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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7564557 | 塗布装置及び塗布方法 | 2024年10月 9日 | |
特許 7564571 | 光照射装置 | 2024年10月 9日 | |
特許 7564585 | 基板位置検出装置、基板重ね合わせ装置、及び基板位置検出方法 | 2024年10月 9日 | |
特許 7564586 | 基板保持装置、及び基板処理装置 | 2024年10月 9日 | |
特許 7564590 | 基板重ね合わせ装置、及び基板重ね合わせ方法 | 2024年10月 9日 | |
特許 7553152 | 基板組立装置 | 2024年 9月18日 | |
特許 7541369 | 基板洗浄装置 | 2024年 8月28日 | |
特許 7526490 | 脱泡・脱気装置、脱泡・脱気方法、及び塗布装置 | 2024年 8月 1日 | |
特許 7526491 | ノズル先端管理装置及び塗布装置 | 2024年 8月 1日 | |
特許 7526517 | 光照射方法及び光照射装置 | 2024年 8月 1日 | |
特許 7526518 | 光照射方法及び光照射装置 | 2024年 8月 1日 | |
特許 7489140 | 検査・リペア装置 | 2024年 5月23日 | |
特許 7488595 | 基板洗浄方法及び基板洗浄装置 | 2024年 5月22日 | |
特許 7486244 | 基板組立装置 | 2024年 5月17日 | |
特許 7475646 | 微細構造転写装置及び微細構造転写方法 | 2024年 4月30日 |
27 件中 1-15 件を表示
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7564557 7564571 7564585 7564586 7564590 7553152 7541369 7526490 7526491 7526517 7526518 7489140 7488595 7486244 7475646
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