特許6869253マスクパターン、マスク、およびマスクの製造方法

発明の名称　マスクパターン、マスク、およびマスクの製造方法

出願人　アプライド　マテリアルズ　インコーポレイテッド　（識別番号 390040660）

　　　　特許公開件数ランキング 43 位（558件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 34 位（556件）（共同出願を含む）

出願人　日立マクセル株式会社　（識別番号 5810）

　　　　特許公開件数ランキング 112 位（273件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 90 位（282件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6869253

公報発行日　2021年5月12

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6869253

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