、塗布ヘッド３１の状態監視の終了指示がなかったと判定された場合（“Ｎｏ”の場合）に、塗布ヘッド３１の状態監視を継続する（ステップＳ１４０）。この後、処理はステップＳ１１５に戻る。一方、ステップＳ１３５の判定で、塗布ヘッド３１の状態監視の終了指示があったと判定された場合（“Ｙｅｓ”の場合）に、一連のルーチンの処理が終了する。

【0077】

＜塗布装置の動作＞
以下、図８を参照して、塗布装置１１の動作について説明する。図８は、塗布装置１１の動作を示すフローチャートである。

【0078】

塗布装置１１は、例えば、使用者によって電源が投入されたり生産運転の指示を受けたりすることで、動作を開始する。塗布装置１１の動作は、主に制御部５０（特に制御装置１２）によって実現される。

【0079】

図８に示すように、塗布装置１１は、図示せぬ入力部から使用者による生産運転の実行指示を受け付ける（ステップＳ６０５）。すると、塗布装置１１は、塗布装置１１に搭載された各塗布ヘッドユニット２２に取り付けられている塗布ヘッド３１の記憶部３３から固有情報Ｄ１０（例えばシリアルナンバー）を読み取る（ステップＳ６１０）。

【0080】

そして、塗布装置１１は、塗布ヘッド３１の交換があったか否かを判定する（ステップＳ６１５）。この判定は、塗布装置１１の図示せぬ記憶部に各塗布ヘッドユニット２２に対応して予め登録された塗布ヘッド３１の固有情報Ｄ１０とステップＳ６１０で読み取られた塗布ヘッド３１の固有情報Ｄ１０とを比較することによって行われる。両者が異なる場合に、塗布ヘッド３１の交換があったと判定され、一方、両者が一致する場合に、塗布ヘッド３１の交換がなかったと判定される。

【0081】

ステップＳ６１５の判定で、塗布ヘッド３１の交換があったと判定された場合（“Ｙｅｓ”の場合）に、塗布装置１１は、交換された塗布ヘッド３１の記憶部３３から来歴情報Ｄ２０を読み取る（ステップＳ６２０）。そして、塗布装置１１は、交換された塗布ヘッド３１に対して、予め用意された制御プログラムに従って、来歴情報Ｄ２０に基づいて塗布ヘッド３１の駆動条件（例えば、塗布ヘッド３１の駆動電圧やヒータ４０の温度等）を決定する（ステップＳ６２５）。

【0082】

一方、ステップＳ６１５の判定で、塗布ヘッド３１の交換がなかったと判定された場合（“Ｎｏ”の場合）に、塗布装置１１は、塗布ヘッド３１の駆動条件（例えば、前回の塗布ヘッド３１の駆動電圧やヒータ４０の温度等）として前回の塗布ヘッド３１の駆動条件に決定する（ステップＳ６３０）。

【0083】

ステップＳ６２５又はステップＳ６３０の後、ステップＳ６２５又はステップＳ６３０で決定された駆動条件で塗布ヘッド３１を駆動して、塗布材の飛滴検査を実行し（ステップＳ６３５）、さらに、塗布材の計量検査を実行する（ステップＳ６４０）。飛滴検査と計量検査とについては、後記する。

【0084】

ステップＳ６４０の後、各塗布ヘッド３１の中で、駆動条件（例えば、前回の塗布ヘッド３１の駆動電圧等）の補正を要する塗布ヘッド３１があるか否かを判定する（ステップＳ６４５）。

【0085】

ステップＳ６４５の判定で、駆動条件の補正を要する塗布ヘッド３１があると判定された場合（“Ｙｅｓ”の場合）に、塗布装置１１は、その塗布ヘッド３１に対して、予め用意された制御プログラムに従って、駆動条件（例えば、前回の塗布ヘッド３１の駆動電圧等）の補正を実行する（ステップＳ６５０）。この補正については、後記する。この後、処理はステップＳ６３５に戻る。

【0086】

一方、ステップＳ６４５の判定で、駆動条件の補正を要する塗布ヘッド３１がないと判定された場合（“Ｎｏ”の場合）に、塗布装置１１は、生産運転を開始して、基板７０への塗布材の塗布を実行する（ステップＳ６５５）。

【0087】

ステップＳ６５５の後、塗布装置１１は、基板７０に塗布された塗布材のドット検査（塗布抜け検査）を実行する（ステップＳ６６０）。ドット検査（塗布抜け検査）については、後記する。

【0088】

ステップＳ６６０の後、塗布装置１１は、生産運転が終了したか否かを判定する（ステップＳ６６５）。ステップＳ６６５の判定で、生産運転が終了していないと判定された場合（“Ｎｏ”の場合）に、処理はステップＳ６５５に戻る。一方、ステップＳ６６５の判定で、生産運転が終了したと判定された場合（“Ｙｅｓ”の場合）に、塗布装置１１は、塗布ヘッド３１の塗布動作に応じて来歴情報Ｄ２０を記憶部３３の第２記憶領域３３ｂに格納する（ステップＳ６７０）。また、塗布装置１１は、各塗布ヘッドユニット２２に対応して塗布ヘッド３１の固有情報Ｄ１０（例えばシリアルナンバー）を図示せぬ記憶部に格納する。これにより、一連のルーチンの処理が終了する。

【0089】

＜飛滴検査＞
以下、図９乃至図１３Ｅを参照して、飛滴検査について説明する。図９は、飛滴検査機構の概略構成図である。図１０は、飛滴検査において良好な場合の一例を概略的に示す説明図である。図１１Ａ及び図１１Ｂは、それぞれ、飛滴検査において不適切な場合の一例を概略的に示す説明図である。図１２は、飛滴検査において良好な場合の一例を詳細に示す説明図である。図１３Ａ乃至図１３Ｅは、それぞれ、飛滴検査において不適切な場合の一例を詳細に示す説明図である。

【0090】

飛滴検査は、塗布ヘッド３１によって射出された飛行中の塗布材の状態を確認する検査である。飛滴検査は、生産運転開始前に行われる。飛滴検査では、例えば、図９に示す飛滴検査機構１４が用いられる。飛滴検査機構１４は、保持テーブル２１（図１参照）の周囲に設けられている。図９に示すように、飛滴検査機構は、ストロボ照明１５ａと、高解像度カメラによって構成された飛滴検査カメラ１５ｂと、を有している。飛滴検査時において、ストロボ照明１５ａと飛滴検査カメラ１５ｂとは、塗布ヘッド３１のノズル３２から射出される塗布材を挟んで対向するように配置される。そして、ストロボ照明１５ａは、塗布材に向けて瞬間的に明滅する照明光を連続して発する。一方、飛滴検査カメラ１５ｂは、塗布材の写真を連続して撮影する。これにより、飛滴検査機構１４は、塗布ヘッド３１のノズル３２から射出された飛行中の塗布材の写真を取得する。塗布装置１１は、飛滴検査機構１４によって取得された塗布材の写真に基づいて、塗布材の状態を識別して、塗布材の飛滴検査を行う。

【0091】

図１０は、飛滴検査において良好な場合の一例を概略的に示している。図１０に示す例では、塗布材９９の形状がほぼ球状になっている。

【0092】

一方、図１１Ａ及び図１１Ｂは、飛滴検査において不適切な場合の一例を概略的に示している。図１１Ａに示す例では、塗布材９９の形状が崩れた球状になっている。また、本来単体であるはずの塗布材９９が複数個に分裂している。また、図１１Ｂに示す例では、塗布ヘッド３１のノズル３２の周囲に塗布材９９の液溜まり９１が発生している。また、意図せぬ塗布材９９の落下が発生している。

【0093】

また、図１２は、飛滴検査において良好な場合の一例を詳細に示している。図１２に示す例では、塗布ヘッド３１の各ノズル３２から射出された塗布材が上から下に向けて進行している。そして、塗布装置１１は、以下の特徴点Ａ１乃至特徴点Ａ５に基づいて、塗布材９９の飛滴状態が良好であると判定している。
（特徴点Ａ１）指定した全てのノズル３２から塗布材９９を射出している。
（特徴点Ａ２）塗布材９９の１滴１滴がきれいな球状になっている。
（特徴点Ａ３）塗布材９９の飛滴間隔が均一になっている。
（特徴点Ａ４）塗布材９９の飛び散りが少ない。つまり、塗布材９９の飛滴が存在する空間がきれいな状態になっている。
（特徴点Ａ５）塗布ヘッド３１の下面（ノズル３２の射出口が設けられた面）に塗布材９９の液溜まり９１（図１１Ｂ参照）が無い。

【0094】

また、図１３Ａ乃至図１３Ｅは、飛滴検査において不適切な場合の一例を詳細に示している。図１３Ａ乃至図１３Ｅに示す例では、塗布ヘッド３１の各ノズル３２から射出された塗布材が上から下に向けて進行している。そして、塗布装置１１は、以下の特徴点Ｂ１乃至特徴点Ｂ５に基づいて、塗布材９９の飛滴状態が不適切であると判定している。
（特徴点Ｂ１）指定した全てのノズル３２から塗布材９９を射出していない。つまり、塗布材９９の射出抜けが発生している（図１３Ａ及び図１３Ｅ参照）。
（特徴点Ｂ２）塗布材９９が崩れた球状になっている（図１３Ｂ参照）。
（特徴点Ｂ３）塗布材９９の飛滴間隔が不均一になっている（図１３Ｂ乃至図１３Ｅ参照）。
（特徴点Ｂ４）塗布材９９の飛び散りが多い（図１３Ｂ及び図１３Ｃ参照）。つまり、塗布材９９の飛滴が存在する空間が汚れた状態になっている。
（特徴点Ｂ５）塗布ヘッド３１の下面（ノズル３２の射出口が設けられた面）に塗布材９９の液溜まり９１（図１１Ｂ参照）が有る（図１３Ｄ参照）。

【0095】

前記した特徴点Ｂ１乃至特徴点Ｂ５の発生原因としては、例えば以下のものがある。
（特徴点Ｂ１）塗布ヘッド３１及びパイプ３４ｄの空気抜きが不足している。
（特徴点Ｂ２）塗布ヘッド３１及びパイプ３４ｄの空気抜きが不足している。射出される塗布材９９の温度が低い。
（特徴点Ｂ３）塗布ヘッド３１及びパイプ３４ｄの空気抜きが不足している。
（特徴点Ｂ４）塗布ヘッド３１の駆動電圧（射出電圧）が高い。射出される塗布材９９の温度が高い。
（特徴点Ｂ５）塗布ヘッド３１及びパイプ３４ｄの空気抜きが不足している。

【0096】

塗布装置１１は、飛滴検査を行い、塗布材９９の飛滴状態が不適切である場合に、例えば、レギュレータ３７で空気の負圧を増加させたり、ヒータ４０の温度を変更したり、塗布ヘッド３１の駆動電圧を補正したりする。レギュレータ３７で負圧を増加させる処理は、塗布ヘッド３１及びパイプ３４ｄの空気抜き不足を解消するために行われる。ヒータ４０の温度を変更する処理は、塗布ヘッド３１から射出される塗布材９９の温度を変更するために行われる。塗布ヘッド３１の駆動電圧を補正する処理は、塗布ヘッド３１から射出される塗布材９９の射出量を変更するために行われる。なお、塗布材９９の飛滴状態が悪い場合に、塗布ヘッド管理システム１０（特に塗布ヘッド管理装置）は、図示せぬ表示部で、塗布ヘッド３１（又は、塗布ヘッド３１が取り付けられている塗布ヘッドユニット２２）の交換や洗浄を使用者に指示する。

【0097】

＜計量検査＞
以下、図１４乃至図１６Ｂを参照して、計量検査について説明する。図１４は、計量検査機構の概略構成図である。図１５は、各塗布ヘッド３１の駆動電圧と塗布材の射出量との関係の違いを示すグラフ図である。図１６Ａは、塗布材の滴下数と塗布材の総射出量との関係を示すグラフ図である。図１６Ｂは、塗布ヘッド３１の駆動電圧と塗布材の総射出量との関係を示すグラフ図である。

【0098】

計量検査は、塗布ヘッド３１によって射出された塗布材の射出量を計測する検査である。計量検査は、飛滴検査とともに、生産運転開始前に行われる。飛滴検査では、例えば、図１４に示す計量検査機構１３が用いられる。計量検査機構１３は、電子天秤１３ａを有している。電子天秤１３ａは、塗布ヘッド３１から射出される塗布材の射出量を計量して、基板７０に対する塗布材の塗布量を調整するために使用される。

【0099】

塗布装置１１は、制御装置１２の制御下において図示せぬ搬送手段を稼働させることによって保持テーブル２１上の所定位置に電子天秤１３ａを配置する。塗布装置１１は、駆動電圧を塗布ヘッド３１に印加することで、塗布ヘッド３１から電子天秤１３ａに向けて塗布材を射出する。塗布装置１１は、塗布ヘッド３１から射出された塗布材の射出量を電子天秤１３ａで計量する。塗布装置１１は、複数の塗布ヘッド３１を搭載している。塗布装置１１は、全ての塗布ヘッド３１に対して、塗布材の射出量を計量して、各塗布ヘッド３１の塗布材の射出量を管理する。

【0100】

図１５に示すように、塗布ヘッド３１の駆動電圧に対する塗布材の射出量は、各塗布ヘッド３１でバラツキがある。そこで、塗布装置１１は、各塗布ヘッド３１での塗布材の射出量が均一になるように、各塗布ヘッド３１を制御する。塗布ヘッド３１の制御は、以下のようにして行われる。

【0101】

例えば、塗布材の総射出量（ｍｇ）の目標値に対する調整は、塗布材の滴下数（射出数）により制御する。図１６Ａは、塗布材の総射出量（ｍｇ）の目標値に対する塗布材の滴下数を示している。つまり、図１６Ａは、電子天秤１３ａで計量された塗布材の総射出量（ｍｇ）が目標値と一致したときの塗布材の滴下数が何滴であったのかを示している。塗布装置１１は、各塗布ヘッド３１での塗布材の総射出量が均一になるように、各塗布ヘッド３１で塗布材の滴下数（射出数）を制御する。

【0102】

また、例えば、塗布ヘッド３１の機差（個体差）に対する塗布材の滴下量（射出量）の調整は、塗布ヘッド３１の駆動電圧（射出電圧）により制御する。図１６Ｂは、第２ヘッドの総射出量が第１ヘッドの総射出量よりも多いため、第２ヘッドの総射出量が第１ヘッドの総射出量と同じになるように、白抜き矢印のように第２ヘッドの駆動電圧を調整（変更）することを示している。なお、調整前の各塗布ヘッド３１の駆動電圧は、各塗布ヘッド３１の記憶部３３に記憶された駆動電圧情報Ｄ２ｊ（図５参照）によって示された電圧値になっている。塗布装置１１は、各塗布ヘッド３１での塗布材の総射出量が均一になるように、各塗布ヘッド３１の駆動電圧（射出電圧）に対して、駆動電圧情報Ｄ２ｊ（図５参照）によって示された電圧値を維持したり変更したりして調整する。なお、電圧値を変更した場合に、塗布装置１１は、塗布ヘッド３１の記憶部３３に記憶されている駆動電圧情報Ｄ２ｊ（図５参照）を変更後の電圧値に更新登録する。

【0103】

＜塗布ヘッドの駆動電圧の補正＞
塗布装置１１は、塗布材の射出量を変更するために塗布ヘッド３１の駆動電圧を補正した場合に、塗布ヘッド３１の特性の違いによって、駆動電圧の補正の仕方や補正回数に違いが発生する。そこで、本実施形態では、塗布装置１１は、塗布ヘッド３１の特性を表す情報として駆動電圧傾き情報Ｄ２ｋを各塗布ヘッド３１の記憶部３３に記憶する。そして、塗布装置１１は、塗布材の射出量を変更するために駆動電圧を補正する場合に、駆動電圧傾き情報Ｄ２ｋに応じた駆動電圧の補正の仕方や補正回数で、駆動電圧を補正する。

【0104】

以下、図１７乃至図１８Ｃを参照して、塗布ヘッド３１の駆動条件の補正の一例としての塗布ヘッド３１の駆動電圧の補正について説明する。図１７は、塗布ヘッド３１の駆動電圧の傾きの違いを示すグラフ図である。図１８Ａ乃至図１８Ｃは、それぞれ、塗布ヘッド３１の駆動電圧の傾きの違いによる補正の違いを示す説明図である。

【0105】

図１７に示す例では、塗布ヘッド３１の駆動電圧（Ｖ）に対する塗布材の射出量（ｍｇ）の特性を表す線として線Ｌ１１，Ｌ１２，Ｌ１３が示されている。線Ｌ１１は、塗布ヘッド３１の駆動電圧の変化量に対して塗布材の射出量の変化量が理想的な状態になっている例を示している。線Ｌ１２は、塗布ヘッド３１の駆動電圧の変化量に対して塗布材の射出量の変化量が過剰な状態になっている例を示している。線Ｌ１３は、塗布ヘッド３１の駆動電圧の変化量に対して塗布材の射出量の変化量が過少な状態になっている例を示している。

【0106】

図１８Ａ乃至図１８Ｃに示すように、塗布装置１１は、塗布材の射出量を変更するために駆動電圧を補正する場合に、線Ｌ１１，Ｌ１２，Ｌ１３の特性（すなわち、駆動電圧傾き情報Ｄ２ｋ）に応じた駆動電圧の補正の仕方や補正回数で駆動電圧を補正する。

【0107】

例えば、図１８Ａに示すように、線Ｌ１１（図１７参照）の特性を有する塗布ヘッド３１は、駆動電圧の変化量に対して塗布材の射出量の変化量が理想的な状態になっている。そのため、線Ｌ１１の特性を有する塗布ヘッド３１は、目標値から塗布材の射出量がズレている場合において、塗布材の射出量が目標値に一致するように塗布ヘッド３１の駆動電圧を補正することで、１回の駆動電圧の補正で塗布材の射出量を目標値に設定することができる。つまり、例えば図１８Ａに示すように、目標値からの塗布材の射出量のズレを表す偏差が＋３側にズレている状態において、線Ｌ１１の特性を有する塗布ヘッド３１は、１回の駆動電圧の補正で偏差がゼロの状態にすることができる。

【0108】

これに対して、図１８Ｂに示すように、線Ｌ１２（図１７参照）の特性を有する塗布ヘッド３１は、駆動電圧の変化量に対して塗布材の射出量の変化量が過剰な状態になっている。そのため、線Ｌ１２の特性を有する塗布ヘッド３１は、目標値から塗布材の射出量がズレている場合において、塗布材の射出量が目標値に一致するように塗布ヘッド３１の駆動電圧を補正しても、塗布材の射出量の変化量が過剰になってしまう。つまり、例えば図１８Ｂに示すように、偏差が＋３側にズレている状態において、線Ｌ１２の特性を有する塗布ヘッド３１は、１回目の駆動電圧の補正を行っても、偏差がマイナス側にズレた状態になってしまう。そのため、線Ｌ１２の特性を有する塗布ヘッド３１は、偏差をゼロに近づけるための追加の補正を複数回行う。

【0109】

なお、追加の補正を行う回数は、線Ｌ１１の傾きに対する線Ｌ１２の傾きのズレ量によって変化する。ズレ量が大きければ（つまり、図１７において線Ｌ１２の傾きが縦軸に近くなれば）、駆動電圧の変化量に対する塗布材の射出量の変化量が大きくなる。そのため、図１８Ｂにおいて、１回当たりの駆動電圧の補正における偏差の変化量が大きくなる。その結果、偏差がゼロに収束し難くなる。そのため、追加の補正を行う回数は増加する。一方、ズレ量が小さければ（つまり、図１７において線Ｌ１２の傾きが線Ｌ１１に近くなれば）、駆動電圧の変化量に対する塗布材の射出量の変化量が小さくなる。そのため、図１８Ｂにおいて、１回当たりの駆動電圧の補正における偏差の変化量が小さくなる。その結果、偏差がゼロに収束し易くなる。そのため、追加の補正を行う回数は減少する。

【0110】

また、図１８Ｃに示すように、線Ｌ１３（図１７参照）の特性を有する塗布ヘッド３１は、駆動電圧の変化量に対して塗布材の射出量の変化量が過少な状態になっている。そのため、線Ｌ１３の特性を有する塗布ヘッド３１は、目標値から塗布材の射出量がズレている場合において、塗布材の射出量が目標値に一致するように塗布ヘッド３１の駆動電圧を補正しても、塗布材の射出量の変化量が過少になってしまう。つまり、例えば図１８Ｃに示すように、偏差が＋３側にズレている状態において、線Ｌ１２の特性を有する塗布ヘッド３１は、１回目の駆動電圧の補正を行っても、偏差がまだプラス側にズレた状態になってしまう。そのため、線Ｌ１３の特性を有する塗布ヘッド３１は、偏差をゼロに近づけるための追加の補正を複数回行う。

【0111】

なお、追加の補正を行う回数は、線Ｌ１１の傾きに対する線Ｌ１３の傾きのズレ量によって変化する。ズレ量が大きければ（つまり、図１７において線Ｌ１３の傾きが横軸に近くなれば）、駆動電圧の変化量に対する塗布材の射出量の変化量が小さくなる。そのため、図１８Ｃにおいて、１回当たりの駆動電圧の補正における偏差の変化量が小さくなる。その結果、偏差がゼロに収束し難くなる。そのため、追加の補正を行う回数は増加する。一方、ズレ量が小さければ（つまり、図１７において線Ｌ１３の傾きが線Ｌ１１に近くなれば）、駆動電圧の変化量に対する塗布材の射出量の変化量が大きくなる。そのため、図１８Ｃにおいて、１回当たりの駆動電圧の補正における偏差の変化量が大きくなる。その結果、偏差がゼロに収束し易くなる。そのため、追加の補正を行う回数は減少する。

【0112】

このような塗布装置１１は、駆動電圧傾き情報Ｄ２ｋに応じた駆動電圧の補正の仕方や補正回数で駆動電圧を補正することにより、塗布材の射出量を効率よく変更することができる。

【0113】

＜ドット検査（塗布抜け検査）＞
以下、図１９乃至図２１を参照して、ドット検査（塗布抜け検査）について説明する。図１９及び図２０は、それぞれ、ドット検査機構の説明図である。図２１は、ドット検査において不適切な場合の一例を示す説明図である。

【0114】

ドット検査（塗布抜け検査）は、基板７０に塗布された塗布材の状態を確認する検査である。ドット検査（塗布抜け検査）は、生産運転中において、塗布ヘッド３１からの塗布材の射出後に行われる。ドット検査（塗布抜け検査）では、基板７０に塗布された塗布材の位置が悪かったり、射出不良があったりした場合に、その件数がカウントされる。

【0115】

図１９及び図２０に示すように、ドット検査機構１６は、複数のドット検査カメラ（図示例では、２つのドット検査カメラ１７ａ，１７ｂ）を有している。ドット検査カメラ１７ａ，１７ｂは、基板７０の上面（塗布材の塗布面）を撮影するカメラである。ドット検査カメラ１７ａ，１７ｂは、撮影部が基板７０の上面（塗布材の塗布面）に対向するように配置されている。ドット検査カメラ１７ａ，１７ｂは、横方向に一列に配置されている。塗布装置１１は、基板７０とドット検査カメラ１７ａ，１７ｂとを相対的に移動することにより、ドット検査カメラ１７ａ，１７ｂで基板７０の上面（塗布材の塗布面）を撮影する。

【0116】

図１９は、部分検査モードでドット検査（塗布抜け検査）を行う場合の動作を示している。「部分検査モード」は、基板７０の特定部分を指定し、特定部分を検査するモードである。部分検査モードでは、１台のドット検査カメラにつきドット検査カメラが撮影可能な範囲を検査範囲とすることができる。

【0117】

図１９に示す部分検査モードの例では、ドット検査カメラ１７ａ，１７ｂで撮影する部分として検査範囲７１ａ，７１ｂが指定されている。塗布装置１１は、所定位置で基板７０を停止した後、ドット検査カメラ１７ａで検査範囲７１ａを撮影し、ドット検査カメラ１７ｂで検査範囲７１ａを撮影する。そして塗布装置１１は、撮影された写真に基づいて、検査範囲７１ａ，７１ｂに対して基板７０の上面（塗布材の塗布面）の縦方向に延在する部分における塗布材の塗布状態を識別する。なお、図１９に示す例では、前記した「特定部分」とは、検査範囲７１ａ，７１ｂに対して基板７０の上面（塗布材の塗布面）の縦方向に延在する部分である。

【0118】

図２０は、全スキャンモードでドット検査（塗布抜け検査）を行う場合の動作を示している。「全スキャンモード」は、基板７０の上面（塗布材の塗布面）の全面を検査するモードである。全スキャンモードでは、基板７０の上面（塗布材の塗布面）の全面を検査範囲としている。

【0119】

図２０に示す全スキャンモードの例では、ドット検査カメラ１７ａ，１７ｂで撮影する部分として検査範囲７１ｃが指定されている。検査範囲７１ｃは、基板７０の上面（塗布材の塗布面）に対して横一列の範囲である。塗布装置１１は、縦方向（ドット検査カメラ１７ａ，１７ｂの配置方向に対して直交方向）に基板７０を搬送するとともに、ドット検査カメラ１７ａ，１７ｂを横方向に往復移動しながら、ドット検査カメラ１７ａ，１７ｂで検査範囲７１ｃを撮影する。そして塗布装置１１は、撮影された写真に基づいて、検査範囲７１ｃの上面（塗布材の塗布面）の縦方向に延在する部分（すなわち、基板７０の上面（塗布材の塗布面）の全面）における塗布材の塗布状態を識別する。

【0120】

図２１は、ドット検査において不適切な場合の一例を示している。基板７０には、射出抜け箇所７２（塗布抜け箇所）が形成されている。射出抜け箇所７２は、縦方向にライン状に形成されている。塗布装置１１は、撮影された写真に基づいて、ドット検査（塗布抜け検査）で射出抜け箇所７２を検知することができる。

【0121】

射出抜け箇所７２は、例えば、塗布ヘッド３１及びパイプ３４ｄの空気抜きが不足していて、塗布ヘッド３１から射出された塗布材の中に空気が混入していることによって発生する。射出抜け箇所７２が発生した場合は、レギュレータ３７で空気の負圧を増加させて、塗布ヘッド３１及びパイプ３４ｄから空気を抜くとともに、射出抜け箇所７２に対して塗布材のリペア塗布（修復用の塗布）を行うことで対処することができる。

【0122】

＜塗布装置と塗布ヘッド管理システムの主な特徴＞
（１）図１に示すように、本実施形態に係る塗布装置１１は、基板７０を保持する保持テーブル２１と、保持テーブル２１に保持されている基板７０に塗布材を塗布する塗布ヘッドユニット２２（塗布部）と、基板７０と塗布ヘッドユニット２２（塗布部）とを相対的に移動することにより基板７０の所定領域に塗布材を塗布するように制御する制御部５０と、を備えている。塗布ヘッドユニット２２（塗布部）には、基板７０に塗布材を塗布するための塗布ヘッド３１が着脱自在に取り付けられている。図２及び図５に示すように、塗布ヘッド３１は、塗布ヘッド３１の固有情報Ｄ１０が記憶される第１記憶領域３３ａと、塗布ヘッド３１の来歴情報Ｄ２０が記憶される第２記憶領域３３ｂと、を含む記憶部３３を有している。そして、図８に示すように、本実施形態に係る塗布装置１１は、塗布ヘッド３１に設けられた記憶部３３から塗布ヘッド３１の固有情報Ｄ１０を読み取る固有情報読取工程（ステップＳ６１０参照）と、基板７０と塗布ヘッドユニット２２（塗布部）とを相対的に移動することにより基板７０の所定領域に塗布材を塗布する塗布材塗布工程（ステップＳ６６０参照）と、塗布ヘッド３１の塗布動作に応じて塗布ヘッド３１の来歴情報Ｄ２０を記憶部３３に格納する来歴情報格納工程（ステップＳ６７０参照）と、を実行する。つまり、図８に示すように、制御部５０は、第１記憶領域３３ａから固有情報Ｄ１０を読み取る（ステップＳ６１０）と共に、塗布ヘッド３１の塗布動作に応じて来歴情報Ｄ２０を第２記憶領域３３ｂに格納する（ステップＳ６７０）。

【0123】

このような本実施形態に係る塗布装置１１は、第２記憶領域３３ｂに格納された来歴情報Ｄ２０に基づいて塗布ヘッド３１の塗布動作を把握することができるため、塗布ヘッド３１の状態を好適に管理することができる。そのため、本実施形態に係る塗布装置１１は、複数の塗布ヘッドユニット２２（塗布部）において、各塗布ヘッドユニット２２に取り付けられている塗布ヘッド３１を同じような状態に容易に調整することができる。また、塗布ヘッド３１の調整は、非常に繊細なものであるが、本実施形態に係る塗布装置１１は、塗布ヘッド３１の記憶部３３に記憶されている来歴情報Ｄ２０を利用することができるため、塗布ヘッドの調整を短時間で行うことができる。

【0124】

（２）図８に示すように、本実施形態に係る塗布装置１１の制御部５０は、第１記憶領域３３ａから固有情報Ｄ１０を読み取ることで、塗布ヘッドユニット２２（塗布部）に取り付けられた塗布ヘッド３１の交換の有無を検知することができる（ステップＳ６１０，Ｓ６１５）。

【0125】

このような本実施形態に係る塗布装置１１は、塗布ヘッド３１の交換の有無を検知することができるため、塗布ヘッド３１の交換があった場合に、新たな塗布ヘッド３１の駆動条件を決定することができる。

【0126】

（３）図８に示すように、本実施形態に係る塗布装置１１の制御部５０は、第２記憶領域３３ｂから来歴情報Ｄ２０を読み取り、来歴情報Ｄ２０に基づいて塗布ヘッド３１の駆動条件を決定することができる（ステップＳ６２０，Ｓ６２５）。

【0127】

このような本実施形態に係る塗布装置１１は、第２記憶領域３３ｂに格納された来歴情報Ｄ２０に基づいて塗布ヘッド３１の駆動条件（例えば、塗布ヘッド３１の駆動電圧やヒータ４０の温度等）を決定することができる。

【0128】

（４）図５に示すように、本実施形態に係る塗布装置１１において、来歴情報Ｄ２０は、塗布ヘッド３１を駆動させる駆動電圧の傾きを表す駆動電圧傾き情報Ｄ２ｋを含んでいる。制御部５０は、駆動電圧傾き情報Ｄ２ｋに基づいて塗布ヘッド３１の駆動電圧を補正することができる。

【0129】

このような本実施形態に係る塗布装置１１は、塗布材の射出量を変更するために駆動電圧を補正する場合に、図１８Ａ乃至図１８Ｃに示すように、駆動電圧傾き情報Ｄ２ｋに応じた駆動電圧の補正の仕方や少ない補正回数で、駆動電圧を補正することができる。

【0130】

（５）図４及び図７に示すように、塗布ヘッド管理システム１０の塗布ヘッド管理装置１９は、塗布ヘッド３１に設けられた記憶部３３に格納されている来歴情報Ｄ２０に基づいて塗布ヘッドユニット２２（塗布部）に取り付けられた塗布ヘッド３１の状態を監視することができる。なお、塗布ヘッド管理装置１９は、制御装置１２のメインＰＣ５１と統合（一体化）することができる。

【0131】

このような本実施形態に係る塗布装置１１を含む塗布ヘッド管理システム１０は、交換が必要な塗布ヘッド３１に対して、塗布ヘッド３１（又は、塗布ヘッド３１が取り付けられている塗布ヘッドユニット２２）の交換を使用者に指示することができる。

【0132】

（６）図７に示すように、塗布ヘッド管理システム１０の塗布ヘッド管理装置１９は、複数の塗布ヘッド３１に対し、各塗布ヘッド３１の記憶部３３に格納されている来歴情報Ｄ２０に基づいて状態を監視することができる。

【0133】

このような本実施形態に係る塗布装置１１を含む塗布ヘッド管理システム１０は、複数の塗布ヘッド３１に対して、塗布ヘッド３１の状態を監視することができる。

【0134】

以上の通り、本実施形態に係る塗布装置１１によれば、塗布ヘッド３１の状態を好適に管理することができる。

【0135】

なお、本発明は、前記した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更や変形を行うことができる。

【0136】

例えば、前記した実施形態は、本発明の要旨を分かり易く説明するために詳細に説明したものである。そのため、本発明は、必ずしも説明した全ての構成要素を備えるものに限定されるものではない。また、本発明は、ある構成要素に他の構成要素を追加したり、一部の構成要素を他の構成要素に変更したりすることができる。また、本発明は、一部の構成要素を削除することもできる。

【0137】

また、例えば、前記した実施形態では、メインＰＣ５１が塗布装置１１の内部に設けられている（図４参照）。しかしながら、メインＰＣ５１は、塗布装置１１の外部に設けられていてもよい。

【0138】

また、例えば、前記した実施形態では、制御部５０が制御装置１２と塗布ヘッド管理装置１９とに分断された構成になっている（図４参照）。しかしながら、制御部５０は、制御装置１２と塗布ヘッド管理装置１９とが統合された構成にしてもよい。

【0139】

例えば、電子天秤１３ａは、塗布材タンク２３に収納される塗布材の収納量の計量に利用するようにしてもよい。

【0140】

例えば、塗布装置１１は、１つの支持部２７に対して複数の塗布ヘッド３１が取り付けられる構成にしてもよい。

【符号の説明】

【0141】

１０ 塗布ヘッド管理システム
１１ 塗布装置
１２ 制御装置
１３ 計量検査機構
１３ａ 電子天秤
１４ 飛滴検査機構
１５ａ ストロボ照明
１５ｂ 飛滴検査カメラ
１６ ドット検査機構
１７ａ，１７ｂ ドット検査カメラ
１８ 保管部
１９ 塗布ヘッド管理装置
２１ 保持テーブル
２２ 塗布ヘッドユニット（塗布部）
２３ 塗布材タンク（塗布材貯留部）
２４ ガントリ
２５ リニアモータ用コイル
２６ リニアモータ用マグネット
２７ 支持部
３１ 塗布ヘッド
３２ ノズル
３３ 記憶部
３３ａ 第１記憶領域
３３ｂ 第２記憶領域
３４ａ，３４ｂ，３４ｃ，３４ｄ パイプ
３５ａ，３５ｂ，３５ｃ，３５ｄ バルブ
３６ リークバルブ
３７ レギュレータ
３８ 圧力計
４０ ヒータ
４１ 熱電対
４２ ソリッド・ステート・リレー（ＳＳＲ）
４３ 温調器
５０ 制御部
５１ メインＰＣ
５２ モータコントローラ
５３ アンプ
５４ インクジェットコントローラ
６０ 液晶画像表示装置
６１ 偏光フィルタ
６２ ガラス基板
６３ カラーフィルタ
６４ 透明電極
６５ 配光膜
６６ 液晶層
６７ 配光膜
６８ 透明電極
６９ ガラス基板
７０ 基板
７１ａ，７１ｂ，７１ｃ 検査範囲
７２ 射出抜け箇所
９１ 液溜まり
９９ 塗布材
Ｄｓｔ 格納情報
Ｄ１ａ シリアルナンバー情報
Ｄ１ｂ メーカ検査日情報
Ｄ１ｃ 検査時基準電圧情報
ＤＡ 現地での初通電日情報
Ｄ２ａ 総通電時間情報
Ｄ２ｂ 総射出時間情報
Ｄ２ｃ 連続使用時間情報
Ｄ２ｄ 最終ヘッド取付日時情報
Ｄ２ｅ 最終搭載機ナンバー情報
Ｄ２ｆ 最終搭載ラインナンバー情報
Ｄ２ｇ 最終搭載ヘッドナンバー情報
Ｄ２ｈ レシピナンバー情報（材料の型式情報）
Ｄ２ｉ 内部ヒータ温度情報
Ｄ２ｊ 駆動電圧情報
Ｄ２ｋ 駆動電圧傾き情報
Ｄ２ｌ 計量エラー回数情報
Ｄ２ｍ 射出抜けエラー回数情報
Ｄ２ｎ 通信エラー回数情報
Ｄ１０ 固有情報
Ｄ２０ 来歴情報
Ｄ２１ 動作経過情報
Ｄ２２ 駆動情報
Ｄ２３ エラー情報

【要約】

【課題】塗布ヘッドの状態を好適に管理する。
【解決手段】塗布装置１１は、基板７０を保持する保持テーブル２１と、保持テーブルに保持されている基板に塗布材を塗布する塗布部（塗布ヘッドユニット２２）と、基板と塗布部とを相対的に移動することにより基板の所定領域に塗布材を塗布するように制御する制御部５０と、を備えている。塗布部には、基板に塗布材を塗布するための塗布ヘッド３１が着脱自在に取り付けられている。塗布ヘッドは、塗布ヘッドの固有情報が記憶される第１記憶領域と、塗布ヘッドの来歴情報として少なくとも塗布ヘッドの駆動電圧と塗布ヘッドに内蔵されたヒータの温度とが記憶される第２記憶領域と、を含む記憶部３３を有している。制御部は、所定の条件時に、補正後の塗布ヘッドの駆動電圧と変更後のヒータの温度とを来歴情報として記憶部の第２記憶領域に格納する。
【選択図】図１

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11A】

【図11B】

【図12】

【図13A】

【図13B】

【図13C】

【図13D】

【図13E】

【図14】

【図15】

【図16A】

【図16B】

【図17】

【図18A】

【図18B】

【図18C】

【図19】

【図20】

【図21】